JPH05253461A - 薬液圧送装置 - Google Patents
薬液圧送装置Info
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- JPH05253461A JPH05253461A JP8628792A JP8628792A JPH05253461A JP H05253461 A JPH05253461 A JP H05253461A JP 8628792 A JP8628792 A JP 8628792A JP 8628792 A JP8628792 A JP 8628792A JP H05253461 A JPH05253461 A JP H05253461A
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- Japan
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- cylinder
- chemical liquid
- valve
- suction
- pipe
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メンテナンスフリーで長期の使用に耐え、液
の漏れ出しを皆無とする薬液の圧送装置を提供する。 【構成】 密閉筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐出口２、送
気口３を設け、吸入口１に逆止弁４を設ける。送気口３
を、吸気管６により、開閉弁Ｖ１を介して負圧発生器Ｇ
に接続すると共に、送気管７により、開閉弁Ｖ２を介し
て送気源Ｂに接続する。筒Ｔには、薬液の上限または下
限を検知するための上限センサＳｈ及び下限センサＳｌ
を付設する。吸入口１には、薬液吸入管８を接続し、吐
出口２には、逆止弁１０を介して薬液吐出管９を接続す
る。筒Ｔ、吸入管８、吐出管９を、テフロンにて、溶着
して一体に構成する。弁Ｖ１，Ｖ２は、コントローラに
より制御し、弁Ｖ１（開）、弁Ｖ２（閉）として薬液吸
入行程を行ない、薬液上限センサＳｈからの信号を受け
て、弁Ｖ１（閉）、弁Ｖ２（開）として薬液吐出行程に
進行し、薬液下限センサＳｌからの信号を受けて再び薬
液吸入行程に戻る。
の漏れ出しを皆無とする薬液の圧送装置を提供する。 【構成】 密閉筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐出口２、送
気口３を設け、吸入口１に逆止弁４を設ける。送気口３
を、吸気管６により、開閉弁Ｖ１を介して負圧発生器Ｇ
に接続すると共に、送気管７により、開閉弁Ｖ２を介し
て送気源Ｂに接続する。筒Ｔには、薬液の上限または下
限を検知するための上限センサＳｈ及び下限センサＳｌ
を付設する。吸入口１には、薬液吸入管８を接続し、吐
出口２には、逆止弁１０を介して薬液吐出管９を接続す
る。筒Ｔ、吸入管８、吐出管９を、テフロンにて、溶着
して一体に構成する。弁Ｖ１，Ｖ２は、コントローラに
より制御し、弁Ｖ１（開）、弁Ｖ２（閉）として薬液吸
入行程を行ない、薬液上限センサＳｈからの信号を受け
て、弁Ｖ１（閉）、弁Ｖ２（開）として薬液吐出行程に
進行し、薬液下限センサＳｌからの信号を受けて再び薬
液吸入行程に戻る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造工程
において、ウエハの処理に用いられる高温で侵食性の強
い薬液を圧送するための装置に関するものである。
において、ウエハの処理に用いられる高温で侵食性の強
い薬液を圧送するための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程において、ウエハの処理
に用いられる高温で侵食性の強い薬液を圧送するための
ポンプが、実開昭６２−１４３０８４号公報及び特開平
２−６１３７７号公報に開示されている。前者では、樹
脂製の本体をステンレス板で補強し、かつその補強を３
次元方向に有効なものとしている。ただし、本体も補強
も各部材をボルト締めする構造である。しかし、ポンプ
は運転時と休止時とで温度差が１５０℃前後あり、各部
材が膨張、収縮を繰り返すので、１〜６ヵ月間には接続
部からの薬液の漏れを避けがたい。後者は、ベローズの
伸縮で室内容積を変化させ、これによって薬液の吸入、
吐出を行なわせるものであるが、比較的軟質のテフロン
で薄いベローズを作成するので、高温下の反復使用では
同じく数ヵ月の耐用期間である。ウエハ洗浄の場合は、
リン酸、硝酸、フッ酸等の酸性液を用いるので、漏れた
液は機器を汚損する。
に用いられる高温で侵食性の強い薬液を圧送するための
ポンプが、実開昭６２−１４３０８４号公報及び特開平
２−６１３７７号公報に開示されている。前者では、樹
脂製の本体をステンレス板で補強し、かつその補強を３
次元方向に有効なものとしている。ただし、本体も補強
も各部材をボルト締めする構造である。しかし、ポンプ
は運転時と休止時とで温度差が１５０℃前後あり、各部
材が膨張、収縮を繰り返すので、１〜６ヵ月間には接続
部からの薬液の漏れを避けがたい。後者は、ベローズの
伸縮で室内容積を変化させ、これによって薬液の吸入、
吐出を行なわせるものであるが、比較的軟質のテフロン
で薄いベローズを作成するので、高温下の反復使用では
同じく数ヵ月の耐用期間である。ウエハ洗浄の場合は、
リン酸、硝酸、フッ酸等の酸性液を用いるので、漏れた
液は機器を汚損する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、ほ
とんどメンテナンスフリーで長期の使用に耐え、液の漏
れ出しを皆無とする薬液の圧送装置を提供することを課
題としている。
とんどメンテナンスフリーで長期の使用に耐え、液の漏
れ出しを皆無とする薬液の圧送装置を提供することを課
題としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を解決するため、密閉筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐
出口２及び正圧または負圧を導く送気口３を設けると共
に、吸入口１に逆止弁４を設け、吸気管６により開閉弁
Ｖ１を介して送気口３を負圧発生器Ｇに接続し、また送
気管７により開閉弁Ｖ２を介して送気口３を送気源Ｂに
接続し、筒Ｔには、これに吸入された薬液の上限または
下限を検知するための上限センサＳｈ及び下限センサＳ
ｌを付設し、吸入口１には、薬液槽のような薬液の移送
元設備に接続された薬液吸入管８を接続し、吐出口２に
は、逆止弁１０を介して濾過装置のような所要の移送先
設備につながる薬液吐出管９を接続し、かつ筒Ｔ、吸入
管８及び吐出管９を、テフロン等の耐薬液性の素材に
て、溶着等の方法で一体に構成し、コントローラによ
り、開閉弁Ｖ１（開）、開閉弁Ｖ２（閉）で薬液吸入行
程を行ない、筒Ｔ内の薬液が上限に達したときに上限セ
ンサＳｈから送出される信号を受けて、開閉弁Ｖ１
（閉）、開閉弁Ｖ２（開）として薬液吐出行程に進行
し、筒Ｔ内の薬液が下限に達したときに下限センサＳｌ
から送出される信号を受けて再び薬液吸入行程に戻って
吐出行程、吸入行程を繰り返すように開閉弁Ｖ１，Ｖ２
を制御するようにした。
課題を解決するため、密閉筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐
出口２及び正圧または負圧を導く送気口３を設けると共
に、吸入口１に逆止弁４を設け、吸気管６により開閉弁
Ｖ１を介して送気口３を負圧発生器Ｇに接続し、また送
気管７により開閉弁Ｖ２を介して送気口３を送気源Ｂに
接続し、筒Ｔには、これに吸入された薬液の上限または
下限を検知するための上限センサＳｈ及び下限センサＳ
ｌを付設し、吸入口１には、薬液槽のような薬液の移送
元設備に接続された薬液吸入管８を接続し、吐出口２に
は、逆止弁１０を介して濾過装置のような所要の移送先
設備につながる薬液吐出管９を接続し、かつ筒Ｔ、吸入
管８及び吐出管９を、テフロン等の耐薬液性の素材に
て、溶着等の方法で一体に構成し、コントローラによ
り、開閉弁Ｖ１（開）、開閉弁Ｖ２（閉）で薬液吸入行
程を行ない、筒Ｔ内の薬液が上限に達したときに上限セ
ンサＳｈから送出される信号を受けて、開閉弁Ｖ１
（閉）、開閉弁Ｖ２（開）として薬液吐出行程に進行
し、筒Ｔ内の薬液が下限に達したときに下限センサＳｌ
から送出される信号を受けて再び薬液吸入行程に戻って
吐出行程、吸入行程を繰り返すように開閉弁Ｖ１，Ｖ２
を制御するようにした。
【０００５】
【作用】本発明の薬液圧送装置においては、開閉弁Ｖ１
（開）、開閉弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程において、筒
Ｔの送気口３が負圧発生器Ｇに連通し、送気口３から筒
Ｔ内の空気が排出されて負圧が生じ、吸入口１から筒Ｔ
内に薬液が吸入される。薬液が筒Ｔ内で上限に達する
と、上限センサＳｈがこれを検知して上限到達信号をコ
ントローラへ送出する。コントローラは、この信号を受
けて、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、開閉弁Ｖ１（閉）、
開閉弁Ｖ２（開）の薬液吐出行程に進行する。薬液吐出
行程において、筒Ｔと負圧発生器Ｇとの連通が開閉弁Ｖ
１によって断たれる一方、筒Ｔの送気口３が開閉弁Ｖ２
を介して送気源Ｂに連通し、送気口３から筒Ｔ内に空気
が圧送されて、筒Ｔ内の薬液が吐出口２から吐出管９へ
と押し出される。筒Ｔ内の薬液が下限に達すると、下限
センサＳｌがこれを検知して下限到達信号をコントロー
ラへ送出する。コントローラは、この信号を受けて、開
閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、再び開閉弁Ｖ１（開）、開閉
弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程に戻り、吸入行程と吐出行
程とを繰り返す。ベローズやダイヤフラム等の耐久性に
問題のある部材は用いられていないし、Ｏリングやボル
トを用いた部材の接合部がないので、長期にわたって液
漏れなく使用することができる。
（開）、開閉弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程において、筒
Ｔの送気口３が負圧発生器Ｇに連通し、送気口３から筒
Ｔ内の空気が排出されて負圧が生じ、吸入口１から筒Ｔ
内に薬液が吸入される。薬液が筒Ｔ内で上限に達する
と、上限センサＳｈがこれを検知して上限到達信号をコ
ントローラへ送出する。コントローラは、この信号を受
けて、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、開閉弁Ｖ１（閉）、
開閉弁Ｖ２（開）の薬液吐出行程に進行する。薬液吐出
行程において、筒Ｔと負圧発生器Ｇとの連通が開閉弁Ｖ
１によって断たれる一方、筒Ｔの送気口３が開閉弁Ｖ２
を介して送気源Ｂに連通し、送気口３から筒Ｔ内に空気
が圧送されて、筒Ｔ内の薬液が吐出口２から吐出管９へ
と押し出される。筒Ｔ内の薬液が下限に達すると、下限
センサＳｌがこれを検知して下限到達信号をコントロー
ラへ送出する。コントローラは、この信号を受けて、開
閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、再び開閉弁Ｖ１（開）、開閉
弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程に戻り、吸入行程と吐出行
程とを繰り返す。ベローズやダイヤフラム等の耐久性に
問題のある部材は用いられていないし、Ｏリングやボル
トを用いた部材の接合部がないので、長期にわたって液
漏れなく使用することができる。
【０００６】
【実施例】図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の薬液圧送装置を示す説明図、図２は本発
明の他の実施例の薬液圧送装置を示す説明図、図３は本
発明の他の実施例の薬液圧送装置の斜視図である。
図１は本発明の薬液圧送装置を示す説明図、図２は本発
明の他の実施例の薬液圧送装置を示す説明図、図３は本
発明の他の実施例の薬液圧送装置の斜視図である。
【０００７】図１において、密閉した縦長の筒Ｔは、耐
薬液性を有するテフロン製で、底部に薬液の吸入口１を
備え、下側部に薬液の吐出口２を備えると共に、頂部に
送気口３を備えている。吸入口１には逆止弁４が付設さ
れている。エア管５には、図において右側の送気源Ａか
ら圧縮空気が送入され、負圧発生器Ｇを介して左側へ放
出される。負圧発生器Ｇは、エア管５を経てこれを通過
する気流により、吸気管６側に負圧を発生させる。吸気
管６は、開閉弁Ｖ１を介して筒Ｔの送気口３に接続され
ている。送気管７には、図において右側の送気源Ｂから
圧縮空気が送入される。送気管７は、開閉弁Ｖ２を介し
て筒Ｔの送気口３に接続されている。筒Ｔの外側には、
筒Ｔ内に吸入される薬液の上限を検知するための上限セ
ンサＳｈと、筒Ｔから吐出される薬液の下限を検知する
ための下限センサＳｌが取付けられている。何れのセン
サＳｈ，Ｓｌも、静電容量型近接スイッチの名で市販さ
れている。薬液吸入管８は、図において右の一端側が、
図示しない薬液槽のような薬液の移送元に接続され、他
端側が筒Ｔの吸入口１に接続されている。吸入管８は、
テフロン製で、筒Ｔに溶着一体化されている。薬液吐出
管９は、一端側が筒Ｔの吐出口２に接続され、他端側
は、逆止弁１０を介して、図示しない濾過装置のような
所要の移送先設備に接続されている。吐出管９もテフロ
ン製で、筒Ｔに溶着一体化されている。
薬液性を有するテフロン製で、底部に薬液の吸入口１を
備え、下側部に薬液の吐出口２を備えると共に、頂部に
送気口３を備えている。吸入口１には逆止弁４が付設さ
れている。エア管５には、図において右側の送気源Ａか
ら圧縮空気が送入され、負圧発生器Ｇを介して左側へ放
出される。負圧発生器Ｇは、エア管５を経てこれを通過
する気流により、吸気管６側に負圧を発生させる。吸気
管６は、開閉弁Ｖ１を介して筒Ｔの送気口３に接続され
ている。送気管７には、図において右側の送気源Ｂから
圧縮空気が送入される。送気管７は、開閉弁Ｖ２を介し
て筒Ｔの送気口３に接続されている。筒Ｔの外側には、
筒Ｔ内に吸入される薬液の上限を検知するための上限セ
ンサＳｈと、筒Ｔから吐出される薬液の下限を検知する
ための下限センサＳｌが取付けられている。何れのセン
サＳｈ，Ｓｌも、静電容量型近接スイッチの名で市販さ
れている。薬液吸入管８は、図において右の一端側が、
図示しない薬液槽のような薬液の移送元に接続され、他
端側が筒Ｔの吸入口１に接続されている。吸入管８は、
テフロン製で、筒Ｔに溶着一体化されている。薬液吐出
管９は、一端側が筒Ｔの吐出口２に接続され、他端側
は、逆止弁１０を介して、図示しない濾過装置のような
所要の移送先設備に接続されている。吐出管９もテフロ
ン製で、筒Ｔに溶着一体化されている。
【０００８】しかして、いま開閉弁Ｖ１は（開）、開閉
弁Ｖ２は（閉）の薬液吸入行程にあるとすると、筒Ｔの
送気口３が負圧発生器Ｇに連通し、負圧発生器Ｇによる
負圧で送気口３から筒Ｔ内の空気が排出される。筒Ｔ内
には負圧が生じ、吸入口１から吸入管８、逆止弁４を介
して、薬液槽のような移送元設備から筒Ｔ内に薬液が吸
入される。薬液が筒Ｔ内で上限に達すると、上限センサ
Ｓｈがこれを検知して、上限到達信号を図示しないコン
トローラへ送出する。コントローラは、この信号を受け
て、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、開閉弁Ｖ１を閉じ、開
閉弁Ｖ２を開いて薬液吐出行程に進行する。薬液吐出行
程において、筒Ｔと負圧発生器Ｇとの連通が開閉弁Ｖ１
によって断たれる一方、筒Ｔの送気口３が開閉弁Ｖ２を
介して送気源Ｂに連通する。送気口３から筒Ｔ内に空気
が圧送されて、筒Ｔ内の薬液が吐出口２から吐出管９へ
と押し出され、逆止弁１０を介して濾過装置のような移
送先設備へ送られる。筒Ｔ内の薬液が下限に達すると、
下限センサＳｌがこれを検知して下限到達信号をコント
ローラへ送出する。コントローラは、この信号を受け
て、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、再び開閉弁Ｖ１
（開）、開閉弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程に戻り、吸入
行程と吐出行程とを繰り返す。ベローズやダイヤフラム
等の耐久性に問題のある部材は用いられていない。筒Ｔ
並びに、筒Ｔと吸入管８及び吐出管９は、耐薬液性に優
れたテフロンにて構成され、各部材は、溶接等の方法で
一体化されており、Ｏリングやボルトを用いた液漏れの
おそれある接合部はない。薬液に触れる部位はすべてテ
フロンにて構成されていることになる。各部は可撓性を
要求されないから、十分な肉厚を持たせることができ
る。
弁Ｖ２は（閉）の薬液吸入行程にあるとすると、筒Ｔの
送気口３が負圧発生器Ｇに連通し、負圧発生器Ｇによる
負圧で送気口３から筒Ｔ内の空気が排出される。筒Ｔ内
には負圧が生じ、吸入口１から吸入管８、逆止弁４を介
して、薬液槽のような移送元設備から筒Ｔ内に薬液が吸
入される。薬液が筒Ｔ内で上限に達すると、上限センサ
Ｓｈがこれを検知して、上限到達信号を図示しないコン
トローラへ送出する。コントローラは、この信号を受け
て、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、開閉弁Ｖ１を閉じ、開
閉弁Ｖ２を開いて薬液吐出行程に進行する。薬液吐出行
程において、筒Ｔと負圧発生器Ｇとの連通が開閉弁Ｖ１
によって断たれる一方、筒Ｔの送気口３が開閉弁Ｖ２を
介して送気源Ｂに連通する。送気口３から筒Ｔ内に空気
が圧送されて、筒Ｔ内の薬液が吐出口２から吐出管９へ
と押し出され、逆止弁１０を介して濾過装置のような移
送先設備へ送られる。筒Ｔ内の薬液が下限に達すると、
下限センサＳｌがこれを検知して下限到達信号をコント
ローラへ送出する。コントローラは、この信号を受け
て、開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御し、再び開閉弁Ｖ１
（開）、開閉弁Ｖ２（閉）の薬液吸入行程に戻り、吸入
行程と吐出行程とを繰り返す。ベローズやダイヤフラム
等の耐久性に問題のある部材は用いられていない。筒Ｔ
並びに、筒Ｔと吸入管８及び吐出管９は、耐薬液性に優
れたテフロンにて構成され、各部材は、溶接等の方法で
一体化されており、Ｏリングやボルトを用いた液漏れの
おそれある接合部はない。薬液に触れる部位はすべてテ
フロンにて構成されていることになる。各部は可撓性を
要求されないから、十分な肉厚を持たせることができ
る。
【０００９】図２、図３を参照して本発明の他の実施例
を説明する。この実施例では、図１の実施例の薬液圧送
装置を、薬液の移送元設備と移送先設備との間に、３つ
並列に設けた。そして、これらの薬液圧送装置を、コン
トローラにより、順次連続的に動作させるように構成し
た。なお、図２において、図１と同一符号は同一構成部
を示すものとし、具体的説明を省略する。
を説明する。この実施例では、図１の実施例の薬液圧送
装置を、薬液の移送元設備と移送先設備との間に、３つ
並列に設けた。そして、これらの薬液圧送装置を、コン
トローラにより、順次連続的に動作させるように構成し
た。なお、図２において、図１と同一符号は同一構成部
を示すものとし、具体的説明を省略する。
【００１０】この実施例において、いま、予備運転が済
み、筒Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３の何れにも薬液が満たされ、吸
入行程が完了した状態で待機しているものとする。この
状態から運転を開始すると、開閉弁Ｖ２ａは（開）、開
閉弁Ｖ１ａ、その他の開閉弁Ｖ１ｂ，Ｖ１ｃ，Ｖ２ｂ，
Ｖ２ｃはすべて（閉）で、筒Ｔ１内に空気が圧送され
て、筒Ｔ１内の薬液が吐出管９へと押し出され、筒Ｔ内
の薬液が下限に達すると、下限センサＳｌ１がこれを検
知して下限到達信号を図示しないコントローラへ送出す
る。コントローラは、この信号を受けて、開閉弁Ｖ１ａ
を開き、開閉弁Ｖ２ａを閉じ筒Ｔ１の薬液吸入行程に戻
ると同時に、開閉弁Ｖ２ｂを開いて筒Ｔ２の吐出行程に
入る。薬液が筒Ｔ１内で上限に達すると、上限センサＳ
ｈ１がこれを検知して、上限到達信号をコントローラへ
送出し、コントローラが開閉弁Ｖ１ａを閉じたところで
待機する。吐出行程にあった筒Ｔ２内の薬液が下限に達
すると、下限センサＳｌ２が下限到達信号をコントロー
ラへ送出する。コントローラは、この信号を受けて、開
閉弁Ｖ１ｂを開き、開閉弁Ｖ２ｂを閉じて、薬液吸入行
程に戻ると同時に、開閉弁Ｖ２ｃを開いて筒Ｔ３の吐出
行程に入る。薬液が筒Ｔ２内で上限に達すると、上限セ
ンサＳｈ２が上限到達信号をコントローラへ送出し、コ
ントローラが開閉弁Ｖ１ｂを閉じたところで待機する。
吐出行程にあった筒Ｔ３内の薬液が下限に達すると、下
限センサＳｌ３が下限到達信号をコントローラへ送出す
る。コントローラは、この信号を受けて、開閉弁Ｖ１ｃ
を開き、開閉弁Ｖ２ｃを閉じて、薬液吸入行程に戻ると
同時に、開閉弁Ｖ２ａを開いて筒Ｔ１の吐出行程に入
る。薬液が筒Ｔ３内で上限に達すると、上限センサＳｈ
３が上限到達信号をコントローラへ送出し、コントロー
ラが開閉弁Ｖ１ｃを閉じたところで待機する。筒Ｔ１内
の薬液が下限に達すると、下限センサＳｌ１が下限到達
信号をコントローラへ送出する。コントローラは、この
信号を受けて、開閉弁Ｖ１ａを開き、開閉弁Ｖ２ａを閉
じて、薬液吸入行程に移ると同時に、開閉弁Ｖ２ｂを開
いて筒Ｔ２の吐出行程に入る。薬液が筒Ｔ１内で上限に
達すると、上限センサＳｈ１が上限到達信号をコントロ
ーラへ送出し、コントローラが開閉弁Ｖ１ａを閉じたと
ころで待機する。これで１サイクルが完了し、このサイ
クルを繰り返して、順次連続的に筒Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３か
ら薬液を送出する。そして、運転停止時には、３つの筒
Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３共、薬液吸入行程が完了し、開閉弁Ｖ
１ａ，Ｖ１ｂ，Ｖ１ｃを閉じたところで待機する。図１
の単一筒Ｔの場合、吐出液は脈流となるが、この実施例
の場合には、３つの筒Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３の並設により、
脈流でなく連続流に近いものを吐出することができ、当
然吐出容量が大きくなる。
み、筒Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３の何れにも薬液が満たされ、吸
入行程が完了した状態で待機しているものとする。この
状態から運転を開始すると、開閉弁Ｖ２ａは（開）、開
閉弁Ｖ１ａ、その他の開閉弁Ｖ１ｂ，Ｖ１ｃ，Ｖ２ｂ，
Ｖ２ｃはすべて（閉）で、筒Ｔ１内に空気が圧送され
て、筒Ｔ１内の薬液が吐出管９へと押し出され、筒Ｔ内
の薬液が下限に達すると、下限センサＳｌ１がこれを検
知して下限到達信号を図示しないコントローラへ送出す
る。コントローラは、この信号を受けて、開閉弁Ｖ１ａ
を開き、開閉弁Ｖ２ａを閉じ筒Ｔ１の薬液吸入行程に戻
ると同時に、開閉弁Ｖ２ｂを開いて筒Ｔ２の吐出行程に
入る。薬液が筒Ｔ１内で上限に達すると、上限センサＳ
ｈ１がこれを検知して、上限到達信号をコントローラへ
送出し、コントローラが開閉弁Ｖ１ａを閉じたところで
待機する。吐出行程にあった筒Ｔ２内の薬液が下限に達
すると、下限センサＳｌ２が下限到達信号をコントロー
ラへ送出する。コントローラは、この信号を受けて、開
閉弁Ｖ１ｂを開き、開閉弁Ｖ２ｂを閉じて、薬液吸入行
程に戻ると同時に、開閉弁Ｖ２ｃを開いて筒Ｔ３の吐出
行程に入る。薬液が筒Ｔ２内で上限に達すると、上限セ
ンサＳｈ２が上限到達信号をコントローラへ送出し、コ
ントローラが開閉弁Ｖ１ｂを閉じたところで待機する。
吐出行程にあった筒Ｔ３内の薬液が下限に達すると、下
限センサＳｌ３が下限到達信号をコントローラへ送出す
る。コントローラは、この信号を受けて、開閉弁Ｖ１ｃ
を開き、開閉弁Ｖ２ｃを閉じて、薬液吸入行程に戻ると
同時に、開閉弁Ｖ２ａを開いて筒Ｔ１の吐出行程に入
る。薬液が筒Ｔ３内で上限に達すると、上限センサＳｈ
３が上限到達信号をコントローラへ送出し、コントロー
ラが開閉弁Ｖ１ｃを閉じたところで待機する。筒Ｔ１内
の薬液が下限に達すると、下限センサＳｌ１が下限到達
信号をコントローラへ送出する。コントローラは、この
信号を受けて、開閉弁Ｖ１ａを開き、開閉弁Ｖ２ａを閉
じて、薬液吸入行程に移ると同時に、開閉弁Ｖ２ｂを開
いて筒Ｔ２の吐出行程に入る。薬液が筒Ｔ１内で上限に
達すると、上限センサＳｈ１が上限到達信号をコントロ
ーラへ送出し、コントローラが開閉弁Ｖ１ａを閉じたと
ころで待機する。これで１サイクルが完了し、このサイ
クルを繰り返して、順次連続的に筒Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３か
ら薬液を送出する。そして、運転停止時には、３つの筒
Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３共、薬液吸入行程が完了し、開閉弁Ｖ
１ａ，Ｖ１ｂ，Ｖ１ｃを閉じたところで待機する。図１
の単一筒Ｔの場合、吐出液は脈流となるが、この実施例
の場合には、３つの筒Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３の並設により、
脈流でなく連続流に近いものを吐出することができ、当
然吐出容量が大きくなる。
【００１１】なお、本発明は図示の実施例に限定される
ものではなく、例えば、筒Ｔの数は任意であるし、適用
する薬液に応じて筒Ｔ、吸入管８、吐出管９の材質を適
宜選択することができる。テフロン以外に、例えば石英
で構成することができ、この場合には、各部を溶接によ
り一体に構成する。
ものではなく、例えば、筒Ｔの数は任意であるし、適用
する薬液に応じて筒Ｔ、吸入管８、吐出管９の材質を適
宜選択することができる。テフロン以外に、例えば石英
で構成することができ、この場合には、各部を溶接によ
り一体に構成する。
【００１２】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、密閉
筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐出口２及び正圧または負圧
を導く送気口３を設けると共に、吸入口１に逆止弁４を
設け、吸気管６により開閉弁Ｖ１を介して送気口３を負
圧発生器Ｇに接続し、また送気管７により開閉弁Ｖ２を
介して送気口３を送気源Ｂに接続し、筒Ｔには、これに
吸入された薬液の上限または下限を検知するための上限
センサＳｈ及び下限センサＳｌを付設し、吸入口１に
は、薬液槽のような薬液の移送元設備に接続された薬液
吸入管８を接続し、吐出口２には、逆止弁１０を介して
濾過装置のような所要の移送先設備につながる薬液吐出
管９を接続し、かつ筒Ｔ、吸入管８及び吐出管９を、テ
フロン等の耐薬液性の素材にて、溶着等の方法で一体に
構成し、コントローラにより、開閉弁Ｖ１（開）、開閉
弁Ｖ２（閉）で薬液吸入行程を行ない、筒Ｔ内の薬液が
上限に達したときに上限センサＳｈから送出される信号
を受けて、開閉弁Ｖ１（閉）、開閉弁Ｖ２（開）として
薬液吐出行程に進行し、筒Ｔ内の薬液が下限に達したと
きに下限センサＳｌから送出される信号を受けて再び薬
液吸入行程に戻って吐出行程、吸入行程を繰り返すよう
に開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御するため、ベローズやダイヤ
フラム等の耐久性に問題のある部材は用いられていない
し、Ｏリングやボルトを用いた部材の接合部がないの
で、長期にわたって液漏れなく使用することができる。
筒Ｔに、薬液の吸入口１、吐出口２及び正圧または負圧
を導く送気口３を設けると共に、吸入口１に逆止弁４を
設け、吸気管６により開閉弁Ｖ１を介して送気口３を負
圧発生器Ｇに接続し、また送気管７により開閉弁Ｖ２を
介して送気口３を送気源Ｂに接続し、筒Ｔには、これに
吸入された薬液の上限または下限を検知するための上限
センサＳｈ及び下限センサＳｌを付設し、吸入口１に
は、薬液槽のような薬液の移送元設備に接続された薬液
吸入管８を接続し、吐出口２には、逆止弁１０を介して
濾過装置のような所要の移送先設備につながる薬液吐出
管９を接続し、かつ筒Ｔ、吸入管８及び吐出管９を、テ
フロン等の耐薬液性の素材にて、溶着等の方法で一体に
構成し、コントローラにより、開閉弁Ｖ１（開）、開閉
弁Ｖ２（閉）で薬液吸入行程を行ない、筒Ｔ内の薬液が
上限に達したときに上限センサＳｈから送出される信号
を受けて、開閉弁Ｖ１（閉）、開閉弁Ｖ２（開）として
薬液吐出行程に進行し、筒Ｔ内の薬液が下限に達したと
きに下限センサＳｌから送出される信号を受けて再び薬
液吸入行程に戻って吐出行程、吸入行程を繰り返すよう
に開閉弁Ｖ１，Ｖ２を制御するため、ベローズやダイヤ
フラム等の耐久性に問題のある部材は用いられていない
し、Ｏリングやボルトを用いた部材の接合部がないの
で、長期にわたって液漏れなく使用することができる。
【図１】本発明の薬液圧送装置を示す説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の薬液圧送装置を示す説明
図である。
図である。
【図３】本発明の他の実施例の薬液圧送装置の斜視図で
ある。
ある。
１ 吸入口 ２ 吐出口 ３ 送気口 ４ 逆止弁 ６ 吸気管 ７ 送気管 ８ 薬液吸入管 ９ 薬液吐出管 Ｂ 送気源 Ｇ 負圧発生器 Ｓｈ 上限センサ Ｓｈ１ 上限センサ Ｓｈ２ 上限センサ Ｓｈ３ 上限センサ Ｓｌ 下限センサ Ｓｌ１ 下限センサ Ｓｌ２ 下限センサ Ｓｌ３ 下限センサ Ｔ 筒 Ｔ１ 筒 Ｔ２ 筒 Ｔ３ 筒 Ｖ１ 開閉弁 Ｖ１ａ 開閉弁 Ｖ１ｂ 開閉弁 Ｖ１ｃ 開閉弁 Ｖ２ 開閉弁 Ｖ２ａ 開閉弁 Ｖ２ｂ 開閉弁 Ｖ２ｃ 開閉弁
Claims (2)
- 【請求項１】 薬液の吸入口、吐出口及び薬液を吸入、
吐出させるための空気を導く送気口を有すると共に、吸
入口に第１の逆止弁を備えた密閉筒と、 第１の開閉弁を介して前記筒の送気口と負圧発生器とを
接続する吸気管と、 第２の開閉弁を介して前記筒の送気口と送気源とを接続
する送気管と、 前記筒内に吸入された薬液の上限を検知するために、筒
に付設された上限センサと、 前記筒から吐出される薬液の下限を検知するために、筒
に付設された下限センサと、 一端側が薬液の移送元に接続され、他端側が前記筒の吸
入口に接続された薬液吸入管と、 一端側が前記筒の吐出口に接続され、他端側は、第２の
逆止弁を介して所要の移送先設備に接続される薬液吐出
管と、 前記第１の開閉弁（開）、第２の開閉弁（閉）で筒内へ
の薬液吸入行程を行ない、筒内の薬液が上限に達したと
きに前記上限センサから送出される信号を受けて、第１
の開閉弁（閉）、第２の開閉弁（開）として筒内の薬液
吐出行程を行ない、筒内の薬液が下限に達したときに前
記下限センサから送出される信号を受けて再び前記薬液
吸入行程に戻って吐出行程、吸入行程を繰り返すように
第１及び第２の開閉弁を制御するコントローラとを具備
し、 前記筒、吸入管及び吐出管が、耐薬液性の素材にて一体
に構成されていることを特徴とする薬液圧送装置。 - 【請求項２】 前記薬液の移送元設備と移送先設備との
間に、請求項１に記載の薬液圧送装置を複数並列に設
け、これらの薬液圧送装置を、コントローラにより、順
次連続的に動作させるように構成したことを特徴とする
薬液圧送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8628792A JPH05253461A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 薬液圧送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8628792A JPH05253461A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 薬液圧送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253461A true JPH05253461A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=13882625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8628792A Pending JPH05253461A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 薬液圧送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253461A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000015082A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kanto Chem Co Inc | 安全検出型薬液供給装置 |
| WO2002020123A1 (fr) * | 2000-09-05 | 2002-03-14 | Japan Field Co., Ltd. | Procede et dispositif de filtration de fluide residuaire |
| JP2008539078A (ja) * | 2005-04-25 | 2008-11-13 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム |
| US9079758B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-07-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
| JP2016097186A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社タカゾノテクノロジー | 蒸気滅菌器 |
| JP2016097188A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社タカゾノテクノロジー | 蒸気滅菌器 |
| JP2016097187A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社タカゾノテクノロジー | 蒸気滅菌器 |
| JP2020534935A (ja) * | 2017-09-27 | 2020-12-03 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＭｅｒｃｋ Ｐａｔｅｎｔ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍｉｔ ｂｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | 消毒アセンブリおよび方法 |
-
1992
- 1992-03-10 JP JP8628792A patent/JPH05253461A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9073028B2 (en) | 2005-04-25 | 2015-07-07 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
| US9802749B2 (en) | 2005-04-25 | 2017-10-31 | Entegris, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
| US9079758B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-07-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
| US9802808B2 (en) | 2005-06-06 | 2017-10-31 | Entegris, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
| JP2016097186A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社タカゾノテクノロジー | 蒸気滅菌器 |
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