JPH05259101A - 縦型拡散・cvd装置の炉口部温度制御装置 - Google Patents
縦型拡散・cvd装置の炉口部温度制御装置Info
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- JPH05259101A JPH05259101A JP18045592A JP18045592A JPH05259101A JP H05259101 A JPH05259101 A JP H05259101A JP 18045592 A JP18045592 A JP 18045592A JP 18045592 A JP18045592 A JP 18045592A JP H05259101 A JPH05259101 A JP H05259101A
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Abstract
つ、而も炉口部での結露現象を防止しようとするもので
ある。 【構成】下方よりウェーハ3が装填されたボート7が装
入される反応管1を立設し、該反応管の下端に炉口フラ
ンジ10が形成され、前記ボートがキャップ8に立設さ
れ、該キャップの下端に形成されるフランジ9がシール
材15を介して前記炉口フランジに当接する縦型拡散装
置に於いて、前記炉口フランジを固定するフランジ押え
12に冷却路16を形成し、前記フランジを支持するボ
ート受台13に冷却路17を形成し、該両冷却路をそれ
ぞれ電磁弁19,21を介して冷却源に接続し、両冷却
路を流通する冷却剤の温度に基づき前記両電磁弁をON
/OFFする様に構成し、或は更にキャップにヒータ2
8を設け該ヒータのON/OFF制御を加えて炉口部の
温度制御をし、炉口部をシール材を損傷しない温度で而
も水蒸気等の結露が防止される様温度制御する。
Description
の炉口部温度制御装置に関するものである。
置がある。これは図3に示す様に、立設した石英製の反
応管1の周囲をヒータ2で囲み、前記反応管1の内部を
所定の温度に加熱維持し、該反応管1にウェーハ3を装
入して、反応ガスを流通させ、ウェーハの表面処理を行
うものである。
布を均一化する均熱管であり、前記反応管1には該反応
管1の上部に連通する反応ガス供給管5より反応ガスが
供給され、該反応管1の下部に連通した排出管6より排
出される様になっている。
持された状態で、前記反応管1に装入されるが、該ボー
ト7は前記反応管1の炉口部分に装入されるキャップ8
に立設されており、該キャップ8の下端部に形成された
フランジ9は、前記反応管1の下端に形成された炉口フ
ランジ10に気密に当接して前記反応管1を気密に閉塞
する。
る。
れ、前記炉口フランジ10はフランジ押え12によって
前記筐体11に固着されている。前記キャップ8は図示
しないボート装入装置の昇降装置のボート受台13に載
置され、固定リング14によって該ボート受台13に固
定されている。前記フランジ9と炉口フランジ10との
間にはシールリング15が設けられている。
防止する為、前記フランジ押え12、前記ボート受台1
3に冷却水路16,17を形成し、該冷却水路16,1
7に冷却水を常時流通させ、前記シールリング15を冷
却している。
シリコンウェーハの表面に酸化被膜を形成する方法とし
て、パイロジェニック酸化が行われている。該パイロジ
ェニック酸化は水素ガスと酸素ガスを流し、縦型炉の手
前で燃焼させ、高純度の水蒸気を炉内に供給し、該高純
度の水蒸気でシリコンウェーハ表面を酸化させるもので
あり、高清浄な酸化雰囲気を容易に得られる為、超高集
積回路の製造方法として普及している。
気が用いられるが、近年低温プロセス化が進み、更に前
記した炉口部が冷却されている為、炉口部で結露現象を
生じ、前記フランジ9に水27が溜まってしまう。更に
ウェーハ処理の過程で重金属等不純物の除去、不活性化
を目的として供給するハロゲンガスが前記溜り水に溶融
し、シーケンス終了後蒸発して装置内金属表面を腐食す
るという問題が発生していた。
を行いつつ而も炉口部での結露現象をを防止しようとす
るものである。
ーハが装填されたボートが装入される反応管を立設し、
該反応管の下端に炉口フランジが形成され、前記ボート
がキャップに立設され、該キャップの下端に形成される
フランジがシール材を介して前記炉口フランジに当接す
る縦型拡散装置に於いて、前記炉口フランジを固定する
フランジ押えに冷却路を形成し、前記フランジを支持す
るボート受台に冷却路を形成し、該両冷却路をそれぞれ
電磁弁を介して冷却源に接続し、両冷却路を流通する冷
却剤の温度に基づき前記両電磁弁をON/OFFする様
に構成し、或は更にキャップにヒータを設け該ヒータの
ON/OFF制御を加えて炉口部の温度制御をするもの
である。
ることで、更に炉口部が目標温度より低い場合は、ヒー
タのON/OFFを行って加熱を行うことで、炉口部を
シール材を損傷しない温度で而も水蒸気等の結露を防止
する。
説明する。
と同一機能を有するものは同符号を付してある。
と対応する位置にヒータ28を設け、該ヒータ28はヒ
ータカバーによって覆う。該ヒータ28は制御器30に
よって駆動され、該制御器30は主制御器24によって
制御される様になっており、前記フランジ9を前記ヒー
タ28によって加熱可能とする。
磁弁19を介して冷却水源20に接続し、前記ボート受
台13の冷却水路17を電磁弁21を介して冷却水源2
0に接続する。
御器22、制御器23によって駆動され、該制御器2
2、制御器23は前記主制御器24によって制御される
様になっている。前記冷却水路16、冷却水路17には
それぞれ冷却水温度検出器25,冷却水温度検出器26
が設けられ、該冷却水温度検出器25、冷却水温度検出
器26からの検出信号は前記主制御器24に入力される
様になっている。又、該主制御器24には冷却温度を設
定する為の、設定値A,Bが入力されている。
却水温度の設定値Aは、50℃、前記ボート受台13の
冷却水路17の冷却水温度の設定値Bは70℃とする。
出器26からの温度検出信号により前記主制御器24
は、常時冷却状態を監視し、監視温度が前記設定値A,
Bよりも低い時には、それぞれ対応する電磁弁19,2
1を閉塞し、冷却水による抜熱量を低下させる。又、監
視温度が前記設定値A,Bよりも高い時には、それぞれ
対応する電磁弁19,21を開き冷却水を流通させ、フ
ランジ押え12、ボート受台13の冷却を強化する。
して、冷却水の流通、停止を間欠的に行うことで、フラ
ンジ押え12、ボート受台13の温度が一定となる様に
冷却状態を制御する。
温度検出器26からの検出温度が低い場合には、前記主
制御器24より前記制御器30に駆動信号が発せられ、
前記制御器30が前記ヒータ28に通電して前記ボート
受台13、フランジ9を加熱して前記冷却水温度検出器
25,冷却水温度検出器26からの検出温度が前記設定
温度となる様にする。而して、検出温度が設定値より低
かった場合に、迅速な昇温が可能となる。従って、前記
シールリング15を焼損させることなく、又炉口下部に
結露現象を生じさせることがない。
Cを入力し、前記冷却水路16、冷却水路17の冷却水
が前記上限温度設定値Cを越えると、前記電磁弁19、
制御器22のON/OFF制御を停止し、又ヒータ28
への通電を断状態とし、冷却水を連続的に流通させ、前
記シールリング15の焼損を防止する。
のであり、50℃±10℃で、又前記設定値Bは同様に
70℃±10℃の範囲で有効であり、前記上限温度設定
値Cは100℃前後が適当であった。
が、水以外の冷媒を用いてよいことは勿論である。更
に、温度検出を冷却水温度より検出したが炉口フランジ
10、フランジ9等の部材に直接熱電対を設けて温度検
出を行ってもよい。
明したが、CVD装置についても同様に実施可能である
ことは言う迄もない。
i3N4 成膜時にNH4 Cl が生成し、該NH4 Cl が炉
口部に付着してパーティクルの原因となりウェーハを汚
染する。ところがこのNH4 Cl の炉口部への付着は炉
口部が100℃以下に冷却された場合に生ずる。従っ
て、CVD処理を行う場合は、前記前記設定値A,Bを
150℃近傍の値とし、炉口部の温度が150℃近傍に
なる様に温度制御する。
優れた効果を発揮する。
ているので迅速な温度制御が可能である。
焼損する以下の温度で、而も水蒸気の結露温度以上に保
持するので炉口部に水が溜まるという不具合を解消する
ことができる。
腐食性ガスを使用しても炉口部の腐食を防止することが
できる。
き、パーティクルの発生を抑制することができる。
ので、清浄作業を大幅に軽減することができる。
の場合の迅速な昇温が可能であることから、炉口部から
の放熱を防止し得、炉内温度分布の安定化を図ることが
できる。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 下方よりウェーハが装填されたボートが
装入される反応管を立設し、該反応管の下端に炉口フラ
ンジが形成され、前記ボートがキャップに立設され、該
キャップの下端に形成されるフランジがシール材を介し
て前記炉口フランジに当接する縦型拡散装置に於いて、
前記炉口フランジを固定するフランジ押えに冷却路を形
成し、前記フランジを支持するボート受台に冷却路を形
成し、該両冷却路をそれぞれ電磁弁を介して冷却源に接
続し、両冷却路を流通する冷却剤の温度に基づき前記両
電磁弁をON/OFFする様に構成したことを特徴とす
る縦型拡散・CVD装置の炉口部温度制御装置。 - 【請求項2】 下方よりウェーハが装填されたボートが
装入される反応管を立設し、該反応管の下端に炉口フラ
ンジが形成され、前記ボートがキャップに立設され、該
キャップの下端に形成されるフランジがシール材を介し
て前記炉口フランジに当接する縦型拡散装置に於いて、
前記キャップにヒータを設けたことを特徴とする縦型拡
散・CVD装置の炉口部温度制御装置。 - 【請求項3】 ウェーハが装填されたボートが装入され
る反応管を立設し、該反応管の下端に炉口フランジが形
成され、前記ボートがキャップに立設され、該キャップ
の下端に形成されるフランジがシール材を介して前記炉
口フランジに当接する縦型拡散装置に於いて、前記キャ
ップにヒータを設け、前記炉口フランジを固定するフラ
ンジ押えに冷却路を形成し、前記フランジを支持するボ
ート受台に冷却路を形成し、該両冷却路をそれぞれ電磁
弁を介して冷却源に接続し、両冷却路を流通する冷却剤
の温度に基づき前記両電磁弁及びヒータをON/OFF
する様に構成したことを特徴とする縦型拡散・CVD装
置の炉口部温度制御装置。 - 【請求項4】 炉口部を構成する部材に温度検出器を設
け、炉口部を構成する部材の温度を検出する様にし、該
検出温度により前記両電磁弁をON/OFFする様に構
成した請求項1又は請求項3の縦型拡散・CVD装置の
炉口部温度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18045592A JP3250843B2 (ja) | 1991-08-20 | 1992-06-15 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23218591 | 1991-08-20 | ||
JP547092 | 1992-01-17 | ||
JP3-232185 | 1992-01-17 | ||
JP4-5470 | 1992-01-17 | ||
JP18045592A JP3250843B2 (ja) | 1991-08-20 | 1992-06-15 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05259101A true JPH05259101A (ja) | 1993-10-08 |
JP3250843B2 JP3250843B2 (ja) | 2002-01-28 |
Family
ID=27276761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18045592A Expired - Lifetime JP3250843B2 (ja) | 1991-08-20 | 1992-06-15 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3250843B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015097270A (ja) * | 2012-07-30 | 2015-05-21 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム。 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP18045592A patent/JP3250843B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015097270A (ja) * | 2012-07-30 | 2015-05-21 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム。 |
JP5792390B2 (ja) * | 2012-07-30 | 2015-10-14 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
US9816182B2 (en) | 2012-07-30 | 2017-11-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, and recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3250843B2 (ja) | 2002-01-28 |
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