JPH05232024A - Ｉｃｐ発光分光分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分光分析装置Info
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- JPH05232024A JPH05232024A JP4033175A JP3317592A JPH05232024A JP H05232024 A JPH05232024 A JP H05232024A JP 4033175 A JP4033175 A JP 4033175A JP 3317592 A JP3317592 A JP 3317592A JP H05232024 A JPH05232024 A JP H05232024A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣＰ発光分光分析装置において、溶媒の液
滴によるプラズ炎の消炎を防止するとともに、測光信号
を安定化する。 【構成】 超音波ネブライザ１を有するＩＣＰ発光分光
分析装置において、超音波ネブライザ１からプラズマト
ーチ２に至る試料エアロゾルの搬送経路に、二重筒構造
で排液口１１ａを有する分離チャンバ１０が介装され、
この分離チャンバ１０の二重筒内部に、超音波ネブライ
ザ１からの試料エアロゾルが噴出するノズル１４が開口
している。
滴によるプラズ炎の消炎を防止するとともに、測光信号
を安定化する。 【構成】 超音波ネブライザ１を有するＩＣＰ発光分光
分析装置において、超音波ネブライザ１からプラズマト
ーチ２に至る試料エアロゾルの搬送経路に、二重筒構造
で排液口１１ａを有する分離チャンバ１０が介装され、
この分離チャンバ１０の二重筒内部に、超音波ネブライ
ザ１からの試料エアロゾルが噴出するノズル１４が開口
している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣＰ（高周波誘導結
合プラズマ）発光分光分析装置に係り、詳しくは、超音
波ネブライザからプラズマトーチに至る試料エアロゾル
の搬送経路部分の構造に関する。
合プラズマ）発光分光分析装置に係り、詳しくは、超音
波ネブライザからプラズマトーチに至る試料エアロゾル
の搬送経路部分の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣＰ発光分光分析装置には、超音波ネ
ブライザにより液体試料をエアロゾル化し、この試料エ
アロゾルをキャリアガスとともにプラズマトーチに導入
するようにしたものがある。超音波ネブライザは、霧吹
き式のネブライザに比べると、粒径の細かい試料エアロ
ゾルが生成でき、また、キャリアガスの供給量に関係な
く試料エアロゾルの量を調整しうる、という利点があ
る。
ブライザにより液体試料をエアロゾル化し、この試料エ
アロゾルをキャリアガスとともにプラズマトーチに導入
するようにしたものがある。超音波ネブライザは、霧吹
き式のネブライザに比べると、粒径の細かい試料エアロ
ゾルが生成でき、また、キャリアガスの供給量に関係な
く試料エアロゾルの量を調整しうる、という利点があ
る。
【０００３】図２に、従来のこの種のＩＣＰ発光分光分
析装置の要部の構成を示す。同図において、符号１は超
音波ネブライザ、２はプラズマトーチである。超音波ネ
ブライザ１は、ネブライザ本体３と、脱溶媒部４とから
なる。ネブライザ本体３は、霧化室５内に超音波振動子
６を設けたもので、試料容器７からポンプ８により超音
波振動子６の表面に送り込まれる液体試料Ｓを、超音波
振動子６の振動により霧化する。このネブライザ本体３
でエアロゾル化された試料は、霧化室５内に流入するキ
ャリアガスとともに、脱溶媒部４へ送出される。脱溶媒
部４は、加熱と冷却とにより試料エアロゾルを細粒子化
するとともに、試料エアロゾルから溶媒（通常は水）を
取り除く。脱溶媒部４を通過した試料エアロゾルは、搬
送管９を通じてプラズマトーチ２に搬送される。
析装置の要部の構成を示す。同図において、符号１は超
音波ネブライザ、２はプラズマトーチである。超音波ネ
ブライザ１は、ネブライザ本体３と、脱溶媒部４とから
なる。ネブライザ本体３は、霧化室５内に超音波振動子
６を設けたもので、試料容器７からポンプ８により超音
波振動子６の表面に送り込まれる液体試料Ｓを、超音波
振動子６の振動により霧化する。このネブライザ本体３
でエアロゾル化された試料は、霧化室５内に流入するキ
ャリアガスとともに、脱溶媒部４へ送出される。脱溶媒
部４は、加熱と冷却とにより試料エアロゾルを細粒子化
するとともに、試料エアロゾルから溶媒（通常は水）を
取り除く。脱溶媒部４を通過した試料エアロゾルは、搬
送管９を通じてプラズマトーチ２に搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の通り、超音波ネ
ブライザを有する従来のＩＣＰ発光分光分析装置では、
超音波ネブライザ１に脱溶媒部４を付設して、この脱溶
媒部４により試料エアロゾルから溶媒を取り除き、プラ
ズマトーチ２には、溶媒を含まない試料エアロゾルを送
り込むようにしているが、脱溶媒部４での溶媒は、装置
を長時間運転した場合とか、室温が低い場合には、試料
エアロゾルに含まれる溶媒が液滴（通常は水滴）として
搬送管９内に溜まってしまって完全に除去しきれないこ
とがある。そして、搬送管９内に溶媒が液滴として溜ま
ってしまうと、この液滴状の溶媒がプラズマトーチ２に
まで吹き上がり、結果、プラズマ炎が消炎されてしまう
という不具合を引き起こす。
ブライザを有する従来のＩＣＰ発光分光分析装置では、
超音波ネブライザ１に脱溶媒部４を付設して、この脱溶
媒部４により試料エアロゾルから溶媒を取り除き、プラ
ズマトーチ２には、溶媒を含まない試料エアロゾルを送
り込むようにしているが、脱溶媒部４での溶媒は、装置
を長時間運転した場合とか、室温が低い場合には、試料
エアロゾルに含まれる溶媒が液滴（通常は水滴）として
搬送管９内に溜まってしまって完全に除去しきれないこ
とがある。そして、搬送管９内に溶媒が液滴として溜ま
ってしまうと、この液滴状の溶媒がプラズマトーチ２に
まで吹き上がり、結果、プラズマ炎が消炎されてしまう
という不具合を引き起こす。
【０００５】また、従来の装置では、超音波ネブライザ
１からプラズマトーチ２へ試料エアロゾルが円滑に流れ
るように、その間の搬送経路がほぼ同一内径の管路で構
成されているのであるが、ネブライザ本体３で試料エア
ロゾルの粒子密度に濃淡の変動が発生した場合には、そ
の濃淡の変動が疎密波の形でプラズマトーチ２まで直接
送られることになり、プラズマトーチ２で発光の強度変
動を来し、結果、安定した測光信号が得られなくなる、
という問題がある。
１からプラズマトーチ２へ試料エアロゾルが円滑に流れ
るように、その間の搬送経路がほぼ同一内径の管路で構
成されているのであるが、ネブライザ本体３で試料エア
ロゾルの粒子密度に濃淡の変動が発生した場合には、そ
の濃淡の変動が疎密波の形でプラズマトーチ２まで直接
送られることになり、プラズマトーチ２で発光の強度変
動を来し、結果、安定した測光信号が得られなくなる、
という問題がある。
【０００６】さらに、脱溶媒部４での試料エアロゾルの
細粒子化が不充分である場合には、粒径にばらつきのあ
る試料エアロゾルがそのままプラズマトーチ２に導入さ
れることにもなり、発光強度にばらつきが生じ、この点
からも、安定した測光信号が得られなくなる。
細粒子化が不充分である場合には、粒径にばらつきのあ
る試料エアロゾルがそのままプラズマトーチ２に導入さ
れることにもなり、発光強度にばらつきが生じ、この点
からも、安定した測光信号が得られなくなる。
【０００７】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、溶媒の液滴によるプラズ炎の消炎という
不具合の発生を防止するとともに、測光信号を安定化す
ることを課題とする。
ものであって、溶媒の液滴によるプラズ炎の消炎という
不具合の発生を防止するとともに、測光信号を安定化す
ることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
達成するために、超音波ネブライザとプラズマトーチと
の間の試料エアロゾルの搬送経路に、排液口を有する分
離チャンバが介装されており、この分離チャンバは内筒
と外筒とを有し、この内筒に超音波ネブライザからの試
料エアロゾルが噴出するとともに、外筒からプラズマト
ーチに試料エアロゾルを搬送する構造とした。
達成するために、超音波ネブライザとプラズマトーチと
の間の試料エアロゾルの搬送経路に、排液口を有する分
離チャンバが介装されており、この分離チャンバは内筒
と外筒とを有し、この内筒に超音波ネブライザからの試
料エアロゾルが噴出するとともに、外筒からプラズマト
ーチに試料エアロゾルを搬送する構造とした。
【０００９】
【作用】上記の構成によれば、超音波ネブライザから送
り出された試料エアロゾルは、プラズマトーチの手前
で、分離チャンバの内筒に噴出し、チャンバ端部で反転
流動した後、その外筒からプラズマトーチ側に流出す
る。その間に試料エアロゾルは、粒子密度が平均化され
るとともに、溶媒の液滴や、試料エアロゾルの大きな粒
子が分離除去される。
り出された試料エアロゾルは、プラズマトーチの手前
で、分離チャンバの内筒に噴出し、チャンバ端部で反転
流動した後、その外筒からプラズマトーチ側に流出す
る。その間に試料エアロゾルは、粒子密度が平均化され
るとともに、溶媒の液滴や、試料エアロゾルの大きな粒
子が分離除去される。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係るＩＣＰ発光分
光分析装置の要部の構成を示す構成図である。
光分析装置の要部の構成を示す構成図である。
【００１１】同図に示すように、この実施例のＩＣＰ発
光分光分析装置が、超音波ネブライザ１と、プラズマト
ーチ２とを備え、超音波ネブライザ１が、ネブライザ本
体３と、脱溶媒部４とからなる点は、前記した従来例と
同じである。また、ネブライザ本体３が、霧化室５と、
超音波振動子６とを備え、試料容器７からポンプ８によ
り超音波振動子６の表面に送り込まれる液体試料Ｓを、
超音波振動子６の振動により霧化するものであり、ま
た、脱溶媒部４が、ネブライザ本体３からの試料エアロ
ゾルを加熱と冷却とにより細粒子化するとともに、試料
エアロゾルから溶媒を取り除くものである点も、従来例
と同じである。
光分光分析装置が、超音波ネブライザ１と、プラズマト
ーチ２とを備え、超音波ネブライザ１が、ネブライザ本
体３と、脱溶媒部４とからなる点は、前記した従来例と
同じである。また、ネブライザ本体３が、霧化室５と、
超音波振動子６とを備え、試料容器７からポンプ８によ
り超音波振動子６の表面に送り込まれる液体試料Ｓを、
超音波振動子６の振動により霧化するものであり、ま
た、脱溶媒部４が、ネブライザ本体３からの試料エアロ
ゾルを加熱と冷却とにより細粒子化するとともに、試料
エアロゾルから溶媒を取り除くものである点も、従来例
と同じである。
【００１２】この実施例のＩＣＰ発光分光分析装置が従
来例と異なる点は、超音波ネブライザ１の脱溶媒部４か
ら試料エアロゾルを搬送する搬送管９と、プラズマトー
チ１のセンター管２ａとが分離され、その分離部間に、
二重筒構造の分離チャンバ１０が連通接続されているこ
とである。この分離チャンバ１０は、一端が閉じた外筒
１１と、この外筒１１の他端を閉じるキャップ１２と、
外筒１１と同心にキャップ１２側に取り付けられた内筒
１３とから構成され、キャップ１２が若干高くなる傾斜
姿勢で支持されている。そして、キャップ１２には、搬
送管９に連通接続するノズル１４が設けられ、このノズ
ル１４は、内筒１３の内部で傾斜下端側に向けて開口し
ている。一方、外筒１１の傾斜下端には排液口１１ａが
開設され、外筒１１の上部で長さ方向中途位置に、試料
エアロゾルの流出口１１ｂが設けられ、この流出口１１
ｂがプラズマトーチ２のセンター管２ａに接続されてい
る。１５は排液タンクである。
来例と異なる点は、超音波ネブライザ１の脱溶媒部４か
ら試料エアロゾルを搬送する搬送管９と、プラズマトー
チ１のセンター管２ａとが分離され、その分離部間に、
二重筒構造の分離チャンバ１０が連通接続されているこ
とである。この分離チャンバ１０は、一端が閉じた外筒
１１と、この外筒１１の他端を閉じるキャップ１２と、
外筒１１と同心にキャップ１２側に取り付けられた内筒
１３とから構成され、キャップ１２が若干高くなる傾斜
姿勢で支持されている。そして、キャップ１２には、搬
送管９に連通接続するノズル１４が設けられ、このノズ
ル１４は、内筒１３の内部で傾斜下端側に向けて開口し
ている。一方、外筒１１の傾斜下端には排液口１１ａが
開設され、外筒１１の上部で長さ方向中途位置に、試料
エアロゾルの流出口１１ｂが設けられ、この流出口１１
ｂがプラズマトーチ２のセンター管２ａに接続されてい
る。１５は排液タンクである。
【００１３】上記の構成において、ネブライザ本体３で
生成された試料エアロゾルは、脱溶媒部４で、細粒子化
されるとともに溶媒が取り除かれ、搬送管９を通じてプ
ラズマトーチ２側へ送出されるが、プラズマトーチ２の
手前で、分離チャンバ１０に流入する。この分離チャン
バ１０で、試料エアロゾルはノズル１４から内筒１３の
内部に噴出し、外筒１１の傾斜下端で反転して内筒１３
と外筒１１との間隙に流入し、流出口１１ｂからプラズ
マトーチ２側に流出する。
生成された試料エアロゾルは、脱溶媒部４で、細粒子化
されるとともに溶媒が取り除かれ、搬送管９を通じてプ
ラズマトーチ２側へ送出されるが、プラズマトーチ２の
手前で、分離チャンバ１０に流入する。この分離チャン
バ１０で、試料エアロゾルはノズル１４から内筒１３の
内部に噴出し、外筒１１の傾斜下端で反転して内筒１３
と外筒１１との間隙に流入し、流出口１１ｂからプラズ
マトーチ２側に流出する。
【００１４】この間、試料エアロゾルは、分離チャンバ
１０内部で反転流動することで、粒径に応じて選別分離
される。すなわち、試料エアロゾルに溶媒の液滴が含ま
れていると、その液滴は外筒１１の壁面に付着し、壁面
に沿って傾斜下端に集まる。そして、排液口１１ａから
外部に排出される。
１０内部で反転流動することで、粒径に応じて選別分離
される。すなわち、試料エアロゾルに溶媒の液滴が含ま
れていると、その液滴は外筒１１の壁面に付着し、壁面
に沿って傾斜下端に集まる。そして、排液口１１ａから
外部に排出される。
【００１５】また、分離チャンバ１０に流入する試料エ
アロゾルのうち、粒径の細かいものは流出口１１ｂに達
するが、粒径の大きなものは外筒１１の壁面に付着し、
試料エアロゾルから取り除かれる。したがって、試料エ
アロゾルは分離チャンバ１０を通過することで、粒径の
細かいものが選別され、プラズマトーチ２には、細かい
粒径に揃えられた試料エアロゾルが供給され、発光強度
のばらつきが生じなくなる。
アロゾルのうち、粒径の細かいものは流出口１１ｂに達
するが、粒径の大きなものは外筒１１の壁面に付着し、
試料エアロゾルから取り除かれる。したがって、試料エ
アロゾルは分離チャンバ１０を通過することで、粒径の
細かいものが選別され、プラズマトーチ２には、細かい
粒径に揃えられた試料エアロゾルが供給され、発光強度
のばらつきが生じなくなる。
【００１６】さらに、試料エアロゾルは、分離チャンバ
１０の内部で反転流動することで、一時的に滞留し、撹
拌される。そのため、ネブライザ本体３から、粒子密度
に濃淡の変動がある試料エアロゾルが送られてきても、
分離チャンバ１０内でその粒子密度が平均化され、プラ
ズマトーチ２では、粒子密度の濃淡による発光強度の変
動がなくなり、発光強度が安定する。
１０の内部で反転流動することで、一時的に滞留し、撹
拌される。そのため、ネブライザ本体３から、粒子密度
に濃淡の変動がある試料エアロゾルが送られてきても、
分離チャンバ１０内でその粒子密度が平均化され、プラ
ズマトーチ２では、粒子密度の濃淡による発光強度の変
動がなくなり、発光強度が安定する。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、分離チャンバ内で溶媒
の液滴が分離除去されるから、プラズマトーチの手前に
液滴が溜まるようなことがなく、液滴の吹き上げにより
プラズマ炎が消炎するという不具合の発生が確実に防止
される。
の液滴が分離除去されるから、プラズマトーチの手前に
液滴が溜まるようなことがなく、液滴の吹き上げにより
プラズマ炎が消炎するという不具合の発生が確実に防止
される。
【００１８】また、超音波ネブライザからの試料エアロ
ゾルに粒子密度の濃淡変動があっても、その試料エアロ
ゾルは、分離チャンバ内で粒子密度が平均化されるか
ら、プラズマトーチでの発光強度も平均化し、安定した
測光信号が得られる。
ゾルに粒子密度の濃淡変動があっても、その試料エアロ
ゾルは、分離チャンバ内で粒子密度が平均化されるか
ら、プラズマトーチでの発光強度も平均化し、安定した
測光信号が得られる。
【００１９】しかも、分離チャンバで粒径の大きな試料
エアロゾルが分離除去され、プラズマトーチには、細か
い粒径に揃えられた試料エアロゾルが供給されるから、
この点からも、測光信号が安定化する。
エアロゾルが分離除去され、プラズマトーチには、細か
い粒径に揃えられた試料エアロゾルが供給されるから、
この点からも、測光信号が安定化する。
【図１】本発明の一実施例に係るＩＣＰ発光分光分析装
置の要部の構成図である。
置の要部の構成図である。
【図２】従来のＩＣＰ発光分光分析装置の要部の構成図
である。
である。
１ 超音波ネブライザ ２ プラズマトーチ ９ 搬送管 １０ 分離チャンバ １１ 外筒 １１ａ 排液口 １２ 内筒 １４ ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】 超音波ネブライザとプラズマトーチとの
間の試料エアロゾルの搬送経路に、排液口を有する分離
チャンバが介装されており、この分離チャンバは内筒と
外筒とを有し、この内筒に超音波ネブライザからの試料
エアロゾルが噴出するとともに、外筒からプラズマトー
チに試料エアロゾルを搬送する構造になっていることを
特徴とするＩＣＰ発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04033175A JP3084885B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04033175A JP3084885B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232024A true JPH05232024A (ja) | 1993-09-07 |
| JP3084885B2 JP3084885B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=12379187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04033175A Expired - Fee Related JP3084885B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084885B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988000572A1 (en) * | 1986-07-24 | 1988-01-28 | Shiseido Company Ltd. | Spherical clay mineral powder, process for its production, and composition containing same |
| JP2009008689A (ja) * | 2008-08-08 | 2009-01-15 | Shimadzu Corp | エアロゾル発生装置 |
| JP2012032210A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Yamatake Corp | 分析光発生装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6058078B2 (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-11 | 幸人 河本 | ゴミ被覆保護装置 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP04033175A patent/JP3084885B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988000572A1 (en) * | 1986-07-24 | 1988-01-28 | Shiseido Company Ltd. | Spherical clay mineral powder, process for its production, and composition containing same |
| JP2009008689A (ja) * | 2008-08-08 | 2009-01-15 | Shimadzu Corp | エアロゾル発生装置 |
| JP2012032210A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Yamatake Corp | 分析光発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3084885B2 (ja) | 2000-09-04 |
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Legal Events
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