JPH05239628A - 防湿性透明膜の製造方法 - Google Patents
防湿性透明膜の製造方法Info
- Publication number
- JPH05239628A JPH05239628A JP4366392A JP4366392A JPH05239628A JP H05239628 A JPH05239628 A JP H05239628A JP 4366392 A JP4366392 A JP 4366392A JP 4366392 A JP4366392 A JP 4366392A JP H05239628 A JPH05239628 A JP H05239628A
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- Japan
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- film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 真空槽内に酸素ガスおよびオゾンを導入しな
がら物質を加熱し、蒸発させることにより、透明な基材
上に透明な蒸着薄膜を形成する。 【効果】 基材の種類にかかわらず、防湿性能を飛躍的
に向上させ且つ透明性に優れた防湿性透明膜の製造方法
が提供される。
がら物質を加熱し、蒸発させることにより、透明な基材
上に透明な蒸着薄膜を形成する。 【効果】 基材の種類にかかわらず、防湿性能を飛躍的
に向上させ且つ透明性に優れた防湿性透明膜の製造方法
が提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、防湿性透明膜の形成方
法に関するものであり、さらに詳しくは本発明は、基材
の種類にかかわらず、防湿性能を飛躍的に向上させ且つ
透明性に優れた防湿性透明膜の製造方法に関するもので
ある。
法に関するものであり、さらに詳しくは本発明は、基材
の種類にかかわらず、防湿性能を飛躍的に向上させ且つ
透明性に優れた防湿性透明膜の製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】包装材料、とくに食品、薬品、化学製品
等の包装に用いられる包装材料は、内容物の変質を防ぐ
ために防湿機能をもっていることが必要である。さら
に、包装内部の内容物を透視できるような包装がしばし
ば求められている。従来は、例えばベースプラスチック
フィルムに、アルミニウム箔を貼り合わせてアルミニウ
ム箔の防湿特性を利用することが行われていた。この場
合の包装材料は、防湿性については優れているが、ベー
スプラスチックフィルムの透明性が損なわれ、内容物を
透視することができない。しかも、フレキシビリティが
極端に低減するためピンホールを生じるおそれがある。
等の包装に用いられる包装材料は、内容物の変質を防ぐ
ために防湿機能をもっていることが必要である。さら
に、包装内部の内容物を透視できるような包装がしばし
ば求められている。従来は、例えばベースプラスチック
フィルムに、アルミニウム箔を貼り合わせてアルミニウ
ム箔の防湿特性を利用することが行われていた。この場
合の包装材料は、防湿性については優れているが、ベー
スプラスチックフィルムの透明性が損なわれ、内容物を
透視することができない。しかも、フレキシビリティが
極端に低減するためピンホールを生じるおそれがある。
【０００３】包装材料の別の例としては、それ自体が防
湿性を有する塩化ビニリデン系、フッ素系樹脂フィルム
等がある。防湿性を厳しく要求される用途において、上
記のフィルムは、その厚さを厚くしなければならず、製
造作業上にも種々の問題が生じる。
湿性を有する塩化ビニリデン系、フッ素系樹脂フィルム
等がある。防湿性を厳しく要求される用途において、上
記のフィルムは、その厚さを厚くしなければならず、製
造作業上にも種々の問題が生じる。
【０００４】また、プラスチックの表面に金属アルミニ
ウムを真空蒸着することにより、防湿性を向上させる試
みがなされている。しかし、金属アルミニウム蒸着膜は
不透明であるために、これを包装材料に使用したときに
は、内容物を透視することができない。しかも、蒸着さ
れたアルミニウムとベースフィルムとの密着強度も比較
的低いため、その界面において剥離の生じるおそれがあ
る。
ウムを真空蒸着することにより、防湿性を向上させる試
みがなされている。しかし、金属アルミニウム蒸着膜は
不透明であるために、これを包装材料に使用したときに
は、内容物を透視することができない。しかも、蒸着さ
れたアルミニウムとベースフィルムとの密着強度も比較
的低いため、その界面において剥離の生じるおそれがあ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の包装
材料の欠点を改良すべく、特公昭51-48511号公報にはプ
ラスチック表面にケイ素酸化物を蒸着した透明防湿フィ
ルムが提案されている。しかし、同公報ではケイ素酸化
物の蒸着の後に、樹脂をラミネートすることが示されて
いるため、工程が複雑になり高価にならざるを得ない。
また特開昭54-152089号公報には金属、金属酸化物また
は酸化ケイ素を蒸着したポリエステルフィルムが開示さ
れているが、そこでは具体的な製造方法について言及さ
れていない。
材料の欠点を改良すべく、特公昭51-48511号公報にはプ
ラスチック表面にケイ素酸化物を蒸着した透明防湿フィ
ルムが提案されている。しかし、同公報ではケイ素酸化
物の蒸着の後に、樹脂をラミネートすることが示されて
いるため、工程が複雑になり高価にならざるを得ない。
また特開昭54-152089号公報には金属、金属酸化物また
は酸化ケイ素を蒸着したポリエステルフィルムが開示さ
れているが、そこでは具体的な製造方法について言及さ
れていない。
【０００６】一方、特公平2-59867号公報には、真空槽
内に酸素ガスおよび水蒸気を導入しながら金属マグネシ
ウムを加熱し蒸発させることにより、透明な基材上に透
明な蒸着薄膜を形成する方法が示されている。しかしそ
こでは、マグネシウムの酸化反応を促進する手段が考え
られていないため、膜の防湿性能が十分に高められてい
ないという欠点がある。
内に酸素ガスおよび水蒸気を導入しながら金属マグネシ
ウムを加熱し蒸発させることにより、透明な基材上に透
明な蒸着薄膜を形成する方法が示されている。しかしそ
こでは、マグネシウムの酸化反応を促進する手段が考え
られていないため、膜の防湿性能が十分に高められてい
ないという欠点がある。
【０００７】透明防湿膜に要求される特性は、透明で水
蒸気の透過を防ぐことであるが、膜付着力が高く、且つ
経時劣化の少ないことが合わせて望まれている。なお、
食品を初めとする各分野における包装のみならず、電子
工業分野においても近年ますますＥＬ素子や太陽電池等
にも透明でしかも高度の防湿性能を有する膜が保護膜と
して要求されつつある。本発明は以上のような従来の課
題を解決し、防湿性能を飛躍的に向上させ且つ透明性に
優れた防湿性透明膜の製造方法を提供することを目的と
するものである。
蒸気の透過を防ぐことであるが、膜付着力が高く、且つ
経時劣化の少ないことが合わせて望まれている。なお、
食品を初めとする各分野における包装のみならず、電子
工業分野においても近年ますますＥＬ素子や太陽電池等
にも透明でしかも高度の防湿性能を有する膜が保護膜と
して要求されつつある。本発明は以上のような従来の課
題を解決し、防湿性能を飛躍的に向上させ且つ透明性に
優れた防湿性透明膜の製造方法を提供することを目的と
するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意検討の
結果、上記のような従来の課題を解決することができ
た。すなわち本発明は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾ
ンを導入しながら物質を加熱し、蒸発させることによ
り、透明な基材上に透明な蒸着薄膜を形成することを特
徴とする、防湿性透明膜の製造方法を提供するものであ
る。さらに本発明は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾン
を導入しながら物質を加熱し、蒸発させ、蒸発した物質
をさらにイオン化・加速することにより、透明な基材上
に透明な蒸着薄膜を形成することを特徴とする、防湿性
透明膜の製造方法を提供するものである。さらに本発明
は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾンを導入しながら酸
化ケイ素を加熱し、蒸発させ、蒸発した酸化ケイ素をさ
らにイオン化・加速することにより、透明な基材上に透
明な蒸着薄膜を形成することを特徴とする、防湿性透明
膜の製造方法を提供するものである。
結果、上記のような従来の課題を解決することができ
た。すなわち本発明は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾ
ンを導入しながら物質を加熱し、蒸発させることによ
り、透明な基材上に透明な蒸着薄膜を形成することを特
徴とする、防湿性透明膜の製造方法を提供するものであ
る。さらに本発明は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾン
を導入しながら物質を加熱し、蒸発させ、蒸発した物質
をさらにイオン化・加速することにより、透明な基材上
に透明な蒸着薄膜を形成することを特徴とする、防湿性
透明膜の製造方法を提供するものである。さらに本発明
は、真空槽内に酸素ガスおよびオゾンを導入しながら酸
化ケイ素を加熱し、蒸発させ、蒸発した酸化ケイ素をさ
らにイオン化・加速することにより、透明な基材上に透
明な蒸着薄膜を形成することを特徴とする、防湿性透明
膜の製造方法を提供するものである。
【０００９】以下に本発明をさらに詳細に説明する。本
発明による防湿性透明膜の製造方法は、オゾンを含有し
た酸素ガスを導入しながら、物質、例えば酸化ケイ素、
金属マグネシウム、金属アルミニウムあるいはこれらの
各種化合物を真空中で加熱し蒸発させ、透明基材上に透
明な蒸着薄膜を形成するものである。
発明による防湿性透明膜の製造方法は、オゾンを含有し
た酸素ガスを導入しながら、物質、例えば酸化ケイ素、
金属マグネシウム、金属アルミニウムあるいはこれらの
各種化合物を真空中で加熱し蒸発させ、透明基材上に透
明な蒸着薄膜を形成するものである。
【００１０】本発明において、用いることができる基材
は、一般的には透明プラスチックであり、各種のものが
使用できる。例えばポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコ
ール、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、
ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、フッ素樹脂等が挙げら
れる。しかしこれらに限定される必要はない。基材の形
状もとくに限定されず、例えば可撓性のあるフィルム状
あるいは板状であってもよいし、レンズ状のプラスチッ
ク成形体であっても構わない。
は、一般的には透明プラスチックであり、各種のものが
使用できる。例えばポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコ
ール、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、
ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、フッ素樹脂等が挙げら
れる。しかしこれらに限定される必要はない。基材の形
状もとくに限定されず、例えば可撓性のあるフィルム状
あるいは板状であってもよいし、レンズ状のプラスチッ
ク成形体であっても構わない。
【００１１】これら透明基材表面に、オゾンを含有した
酸素ガスを導入しながら先に示したような物質を加熱蒸
着させ、防湿性の優れた透明な薄膜を形成する。本発明
で用いるオゾンを含有する酸素ガスにおいて、使用され
るオゾンの濃度は、１〜２０％（酸素濃度は９９〜８０
％）であり、より高濃度で使用することが好ましいが、
通常２〜６％（酸素濃度は９８〜９４％）である。真空
槽内に導入する、オゾンを含有する酸素ガスの圧力は、
１.３×１０-2Ｐａ〜５.２×１０-2が好ましい。
酸素ガスを導入しながら先に示したような物質を加熱蒸
着させ、防湿性の優れた透明な薄膜を形成する。本発明
で用いるオゾンを含有する酸素ガスにおいて、使用され
るオゾンの濃度は、１〜２０％（酸素濃度は９９〜８０
％）であり、より高濃度で使用することが好ましいが、
通常２〜６％（酸素濃度は９８〜９４％）である。真空
槽内に導入する、オゾンを含有する酸素ガスの圧力は、
１.３×１０-2Ｐａ〜５.２×１０-2が好ましい。
【００１２】本発明において、蒸発させる物質は、例え
ば酸化ケイ素、金属マグネシウム、金属アルミニウムあ
るいはこれらの各種化合物等が挙げられる。基材上に蒸
着するこれらの物質の膜厚は、必要に応じて決定するこ
とができる。蒸着速度は、例えば酸化ケイ素の場合１０
〜３０００Å／分、好ましくは１００〜５００Å／分が
よい。
ば酸化ケイ素、金属マグネシウム、金属アルミニウムあ
るいはこれらの各種化合物等が挙げられる。基材上に蒸
着するこれらの物質の膜厚は、必要に応じて決定するこ
とができる。蒸着速度は、例えば酸化ケイ素の場合１０
〜３０００Å／分、好ましくは１００〜５００Å／分が
よい。
【００１３】本発明方法は、例えば、次のようにして行
うことができる。真空槽内に上記透明基材を入れ、真空
槽を真空ポンプで排気しながら、オゾンを含有する酸素
ガスを導入し、蒸発させる物質、例えば酸化ケイ素を抵
抗加熱、電子ビーム加熱等の既知の加熱方法で加熱す
る。この加熱により発生する酸化ケイ素の蒸気が、オゾ
ンおよび酸素と反応し二酸化ケイ素となり、基材上に蒸
着し、透明な防湿性薄膜が形成される。なお、物質が蒸
発したときに、これを既知の方法でイオン化・加速し、
蒸気の活性度を高めることもできる。
うことができる。真空槽内に上記透明基材を入れ、真空
槽を真空ポンプで排気しながら、オゾンを含有する酸素
ガスを導入し、蒸発させる物質、例えば酸化ケイ素を抵
抗加熱、電子ビーム加熱等の既知の加熱方法で加熱す
る。この加熱により発生する酸化ケイ素の蒸気が、オゾ
ンおよび酸素と反応し二酸化ケイ素となり、基材上に蒸
着し、透明な防湿性薄膜が形成される。なお、物質が蒸
発したときに、これを既知の方法でイオン化・加速し、
蒸気の活性度を高めることもできる。
【００１４】
【作用】オゾンは酸素に比べて極めて活性であり、蒸発
させる物質との反応性が強い。そのため、オゾンを数％
含有しただけでも、蒸発させる物質の酸化反応が促進さ
れ、例えば酸化ケイ素では、より二酸化ケイ素が形成さ
れ易くなる。
させる物質との反応性が強い。そのため、オゾンを数％
含有しただけでも、蒸発させる物質の酸化反応が促進さ
れ、例えば酸化ケイ素では、より二酸化ケイ素が形成さ
れ易くなる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。基
材として、厚さ７５μmのポリエステル（ＰＥＴ）の透
明フィルムを用い、真空槽に配置し、６４０mm離れたと
ころに置いたるつぼの中に酸化ケイ素を収容した。真空
槽を１.３×１０-4Ｐａ程度まで排気した後、真空槽に
おいて、４％のオゾンを含有する酸素ガス（４％のオゾ
ンおよび９６％の酸素）の圧力が３×１０-2Ｐａとなる
ように導入した。加熱蒸発した酸化ケイ素をイオン化・
加速して、基材フィルム上に蒸着させた。得られた透明
フィルムの透湿度をJIS Z-0208に基づいて試験したとこ
ろ、検出限界以下、すなわち０.０５g／m2以下の極めて
良好な耐透湿性を有していることが確認された。
材として、厚さ７５μmのポリエステル（ＰＥＴ）の透
明フィルムを用い、真空槽に配置し、６４０mm離れたと
ころに置いたるつぼの中に酸化ケイ素を収容した。真空
槽を１.３×１０-4Ｐａ程度まで排気した後、真空槽に
おいて、４％のオゾンを含有する酸素ガス（４％のオゾ
ンおよび９６％の酸素）の圧力が３×１０-2Ｐａとなる
ように導入した。加熱蒸発した酸化ケイ素をイオン化・
加速して、基材フィルム上に蒸着させた。得られた透明
フィルムの透湿度をJIS Z-0208に基づいて試験したとこ
ろ、検出限界以下、すなわち０.０５g／m2以下の極めて
良好な耐透湿性を有していることが確認された。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明によって得られる
防湿性透明膜は、従来の方法によるものに比べて、防湿
性能が飛躍的に向上し、且つ透明性に優れている。従っ
て、本発明によって得られた防湿性透明膜は、食品、医
薬品、化学薬品等の包装材料および電子工業分野におけ
るＥＬ素子や太陽電池の保護膜等に好適に用いることが
できる。
防湿性透明膜は、従来の方法によるものに比べて、防湿
性能が飛躍的に向上し、且つ透明性に優れている。従っ
て、本発明によって得られた防湿性透明膜は、食品、医
薬品、化学薬品等の包装材料および電子工業分野におけ
るＥＬ素子や太陽電池の保護膜等に好適に用いることが
できる。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年６月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】これら透明基材表面に、オゾンを含有した
酸素ガスを導入しながら先に示したような物質を加熱蒸
着させ、防湿性の優れた透明な薄膜を形成する。本発明
で用いるオゾンを含有する酸素ガスにおいて、使用され
るオゾンの濃度は、１〜２０％（酸素濃度は９９〜８０
％）であり、より高濃度で使用することが好ましいが、
通常２〜６％（酸素濃度は９８〜９４％）である。真空
槽内に導入する、オゾンを含有する酸素ガスの圧力は、
１.３×１０-2〜５.２×１０-2Ｐａが好ましい。
酸素ガスを導入しながら先に示したような物質を加熱蒸
着させ、防湿性の優れた透明な薄膜を形成する。本発明
で用いるオゾンを含有する酸素ガスにおいて、使用され
るオゾンの濃度は、１〜２０％（酸素濃度は９９〜８０
％）であり、より高濃度で使用することが好ましいが、
通常２〜６％（酸素濃度は９８〜９４％）である。真空
槽内に導入する、オゾンを含有する酸素ガスの圧力は、
１.３×１０-2〜５.２×１０-2Ｐａが好ましい。
Claims (1)
- 【請求項１】 真空槽内に酸素ガスおよびオゾンを導入
しながら物質を加熱し、蒸発させることにより、透明な
基材上に透明な蒸着薄膜を形成することを特徴とする、
防湿性透明膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4366392A JPH05239628A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 防湿性透明膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4366392A JPH05239628A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 防湿性透明膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05239628A true JPH05239628A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12670095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4366392A Pending JPH05239628A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 防湿性透明膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05239628A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102162085A (zh) * | 2010-02-16 | 2011-08-24 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
| CN102191461A (zh) * | 2010-03-04 | 2011-09-21 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4366392A patent/JPH05239628A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102162085A (zh) * | 2010-02-16 | 2011-08-24 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
| CN102191461A (zh) * | 2010-03-04 | 2011-09-21 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
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