JPH0524445B2 - - Google Patents

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JPH0524445B2
JPH0524445B2 JP59012764A JP1276484A JPH0524445B2 JP H0524445 B2 JPH0524445 B2 JP H0524445B2 JP 59012764 A JP59012764 A JP 59012764A JP 1276484 A JP1276484 A JP 1276484A JP H0524445 B2 JPH0524445 B2 JP H0524445B2
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JP
Japan
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signal
signals
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output
encoder
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JP59012764A
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JPS60157014A (ja
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Fumio Ootomo
Takashi Taniguchi
Juji Fukuroda
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Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
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Publication date
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Priority to JP1276484A priority Critical patent/JPS60157014A/ja
Publication of JPS60157014A publication Critical patent/JPS60157014A/ja
Publication of JPH0524445B2 publication Critical patent/JPH0524445B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404Interpolation using high frequency signals

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は、エンコーダ読取信号の内挿方法およ
び装置に関する。殊に、本発明は、エンコーダか
ら得られる少くとも2つの周期的波形信号をもと
に高分解能の測定を可能にする内挿方法および装
置に関する。 (従来技術) 測長あるいは測角のための器械において自動読
取を行うためのエンコーダは、検出部から位相が
90°異なる正弦波に近い2つの信号を発生する。
そして、エンコーダの演算処理部では、この2つ
の信号の組合せて種々の位相の信号を形成し、そ
れらの信号がゼロになる点を計数することにより
基準位置からの変位量を得ている。この方法で
は、測定の精度すなわち分解能は、信号の数を増
加させることにより高められるのであるが、現実
にはゼロ値検出回路のオフセツト電圧あるいはド
リフトなどのために分解能を大巾に高めることが
できない。 (発明の目的) 本発明は、従来の方法におけるような制約がな
く、分解能を飛躍的に高めることができるような
エンコーダ読取信号の内挿方法および装置を提供
することを目的とする。 (発明の構成) 本発明は、位置変化に応じてエンコーダ検出部
から得られる、互いに位相の異る複数の周期的波
形信号により移動位置を検出するエンコーダの読
取信号の内挿方法において、前記周期的波形信号
の一つを基準信号として選び、前記周期的波形信
号の各々の値がゼロとなる点によつて前記基準信
号の一周期を複数の内挿区間に分割するととも
に、各内挿区間で同方向になるべき2つの信号を
対とし、この対なる2つの信号の正負状態を検出
することにより前記基準信号の一周期の始点から
前記測定点を含む内挿区間までの内挿区間数NP
を判別し、前記測定点における上記同方向に変化
する2つの信号の値XP,YPと、前記内挿区間を
エンコーダの位置変化量で示される量αと前記基
準信号の一周期の始点から前記測定点の位置を、 式B=〔{XP/(XP−YP)}+NP〕・α に基づく演算を行なつて求めることを特徴とする
エンコーダ読取信号の内挿方法である。 本発明はまた、位相が互いに90°異なる、2つ
の周期的に変動するエンコーダ読取信号をもとに
移動位置を検出するエンコーダ読取信号の内挿装
置において、前記2つの信号のうちの少なくとも
一方の信号を基準信号とし該基準信号に対し180°
位相の異なる信号を得る信号形成手段と、前記信
号の各々がゼロになる点によつて前記信号の一周
期を分割した複数の内挿区間のうちの測定点を含
む内挿区間において一方が正で一方が負でありか
つほぼ同一方向に変化する2つの信号のうちの一
方の信号の値から他方の信号の値を減じて減算信
号を発生する減算手段と、前記一方の信号の値を
前記減算信号で割り除算信号を発生する除算手段
と、前記除算信号にあらかじめ定められた係数を
掛けて内挿結果を得る乗算手段とからなることを
特徴とするエンコーダ読取信号の内挿装置であ
る。 (発明の効果) 本発明においては、複数の信号のゼロ点により
分割される内挿区間において、測定点の位置が、
その内挿区間で選ばれる2つの信号の値を基にし
た比例演算式により算出されるので、従来のよう
に信号のゼロ点の計数を行なうものに比し、分解
能を大巾に高めることができる。 (実施例の説明) 以下、本発明の実施例を図について説明する。 <内挿の原理> 上位測定 エンコーダの検出部は、従来の装置と同様に位
相が90°異る2つの正弦波に近い波形の信号を発
生する。そのうち一つの信号波形について、測定
点までの波形の数を数えることにより、上位測定
を行う。 中位測定 測定点を含む一周期を複数の内挿区間に分割
し、測定点が含まれる内挿区間を検出する。この
ためには、エンコーダの検出部が発生する2つの
信号波形と、これら信号波形の一方の反転信号が
用いられる。第1図に、エンコーダ検出部の信号
波形およびその反転信号を三角波に近似して示
す。図において、エンコーダ検出部の出力信号は
a,bで示され、信号aの反転信号がで示され
る。信号a,bのゼロクロス点a0,b0,a1,b1
a2により、測定点を含む一周期が4個の内挿区間
0、1、2、3に分割される。後述するように、
エンコーダ検出部からの信号によりさらに多くの
仮想信号を形成すると、内挿区間はもつと細かく
分割できる。 このようにして分割された内挿区間のうち、ど
の内挿区間に測定点pが含まれているかを検出す
ることにより、中位測定が行われる。このため
に、各内挿区間を決める2つの信号を対として順
次選択(以下これを走査という)し、一方が正で
他方が負になるまでの走査回数nを得、測定点p
が含まれる内挿区間の番号NP(信号aのゼロクロ
ス点a0から測定点pを含む内挿区間までの内挿区
間の個数を意味する)を求める。たとえば、第1
図の例では、次表のような信号組合せと走査回数
が得られる。 X信号 Y信号 走査回数 a b 0 b 1 信号組合せが三通のばあいには、3番目に発生す
る信号組合せの走査回数には2とし、信号組合せ
が四通のばあいには、3番目および4番目に発生
する信号組合せの走査回数nは、それぞれ2およ
び3とする。このようにして得られる走査回数n
から、測定点pを含む内挿区間NPを演算する。
すなわち、内挿区間を決める一対の信号のうち、
位相が進んだ方の信号をX信号とし、遅れた方の
信号をY信号として、X信号が正でY信号が負の
ばあいにはNP=nにより、またX信号が負でY
信号が正のばあいにはNP=n+NM/2(ただし
NMは一周期内の内挿区間の数)により内挿区間
番号NPを得ることができる。たとえば、第1図
の測定点pの場合、X信号をa,Y信号をbに選
択した時、すなわち走査回数n=0の時はX信号
は正、Y信号は負の信号が得られる。従つてNP
=n=0となる。また測定点がp′の位置にある場
合は、X信号をb,Y信号をと選択した時、す
なわち走査回数n=1の時はX信号に負、Y信号
に正の信号が得られる。従つて内挿区間番号NP
はNP=n+4/2=3となる。但しここではNM= 4としている。 下位測定 中位測定において分割された内挿区間のうち、
測定点が含まれる内挿区間において、該測定点が
どの位置にあるかを知ることにより、内挿の行わ
れる一周期の中での測定点の位置を高分解能で検
出するものである。一つの内挿区間の大きさをエ
ンコーダの回転角また移動量で示した値をαとす
ると、測定点を含む内挿区間の始点は、内挿が行
われる一周期の始点a0からαNPだけ離れた位置に
ある。そして、測定点を含む内挿区間において、
中位測定の項で述べたようにして選ばれる2つの
信号すなわちX信号、Y信号はほぼ平行である、
と考えてよいから、内挿区間の始点から測定点ま
での回転角または移動量lは、次式で表すことが
できる。 l=XP/XP−YPα ……(1) ここに、XP、YPはX信号およびY信号の測定
点pにおける値とする。 したがつて、内挿の行われる一周期の始点a0
ら測定点pまでの回転角または移動量βは、次式
で表される。 β=(XP/XP−YP+NP)α ……(2) 仮想信号 実際のエンコーダでは、光の回折現象や平行光
以外の光による影響などにより理想的な三角波は
得られない。そして、これらの影響が大きければ
大きいほど波形が正弦波に近づく、このため、ゼ
ロクロス点近傍を除いて直線性がくずれるので、
2つの波形を合成して仮想の信号を作り、これら
の信号のうちゼロクロス点近傍のもののみを使う
ようにすることが望ましい。一般に、エンコーダ
検出部からは90°異なる2つの信号が出力され、 a=A・sin θ+Oa b=B・sin(θ−π/2)+Ob ……(3) で表される。ここでA>O,B>Oであり、Oa
とObは信号a,bそれぞれのゼロレベルのオフ
セツト値を示し、ここではOa=Ob=Oとする。
2つの信号を合成した信号iは、 i=aKa+bKb=KaA・sin θ+KbB・sin(θ−π/2
)……(4) で表される。ここで、Ka,Kbは2つの信号a,
bを加える時の割合を定める係数である。 (4)式は次のように表される。 (5)式からKa,Kbを適当に設定することにより、
任意の正弦波を得ることが可能である、というこ
とが理解される。A=Bとし、 Ka,Kb
【式】に設定すると、(5)式から i=Asin(θ−π/4) ……(6) が得られ、また
【式】
【式】 i′=Asin(θ−3/4π) ……(7) が得られる。これらの波形を第2図に示す。 このような仮想信号を用いることにより、信号
の一周期をさらに細かな内挿区間に分割でき、直
線精度の高い信号部分のみを使用して内挿の精度
を高めることができる。 <振幅とゼロレベルの補正> すでに述べたとおり、内挿は2つの信号レベル
の検出により、行うものであり、2つの信号のゼ
ロレベルや両者の振幅の関係は常に一定であるこ
とが重要である。しかしながら、実際のエンコー
ダ検出部から得られる2つの信号は、発光ダイオ
ードの光量変化や温度変化にともなうゼロレベル
の変化すなわちドリフトとか移動板とステータ板
の間隔変化による振幅の変化などがあり、さらに
はパターンの不均一によるゼロレベルの変化や振
幅の変化を伴うのが普通である。したがつて、エ
ンコーダ検出部から得られる信号を用いて直線内
挿読取を行うと、それらゼロレベル変化や振幅変
化が影響して高精度な結果が得られなくなる恐れ
がある。したがつて、正確度が高い測定結果を得
るためには、信号の振幅とゼロレベルの補正を行
うことが必要である。 エンコーダ検出部から得られる二つの信号は、
いずれも正弦波に近い波形をもち、位相は互いに
90°だけ異なつているが、二つの信号がこのよう
な関係にあるばあい、一方の信号がゼロ値のとき
他方の信号は最大または最小の値すなわち極値を
とり、また各々の信号はゼロ値近傍で最大の変化
率を、極値近傍で最少の変化率を示すことにな
る。このような点に着目すると、互いの信号を利
用して各信号の極値を得ることが可能となる。さ
らに詳細に述べると、たとえば第2図において、
信号a,bはともに正弦波形であり、信号bは信
号aに対し位相が90°だけ遅れている。そして、
信号aのゼロクロス点a0においては信号bは最小
値となり、ゼロクロス点a1において最大値とな
る。同様に、信号bのゼロクロス点b0,b1におい
て信号aはそれぞれ最大値、最小値をとる。そこ
で、一方の信号のゼロクロス点を検出し、そのと
きの他方の信号の値をその信号の極値と考えてよ
い。このばあい、信号のゼロレベルの変動の影響
が入るが、信号の変化率は極値近傍で最小となる
ので、その誤差は極めて小さい。 第(3)式で示される信号a,bの極値をそれぞれ
anax、anio、bnax、bnioとすると、信号aの振幅A
とゼロレベルOaは、 A=anax−anio/2 ……(8) Oa=anax+anio/2 ……(9) で表され、また信号bの振幅BとゼロレベルOb
は、 B=bnax−bnio/2 ……(10) Ob=bnax+bnio/2 ……(11) で表される。したがつて、ゼロレベルの補正は、
信号aからOaを減じ、また信号bからObを減じ
ることで行えばよい。2つの信号の振幅バランス
の補正は、AとBの比からゼロレベルの補正され
た2つの信号の一方を補正する。つまり、信号
(b−Ob)にA/Bを乗じるか、あるいは信号
(a−Oa)にB/Aを乗じることにより補正を行
う。この補正の関係の式で示すと 又は、 となる。 このようにして補正された2つの信号a′,b′は
ゼロレベルが真の零となり、振幅がともにA,B
のいずれかになる。したがつて、ゼロレベルの変
化や振幅のバランス変化を有する2つの信号は、
補正後においてゼロレベルの変化がなく、また両
信号の振幅の関係が常に一定に保たれる。 <具体的な構成> 全体構成 第3図は本発明を実施した制御回路の一例を示
すものである。図示された制御回路は、測定部1
0、補正部20、仮想信号発生部30および内挿
部40からなる。 測定部10 測定部10は信号aを入力とする比較器CMP
1と信号bを入力する比較器CMP2を有する。
これら比較器CMP1,CMP2は第5図に示すよ
うに、それぞれの入力信号を、その信号のゼロク
ロス点に立ち上りあるいは立ち下りを有する矩形
波に変換する。比較器CMP1,CMP2の出力は
方向判別器RLに与えられる。方向判別器RLは比
較器CMP1,CMP2からの矩形波信号の位相関
係からエンコーダの移動方向あるいは回転方向が
右方向であるか、左方向であるかを判別し、たと
えば右方向であるばあいには出力端子UPに、左
方向であるばあいには出力端子DNに出力パルス
を発生する。方向判別器RLの出力は、比較器
CMP1,CMP2の出力である矩形波の一方、た
とえば位相が進んだ方の矩形波に対応したパルス
の形であり、この出力はアツプダウンカウンタ
UDCに入力され、パルス数が計数される。この
計数によりエンコーダの移動量が測定できる。ア
ツプダウンカウンタUDCの出力は制御部CTLに
与えられ、制御部CTLはカウンタUDCの出力を
回転角度あるいは直接移動量に換算しこれを後述
する内挿読取による演算結果と合成して表示部
DSPに表示する。 補正部20 補正部20は、信号aを入力とするサンプルホ
ールド回路SH1,SH2と、信号bを入力とする
サンプルホールド回路SH3,SH4を有する。さ
らに、測定部10の比較器CMP1の出力を受け
るパルス発生器POS1と比較器CMP2の出力を
受けるPOS2とが設けられる。このパルス発生
器は、第4図に示すようにエクスクルーシブオア
回路21を有し、このエクスクルージブオア回路
21の一方の入力端子には比較器の矩形波出力が
そのまま与えられ、他方の入力端子には比較器出
力が抵抗22を介して接続され、この抵抗22と
エクスクルーシブオア回路21の入力端子との接
続部はコンデンサ23を介して接地される。この
パルス発生器POS1,POS2は、比較器CMP1,
CMP2の出力の立ち上り点および立ち下り点で
立ち上るパルス出力を発生する。すなわち、パル
ス発生器POS1は信号aのゼロクロス点でパル
スを発生し、パルス発生器POS2は信号bのゼ
ロクロス点でパルスを発生する。 パルス発生器POS2の出力は、2個のアンド
ゲートA1,A2の各一方の入力端子に接続され
る。アンドゲートA1の他方の入力端子は比較器
CMP1の出力に接続され、アンドゲートA2の
他方の入力端子はインバータI1を介して比較器
CMP1の出力に接続される。したがつて、アン
ドゲートA1は、第5図示すように、信号bがゼ
ロクロス点にあるとき、すなわち信号aが極値と
なるときであつて、しかも信号aが正の値をとる
ときに出力を発生する。換言すれば、アンドゲー
トA1は、信号aが最大値をとるときに出力を発
生する。同様に、アンドゲートA2は、信号bが
最小値をとるときに出力を発生する(第5図)。
これらアンドゲートA1,A2の出力は、それぞ
れサンプルホールド回路SH1,SH2に入力され
る。 同様にして、パルス発生器POS1の出力は、
2個のアンドゲートA3,A4の各一方の入力端
子に接続され、アンドゲートA3の他方の入力端
子は直接に、アンドゲートA4の他方の入力端子
はインバータI2を介して、比較器CMP2の出
力にそれぞれ接続されている。アンドゲートA3
は信号bが最大値のときに、アンドゲートA4は
信号bが最小値のときに出力を発生する(第5
図)。そして、アンドゲートA3,A4の出力は、
それぞれサンプルホールド回路SH3,SH4に入
力される(第5図)。 サンプルホールド回路SH1は、アンドゲート
A1からパルスを受けたときに信号aをサンプル
し、パルス入力がない期間はサンプルされた信号
をそのままホールドする。したがつて、サンプル
ホールド回路SH1は、信号aのほぼ最大値すな
わち信号anaxを出力する。同様に、サンプルホー
ルド回路SH2は信号aのほぼ最小値である信号
anioを、サンプルホールド回路SH3,SH4は信
号bのほぼ最大値およびほぼ最小値であるbnax
bnioをそれぞれ出力する。このようにしてサンプ
ルされる信号の最大値および最小値は、信号のゼ
ロレベルの変動の影響を受けるので、真の最大値
および最小値とは異なるが、前述したように、極
値付近での信号レベルの変化率は非常に小さいの
で、その誤差は微少である。したがつて、以下の
説明では、このサンプルされた信号を最大値また
は最小値として取扱う。 サンプルホールド回路SH1,SH2の出力は加
算器AD1の二つの入力端子にそれぞれ接続さ
れ、両者の加算値である加算器AD1の出力は減
算器SB2の負側入力端子に与えられる。減算器
SB2の正側入力端子には信号aが入力され、減
算器SB2は信号aから加算器AD1の出力を減じ
た値の出力を発生する。また、サンプルホールド
回路SH1,SH2の出力は、減算器SB1の正側
および負側と入力端子に接続される。同様に、サ
ンプルホールド回路SH3,SH4の出力は加算器
AD2に入力され、両者の加算値である加算器
AD2の出力は減算器SB4の負側入力端子に与え
られる。減算器SB4正側入力端子には信号bが
入力され、信号bから加算器AD4の出力を減じ
た値の出力が減算器SB4で得られる。また、サ
ンプルホールド回路SH3,SH4の出力は、それ
ぞれ減算器SB3の正側および負側入力端子に接
続される。 加算器AD1,AD2および減算器SB1,SB3
は演算増幅器により構成され、それらの利得をす
べて1/2に設定すると、各々の出力は次のように
なる。 加算器AD1の出力=(anax+anio)/2 減算器SB1の出力=(anax−anio)/2 加算器AD2の出力=(bnax+bnio)/2 減算器SB3の出力=(bnax−bnio)/2 すなわち、加算器AD1,AD2の出力は、そ
れぞれ信号a,bのゼロレベルOa、Obを表し、
減算器SB1,SB3の出力は、それぞれ信号a,
bの振幅A,Bを表すものとなる。 減算器SB2は、信号aからゼロレベルOaを減
じた、すなわちゼロレベル補正が行われた信号を
出力する。同様に、減算器SB4は、信号bにゼ
ロレベル補正が行われた信号を出力する。減算器
SB1,SB3の出力は割算器DV1に入力され、
その出力として振幅A,Bの比A/Bの信号が得
られる。減算器SB4の出力は乗算器MP1に与
れられ、さらに乗算器MP1には割算器DV1の
出力も与えられており、該乗算器MP1は、減算
器SB4の出力信号と割算器DV1の出力信号の積
に相当する信号を発生する。すなわち、乗算器
MP1の出力は、信号bにゼロレベル補正および
振幅補正が加えられた信号が現われる。したがつ
て、減算器SB2および乗算器MP1からはそれ
ぞれ次の信号a′,b′が出力される。 a′=Asin θ b′=Asin(θ−π/2) エンコーダ検出部からの信号a,bと補正後の
信号a′,b′をそれぞれ第5図に示す。 仮想信号発生部30 仮想信号発生部30は、補正部20の減算器
SB2の出力と乗算器MP1の出力とを入力とす
る加算器AD3、および乗算器MP1の出力が正
側入力端子に、減算器SB2の出力が負側入力端
子にそれぞれ与えられる減算器SB5を有する。
加算器AD3と減算器SB5は、利得が1/√2に
設定されており、したがつて、これらの出力は次
のようになる。 加算器AB3 c′=Asin(θ−π/4) 減算器SB5 d′=Asin(θ−3π/4) 内挿部40 内挿部40はアナログスイツチで構成される信
号切換器MPXを有し、この信号切換器MPXに減
算器SB2からの信号a′、乗算器MP1からの信号
b′、加算器AD3からの信号c′および減算器SB5
からの信号d′がそれぞれ入力される。さらに、内
挿部40には、減算器SB2からの信号を反転さ
せて反転信号′を発生する減算器SB6が設けら
れ、この減算器SB6の出力信号′も信号切換器
MPXに入力される。第6図に信号に信号切換
MPXへの入力信号a′,b′,c′,d′,′を示す。 信号切換器MPXの動作を制御するためにカウ
ンタCNTが設けられており、信号切換器MPX
は、カウンタCNTの出力信号に従つて、入力信
号a′,b′,c′,d′,′のうちから2つの信号を選
び信号X,Yとして出力する。カウンタCNTは
2ビツトのバイナリカウンタであり、制御部
CTLからのリセツト信号Rによりリセツトし、
また発振器OSCの出力信号を計数するように接
続されている。内挿読取を行なうにあたり、まず
制御部CTLからのリセツト信号Rが発生し、次
にこれを解除する。カウンタCNTは、制御部
CTLからリセツト信号Rが解除されたとき動作
を開始し、発振器OSCの信号をクロツクとして
計数する。これによる計数値は前記の走査回数に
対応する。第6図に示す信号のばあい、走査回数
nと信号X,Yとの関係は次表のとおりに信号が
選択されるよう信号切換器MPXが構成されてい
る。 n X Y 0 a′ c′ 1 c′ b′ 2 b′ d′ 3 d′ ′ カウンタCNTが計数を開始すると、その計数
の進行に伴つて信号X,Yの内容は上記の表にし
たがつて順次変化する。 信号Yは比較器CMP3に、信号Xは比較器
CMP4にそれぞれ入力され、比較器CMP3,
CMP4の出力はエクスクルーシブオア回路EOの
二つの入力端子にそれぞれ与えられる。比較器
CMP3,CMP4はその入力が正のときハイ、負
のときローレベルの出力を発生しエクスクルーシ
ブオア回路EOは、比較器CMP3,CMP4の出
力の一方がハイ、他方がローのときにハイレベル
出力を発生する。エクスクルーシブオア回路EO
のハイレベル信号は選択走査終了信号Eとしてカ
ウンタCNTと制御部CTLに入力される。すなわ
ち、カウンタCNTは、制御部CTLのリセツト信
号Rが解除されることで計数を開始し、信号切換
器MPXはカウントの進行に伴つて信号X,Yの
組合わせを前述の表のように順次切換えて出力す
る。そして信号X,Yのうち一方が正で他方が負
となつたところでエクスクルーシブオア回路EO
より選択の走査終了信号Eが発生し、これにより
カウンタCNTは計数を停止する。この状態のカ
ウンタCNTの計数値は制御部CTLに与えられ
る。また、比較器CMP3の出力は制御部CTLに
も入力される。 カウンタCNTは内挿区間の各々について一つ
づつ計数が進み、計数値が3になつたところで次
は0に戻る。本例においては5個の信号が用いら
れ、一周期が8個の内挿区間に分割されている。
カウンタCNTのカウントは信号a′の半周期ごと
に繰り返されるように形成されている。この関係
を第6図に走査回数nとして示す。次に、信号Y
の正負の関係をみると、信号a′が正の値をとる半
周期では、信号Yは常に負の値をとり、信号a′が
負のときには信号Yは正の値をとる。したがつ
て、カウンタCNTのカウント値と比較器CMP3
の出力から内挿区間番号Nを知ることができる。
たとえば、第6図の例において、測定点pではカ
ウンタCNTの出力は“1”であり、比較器CMP
3の出力はローであるから内挿区間番号Nは
“1”であると判別でき、測定点p′では、カウン
タCNTの出力は同様に“1”であるが、比較器
CMP3の出力がハイになるので、内挿区間Nは
“5”であると判別できる。 信号X,Yはそれぞれ減算器SB7の正側およ
び負側入力端子に与えられ、両信号の差が減算器
SB7から出力されて割算器DV2に与えられる。
また、信号Xは割算器DV2にも入力され、この
割算器DV2は信号Xを減算器SB7の出力で割つ
た値の信号X/(X−Y)を出力する。割算器
DV2の出力はAD変換器ADCに入力されデイジ
タル値に変換されて制御部CTLに与えられる。 制御部CTLの機能 制御部CTLは、エクスクルーシブオア回路EO
からハイレベル信号を受けたとき、前述のように
カウンタCNTの出力と比較器CMP3の出力とか
ら、測定点pnの含まれる内挿区間の番号NPを求
め、これにA/D変換器ADCからの信号XP
(XP−YP)を加算し、その値に係数αを乗ずるこ
とにより、信号a′の始点a0か測定点pまでの回転
角または移動量Lを求める。すなわち、第(2)式で
示した β={XP/(XP−YP)+NP}・α の演算結果を得る。次いで、制御部CTLは、こ
の演算結果にアツプダウンカウンタUDCからの
カウント値を加えて表示器DSPに表示する。 <他の実施例> 第7図は本発明の他の実施例を示すもので、第
3図と同一の構成には同一の符号を付して説明は
省略する。本例においては、内挿のための構成は
補正タイミング発生部50とデータ読取部60お
よび制御部CTL′とからなる。 補正タンミング発生部50 前例の補正部20におけると同様に配置された
パルス発生器POS1,POS2とアンドゲートA
1,A2,A3,A4を有する。 アンドゲートA1,A2,A3,A4の出力信
号はオアゲートORに入力されるほか、ラツチ回
路LTにも与えられている。各アンドゲートは前
述のごとく信号a,bのほぼ最大、あるいはほぼ
最小の位置でパルスを発生する。したがつて、オ
アゲートORの出力端子には、信号a,bのほぼ
最大、およびほぼ最小のすべての位置でパルスが
発生する。このオアゲートORの出力信号は、ラ
ツチ回路LTと制御部CTL′に供給される。ラツチ
回路LTにはオアゲートORの出力信号に応じて、
アンドゲートA1,A2,A3,A4のどのアン
ドゲートでパルスが発生したかということが記憶
される。制御部CTL′では、オアゲートORからの
信号を割込信号INTとして使用する。 データ読取部60 信号a,bを入力とする信号選択器MPX′と
AD変換器ADC、および記憶部RAMからなる。
この記憶部RAMは、制御部CTL′に含まれるラ
ンダムアクセスメモリと共用してもよい。 信号選択器MPX′は信号aまたは信号bを、制
御部CTL′からの信号MSにしたがいA/D変換
器ADCに供給する。A/D変換器ADCは制御部
CTL′からの信号SがハイになることによりA/
D変換動作を開始し、制御部CTL′に与える信号
AEをローレベルにする。A/D変換動作が終了
するとA/D変換器ADCは制御部CTL′に信号
AEをハイにして送る。記憶部RAMは制御部
CTLからのアドレス信号ADSと書込信号Wによ
り所定の場所にA/D変換ADCからのデータを
書込む。また、制御部からの読取信号RDによ
り、所定の場所の記憶内容を制御部CTL′にバス
信号BUSを通して送る。 制御部CTL′ 制御部CTL′の処理は、割込処理と演算処理に
大別することができる。 割込処理 オアゲートORからの割込信号INTが得られた
とき、次の動作を行う。 (i) 一時記憶 信号選択器MPX′が現在選択している内容を
一時的に内部に記憶する。 (ii) 割込要求の解読 ラツチ回路LTの内容により、割込要求の内
容が信号aの最大、最小信号bの最大、最小の
いずれかであるか(anax、anio、bnax、bnio)を
判別する。 (iii) 信号a,bの選択 割込要求の解読の結果がanaxanioの場合、信
号選択器MPX′を信号aに選択にセツトし、逆
にbnax、bnioの場合、信号選択器MPX′を信号
b選択にセツトする。 (iv) 記憶部への書込み 信号Sをまずローにし、続いてハイにする。
そして信号AEがハイになるのを待つ。また、
割込要求の解読にしたがつて、anax、anio
bnax、bnioのいずれかに対応する記憶部RAM
のアドレスを、アドレス信号ADSを通して記
憶部RAMに送る。そして、信号AEがハイと
なると、記憶部RAMへ書込信号Wを使用して
ハイのパルスを送り、A/D変換器の出力デー
タを記憶部RAMに書込む。そして信号sをロ
ーにしてA/D変換器をリセツトさせる。 (v) 割込処理に入つた時の、一時的に記憶した内
容にしたがい、信号選択器MPX′をもとへもど
す。さらに信号sをハイにしてA/D変換器を
動作させる。すなわち、割込処理に移る前に
A/D変換器が動作していたと想定して、もと
へもどす意味でこの動作を行う。 割込信号INTはbnio、anax、bnax、anio、の順
で、順次発生する。従つて、上記の割込処理に
より、記憶部の所定の場所にanax、anio、bnax
bnioのデータが書込まれる。 演算処理 演算処理中には、次の動作が繰り返される。た
だし、演算処理中に割込信号INTが発生すると、
割込処理へ移り、割込処理が御わるともとへもど
る。 (i) 信号aの測定 信号MSを用い信号選択器MPX′を信号a選
択にセツトする。 次に信号sをローからハイにし、A/D変換
器を動作させ、信号AEがハイになるのを待つ。
信号AEがハイになると、信号ADS,Wを使用
して記憶部RAMの所定の場所にA/D変換器
の出力データ(信号aのデータ)を書込む。 (ii) 信号bの測定 信号MSを用い信号選択器MPX′を信号b選
択にセツトする。“信号aの測定”と同様にし
て、記憶部の所定の場所に信号bのデータを書
込む。 (iii) データ転送 記憶部RAMへanaxのアドレスを信号ADSを
通して送り、また信号RDをハイにいしてanax
のデータを制御部内CTL′のRAMに移す。同
様にして、anio、bnax、bnio、a、bのデータ
を制御部内CTL′内のRAMに移す。 (iv) 補正演算 信号aのゼロレベルOa、振幅Aと、信号b
のゼロレベルOb、振幅Bとを式(8)、(9)、(10)、
(11)に従い演算する。次に補正された信号のデー
タa′,b′の次式により求める。 a′=(a−Oa) b′=A/B(b−Ob) ここでOa,A,Ob,B,a′,b′は必要により
制御部CTL′内のRAMに記憶するものとし、
特に明記しない。以下他のデータに関しても同
様とする。 (v) 仮想信号作成 仮想信号c′,d′を次式により求める。 (vi) 測定点pを含む内挿区間NPの演算信号a′の
反転信号′を′=O−a′から求める。信号
XP,YPとしてのデータを順次に次の組合せに
従い、データa′,b′,c′,d′,′から得て、一
方が正で他方が負であるかを調べる。また同時
にそれに対応する値を走査回数nに入れる。 XP YP n a′ c′ 0 c′ b′ 1 b′ d′ 2 d′ ′ 3 正で他方が負になつたとき、この動作を終了
させる。そして信号YPが正か負かを判定し、
負ならNP=n、正なら NP=n+NM/2としてNPを求める。ただし、こ の実施例においてはNM=8である。 (vii) 内挿の演算 式(2)にしたがい基準点a0に対する測定位置p
の回転角または移動量βを求める。 (viii) アツプダウンカウンタUDCから得られる回
転角または移動量とβを合成して表示する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の内挿の原理を説明するための
波形図、第2図は仮想信号の作成例を示す波形
図、第3図は本発明を適用したエンコーダ読取信
号の処理回路を示すブロツク図、第4図は第3図
の回路に用いられるパルス発生器の一例を示す回
路図、第5図はエンコーダ読取信号の振幅および
ゼロレベル補正を示す波形図、第6図は仮想信号
をエンコーダ読取信号および反転信号とともに示
す波形図、第7図は他の実施例による処理回路の
ブロツク図である。 10……測定部、20……補正部、30……仮
想信号発生部、40……内挿部、CTL……制御
部、DSP……表示部、CMP1,CMP2,CMP
3,CMP4……比較器、POS1,POS2……パ
ルス発生器、A1,A2,A3,A4……アンド
ゲート、SB1,SB2,SB3,SB4,SB5,
SB6,SB7……減算器、CNT……カウンタ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 位置変化に応じてエンコーダ検出部から得ら
    れる、互いに位相の異る複数の周期的波形信号に
    より移動位置を検出するエンコーダの読取信号の
    内挿方法において、 前記周期的波形信号の一つを基準信号として選
    び、前記周期的波形信号の各々の値がゼロとなる
    点によつて前記基準信号の一周期を複数の内挿区
    間に分割するとともに、各内挿区間で同方向にな
    るべき2つの信号を対とし、この対なる2つの信
    号の正負状態を検出することにより前記基準信号
    の一周期の始点から前記測定点を含む内挿区間ま
    での内挿区間数NPを判別し、前記測定点におけ
    る上記同方向に変化する2つの信号の値XP、YP
    と、前記内挿区間をエンコーダの位置変化量で示
    される量αと前記基準信号の一周期の始点から前
    記測定点の位置を、 式B=〔{XP/(XP−YP)}+NP〕・α に基づく演算を行なつて求めることを特徴とする
    エンコーダ読取信号の内挿方法。 2 前記第1項の内挿方法において、前記周期的
    波形信号の少なくとも1つから反転信号を形成
    し、前記周期的波形信号と前記反転信号とにより
    測定点の位置を求めるエンコーダ読取信号の内挿
    方法。 3 前記第1項の内挿方法において、位相が互い
    に異なる少なくとも2つの周期的信号の合成によ
    る仮想信号を形成し、前記周期的波形信号と仮想
    信号とにより測定点の位置を求めるエンコーダ読
    取信号の内挿方法。 4 位相が互いに90°異なる、2つの周期的に変
    動するエンコーダ読取信号をもとに移動位置を検
    出するエンコーダ読取信号の内挿装置において、 前記2つの信号のうちの少なくとも一方の信号
    を基準信号とし該基準信号に対し180°位相の異な
    る信号を得る信号形成手段と、前記信号の各々が
    ゼロになる点によつて前記信号の一周期を分割し
    た複数の内挿区間のうちの測定点を含む内挿区間
    において一方が正で一方が負でありかつほぼ同一
    方向に変化する2つの信号のうちの一方の信号の
    値から他方の信号の値を減じて減算信号を発生す
    る減算手段と、前記一方の信号の値を前記減算信
    号で割り除算信号を発生する除算手段と、前記除
    算信号にあらかじめ定められた係数を掛けて内挿
    結果を得る乗算手段とからなることを特徴とする
    エンコーダ読取信号の内挿装置。 5 前記第4項の内挿装置において、前記周期的
    に変動する2つの信号の合成により仮想信号を形
    成するための仮想信号形成手段を有し、周期的に
    変動する前記信号と前記仮想信号とにより測定点
    の位置を求めることを特徴とするエンコーダ読取
    信号の内挿装置。
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