JPH05232040A - 外観検査用投光装置 - Google Patents
外観検査用投光装置Info
- Publication number
- JPH05232040A JPH05232040A JP3192292A JP3192292A JPH05232040A JP H05232040 A JPH05232040 A JP H05232040A JP 3192292 A JP3192292 A JP 3192292A JP 3192292 A JP3192292 A JP 3192292A JP H05232040 A JPH05232040 A JP H05232040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- substrate
- light flux
- fresnel lens
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
全体を斑なく照明できると共に、基板上の異物検出能力
に富み、且つ、基板の外観検査を効率よく行なえる外観
検査用投光装置を提供する。 【構成】本発明の投光装置は、光源28から発光された
照明光を平行光束に規制する集光用フレネルレンズ18
と、この集光用フレネルレンズ18を介して導光される
平行光束に対して挿脱可能に構成され、導光された平行
光束を収束光束に規制する投光用フレネルレンズ20
と、この投光用フレネルレンズ20を介して導光された
収束光束に対して挿脱可能に構成され、導光された収束
光束に光学的特性を与えて大型基板22上を照明する透
過型液晶板24と、を備えている。透過型液晶板24
は、通常不透明であって、電圧印加によって透明に変化
する機能を有する。
Description
晶ガラス基板等の基板上の外観を検査するための投光装
置に関する。
例えば、図4ないし図8に示すような投光装置が用いら
れている。
光された拡散光を基板、例えばウェハ4上に照明し、ウ
ェハ4表面上のごみや傷等の異物6からの散乱光とウェ
ハ4の表面からの直接反射光との強度差によって、ウェ
ハ4の表面の外観検査が行われている。
の目8に散乱光と直接反射光とが同時に入射してまぶし
いために、ウェハ表面上のごみや傷等の異物6の判断が
困難になるという問題がある。そこで、図5に示す装置
では、反射光が直接観察者の目8に入射しないように、
遮光板10が配置されている。
12を介して収束光束をウェハ4の表面に照明して外観
検査を行うように構成されている。また、図7に示され
た投光装置は、レンズ14を介して平行光束をウェハ4
の表面に照明して外観検査を行うように構成されてい
る。
面に照明される光束の照射範囲は、比較的狭いものの、
強い光で照射でき且つ観察者の目8も観察光軸に接近さ
せることができるため、ごみや傷等の異物6からの散乱
光の観察が容易となる。また、図8に示すように、複数
のオプチカルファイバ16を用いてウェハ表面全体を照
明する方法も知られている。
示す装置では、遮光板10によって、観察視野も遮られ
てしまい、ウェハ4の全体を観察するためには、遮光板
10を移動させたりウェハ4と光源2との成す角を変え
たりしなければならず、繁雑な作業が必要となるという
問題がある。
ハ全体を斑なく照明することができないため、大型のウ
ェハの外観を検査する場合には、この種の装置を複数個
必要となり、コスト的にも不利になるという問題があ
る。また、図8に示す装置では、散乱光の集合となるた
め、ウェハ表面上のごみや傷等の異物6の判断が困難に
なるという問題がある。
めになされ、その目的は、簡単且つ低価格な構成で、大
型基板全体を斑なく照明できると共に、基板上の異物検
出能力に富み、且つ、基板の外観検査を効率よく行なえ
る外観検査用投光装置を提供することにある。
るために、本発明は、基板表面を照明して、前記基板の
外観検査を行う投光装置であって、照明光路中を導光さ
れた光を平行光束に規制する第1の光学手段と、
記平行光束に対して挿脱可能に構成され、前記平行光束
に所定の光学的特性を与えて前記基板表面全体を照明可
能に構成された第2の光学手段と、を備えている。
照明光路中から脱出させ、第1の光学手段のみを照明光
路中に配置させることによって、平行光束が基板表面全
体に照明されて外観検査が行われる。また、第1及び第
2の光学手段を照明光路に挿入させることによって、所
定の光学的特性を有した照明光が基板表面全体に照明さ
れて所定の外観検査が行われる。
光装置について、図1ないし図3を参照して説明する。
投光装置は、照明光路中に配され、入射光を平行光束に
規制する集光用フレネルレンズ18(厚さ5mm)と、
この集光用フレネルレンズ18を介して導光された平行
光束に対して挿脱可能に構成され、導光された平行光束
を収束光束に規制する投光用フレネルレンズ20(厚さ
5mm)と、この投光用フレネルレンズ20を介して導
光された収束光束に対して挿脱可能に構成され、導光さ
れた収束光束に光学的特性を与えて観察試料、例えば、
対角500mm以上の大型基板22上を照明する散乱板
24と、を備えている。
ルレンズ20及び散乱板24は、供に、大型基板22よ
りも大きな径(500〜600mm程度)を有してい
る。このため、大型基板22は、その全体亘って斑なく
照明される。
24には、透明電極(図示しない)を介して電源26に
接続され、電圧が印加可能な透過型液晶板(以下、この
液晶板を参照符号24で示す)が用いられている。この
透過型液晶板24に適用された調光液晶シート(図示し
ない)は、通常は液滴中で液晶(図示しない)がランダ
ムになているため、入射された光が界面又は内部で散乱
されて不透明な状態になっているが、電圧を印加するこ
とによって、液晶が電界の方向に整列して、入射した光
を散乱しなくなり、透明に変化する機能を有する。
施例の投光装置に用いられた光源28には、例えば、メ
タルハライドランプ(150〜250W)が適用されて
いる。このような光源28は、その発光点が楕円回転面
ミラー30の第1焦点に位置付けられ、且つ、楕円回転
ミラー30の第2焦点が、散乱板が設けられたゲート3
2となるように構成されている。また、ゲート32と集
光用フレネルレンズ18との間の距離は、この集光用フ
レネルレンズ18の焦点距離(f)と一致している。
熱線吸収フィルタ34が設けられている。また、ゲート
32に配される散乱板は、20〜30mmの大きさを有
しており、ゲート32から均一照明光を出射させる機能
を有する。以下、このような構成を有する本実施例の外
観検査用投光装置の動作について図1ないし図3を参照
して説明する。
転ミラー30、熱線吸収フィルタ34及びゲート32を
介してフィルタ(グリーン、イエロー、偏光板等)36
を透過し、ミラー38に照射される。ミラー38に照射
された照明光は、このミラー38で反射されて、集光用
フレネルレンズ18に照射され、平行光束に規制され
る。
して用いるため、照明光路中には、投光用フレネルレン
ズ20、及び、電圧が印加されて透明になっている透過
型液晶板24が挿入されている。このため、投光用フレ
ネルレンズ20からの収束光束は、そのまま透過型液晶
板24を透過して、大型基板22の全面に斑なく照明さ
れる。
観察者の目40の近傍位置Sに結像される。このとき、
大型基板22の表面にごみや傷等の異物42が存在して
いる場合、この異物42から散乱光が発生して、近傍位
置Sでは結像しなくなる。この結果、観察者は、光軸外
から微小散乱光を目視観察することで、大型基板22の
表面の異物42の存在を確認できる。なお、近傍位置S
に、例えば遮光板(図示しない)を配置させて、基板表
面から直接反射した反射光が目40に入射しないように
構成することも好ましい。
されたパターンの乱れや斑あるいは基板表面のごみや傷
等の検査に適しており、その大型基板22の面上での照
度が極めて明るいため、異物42の確認が容易となるば
かりでなく、光源像が目40に入射されないため、まぶ
しくならず、観察に支障を来すこともない。
合、図2に示すように、電源26からの印加電圧を遮断
して、透過型液晶板24を不透明にすることによって、
投光用フレネルレンズ20を透過して形成された収束光
束は、透過型液晶板24によってシャーカステン照明光
となり、大型基板22の全面に斑なく照明される。
スト等の膜厚の斑あるいは透明導電膜(ITO)上のピ
ンホールや膜下のごみ等の検査に適しており、その大型
基板22の全面に亘って均一な照度となると共に、基板
表面に存在する異物42によって形成される干渉パター
ンが良く見える。
過型液晶板24を適用し、この透過型液晶板24に電圧
を印加又は遮断させるだけで、収束光束又は面光源を適
宜選択できるため、照明光路中に対する散乱板の挿脱の
必要がなくなり、観察作業効率を向上させることができ
る。
合、図3に示すように、投光用フレネルレンズ20及び
透過型液晶板24を照明光路外に回避させることによっ
て、集光用フレネルレンズ18を透過して形成された平
行光束は、大型基板22に斑なく照明される。
一括検査や基板表面のごみや傷の検査に適しており、そ
の大型基板22の全面に亘って一括照明することができ
るため、基板外観検査効率を向上させることができる。
光装置は、散乱板として透過型液晶板24を適用してお
り、照明光路中に透過型液晶板24を配置させたまま
で、電圧の印加・遮断によって、簡単に、所望の収束光
束又は面光源を選択することができる。この結果、基板
の外観検査作業の効率を向上させることができる。更
に、本実施例の投光装置は、大型基板全面を斑なく照明
するように構成されているため、基板表面全体に亘る異
物検出能力に優れ、且つ、基板の外観検査を効率よく行
なうことができる。
定されることはなく、例えば、投光用フレネルレンズ2
0と透過型液晶板24とを互いに照明光路に挿脱させ
て、所望の収束光束又は面光源を適宜選択可能に構成で
き得ることは言うまでもない。
ら導光された照明光を受光可能な位置に、アナライザと
してフィルム状偏光膜が形成されたガラス板を配置させ
ることによって、大型基板22の偏光観察を行うことも
可能である。なお、係る偏光観察は、観察者が偏光板が
設けられた眼鏡等を掛けて、光源像位置に目40を置く
ことによっても行うことができる。また、上述した実施
例では、観察者による目視検査について説明したが、画
像処理装置を介して基板外観検査を行うように構成して
もよい。
として透過型液晶板を適用しており、照明光路中に透過
型液晶板を配置させたままで、電圧の印加・遮断によっ
て、簡単に、所望の収束光束又は面光源を選択すること
ができる。この結果、基板の外観検査作業の効率を向上
させることができる。更に、本発明の投光装置は、大型
基板全面を斑なく照明するように構成されているため、
基板表面全体に亘る異物検出能力に優れ、且つ、基板の
外観検査を効率よく行なうことができる。
構成を概略的に示す図であって、収束光束を用いて基板
表面全体の観察を行っている状態を示す図。
表面全体の観察が行われている状態を示す図。
板表面全体の観察が行われている状態を示す図。
って基板表面の観察が行われている状態を示す図。
観察が行われている状態を示す図。
よって基板表面の観察が行われている状態を示す図。
よって基板表面の観察が行われている状態を示す図。
チカルファイバを用いて基板表面の観察が行われている
状態を示す図。
ンズ、22…大型基板、24…透過型液晶板、28…光
源。
Claims (4)
- 【請求項1】 基板表面を照明して、前記基板の外観検
査を行う投光装置であって、 照明光路中を導光された光を平行光束に規制する第1の
光学手段と、 この第1の光学手段を介して導光される前記平行光束に
対して挿脱可能に構成され、前記平行光束に所定の光学
的特性を与えて前記基板表面全体を照明可能に構成され
た第2の光学手段と、を備えていることを特徴とする外
観検査用投光装置。 - 【請求項2】 前記第1の光学手段は、第1のフレネル
レンズであることを特徴とする請求項1に記載の外観検
査用投光装置。 - 【請求項3】 前記第2の光学手段は、前記第1の光学
手段を介して導光された前記平行光束に対して挿脱可能
に構成され、前記平行光束を収束光束に規制するた第2
のフレネルレンズと、前記第2のフレネルレンズを介し
て導光された前記収束光束に対して挿脱可能に構成さ
れ、前記収束光束に所定の光学的特性を与えて前記基板
表面全体を照明する散乱板と、を備えていることを特徴
とする請求項1又は2に記載の外観検査用投光装置。 - 【請求項4】 前記散乱板は、電圧が印加可能な不透明
な調光液晶シートであって、電圧を印加することによっ
て透明に変化することを特徴とする請求項3に記載の外
観検査用投光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04031922A JP3095855B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 外観検査用投光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04031922A JP3095855B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 外観検査用投光装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36147499A Division JP3253942B2 (ja) | 1992-02-19 | 1999-12-20 | 外観検査用投光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05232040A true JPH05232040A (ja) | 1993-09-07 |
JP3095855B2 JP3095855B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=12344470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04031922A Expired - Lifetime JP3095855B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 外観検査用投光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3095855B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000097864A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
US6563577B2 (en) | 2000-04-21 | 2003-05-13 | Nikon Corporation | Defect testing apparatus and defect testing method |
KR100400455B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2003-10-01 | 엘지전자 주식회사 | 검사기판 조명장치 |
WO2003102562A1 (fr) * | 2002-05-31 | 2003-12-11 | Olympus Corporation | Dispositif de macro-illumination |
JP2007225591A (ja) | 2006-01-30 | 2007-09-06 | Aitec System:Kk | 照明装置 |
CN103939846A (zh) * | 2013-01-22 | 2014-07-23 | 牧德科技股份有限公司 | 用于线扫描的多角度照明的光学组件及使用其的光源*** |
-
1992
- 1992-02-19 JP JP04031922A patent/JP3095855B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000097864A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
JP4576006B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 外観検査用投光装置 |
US6563577B2 (en) | 2000-04-21 | 2003-05-13 | Nikon Corporation | Defect testing apparatus and defect testing method |
KR100400455B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2003-10-01 | 엘지전자 주식회사 | 검사기판 조명장치 |
WO2003102562A1 (fr) * | 2002-05-31 | 2003-12-11 | Olympus Corporation | Dispositif de macro-illumination |
KR100738741B1 (ko) * | 2002-05-31 | 2007-07-12 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 마크로 조명 장치 |
JP2007225591A (ja) | 2006-01-30 | 2007-09-06 | Aitec System:Kk | 照明装置 |
CN103939846A (zh) * | 2013-01-22 | 2014-07-23 | 牧德科技股份有限公司 | 用于线扫描的多角度照明的光学组件及使用其的光源*** |
KR101476530B1 (ko) * | 2013-01-22 | 2014-12-24 | 마하비전 아이엔씨. | 라인 스캔을 위한 다중 각도 조명 광학 조립체 및 이를 이용한 광원 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3095855B2 (ja) | 2000-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101318483B1 (ko) | 유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 검사 시스템 및 방법 | |
JP3385432B2 (ja) | 検査装置 | |
JPH0727709A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JPH11281584A (ja) | 検査方法およびその装置 | |
JPH05232040A (ja) | 外観検査用投光装置 | |
JPS6321855B2 (ja) | ||
KR100873057B1 (ko) | 반사광 및 투과광에 의한 시각검사용 조명장치 | |
JP3095856B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
JP3253942B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
KR100400455B1 (ko) | 검사기판 조명장치 | |
JP3625953B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
JP2821460B2 (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
JP2005233695A (ja) | 透明板欠陥検査装置 | |
KR100372322B1 (ko) | 검사장치 | |
JP2009092481A (ja) | 外観検査用照明装置及び外観検査装置 | |
KR101157081B1 (ko) | 조명장치와 이를 포함하는 기판 검사 장치 | |
JP2002071571A (ja) | 外観検査用投光装置 | |
JP2003121385A (ja) | 石英ガラス材内部の欠陥検査方法および検査装置 | |
KR100965418B1 (ko) | 기판 결함 검출 장치 | |
JP3523848B2 (ja) | 外観検査用照明装置 | |
KR100508190B1 (ko) | 대형기판 검사용 조명장치 | |
JPH063278A (ja) | 基板外観検査装置 | |
KR200287375Y1 (ko) | 광원장치용 콘덴싱 렌즈 유니트 | |
JPH04344447A (ja) | 透明ガラス基板の欠陥検出装置 | |
JPH0868767A (ja) | 壜胴部の欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000718 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080804 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 12 |