JPH0525801B2 - - Google Patents
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- JPH0525801B2 JPH0525801B2 JP2203036A JP20303690A JPH0525801B2 JP H0525801 B2 JPH0525801 B2 JP H0525801B2 JP 2203036 A JP2203036 A JP 2203036A JP 20303690 A JP20303690 A JP 20303690A JP H0525801 B2 JPH0525801 B2 JP H0525801B2
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- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 178
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 89
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 47
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 47
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 46
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 42
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims description 35
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 31
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims description 19
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 19
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000011001 backwashing Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000006392 deoxygenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
本発明は空気を原料としてプレツシヤースイン
グ法により高濃度アルゴンを製造する方法に関す
るものである。 アルゴンは不活性ガスとして知られ、電気製品
用、溶接用、製鋼脱ガス用などに用いられる。 従来アルゴンは空気から深冷分離によつて製造
されているが、液体酸素製造プラント中に主精留
塔によつて液体空気を精留し、酸素留分のうちア
ルゴン濃度の高い部分のガスを抜出し、これを更
に精留することにより粗アルゴンを得る。更にこ
れにボンベから水素ガスを導入し、パラジウムな
どの触媒を具えた酸素除去装置により酸素を除去
し再び精留塔に通して精製し高純度のアルゴンが
得られていた。 アルゴンは化学的に不活性であり、しかも第1
表に示すようにその物性が酸素と酷似しているた
め分離しにくく精留するにも多くの段数を要す
る。
グ法により高濃度アルゴンを製造する方法に関す
るものである。 アルゴンは不活性ガスとして知られ、電気製品
用、溶接用、製鋼脱ガス用などに用いられる。 従来アルゴンは空気から深冷分離によつて製造
されているが、液体酸素製造プラント中に主精留
塔によつて液体空気を精留し、酸素留分のうちア
ルゴン濃度の高い部分のガスを抜出し、これを更
に精留することにより粗アルゴンを得る。更にこ
れにボンベから水素ガスを導入し、パラジウムな
どの触媒を具えた酸素除去装置により酸素を除去
し再び精留塔に通して精製し高純度のアルゴンが
得られていた。 アルゴンは化学的に不活性であり、しかも第1
表に示すようにその物性が酸素と酷似しているた
め分離しにくく精留するにも多くの段数を要す
る。
【表】
一方吸着剤を用いた分離法も提案されている。
例えばオーストラリヤ特許515010にはアルゴン、
酸素及び窒素を含むガス混合物からアルゴンを得
るため、同一の塔に酸素及び窒素に対して夫々吸
着性の異なるA・B2種の吸着剤を充填し、これ
に混合ガスを通して吸着−放圧−脱着−均圧−逆
洗−蓄圧−吸着の操作を繰返し所望純度以上のア
ルゴンを得る方法が記載されている。2種の吸着
剤によつて酸素及び窒素を夫々吸着しアルゴンの
濃度を高めようとするものであるが、これは単に
吸着剤の窒素、酸素、アルゴンに対する吸着容量
の差を利用したものであり空気の中から窒素、酸
素を順に吸着除去して行つてアルゴンを残す方法
である。 この方法は同一吸着塔に異種の吸着剤を充填し
てあるため、それぞれの最適条件となしにくく純
度の高いアルゴンガスとはならない。即ちA・B
のうちどちらかの最適条件をとれば例えば酸素は
充分吸着するが、他の吸着剤は最適条件とはなら
ないので窒素は充分吸着しない。従つて窒素がか
なりアルゴンに混つて出てくる。このような関係
があるので、充分な分離はできない。該明細書に
は純度について明確な記載はないがこのような方
法では、せいぜい50%程度のアルゴンしか回収で
きないものと推定される。 この様な状況に鑑み本発明者らは種々の吸着剤
の吸着特性について鋭意研究を重ねた結果、3Å
を中心とした細孔径を有するカーボンモレキユラ
ーシーブと5Åを中心とした細孔径を有するゼオ
ライトモレキユラーシーブとは吸着の初期段階に
おいては異なる性質を有していること、例えばカ
ーボンモレキユラーシーブでは数分間以上のごと
き長時間吸着させると選択吸着性が無くなつてし
まうことが判つた。 即ちカーボンモレキユラーシーブの吸着特性は
長時間吸着させると結局窒素も酸素も等量吸着す
るが、短時間1〜2分の間は窒素より酸素が速く
細孔内に拡散するので、この吸着速度差を利用し
て分離操作を行なう必要がある。 一方ゼオライトモレキユラーシーブは酸素より
窒素を優先的に吸着する特性を有し、吸着操作時
間と窒素の吸着分離性能とは全く無関係である。 従つて前記カーボンモレキユラーシーブとゼオ
ライトモレキユラーシーブを同一吸着槽又は同一
機構内に充填してプレツシヤースイング(以下
PSAと略する。)を行なつても夫々の分離特性を
充分生かすことが出来ないことがわかつた。 本発明は両者の特性の差に生かす為に同一吸着
槽内あるいは同一機構内に両者を充填するのでは
なく全く別個の独立したPSA装置に別々に充填
し、それぞれの吸着剤に対する最適操作条件で窒
素及び酸素を段階的に分離除去し、アルゴンを取
得する。 即ち本発明の要旨は、空気を原料として、ゼオ
ライトモレキユラーシーブを充填した吸着装置お
よびカーボンモレキユラーシーブを充填した吸着
装置を用いて夫々独立してプレツシヤースイング
するに際し、以下の工程よりなることを特徴とす
る高濃度アルゴンの製造方法に関する。 A) ゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第1段装置を用い、空気を原料としてプレツシ
ヤースイングし、アルゴンを含有する高濃度酸
素を得る工程、 B) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
2段装置により前記のアルゴンを含有する高濃
度酸素を通してプレツシヤースイングを行い、
中間濃度のアルゴンと高純度酸素に分離する工
程、 C) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
3段装置により前記中間濃度のアルゴンを通し
てプレツシヤースイングを行い、粗アルゴンを
得る工程、および D) 該粗アルゴンをさらにゼオライトモレキユ
ラーシーブを充填した第4段装置に通してプレ
ツシヤースイングして窒素を分離し、高濃度ア
ルゴンを得る工程 本発明の標準的な実施態様の概要(第1図)を
説明すると、第1段のPSA装置にゼオライトモ
レキユラーシーブを充填し空気を原料として通過
させPSA操作を行なつて例えば酸素:94.5%、窒
素:1%、アルゴン:4.5%程度(3Kg/cm2)のア
ルゴンを含有する高濃度酸素を得る。このガスを
原料とし第2段のPSA装置にカーボンモレキユ
ラーシーブを充填し、短時間のPSA操作を行な
つて酸素を吸着し、アルゴンを約40%濃度に濃縮
する(中間濃度アルゴン)。このプロセスで原料
ガスより、純度97%程度の酸素ガスが脱着ガスと
して得られる(高純度酸素)。これはそれぞれの
吸着剤を独立したPSA機構に充填し別個にPSA
操作を行なつた効果であり、単に吸着させただ
け、あるいは異なつた吸着剤を一緒にしてPSA
操作を行なつた場合にはこのような結果は得られ
ない。 この第2段の装置は2塔式以上の多塔式を用い
得るが、4塔式以上では装置費が大となる割には
収率の向上が得られず、2塔式では逆に低下する
ので3塔式が最も有利である。例えば第2段装置
3塔式の場合のフローを示せば第2図の如くであ
りそのシーケンスは第2表に示すとおりである。
例えばオーストラリヤ特許515010にはアルゴン、
酸素及び窒素を含むガス混合物からアルゴンを得
るため、同一の塔に酸素及び窒素に対して夫々吸
着性の異なるA・B2種の吸着剤を充填し、これ
に混合ガスを通して吸着−放圧−脱着−均圧−逆
洗−蓄圧−吸着の操作を繰返し所望純度以上のア
ルゴンを得る方法が記載されている。2種の吸着
剤によつて酸素及び窒素を夫々吸着しアルゴンの
濃度を高めようとするものであるが、これは単に
吸着剤の窒素、酸素、アルゴンに対する吸着容量
の差を利用したものであり空気の中から窒素、酸
素を順に吸着除去して行つてアルゴンを残す方法
である。 この方法は同一吸着塔に異種の吸着剤を充填し
てあるため、それぞれの最適条件となしにくく純
度の高いアルゴンガスとはならない。即ちA・B
のうちどちらかの最適条件をとれば例えば酸素は
充分吸着するが、他の吸着剤は最適条件とはなら
ないので窒素は充分吸着しない。従つて窒素がか
なりアルゴンに混つて出てくる。このような関係
があるので、充分な分離はできない。該明細書に
は純度について明確な記載はないがこのような方
法では、せいぜい50%程度のアルゴンしか回収で
きないものと推定される。 この様な状況に鑑み本発明者らは種々の吸着剤
の吸着特性について鋭意研究を重ねた結果、3Å
を中心とした細孔径を有するカーボンモレキユラ
ーシーブと5Åを中心とした細孔径を有するゼオ
ライトモレキユラーシーブとは吸着の初期段階に
おいては異なる性質を有していること、例えばカ
ーボンモレキユラーシーブでは数分間以上のごと
き長時間吸着させると選択吸着性が無くなつてし
まうことが判つた。 即ちカーボンモレキユラーシーブの吸着特性は
長時間吸着させると結局窒素も酸素も等量吸着す
るが、短時間1〜2分の間は窒素より酸素が速く
細孔内に拡散するので、この吸着速度差を利用し
て分離操作を行なう必要がある。 一方ゼオライトモレキユラーシーブは酸素より
窒素を優先的に吸着する特性を有し、吸着操作時
間と窒素の吸着分離性能とは全く無関係である。 従つて前記カーボンモレキユラーシーブとゼオ
ライトモレキユラーシーブを同一吸着槽又は同一
機構内に充填してプレツシヤースイング(以下
PSAと略する。)を行なつても夫々の分離特性を
充分生かすことが出来ないことがわかつた。 本発明は両者の特性の差に生かす為に同一吸着
槽内あるいは同一機構内に両者を充填するのでは
なく全く別個の独立したPSA装置に別々に充填
し、それぞれの吸着剤に対する最適操作条件で窒
素及び酸素を段階的に分離除去し、アルゴンを取
得する。 即ち本発明の要旨は、空気を原料として、ゼオ
ライトモレキユラーシーブを充填した吸着装置お
よびカーボンモレキユラーシーブを充填した吸着
装置を用いて夫々独立してプレツシヤースイング
するに際し、以下の工程よりなることを特徴とす
る高濃度アルゴンの製造方法に関する。 A) ゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第1段装置を用い、空気を原料としてプレツシ
ヤースイングし、アルゴンを含有する高濃度酸
素を得る工程、 B) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
2段装置により前記のアルゴンを含有する高濃
度酸素を通してプレツシヤースイングを行い、
中間濃度のアルゴンと高純度酸素に分離する工
程、 C) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
3段装置により前記中間濃度のアルゴンを通し
てプレツシヤースイングを行い、粗アルゴンを
得る工程、および D) 該粗アルゴンをさらにゼオライトモレキユ
ラーシーブを充填した第4段装置に通してプレ
ツシヤースイングして窒素を分離し、高濃度ア
ルゴンを得る工程 本発明の標準的な実施態様の概要(第1図)を
説明すると、第1段のPSA装置にゼオライトモ
レキユラーシーブを充填し空気を原料として通過
させPSA操作を行なつて例えば酸素:94.5%、窒
素:1%、アルゴン:4.5%程度(3Kg/cm2)のア
ルゴンを含有する高濃度酸素を得る。このガスを
原料とし第2段のPSA装置にカーボンモレキユ
ラーシーブを充填し、短時間のPSA操作を行な
つて酸素を吸着し、アルゴンを約40%濃度に濃縮
する(中間濃度アルゴン)。このプロセスで原料
ガスより、純度97%程度の酸素ガスが脱着ガスと
して得られる(高純度酸素)。これはそれぞれの
吸着剤を独立したPSA機構に充填し別個にPSA
操作を行なつた効果であり、単に吸着させただ
け、あるいは異なつた吸着剤を一緒にしてPSA
操作を行なつた場合にはこのような結果は得られ
ない。 この第2段の装置は2塔式以上の多塔式を用い
得るが、4塔式以上では装置費が大となる割には
収率の向上が得られず、2塔式では逆に低下する
ので3塔式が最も有利である。例えば第2段装置
3塔式の場合のフローを示せば第2図の如くであ
りそのシーケンスは第2表に示すとおりである。
【表】
【表】
第2図に於て吸着塔..にはそれぞれ細
孔径3Åのカーボンモレキユラーシーブが充填さ
れている。第1段のゼオライトモレキユラーシー
ブを充填したPSA装置に空気を原料として送り
PSA操作を行なつて得た非吸着性ガスであるア
ルゴンを含有する高濃度酸素は圧縮機Aを通つて
塔1に導かれ、酸素吸着后中間濃度アルゴンタン
クCに蓄えられる。一方吸着された酸素は真空ポ
ンプBを経て高純度酸素タンクDに蓄える。この
操作を第2表に従つて切替弁1〜16を逐次開閉
して行なう。 更に第3段のPSA装置に同じくカーボンモレ
キユラーシーブを充填し、前記の中間濃度アルゴ
ンを原料として同様にPSA操作を行なつて酸素
を吸着除去しアルゴン85%濃度まで濃縮する(粗
アルゴン)。この間に窒素もアルゴンとほぼ同じ
組成割合を保持しながら濃縮される。従つてアル
ゴンと窒素との比は変らずさらに窒素を減少させ
るにはゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第4段のPSA装置により窒素を吸着除去するか
他の精製法を必要とする。この第3段の装置は2
塔式で吸着−均圧−昇圧−脱着の4行程を切替え
てPSAを行う。第3段の脱着ガスには少なから
ぬアルゴンが含有されるため第2段の原料ガスと
してリサイクルさせアルゴンを回収するのがよ
い。 この2回にわたるカーボンモレキユラーシーブ
を充填した吸着装置でのPSAにより粗アルゴン
中の酸素は数%程度まで除去される。 さらにアルゴンを99%以上の濃度にまで純度を
上げる為には必要に応じ第4段PSA装置の前に
水素を酸素に対し2倍モル添加しパラジウムを担
持した脱酸素触媒で反応(デオキソ装置)させ酸
素を水として除去する。 第4段の脱着ガスを原料として第4段と同様に
ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第5段
PSAによりアルゴンを回収し、回収アルゴンを
第4段の原料にリサイクルすることができる。こ
の第5段PSAの脱着ガスは窒素を主成分とした
アルゴン混合ガスであり、イナートガスとして利
用される。 またこの第4段のPSA装置のかわりに低温液
化装置を用いてアルゴンを液化させ、沸点の高い
アルゴンを分離除去すればさらに高純度のアルゴ
ンを得ることもできる。 本発明で用いるゼオライトモレキユラーシーブ
は細孔径5Åを中心とするものが適当であり、カ
ーボンモレキユラーシーブは細孔径3Åを中心と
するものが適当である。吸着圧力は0.3〜10Kg/cm2
の範囲が適当であり更に好ましくは、1〜3Kg/
cm2程度で行なうのが経済的である。一方脱着圧力
は低い程効率がよいわけであるが通常400トール
以下、好ましくは200トール以下の減圧にして脱
着を行なう。吸着、脱着は理論的には吸着量の関
係から吸着は低温で脱着は高温で行なう方が効率
がよいわけであるがPSAは断熱操作であり、吸
着熱(発熱)が脱着熱(吸熱)に利用されること
から、常温において効果的に行なわれる。 本発明でいう高濃度アルゴンとは純度少くとも
98%のアルゴンガスを指す。JISで定められてい
る溶接用アルゴンガスのような純度99.9%以上の
ような高純度のものも得られるが収率は低い。例
えば製鋼脱ガス用などの用途にはこの様な高純度
のものでなくとも98%程度のもので充分役に立つ
ので、本発明の方法はこの様な場合、特に経済的
な見地から有効である。本発明の方法に於ては、
第1段、第2段、第3段の各PSA装置を各1基
の吸着塔で行なうこともできるが通常各段階に複
数個の吸着塔を備えて吸着−均圧−放圧−減圧脱
着−均圧−蓄圧−吸着の各操作を各塔切り替えて
行なうのがよい。 PSA操作に於ては組成と収率に相関関係があ
り、純度を高くすると収率が減るので、要求され
る製品純度に応じて適宜操作条件(吸着圧力、脱
着圧力、タイムサイクル等)を選定する。 以下実施例により本発明をさらに詳細に説明す
るが本発明がこれに限定されるものではない。 実施例 1 (中間濃度アルゴンの製造) 吸着剤としてカーボンモレキユラーシーブを用
い、40mmφ×500mmhの吸着塔を第2図に示す3
塔に組立て、第1段のPSA装置にゼオライトモ
レキユラーシーブを充填し、空気を原料として
PSA操作を行なつて得たアルゴンを含有する高
濃度酸素(アルゴン4.5%、酸素93.6%、窒素1.9
%)を原料として第2段PSA分離を行なつた。
吸着圧力(最高)は3.0Kg/cm2、脱着圧力は150ト
ールであり、タイムサイクルを第2表において、
吸着38.5秒、放圧〜脱着38.5秒、均圧1.5秒(1サ
イクル合計120秒)とした。非吸着性ガス抜出し
速度を0.8N/minとしたとき、中間濃度アルゴ
ンガス組成はアルゴン33.0%、酸素52.3%、窒素
14.7%であり、アルゴンの収率は69%であつた。 このときの放圧および脱着ガス(高純度酸素)
の組成はアルゴン1.5%、酸素97.9%、窒素0.5%
であり、酸素収率は94.7%であつた。 実施例 2 (粗アルゴンの製造方法) 実施例1と同様にして得た中間濃度アルゴンガ
スを原料ガスとして第3段PSA分離を行なつた。
吸着塔として40mmφ×500mmhにカーボンモレキ
ユラーシーブを充填した2塔を用いた。原料ガス
組成はアルゴン35.5%、酸素50%、窒素14.5%で
あつた。吸着圧力(最高)を2.0Kg/cm2、脱着圧力
を100トールとした。 タイムサイクルは吸着45秒、脱着48.5秒、均圧
1.5秒、昇圧3.5秒(1サイクル合計100秒)とし
た。非吸着性ガス抜出し速度を1.0N/minとし
たとき、粗アルゴンガス組成はアルゴン71.1%、
酸素2.67%、窒素26.2%であり、アルゴン収率は
53%であつた。脱着ガス組成はアルゴン22.7%、
酸素66.7%、窒素10.6%であつた。 実施例 3 (粗アルゴンの製造方法) 原料ガスとして第1段ゼオライトモレキユラー
シーブPSAにより得られたアルゴンを含有する
高濃度酸素(アルゴン4.35%、酸素93.5%、窒素
2.15%)を用いた。 第2段は3塔、第3段は2塔の吸着塔を用い
た。 吸着圧力(最高)を3Kg/cm2とし、第2段脱着
圧力を150トール、第3段脱着圧力を100トールと
した。 第3段PSA脱着ガスを第2段PSA原料ガスに
リサイクルした。 第3段製品ガス組成(粗アルゴン)はアルゴン
71.8%、酸素2.5%窒素25.6%であり、アルゴン収
率は56%であつた。 第2段脱着ガス(高純度酸素)組成はアルゴン
2.0%、酸素96.6%、窒素1.3%であり、酸素収率
は99.9%であつた。 実施例 4 (高濃度アルゴンの製造方法) 第3段PSA製品ガス(粗アルゴン)をデオキ
ソ装置で脱酸素し、次いで第4段ゼオライトモレ
キユラーシーブPSAにより窒素を分離して高濃
度アルゴンガスを得た。即ち、第4段脱着ガスを
第5段ゼオライトモレキユラーシーブPSAによ
り更に窒素を吸着分離し、第5段非吸着性ガスを
第4段PSAの原料供給ラインにリサイクルした。 第4段の入口ガスは第5段非吸着性(リサイク
ル)ガスと合せ、その組成はアルゴン78.1%、窒
素21.9%であつた。 第4段非吸着性ガスである高濃度アルゴン純度
は99%であり、入口ガスに対するアルゴン収率は
55%であり、第3段からのそれは79.8%であつ
た。 第4段および第5段は何れも3塔式であり、吸
着行程の間、脱着行程後のカラムに蓄圧するシー
ケンスで行なつた。 タイムサイクルは第4段、第5段共に吸着60
秒、脱着50秒、均圧10秒、蓄圧50秒とした。 第4段の吸着圧力は1.5Kg/cm2、脱着圧力50トー
ルとした。 第5段吸着圧は1.2Kg/cm2、脱着圧は50トールで
あつた。 第5段脱着ガス組成はアルゴン36.4%、窒素
63.6%であつた。
孔径3Åのカーボンモレキユラーシーブが充填さ
れている。第1段のゼオライトモレキユラーシー
ブを充填したPSA装置に空気を原料として送り
PSA操作を行なつて得た非吸着性ガスであるア
ルゴンを含有する高濃度酸素は圧縮機Aを通つて
塔1に導かれ、酸素吸着后中間濃度アルゴンタン
クCに蓄えられる。一方吸着された酸素は真空ポ
ンプBを経て高純度酸素タンクDに蓄える。この
操作を第2表に従つて切替弁1〜16を逐次開閉
して行なう。 更に第3段のPSA装置に同じくカーボンモレ
キユラーシーブを充填し、前記の中間濃度アルゴ
ンを原料として同様にPSA操作を行なつて酸素
を吸着除去しアルゴン85%濃度まで濃縮する(粗
アルゴン)。この間に窒素もアルゴンとほぼ同じ
組成割合を保持しながら濃縮される。従つてアル
ゴンと窒素との比は変らずさらに窒素を減少させ
るにはゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第4段のPSA装置により窒素を吸着除去するか
他の精製法を必要とする。この第3段の装置は2
塔式で吸着−均圧−昇圧−脱着の4行程を切替え
てPSAを行う。第3段の脱着ガスには少なから
ぬアルゴンが含有されるため第2段の原料ガスと
してリサイクルさせアルゴンを回収するのがよ
い。 この2回にわたるカーボンモレキユラーシーブ
を充填した吸着装置でのPSAにより粗アルゴン
中の酸素は数%程度まで除去される。 さらにアルゴンを99%以上の濃度にまで純度を
上げる為には必要に応じ第4段PSA装置の前に
水素を酸素に対し2倍モル添加しパラジウムを担
持した脱酸素触媒で反応(デオキソ装置)させ酸
素を水として除去する。 第4段の脱着ガスを原料として第4段と同様に
ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第5段
PSAによりアルゴンを回収し、回収アルゴンを
第4段の原料にリサイクルすることができる。こ
の第5段PSAの脱着ガスは窒素を主成分とした
アルゴン混合ガスであり、イナートガスとして利
用される。 またこの第4段のPSA装置のかわりに低温液
化装置を用いてアルゴンを液化させ、沸点の高い
アルゴンを分離除去すればさらに高純度のアルゴ
ンを得ることもできる。 本発明で用いるゼオライトモレキユラーシーブ
は細孔径5Åを中心とするものが適当であり、カ
ーボンモレキユラーシーブは細孔径3Åを中心と
するものが適当である。吸着圧力は0.3〜10Kg/cm2
の範囲が適当であり更に好ましくは、1〜3Kg/
cm2程度で行なうのが経済的である。一方脱着圧力
は低い程効率がよいわけであるが通常400トール
以下、好ましくは200トール以下の減圧にして脱
着を行なう。吸着、脱着は理論的には吸着量の関
係から吸着は低温で脱着は高温で行なう方が効率
がよいわけであるがPSAは断熱操作であり、吸
着熱(発熱)が脱着熱(吸熱)に利用されること
から、常温において効果的に行なわれる。 本発明でいう高濃度アルゴンとは純度少くとも
98%のアルゴンガスを指す。JISで定められてい
る溶接用アルゴンガスのような純度99.9%以上の
ような高純度のものも得られるが収率は低い。例
えば製鋼脱ガス用などの用途にはこの様な高純度
のものでなくとも98%程度のもので充分役に立つ
ので、本発明の方法はこの様な場合、特に経済的
な見地から有効である。本発明の方法に於ては、
第1段、第2段、第3段の各PSA装置を各1基
の吸着塔で行なうこともできるが通常各段階に複
数個の吸着塔を備えて吸着−均圧−放圧−減圧脱
着−均圧−蓄圧−吸着の各操作を各塔切り替えて
行なうのがよい。 PSA操作に於ては組成と収率に相関関係があ
り、純度を高くすると収率が減るので、要求され
る製品純度に応じて適宜操作条件(吸着圧力、脱
着圧力、タイムサイクル等)を選定する。 以下実施例により本発明をさらに詳細に説明す
るが本発明がこれに限定されるものではない。 実施例 1 (中間濃度アルゴンの製造) 吸着剤としてカーボンモレキユラーシーブを用
い、40mmφ×500mmhの吸着塔を第2図に示す3
塔に組立て、第1段のPSA装置にゼオライトモ
レキユラーシーブを充填し、空気を原料として
PSA操作を行なつて得たアルゴンを含有する高
濃度酸素(アルゴン4.5%、酸素93.6%、窒素1.9
%)を原料として第2段PSA分離を行なつた。
吸着圧力(最高)は3.0Kg/cm2、脱着圧力は150ト
ールであり、タイムサイクルを第2表において、
吸着38.5秒、放圧〜脱着38.5秒、均圧1.5秒(1サ
イクル合計120秒)とした。非吸着性ガス抜出し
速度を0.8N/minとしたとき、中間濃度アルゴ
ンガス組成はアルゴン33.0%、酸素52.3%、窒素
14.7%であり、アルゴンの収率は69%であつた。 このときの放圧および脱着ガス(高純度酸素)
の組成はアルゴン1.5%、酸素97.9%、窒素0.5%
であり、酸素収率は94.7%であつた。 実施例 2 (粗アルゴンの製造方法) 実施例1と同様にして得た中間濃度アルゴンガ
スを原料ガスとして第3段PSA分離を行なつた。
吸着塔として40mmφ×500mmhにカーボンモレキ
ユラーシーブを充填した2塔を用いた。原料ガス
組成はアルゴン35.5%、酸素50%、窒素14.5%で
あつた。吸着圧力(最高)を2.0Kg/cm2、脱着圧力
を100トールとした。 タイムサイクルは吸着45秒、脱着48.5秒、均圧
1.5秒、昇圧3.5秒(1サイクル合計100秒)とし
た。非吸着性ガス抜出し速度を1.0N/minとし
たとき、粗アルゴンガス組成はアルゴン71.1%、
酸素2.67%、窒素26.2%であり、アルゴン収率は
53%であつた。脱着ガス組成はアルゴン22.7%、
酸素66.7%、窒素10.6%であつた。 実施例 3 (粗アルゴンの製造方法) 原料ガスとして第1段ゼオライトモレキユラー
シーブPSAにより得られたアルゴンを含有する
高濃度酸素(アルゴン4.35%、酸素93.5%、窒素
2.15%)を用いた。 第2段は3塔、第3段は2塔の吸着塔を用い
た。 吸着圧力(最高)を3Kg/cm2とし、第2段脱着
圧力を150トール、第3段脱着圧力を100トールと
した。 第3段PSA脱着ガスを第2段PSA原料ガスに
リサイクルした。 第3段製品ガス組成(粗アルゴン)はアルゴン
71.8%、酸素2.5%窒素25.6%であり、アルゴン収
率は56%であつた。 第2段脱着ガス(高純度酸素)組成はアルゴン
2.0%、酸素96.6%、窒素1.3%であり、酸素収率
は99.9%であつた。 実施例 4 (高濃度アルゴンの製造方法) 第3段PSA製品ガス(粗アルゴン)をデオキ
ソ装置で脱酸素し、次いで第4段ゼオライトモレ
キユラーシーブPSAにより窒素を分離して高濃
度アルゴンガスを得た。即ち、第4段脱着ガスを
第5段ゼオライトモレキユラーシーブPSAによ
り更に窒素を吸着分離し、第5段非吸着性ガスを
第4段PSAの原料供給ラインにリサイクルした。 第4段の入口ガスは第5段非吸着性(リサイク
ル)ガスと合せ、その組成はアルゴン78.1%、窒
素21.9%であつた。 第4段非吸着性ガスである高濃度アルゴン純度
は99%であり、入口ガスに対するアルゴン収率は
55%であり、第3段からのそれは79.8%であつ
た。 第4段および第5段は何れも3塔式であり、吸
着行程の間、脱着行程後のカラムに蓄圧するシー
ケンスで行なつた。 タイムサイクルは第4段、第5段共に吸着60
秒、脱着50秒、均圧10秒、蓄圧50秒とした。 第4段の吸着圧力は1.5Kg/cm2、脱着圧力50トー
ルとした。 第5段吸着圧は1.2Kg/cm2、脱着圧は50トールで
あつた。 第5段脱着ガス組成はアルゴン36.4%、窒素
63.6%であつた。
第1図は、実施態様の概要を示した図である。
第2図は、本発明の実施態様を示す第2段装置の
フローシートである。
第2図は、本発明の実施態様を示す第2段装置の
フローシートである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 空気を原料として、ゼオライトモレキユラー
シーブを充填した吸着装置およびカーボンモレキ
ユラーシーブを充填した吸着装置を用いて夫々独
立してプレツシヤースイングするに際し、以下の
工程よりなることを特徴とする高濃度アルゴンの
製造方法。 A) ゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第1段装置を用い、空気を原料としてプレツシ
ヤースイングし、アルゴンを含有する高濃度酸
素を得る工程、 B) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
2段装置により前記のアルゴンを含有する高濃
度酸素を通してプレツシヤースイングを行い、
中間濃度のアルゴンと高純度酸素に分離する工
程、 C) カーボンモレキユラーシーブを充填した第
3段装置により前記中間濃度のアルゴンを通し
てプレツシヤースイングを行い、粗アルゴンを
得る工程、および D) 該粗アルゴンをさらにゼオライトモレキユ
ラーシーブを充填した第4段装置に通してプレ
ツシヤースイングして窒素を分離し、高濃度ア
ルゴンを得る工程。 2 第2段装置を3塔式とし、第3段装置を2塔
式として、第3段脱着ガスを第2段入口ガスに混
合循環させる特許請求の範囲1記載の方法。 3 前記粗アルゴンに水素を添加して脱酸素を行
い高濃度アルゴンを得る特許請求の範囲1または
2記載の方法。 4 ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第
4段装置の脱着ガスを原料としてさらにゼオライ
トモレキユラーシーブを充填した第5段装置によ
りアルゴンを回収し、該回収アルゴンを第4段装
置の原料ガスにリサイクルする特許請求の範囲
1、2または3記載の方法。 5 第4段装置および第5段装置がそれぞれ3塔
式からなる特許請求の範囲4記載の方法。 6 プレツシヤースイングにおける吸着圧力が
0.3〜10Kg/cm2である特許請求の範囲1〜5記載の
方法。 7 プレツシヤースイングにおける脱着圧力が
760トール以下の減圧である特許請求の範囲1〜
5記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2203036A JPH03164410A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 高濃度アルゴンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2203036A JPH03164410A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 高濃度アルゴンの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03164410A JPH03164410A (ja) | 1991-07-16 |
JPH0525801B2 true JPH0525801B2 (ja) | 1993-04-14 |
Family
ID=16467289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2203036A Granted JPH03164410A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 高濃度アルゴンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03164410A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5601634A (en) * | 1993-09-30 | 1997-02-11 | The Boc Group, Inc. | Purification of fluids by adsorption |
JPH08165104A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-25 | Kanebo Ltd | 高純度酸素ガスの分離法 |
KR20020051314A (ko) * | 2000-12-22 | 2002-06-29 | 이구택 | 활성탄을 이용한 고순도 아르곤가스 정제방법 |
TWI476038B (zh) * | 2010-02-10 | 2015-03-11 | Sumitomo Seika Chemicals | 氬氣之純化方法及純化裝置 |
TWI478761B (zh) * | 2010-02-25 | 2015-04-01 | Sumitomo Seika Chemicals | 氬氣之純化方法及純化裝置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5252181A (en) * | 1975-07-17 | 1977-04-26 | Boc Ltd | Method and apparatus for separating gaseous mixtures |
JPS52122273A (en) * | 1976-02-27 | 1977-10-14 | Boc Ltd | Method and apparatus for increasing ratio of ingredient gas |
JPS58167411A (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-03 | Nippon Sanso Kk | アルゴンの製造方法 |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP2203036A patent/JPH03164410A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5252181A (en) * | 1975-07-17 | 1977-04-26 | Boc Ltd | Method and apparatus for separating gaseous mixtures |
JPS52122273A (en) * | 1976-02-27 | 1977-10-14 | Boc Ltd | Method and apparatus for increasing ratio of ingredient gas |
JPS58167411A (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-03 | Nippon Sanso Kk | アルゴンの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03164410A (ja) | 1991-07-16 |
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