JPH05240662A - 回転数検出器 - Google Patents
回転数検出器Info
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- JPH05240662A JPH05240662A JP4323092A JP4323092A JPH05240662A JP H05240662 A JPH05240662 A JP H05240662A JP 4323092 A JP4323092 A JP 4323092A JP 4323092 A JP4323092 A JP 4323092A JP H05240662 A JPH05240662 A JP H05240662A
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- magnetic
- magnetic bubble
- ring magnet
- shaft
- magnetic shield
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は回転数検出器に関し、その目的は、
簡単な構造で十分な磁気シールド効果が得られる磁気シ
ールド構造を有し、安定な回転数検出が行える回転数検
出器を提供することにある。 【構成】 測定対象物に連結されたシャフト20と、該シ
ャフト20の端部に取り付けられたリング磁石5 と、該シ
ャフト5 の途中部分に回転可能に取り付けられた円板状
のベース21と、コ字形に形成されて内面には磁気バブル
素子1 と該磁気バブル素子1 を挾むように1対のバイア
ス磁石2 が組み込まれ、コ字形の開口が前記リング磁石
5 と対向するように前記ベース21に取り付けられた磁気
バブルユニット22と、これらリング磁石5 及び磁気バブ
ルユニット22を内包するように円筒形に形成され前記ベ
ース21に取り付けられた外部磁気シールドケース25と、
高透磁率材料によりコ字形に形成され前記磁気バブルユ
ニット22の外面を覆うように取り付けられた局部磁気シ
ールド26とで構成する。
簡単な構造で十分な磁気シールド効果が得られる磁気シ
ールド構造を有し、安定な回転数検出が行える回転数検
出器を提供することにある。 【構成】 測定対象物に連結されたシャフト20と、該シ
ャフト20の端部に取り付けられたリング磁石5 と、該シ
ャフト5 の途中部分に回転可能に取り付けられた円板状
のベース21と、コ字形に形成されて内面には磁気バブル
素子1 と該磁気バブル素子1 を挾むように1対のバイア
ス磁石2 が組み込まれ、コ字形の開口が前記リング磁石
5 と対向するように前記ベース21に取り付けられた磁気
バブルユニット22と、これらリング磁石5 及び磁気バブ
ルユニット22を内包するように円筒形に形成され前記ベ
ース21に取り付けられた外部磁気シールドケース25と、
高透磁率材料によりコ字形に形成され前記磁気バブルユ
ニット22の外面を覆うように取り付けられた局部磁気シ
ールド26とで構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気バブルを用いた回転
数検出器に関し、更に詳しくは、磁気シールド構造の改
善に関する。
数検出器に関し、更に詳しくは、磁気シールド構造の改
善に関する。
【0002】
【従来の技術】本願は、実願昭62-126991 号「回転数検
出器」(以下、先願と記す)を改良したものである。
出器」(以下、先願と記す)を改良したものである。
【0003】磁気バブルを用いた回転数検出器について
は、本願出願人が特願昭61-81901号(先行例1と記す)
や特願昭62-212208 号(先行例2と記す)等で出願して
おり、その原理は広く知られている。図2は磁気バブル
を用いた回転数検出器の動作原理図、図3は図2の磁気
バブル素子上に設けられた転送素子ループのパターン例
図、図4は図3の転送素子ループのストレッチャ部を拡
大した図である。
は、本願出願人が特願昭61-81901号(先行例1と記す)
や特願昭62-212208 号(先行例2と記す)等で出願して
おり、その原理は広く知られている。図2は磁気バブル
を用いた回転数検出器の動作原理図、図3は図2の磁気
バブル素子上に設けられた転送素子ループのパターン例
図、図4は図3の転送素子ループのストレッチャ部を拡
大した図である。
【0004】図2において、1は磁気バブル素子であ
り、磁気バブルを発生する材料で構成される。説明を加
えると、磁気バブルは、適当な強さの垂直磁界を加える
ことにより、GGG(ガドリニウム−ガリウム−ガーネ
ット)上に数μmエピタキシャル成長させた垂直磁化膜
の中に筒状の形で発生する。該磁気バブル素子1には、
磁気バブル検出素子12,13及びアルミ配線パターン
14,15,16が形成されている(図4参照)。磁気
バブル検出素子12,13は、磁気抵抗素子(例えばパ
ーマロイ)で構成される。更に磁気バブル素子1には、
薄膜のパーマロイで構成された転送素子11がループ状
に形成され、これに沿って磁気バブルが転送される(図
3,図4参照)。図3では1つの転送素子ループを示し
たが、実際の磁気バブル素子1上には複数の転送素子ル
ープが設けられる。各転送素子ループ上には先行例2で
知られているような「メモリホイールの原理」に基づい
たビットパターンで磁気バブルが書き込まれている。な
お、磁気バブル素子1が配置されている平面を便宜上x
−y表面と呼ぶ。
り、磁気バブルを発生する材料で構成される。説明を加
えると、磁気バブルは、適当な強さの垂直磁界を加える
ことにより、GGG(ガドリニウム−ガリウム−ガーネ
ット)上に数μmエピタキシャル成長させた垂直磁化膜
の中に筒状の形で発生する。該磁気バブル素子1には、
磁気バブル検出素子12,13及びアルミ配線パターン
14,15,16が形成されている(図4参照)。磁気
バブル検出素子12,13は、磁気抵抗素子(例えばパ
ーマロイ)で構成される。更に磁気バブル素子1には、
薄膜のパーマロイで構成された転送素子11がループ状
に形成され、これに沿って磁気バブルが転送される(図
3,図4参照)。図3では1つの転送素子ループを示し
たが、実際の磁気バブル素子1上には複数の転送素子ル
ープが設けられる。各転送素子ループ上には先行例2で
知られているような「メモリホイールの原理」に基づい
たビットパターンで磁気バブルが書き込まれている。な
お、磁気バブル素子1が配置されている平面を便宜上x
−y表面と呼ぶ。
【0005】2は2枚一組のバイアス磁石であり(図2
参照)、磁気バブル素子1に対して垂直な一定の磁界
(バイアス磁界)を与え、バブル状の磁区を保持する作
用を有するものである。
参照)、磁気バブル素子1に対して垂直な一定の磁界
(バイアス磁界)を与え、バブル状の磁区を保持する作
用を有するものである。
【0006】3,4は読出コイルであり、磁気バブル素
子1の周囲に図2の如く配置される。そして該読出コイ
ル3,4はリング磁石5の回転数を読み出す時に使われ
るもので、交番電流をコイルに流すことにより回転磁界
を発生させ、磁気バブル17,18,19を転送する。
該読出コイル3,4については、先行例1,2に詳しく
記載されている。
子1の周囲に図2の如く配置される。そして該読出コイ
ル3,4はリング磁石5の回転数を読み出す時に使われ
るもので、交番電流をコイルに流すことにより回転磁界
を発生させ、磁気バブル17,18,19を転送する。
該読出コイル3,4については、先行例1,2に詳しく
記載されている。
【0007】5はリング磁石であり、回転シャフト(図
示せず)に取り付けられた永久磁石である。該リング磁
石5は磁気バブル素子1に対して平行な面内磁界を与え
るもので、該面内磁界は回転シャフトが回転することに
より回転する。磁気バブルは、1ステップ/1回転磁界
で転送素子ループを巡回する。図2は8極に着磁された
リング磁石の例であり、この場合、回転シャフトが1回
転すると、磁気バブルは転送素子11の4個分を移動す
る。
示せず)に取り付けられた永久磁石である。該リング磁
石5は磁気バブル素子1に対して平行な面内磁界を与え
るもので、該面内磁界は回転シャフトが回転することに
より回転する。磁気バブルは、1ステップ/1回転磁界
で転送素子ループを巡回する。図2は8極に着磁された
リング磁石の例であり、この場合、回転シャフトが1回
転すると、磁気バブルは転送素子11の4個分を移動す
る。
【0008】図3に示す各転送素子ループには、先行例
2に記載された『メモリホイールの原理』に基づいた特
殊配列パターンの磁気バブルが書き込まれている。該特
殊配列パターンとは、全ビットパターンの中のある位置
から切り出した連続するビットパターンが他のどの位置
から切り出した同ビット数のパターンとも同じにならな
いという特徴を持ったパターンである。従って、転送素
子ループのある決まった位置から連続する数ビットのパ
ターンを読み出すことでそのループにおけるビットパタ
ーンの転送シフト量を知ることができる。
2に記載された『メモリホイールの原理』に基づいた特
殊配列パターンの磁気バブルが書き込まれている。該特
殊配列パターンとは、全ビットパターンの中のある位置
から切り出した連続するビットパターンが他のどの位置
から切り出した同ビット数のパターンとも同じにならな
いという特徴を持ったパターンである。従って、転送素
子ループのある決まった位置から連続する数ビットのパ
ターンを読み出すことでそのループにおけるビットパタ
ーンの転送シフト量を知ることができる。
【0009】磁気バブルは、前記ある位置に配置された
磁気バブル検出器10で検出される。磁気バブル検出器
10は、図4に示す磁気バブル検出素子12,13で構
成される。該磁気バブル検出素子12,13には、アル
ミ配線パターン14,15,16を介して定電流が予め
流されている(アルミ配線パターン16はアース電
位)。そして、磁気バブル検出素子12,13の部分に
磁気バブル17,18,19が移動してくると抵抗値が
変化するため、アルミ配線パターン14,15の電位が
変化する。この2つのアルミ配線パターン14,15の
電位信号を図示しない差動増幅器で差動演算することに
より、磁気バブルの検出信号を得ている。
磁気バブル検出器10で検出される。磁気バブル検出器
10は、図4に示す磁気バブル検出素子12,13で構
成される。該磁気バブル検出素子12,13には、アル
ミ配線パターン14,15,16を介して定電流が予め
流されている(アルミ配線パターン16はアース電
位)。そして、磁気バブル検出素子12,13の部分に
磁気バブル17,18,19が移動してくると抵抗値が
変化するため、アルミ配線パターン14,15の電位が
変化する。この2つのアルミ配線パターン14,15の
電位信号を図示しない差動増幅器で差動演算することに
より、磁気バブルの検出信号を得ている。
【0010】以上のような磁気バブル素子1において、
転送素子ループ上には、『メモリホイールの原理』によ
り定まる、例えば1ループ8ビットのビットパターン
(01110100)が磁気バブルの有無により形成さ
れている。図3に示す実施例では、もっと多数のビット
(例えば49ビット前後)であるが、ここでは発明を分
かり易くするため8ビットで説明する。この8桁のビッ
トパターンは、リング磁石5が回転するとその回転に応
じて転送素子ループ上を巡回する。該巡回動作は図2の
装置が停電等により電気回路的にその動作を停止してい
ても正常に行われる。例えば、図2に示す回転数検出器
の電源がストップして電子回路的にその動作を停止して
いる時にリング磁石5が例えば10回転すると、この1
0回転に応じた位置に前記8ビットの磁気バブルは移動
している。電源が復旧すると、リング磁石5が何回転し
たかを測定するため、読出コイル3,4を動作させて回
転磁界を発生させ、磁気バブルを例えば3個の転送素子
分だけ順にその位置を移動させる(先行例2参照)。従
って、磁気バブル検出器10からは3個の時系列のビッ
トパターンが読み出され、該パターンからメモリホイー
ルの原理によりリング磁石5の累積回転数を知ることが
できる。検出後、読出コイル3,4は上述と逆方向の回
転磁界を磁気バブル素子1へ加えて磁気バブルを3個の
転送素子分だけ移動させ、元あった位置に戻す。
転送素子ループ上には、『メモリホイールの原理』によ
り定まる、例えば1ループ8ビットのビットパターン
(01110100)が磁気バブルの有無により形成さ
れている。図3に示す実施例では、もっと多数のビット
(例えば49ビット前後)であるが、ここでは発明を分
かり易くするため8ビットで説明する。この8桁のビッ
トパターンは、リング磁石5が回転するとその回転に応
じて転送素子ループ上を巡回する。該巡回動作は図2の
装置が停電等により電気回路的にその動作を停止してい
ても正常に行われる。例えば、図2に示す回転数検出器
の電源がストップして電子回路的にその動作を停止して
いる時にリング磁石5が例えば10回転すると、この1
0回転に応じた位置に前記8ビットの磁気バブルは移動
している。電源が復旧すると、リング磁石5が何回転し
たかを測定するため、読出コイル3,4を動作させて回
転磁界を発生させ、磁気バブルを例えば3個の転送素子
分だけ順にその位置を移動させる(先行例2参照)。従
って、磁気バブル検出器10からは3個の時系列のビッ
トパターンが読み出され、該パターンからメモリホイー
ルの原理によりリング磁石5の累積回転数を知ることが
できる。検出後、読出コイル3,4は上述と逆方向の回
転磁界を磁気バブル素子1へ加えて磁気バブルを3個の
転送素子分だけ移動させ、元あった位置に戻す。
【0011】図5は図2の具体例の概念構成図であり、
図2と共通する部分には同一の符号を付けている。すな
わち、リング磁石5は測定対象物のシャフト20の端部
に取り付けられている。該シャフト20の途中部分には
円板状のベース21がベアリング等の軸受を介して回転
可能に取り付けられている。該ベース21には、コ字形
に形成されて内面には磁気バブル素子1と該磁気バブル
素子1を挾むように1対のバイアス磁石2が組み込まれ
た磁気バブルユニット22が、コ字形の開口がリング磁
石5と対向するようにして取り付けられている。
図2と共通する部分には同一の符号を付けている。すな
わち、リング磁石5は測定対象物のシャフト20の端部
に取り付けられている。該シャフト20の途中部分には
円板状のベース21がベアリング等の軸受を介して回転
可能に取り付けられている。該ベース21には、コ字形
に形成されて内面には磁気バブル素子1と該磁気バブル
素子1を挾むように1対のバイアス磁石2が組み込まれ
た磁気バブルユニット22が、コ字形の開口がリング磁
石5と対向するようにして取り付けられている。
【0012】このような構成において、バイアス磁石2
により磁気バブル素子1に最適なバイアス磁界をかけ、
常に安定な磁気バブルを発生させる。一方、リング磁石
5はシャフト20の回転に応じた最適な回転磁界を磁気
バブル素子1に加え、該回転磁界により磁気バブルを安
定に移動させる。該磁気バブルの移動を検出することに
より、シャフト20の累積回転数を測定できる。
により磁気バブル素子1に最適なバイアス磁界をかけ、
常に安定な磁気バブルを発生させる。一方、リング磁石
5はシャフト20の回転に応じた最適な回転磁界を磁気
バブル素子1に加え、該回転磁界により磁気バブルを安
定に移動させる。該磁気バブルの移動を検出することに
より、シャフト20の累積回転数を測定できる。
【0013】このとき、外部の磁界が変化すると、磁気
バブル素子1に加わるバイアス磁界と回転磁界が変化
し、安定な磁気バブルの移動が妨げられるという問題が
発生する。
バブル素子1に加わるバイアス磁界と回転磁界が変化
し、安定な磁気バブルの移動が妨げられるという問題が
発生する。
【0014】そこで、従来から、例えば図6に示すよう
な円筒形の外部磁気シールドケース23と内部磁気シー
ルドケース24よりなる2重磁気シールド構造がとられ
ていた。
な円筒形の外部磁気シールドケース23と内部磁気シー
ルドケース24よりなる2重磁気シールド構造がとられ
ていた。
【0015】ここで、外部磁気シールドケース23は回
転数検出器の外部を覆う外部ケースの機能も兼ねてい
て、材質としては軟鉄(SUY)が用いられる。該外部
磁気シールドケース23により、外部磁界変動値200
ガウスに対し漏れ磁界を5ガウス程度まで減少させる磁
気シールド効果が得られる。
転数検出器の外部を覆う外部ケースの機能も兼ねてい
て、材質としては軟鉄(SUY)が用いられる。該外部
磁気シールドケース23により、外部磁界変動値200
ガウスに対し漏れ磁界を5ガウス程度まで減少させる磁
気シールド効果が得られる。
【0016】一方、内部磁気シールドケース24は外部
磁気シールドケース23を一回り小さくした形状で、外
部磁気シールドの漏れ磁界を2ガウス程度まで減少させ
る機能が要求されるものであり、高透磁率材料が必要に
なることから例えばパーマロイが用いられている。
磁気シールドケース23を一回り小さくした形状で、外
部磁気シールドの漏れ磁界を2ガウス程度まで減少させ
る機能が要求されるものであり、高透磁率材料が必要に
なることから例えばパーマロイが用いられている。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな2重磁気シールド構造は構造が複雑になるという問
題がある。
うな2重磁気シールド構造は構造が複雑になるという問
題がある。
【0018】また、非常に高価な材料であるパーマロイ
をかなり大量に使用しなければならないことから、回転
数検出器のコストが高くなるという問題もある。本発明
の目的は、簡単な構造で十分な磁気シールド効果が得ら
れる磁気シールド構造を有し、安定な回転数検出が行え
る回転数検出器を提供することにある。
をかなり大量に使用しなければならないことから、回転
数検出器のコストが高くなるという問題もある。本発明
の目的は、簡単な構造で十分な磁気シールド効果が得ら
れる磁気シールド構造を有し、安定な回転数検出が行え
る回転数検出器を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、測定対象物に連結されたシャフトと、該
シャフトの端部に取り付けられたリング磁石と、該シャ
フトの途中部分に回転可能に取り付けられた円板状のベ
ースと、コ字形に形成されて内面には磁気バブル素子と
該磁気バブル素子を挾むように1対のバイアス磁石が組
み込まれ、コ字形の開口が前記リング磁石と対向するよ
うに前記ベースに取り付けられた磁気バブルユニット
と、これらリング磁石及び磁気バブルユニットを内包す
るように円筒形に形成され前記ベースに取り付けられた
外部磁気シールドケースと、高透磁率材料によりコ字形
に形成され前記磁気バブルユニットの外面を覆うように
取り付けられた局部磁気シールド、とで構成されたこと
を特徴とするものである。
決するために、測定対象物に連結されたシャフトと、該
シャフトの端部に取り付けられたリング磁石と、該シャ
フトの途中部分に回転可能に取り付けられた円板状のベ
ースと、コ字形に形成されて内面には磁気バブル素子と
該磁気バブル素子を挾むように1対のバイアス磁石が組
み込まれ、コ字形の開口が前記リング磁石と対向するよ
うに前記ベースに取り付けられた磁気バブルユニット
と、これらリング磁石及び磁気バブルユニットを内包す
るように円筒形に形成され前記ベースに取り付けられた
外部磁気シールドケースと、高透磁率材料によりコ字形
に形成され前記磁気バブルユニットの外面を覆うように
取り付けられた局部磁気シールド、とで構成されたこと
を特徴とするものである。
【0020】
【作用】局部磁気シールドは、磁気バブルユニットをバ
イアス磁界方向に局部的に磁気シールドしている。
イアス磁界方向に局部的に磁気シールドしている。
【0021】これにより、外部の磁界変化が磁気バブル
素子に及ぼす影響を外部磁気シールドケースと局部磁気
シールドにより大幅に減少させることができ、バイアス
磁石により磁気バブル素子に最適なバイアス磁界をかけ
て常に安定な磁気バブルを発生させるとともに、リング
磁石がシャフトの回転に応じた最適な回転磁界を磁気バ
ブル素子に加えることによって磁気バブルを安定に移動
させることができる。
素子に及ぼす影響を外部磁気シールドケースと局部磁気
シールドにより大幅に減少させることができ、バイアス
磁石により磁気バブル素子に最適なバイアス磁界をかけ
て常に安定な磁気バブルを発生させるとともに、リング
磁石がシャフトの回転に応じた最適な回転磁界を磁気バ
ブル素子に加えることによって磁気バブルを安定に移動
させることができる。
【0022】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。図1は本発明の一実施例を示す構成図で
あり、図5と共通する部分には同一の符号を付けてい
る。図1が図5と異なる点は、ベース21にリング磁石
5及び磁気バブルユニット22を内包するように円筒形
に形成された外部磁気シールドケース25を取り付けて
いることと、磁気バブルユニット22の外面を覆うよう
に高透磁率材料によりコ字形に形成された局部磁気シー
ルド26を取り付けていることである。
細に説明する。図1は本発明の一実施例を示す構成図で
あり、図5と共通する部分には同一の符号を付けてい
る。図1が図5と異なる点は、ベース21にリング磁石
5及び磁気バブルユニット22を内包するように円筒形
に形成された外部磁気シールドケース25を取り付けて
いることと、磁気バブルユニット22の外面を覆うよう
に高透磁率材料によりコ字形に形成された局部磁気シー
ルド26を取り付けていることである。
【0023】ここで、外部磁気シールドケース25は図
6の外部磁気シールドケース23と同様に回転数検出器
の外部を覆う外部ケースの機能も兼ねていて、材質とし
ては例えば肉厚が1.5mmの軟鉄(SUY)が用いら
れる。該外部磁気シールドケース25により、外部磁界
変動値200ガウスに対し漏れ磁界を4ガウス程度まで
減少させる磁気シールド効果を得ている。
6の外部磁気シールドケース23と同様に回転数検出器
の外部を覆う外部ケースの機能も兼ねていて、材質とし
ては例えば肉厚が1.5mmの軟鉄(SUY)が用いら
れる。該外部磁気シールドケース25により、外部磁界
変動値200ガウスに対し漏れ磁界を4ガウス程度まで
減少させる磁気シールド効果を得ている。
【0024】一方、局部磁気シールド26は外部磁気シ
ールドの漏れ磁界を2ガウス程度まで減少させる機能が
要求されるものであり、高透磁率材料が必要になること
から例えば板厚1mmのパーマロイ板が用いられる。
ールドの漏れ磁界を2ガウス程度まで減少させる機能が
要求されるものであり、高透磁率材料が必要になること
から例えば板厚1mmのパーマロイ板が用いられる。
【0025】このような構成において、局部磁気シール
ド26は、磁気バブルユニット22をバイアス磁界方向
に局部的に磁気シールドしている。そして、バイアス磁
界は上述のように2個のバイアス磁石2により磁気バブ
ル素子1に最適な値に設定されている。
ド26は、磁気バブルユニット22をバイアス磁界方向
に局部的に磁気シールドしている。そして、バイアス磁
界は上述のように2個のバイアス磁石2により磁気バブ
ル素子1に最適な値に設定されている。
【0026】従って、このバイアス磁界の周囲だけを部
分的に内部シールドすることにより、磁気バブル素子1
が受けるバイアス磁界の変動を十分小さな値まで減少さ
せることができ、磁気バブルを安定に移動させることが
できる。
分的に内部シールドすることにより、磁気バブル素子1
が受けるバイアス磁界の変動を十分小さな値まで減少さ
せることができ、磁気バブルを安定に移動させることが
できる。
【0027】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
の効果が得られる。磁気バブルユニットにコ字形の局部
シールド部材を取り付けるという簡単な構成により、磁
気バブルユニットの外部磁界に変化が生じても磁気バブ
ル素子は常に一定の磁界を受けることができ、安定な回
転数検出が実現できる。
の効果が得られる。磁気バブルユニットにコ字形の局部
シールド部材を取り付けるという簡単な構成により、磁
気バブルユニットの外部磁界に変化が生じても磁気バブ
ル素子は常に一定の磁界を受けることができ、安定な回
転数検出が実現できる。
【0028】また、磁気シールド部材の小形化,簡素
化,低コスト化も実現できる。
化,低コスト化も実現できる。
【図1】本発明に係る回転数検出器の要部構成例図であ
る。
る。
【図2】磁気バブルを用いた回転数検出器の動作原理図
である。
である。
【図3】図2の磁気バブル素子上に設けられた転送素子
ループのパターン例図である。
ループのパターン例図である。
【図4】図3の転送素子ループのストレッチャ部を拡大
した図である。
した図である。
【図5】図2の具体例の概念構成図である。
【図6】従来の回転数検出器における磁気シールドの構
成例図である。
成例図である。
1 磁気バブル素子 2 バイアス磁石 5 リング磁石 20 シャフト 21 ベース 22 磁気バブルユニット 25 外部磁気シールドケース 26 局部磁気シールド
Claims (1)
- 【請求項1】 測定対象物に連結されたシャフトと、 該シャフトの端部に取り付けられたリング磁石と、 該シャフトの途中部分に回転可能に取り付けられた円板
状のベースと、 コ字形に形成されて内面には磁気バブル素子と該磁気バ
ブル素子を挾むように1対のバイアス磁石が組み込ま
れ、コ字形の開口が前記リング磁石と対向するように前
記ベースに取り付けられた磁気バブルユニットと、 高透磁率材料によりコ字形に形成され磁気バブルユニッ
トの外面を覆うように取り付けられた局部磁気シールド
と、 これらリング磁石及び磁気バブルユニットを内包するよ
うに円筒形に形成され前記ベースに取り付けられた外部
磁気シールドケース、とで構成されたことを特徴とする
回転数検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043230A JP2976677B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 回転数検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043230A JP2976677B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 回転数検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05240662A true JPH05240662A (ja) | 1993-09-17 |
JP2976677B2 JP2976677B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=12658112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4043230A Expired - Lifetime JP2976677B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 回転数検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2976677B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009047426A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Niles Co Ltd | 非接触式回転角度検出センサ |
JP2009516186A (ja) * | 2005-11-15 | 2009-04-16 | ムービング マグネット テクノロジーズ | 最大360°のコースの磁気角度位置センサ |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043230A patent/JP2976677B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009516186A (ja) * | 2005-11-15 | 2009-04-16 | ムービング マグネット テクノロジーズ | 最大360°のコースの磁気角度位置センサ |
JP2009047426A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Niles Co Ltd | 非接触式回転角度検出センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2976677B2 (ja) | 1999-11-10 |
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