JPH05228799A - Touch sensor tool - Google Patents
Touch sensor toolInfo
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- JPH05228799A JPH05228799A JP7321492A JP7321492A JPH05228799A JP H05228799 A JPH05228799 A JP H05228799A JP 7321492 A JP7321492 A JP 7321492A JP 7321492 A JP7321492 A JP 7321492A JP H05228799 A JPH05228799 A JP H05228799A
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- light
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- touch sensor
- work
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、複合加工機械に装備し
て対象物に接触することにより対象物の形状、寸法を計
測する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus which is installed in a multi-tasking machine to measure the shape and size of an object by contacting the object.
【0002】[0002]
【従来の技術】マシニングセンタやFMS等の複合加工
工作機械においては、加工工作機械にワーク等を自動的
に供給して無人化による自動加工を実行する。供給され
たワークを自動的に加工するためには、ワークの形状、
寸法を計測して加工原点等を設定する必要がある。この
為に、複合加工工作機械にセンサを装備してワークの形
状、寸法を計測している。2. Description of the Related Art In a complex machining machine tool such as a machining center or an FMS, a workpiece or the like is automatically supplied to the machining machine tool to perform unmanned automatic machining. In order to automatically process the supplied work, the shape of the work,
It is necessary to measure the dimensions and set the processing origin. For this purpose, the multi-task machine tool is equipped with a sensor to measure the shape and dimensions of the work.
【0003】図5はマシニングセンタ1の概要を示すも
ので、ベース上を前後方向である矢印A、B方向に移動
するコラム10に対して、主軸20が矢印A、B方向に
垂直な上下方向である矢印C、D方向に移動自在に装備
される。テーブル30は矢印A、B方向に垂直な水平方
向である矢印E、F方向に移動自在にとりつけられ、テ
ーブル30上にパレット32を介してワーク35が供給
される。FIG. 5 shows an outline of the machining center 1, in which a main shaft 20 is arranged vertically with respect to a column 10 moving on the base in the front-rear direction of arrows A and B. It is equipped so that it can move in the directions of arrows C and D. The table 30 is mounted so as to be movable in the directions of arrows E and F, which are horizontal directions perpendicular to the directions of arrows A and B, and a work 35 is supplied onto the table 30 via a pallet 32.
【0004】全体を符号40で示すATC(自動工具交
換装置)は、ATCアーム42と工具移送アーム45を
有する。工具マガジン50は、例えばチェーン52に多
数のツールポケット54を有し、交換用のツール60を
格納する。ATCアーム42は矢印G、H方向に回動
し、工具移送アーム45は矢印I、J方向に回動する。
両アーム42、45は共同して主軸20と工具マガジン
50の間で工具を自動的に交換する。図5は、主軸20
に計測用のタッチセンサツール100が装着された状態
を示す。タッチセンサツール100はプローブ160を
有し、プローブ160の先端でテーブル30上のワーク
35に接触してワーク35の形状、寸法を計測する。An ATC (Automatic Tool Changer) generally designated by 40 has an ATC arm 42 and a tool transfer arm 45. The tool magazine 50 has a large number of tool pockets 54 in a chain 52, for example, and stores a tool 60 for replacement. The ATC arm 42 rotates in the directions of arrows G and H, and the tool transfer arm 45 rotates in the directions of arrows I and J.
Both arms 42, 45 cooperate to automatically exchange tools between the spindle 20 and the tool magazine 50. FIG. 5 shows the spindle 20
The state in which the touch sensor tool 100 for measurement is attached is shown in FIG. The touch sensor tool 100 has a probe 160, and the tip of the probe 160 contacts the work 35 on the table 30 to measure the shape and size of the work 35.
【0005】図6は、従来のタッチセンサツール70の
機構を示すもので、プローブ72の上端は円盤状のブロ
ック74に連結され、ブロック74の周囲からは3本の
ピン76が放射状に突出している。各ピン76はV字形
に形成した接点78に挟まれ、各接点78はワイヤ79
によって電気的に接続されている。ブロック74の上部
は、スプリング80を介して調整用コマ81に連結され
タッチセンサツール70の本体71にねじ込まれる調整
ねじ82を調整してプローブ72に適当な下向きの与圧
をかける。プローブ72がワーク35に接触してプロー
ブ72が軸方向に変位したり、軸方向に直角な方向に変
位すると、ピン76が接点78から離れる。これを電気
的に検出してワーク35の形状、寸法を計測していた。
機械式の電気接点を用いたタッチセンサツールにかえ
て、光学式のセンサを用いることにより、精度を向上す
ることが可能となる。例えば特開平2−161301号
公報は、発光素子と受光素子とにより光学センサを構成
して、プローブのX、Y、Z軸方向の移動を検出する測
定器を開示している。FIG. 6 shows the mechanism of the conventional touch sensor tool 70. The upper end of the probe 72 is connected to a disk-shaped block 74, and three pins 76 radially project from the periphery of the block 74. There is. Each pin 76 is sandwiched between contacts 78 formed in a V shape, and each contact 78 has a wire 79.
Are electrically connected by. An upper part of the block 74 is connected to an adjusting piece 81 via a spring 80, and an adjusting screw 82 screwed into a main body 71 of the touch sensor tool 70 is adjusted to apply an appropriate downward pressure to the probe 72. When the probe 72 comes into contact with the work 35 and the probe 72 is displaced in the axial direction or in the direction orthogonal to the axial direction, the pin 76 separates from the contact 78. This is electrically detected to measure the shape and size of the work 35.
It is possible to improve accuracy by using an optical sensor instead of a touch sensor tool using mechanical electrical contacts. For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 2-161301 discloses a measuring device which constitutes an optical sensor with a light emitting element and a light receiving element and detects movement of a probe in the X, Y, and Z axis directions.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】以上に説明した従来の
機械接点式のタッチセンサツールにあっては、プローブ
72にある程度以上の力が加えられて作動するので、高
精度の計測に適さず、くり返し精度も不充分であった。
またこの種のセンサは、プローブの先端がワークに接触
したか否かを検出するもので、ON−OFFの検出機能
しか持っていない。特開平2−161301号公報のも
のは、1軸方向の変位のみか、あるいはその1軸と垂直
方向の二次元平面の変位を検出するものであって、3軸
方向の変位を同時に検出するものではない。特開平1−
6836号公報は、光学的なセンサを用いて力の大きさ
を計測する装置が提案されている。しかしながら、この
公報に開示されたセンサは、力を計測するものであっ
て、変位による形状、寸法を計測するものではない。そ
こで本発明は、光学的な接点を備え、かつ、X、Y、Z
の3軸の変位量を同時に計測できる加工工作機械用のタ
ッチセンサツールを提供するものである。In the conventional mechanical contact type touch sensor tool described above, since a certain amount of force is applied to the probe 72 to operate, it is not suitable for high precision measurement. Repeat accuracy was also insufficient.
Further, this type of sensor detects whether or not the tip of the probe comes into contact with the work, and has only an ON-OFF detection function. The one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. Hei 2-161301 detects only displacement in one axis direction or displacement in a two-dimensional plane perpendicular to the one axis, and simultaneously detects displacement in three axes directions. is not. JP-A-1-
Japanese Patent No. 6836 proposes a device that measures the magnitude of force using an optical sensor. However, the sensor disclosed in this publication measures a force, not a shape and a dimension due to displacement. Therefore, the present invention is provided with an optical contact and has X, Y, Z
The present invention provides a touch sensor tool for a machine tool capable of simultaneously measuring the displacement amounts of the three axes.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のタッチセンサツ
ールは、ツール本体と一体のハウジングと、ハウジング
の内周側に配設されるプローブと、プローブをハウジン
グに対し常に基準位置に戻るように支持するスプリング
とを備える。そして、プローブとハウジングとの間に光
センサユニットを設けたことを基本的な手段として有す
る。SUMMARY OF THE INVENTION A touch sensor tool of the present invention includes a housing integrated with a tool body, a probe disposed on the inner peripheral side of the housing, and a probe which always returns to a reference position with respect to the housing. And a supporting spring. The basic means is that an optical sensor unit is provided between the probe and the housing.
【0008】[0008]
【作用】プローブの先端がワークに接触して変位する
と、この変位を光センサユニットが検知して電気信号を
発する。この信号を解析することにより、ワークの形
状、寸法を高速、高精度、かつ連続的に計測することが
できる。When the tip of the probe comes into contact with the work and is displaced, the optical sensor unit detects this displacement and emits an electric signal. By analyzing this signal, the shape and size of the work can be continuously measured at high speed and with high accuracy.
【0009】[0009]
【実施例】図1は本発明のタッチセンサツールの全体構
成を示す説明図、図2は図1のA−A断面図、図3は要
部の説明図である。全体を符号100で示すタッチセン
サツールは、シャンク110を有し、プルスタッド11
2を利用して加工工作機械の主軸20に装着される。シ
ャンク110に連続する本体115の下部には、カップ
状のハウジング120がボルト122を介して固着され
る。カップ状のハウジング120の内側には、リング部
材130がボルト132により固着される。リング部材
130の内側中心部には、円筒状のブロック140が配
設され、リング部材130間を折曲した板状のスプリン
グ135で連結される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view showing the entire structure of a touch sensor tool of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. A touch sensor tool, generally indicated at 100, has a shank 110 and a pull stud 11
It is attached to the spindle 20 of the machining machine tool by using the number 2. A cup-shaped housing 120 is fixed to a lower portion of a main body 115 continuous with the shank 110 via a bolt 122. A ring member 130 is fixed to the inside of the cup-shaped housing 120 with bolts 132. A cylindrical block 140 is arranged at the center of the inside of the ring members 130, and the ring members 130 are connected by bent plate springs 135.
【0010】図2に示すように、スプリング135は円
周上の3か所に配設され、ブロック140は自然状態で
その軸線がシャンク110の中心線と一致する位置に弾
支される。ブロック140の下部は、ハウジング120
の底部に設けた丸穴から突出するが、両者の間にはシー
ル部材150をとりつけて、ハウジング120の内部へ
の塵の侵入を防ぐ。ブロック140の下部に、プローブ
160をねじ部162を介してとりつける。プローブ1
60の先端は球状の接触子164が形成される。リング
部材130とブロック140の間には、円周上に120
度の角度間隔で3個の光センサユニット200がとりつ
けられる。As shown in FIG. 2, the springs 135 are arranged at three locations on the circumference, and the block 140 is elastically supported in a position where its axis coincides with the center line of the shank 110 in a natural state. The lower part of the block 140 is the housing 120.
Although it protrudes from a round hole provided at the bottom of the housing, a seal member 150 is attached between them to prevent dust from entering the inside of the housing 120. The probe 160 is attached to the lower portion of the block 140 via the screw portion 162. Probe 1
A spherical contactor 164 is formed at the tip of 60. Between the ring member 130 and the block 140, 120 on the circumference.
Three photosensor units 200 are mounted at angular intervals of degrees.
【0011】図3は光センサユニット200の詳細を示
すもので、光センサユニット200は、点状の光源21
0と、光センサ230を組合せたものである。光源21
0は、例えばLEDの発光面にピンホールをとりつけて
点状の光212を発するように構成したものである。光
センサ230は、4分割された受光部232A、232
B、232C、232Dを有する受光面232を備え
る。光源210は、取付具220を介してブロック14
0の外周部に固着され、光センサ230は取付具240
を介してリング部材130の内側に固着される。FIG. 3 shows the details of the optical sensor unit 200. The optical sensor unit 200 is a point light source 21.
0 and the optical sensor 230 are combined. Light source 21
For example, 0 is a structure in which a pinhole is attached to the light emitting surface of the LED to emit point light 212. The optical sensor 230 includes four light receiving portions 232A and 232.
A light receiving surface 232 having B, 232C, and 232D is provided. The light source 210 is attached to the block 14 via a fixture 220.
The optical sensor 230 is fixed to the outer peripheral portion of
It is fixed to the inside of the ring member 130 via.
【0012】自然状態においては、光源210の光軸と
光センサ230の受光面232の中心が一致するように
両者は配設される。光源210と光センサ230は、ハ
ウジング120内部に配設される電気回路250に連結
され、電気回路250はライン260を介して送信部2
70に通ずる。送信部270は、本機側に設けた受信部
280に対してデータを送信する。すなわち、タッチセ
ンサツール100が主軸20に装着される際に、送信部
270と受信部280は近接してデータを非接触で送
る。In the natural state, the light source 210 and the optical sensor 230 are arranged so that the optical axis of the light source 210 and the center of the light receiving surface 232 of the optical sensor 230 coincide with each other. The light source 210 and the optical sensor 230 are connected to an electric circuit 250 disposed inside the housing 120, and the electric circuit 250 is connected to the transmitter 2 via a line 260.
Go to 70. The transmission unit 270 transmits data to the reception unit 280 provided on the side of this machine. That is, when the touch sensor tool 100 is mounted on the spindle 20, the transmitter 270 and the receiver 280 are close to each other and send data in a non-contact manner.
【0013】次に本発明の作用を説明する。光源210
から照射されるビーム212が光センサ230の4分割
された受光面232に均等に受光されている場合には、
4つの受光部232A、232B、232C、232D
からは等しい電気信号が発せられる。光源210が軸
X、Yのいずれかの方向に移動すると、4つの受光部2
32A、232B、232C、232Dが受光する光量
のバランスが変化する。また、光源210がZ軸方向に
移動すると、前記4つの受光部に入射する光量の強度が
変化する。したがって、4つの受光部232A、232
B、232C、232Dから発生される電気信号が変化
するので、この信号を解析することにより光源210の
移動方向と移動量を検知することができる。3つの光セ
ンサユニットの信号を解析することにより、プローブ1
60の回転中心が求まり正確な検知が達成できる。Next, the operation of the present invention will be described. Light source 210
When the beam 212 emitted from is evenly received by the four-divided light receiving surface 232 of the optical sensor 230,
Four light receiving parts 232A, 232B, 232C, 232D
Emits an equal electrical signal. When the light source 210 moves in either of the axes X and Y, the four light receiving units 2
The balance of the amount of light received by 32A, 232B, 232C, and 232D changes. Further, when the light source 210 moves in the Z-axis direction, the intensity of the amount of light incident on the four light receiving portions changes. Therefore, the four light receiving parts 232A, 232
Since the electric signals generated from B, 232C, and 232D change, the moving direction and the moving amount of the light source 210 can be detected by analyzing this signal. By analyzing the signals of the three optical sensor units, the probe 1
The center of rotation of 60 is found, and accurate detection can be achieved.
【0014】図4は、本装置を構成する電気回路のブロ
ック図である。光源210と光センサ230から構成さ
れる光センサユニット200は、円周を3等分して3個
のユニット200A、200B、200Cが配設され
る。第1の光センサユニット200Aにおいて、光源2
10は電源201により駆動され、LEDが発光する。
光源210と光センサ230が相対的にX、Y、Z方向
に移動すると、光センサ230の4分割された受光部の
受光量が変化し、発生する電流値が変化する。電気回路
250は、アンプ250Aを有し、4分割された受光部
の発生する各電流を電圧に変換し増幅する。増幅された
電圧a、b、c、dは演算回路250Bへ送られ、加
算、減算、除算が演算され、補正回路250Cでリニア
補正されて、X1、Y1、Z1のアナログデータとしてデ
ータ通信フォーマット変換器250Dへ送られる。同様
に、第2の光センサユニット200BからもX2、Y2、
Z2のデータが得られ、第3の光センサユニット200
CからもX3、Y3、Z3のデータが得られる。データ通
信フォーマット交換器250Dは、アナログの各電圧を
データ通信用の規格、1例として、RS232C方式に
代表されるようなシリアルデータ伝送方式の規格、に変
換する機能を有する。通信用に変換されたデータは、ラ
イン260を介して送信部270へ送られ、電磁誘導方
式等により非接触にて本機側の受信部280へ伝達され
る。本機側へ伝達されたデータは、変位量演算処理部4
00で、X1〜X3、Y1〜Y3、Z1〜Z3の各データより
回転中心が求められ、X軸、Y軸、Z軸方向の実際の変
位量が演算される。この結果は、中央処理装置500へ
送られ、CNC制御に利用される。以上の機能を備えた
タッチセンサツール100を主軸20に装着してワーク
35を乗せたテーブル30との間の距離をNC制御し、
タッチセンサツールのプローブ160の先端部164を
ワーク35の表面に接触させる。プローブ160の先端
164がワーク表面に接触すると、光センサユニット2
00は、この接触を検知して信号を発する。タッチセン
サツールのプローブ160の長さ寸法や球状の接触子1
64の径寸法または外形寸法はパラメータとして与えら
れているので、NC装置は主軸20とワーク35の間の
距離を認識することができる。タッチセンサツール10
0をワーク35の各表面に接触させることにより、ワー
ク35の形状、寸法を計測することができる。計測は光
センサを使用するので、応答性が良く、高精度にかつ連
続的に実行される。ワークの形状、寸法を認識したNC
装置は、加工原点を自動的に設定して、自動加工をスタ
ートする。FIG. 4 is a block diagram of an electric circuit which constitutes this apparatus. An optical sensor unit 200 including a light source 210 and an optical sensor 230 is provided with three units 200A, 200B, and 200C that divide the circumference into three equal parts. In the first optical sensor unit 200A, the light source 2
10 is driven by the power source 201, and the LED emits light.
When the light source 210 and the optical sensor 230 relatively move in the X, Y, and Z directions, the amount of light received by the four-divided light receiving portions of the optical sensor 230 changes, and the generated current value changes. The electric circuit 250 has an amplifier 250A and converts each current generated by the four-divided light receiving section into a voltage and amplifies it. The amplified voltages a, b, c, and d are sent to the arithmetic circuit 250B, addition, subtraction, and division are calculated, linear correction is performed by the correction circuit 250C, and data is obtained as analog data of X 1 , Y 1 , and Z 1. It is sent to the communication format converter 250D. Similarly, from the second optical sensor unit 200B, X 2 , Y 2 ,
The Z 2 data is obtained, and the third optical sensor unit 200 is obtained.
The data of X 3 , Y 3 , and Z 3 can be obtained from C as well. The data communication format exchanger 250D has a function of converting each analog voltage into a standard for data communication, for example, a standard of a serial data transmission system represented by the RS232C system. The data converted for communication is sent to the transmission unit 270 via the line 260 and is transmitted to the reception unit 280 on the main body side in a contactless manner by an electromagnetic induction method or the like. The data transmitted to the unit side is the displacement amount calculation processing unit 4
In 00, X 1 ~X 3, Y 1 ~Y 3, the center of rotation than the data Z 1 to Z 3 are determined, X-axis, Y-axis, the actual displacement amount in the Z-axis direction is calculated. The result is sent to the central processing unit 500 and used for CNC control. The touch sensor tool 100 having the above functions is attached to the spindle 20, and the distance between the touch sensor tool 100 and the table 30 on which the work 35 is placed is NC controlled.
The tip 164 of the probe 160 of the touch sensor tool is brought into contact with the surface of the work 35. When the tip 164 of the probe 160 contacts the work surface, the optical sensor unit 2
00 detects this contact and emits a signal. Touch sensor tool probe 160 length and spherical contactor 1
Since the diameter dimension or outer dimension of 64 is given as a parameter, the NC device can recognize the distance between the spindle 20 and the work 35. Touch sensor tool 10
By bringing 0 into contact with each surface of the work 35, the shape and dimensions of the work 35 can be measured. Since the measurement uses an optical sensor, it has high responsiveness, and is continuously executed with high accuracy. NC that recognizes the shape and size of the work
The machine automatically sets the machining origin and starts automatic machining.
【0015】[0015]
【発明の効果】本発明は以上のように、加工工作機械の
主軸に装着してテーブル上のワークに接触してワークの
形状、寸法を計測するタッチセンサツールにおいて、ツ
ールのシャンクにとりつけられるハウジングに対して、
ワークに接触するプローブの頭部に設ける円筒状のブロ
ックをスプリングを介してとりつけてある。そしてハウ
ジングとブロックとの間に光センサユニットをとりつけ
てプローブの動きを光学的に検知するように構成したも
のである。光センサユニットを使用したので、プローブ
がワークに接触したことを高精度かつ連続的に検知する
ことができる。制御装置はワークの形状、寸法を正確に
認識して自動加工を実行することができる。なお、本実
施例では、主軸にとりつけるツールにタッチセンサを内
蔵した装置を説明したが、他の形式のタッチセンサとし
ても応用することができる。As described above, according to the present invention, in a touch sensor tool which is mounted on a spindle of a machining machine tool and comes into contact with a work on a table to measure the shape and size of the work, a housing attached to the shank of the tool. Against
A cylindrical block provided on the head of the probe that contacts the work is attached via a spring. Then, an optical sensor unit is attached between the housing and the block to optically detect the movement of the probe. Since the optical sensor unit is used, the contact of the probe with the work can be detected with high accuracy and continuously. The control device can accurately recognize the shape and size of the work and execute automatic processing. In the present embodiment, the device in which the touch sensor is built in the tool attached to the main shaft has been described, but the present invention can be applied to other types of touch sensors.
【図1】本発明の実施例を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】図1のA−A断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図3】光センサユニットの説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of an optical sensor unit.
【図4】光センサユニットの電気回路図。FIG. 4 is an electric circuit diagram of an optical sensor unit.
【図5】光センサユニットの電気回路図。FIG. 5 is an electric circuit diagram of the optical sensor unit.
【図6】本発明を適用する加工工作機械の一例を示す斜
視図。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a processing machine tool to which the present invention is applied.
【図7】従来のタッチセンサツールの説明図。FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventional touch sensor tool.
1 加工工作機械 20 主軸 30 テーブル 35 ワーク 40 自動工具交換装置 50 工具マガジン 100 タッチセンサツール 110 シャンク 115 ツール本体 120 ハウジング 130 リング部材 135 スプリング 140 ブロック 160 プローブ 200 光センサユニット 210 光源 230 光センサ 232 4分割受光面 1 Processing Machine Tool 20 Spindle 30 Table 35 Work 40 Automatic Tool Changer 50 Tool Magazine 100 Touch Sensor Tool 110 Shank 115 Tool Body 120 Housing 130 Ring Member 135 Spring 140 Block 160 Probe 200 Optical Sensor Unit 210 Light Source 230 Optical Sensor 232 4 Division Light receiving surface
Claims (2)
対象物の形状、寸法を計測するタッチセンサツールであ
って、ハウジングの内周側に配設されるプローブと、プ
ローブをハウジングに対し常に基準位置に戻るように支
持する弾性部材と、プローブとハウジングとの間に配設
されてプローブの三次元の変位量を同時に光学的に検知
する少なくとも1個の光センサユニットとを備えてなる
タッチセンサツール。1. A touch sensor tool mounted on a processing machine for measuring the shape and size of an object by contacting the object, the probe being disposed on the inner peripheral side of the housing, and the probe being mounted on the housing. On the other hand, an elastic member that always returns to the reference position and at least one optical sensor unit that is disposed between the probe and the housing to optically detect the three-dimensional displacement amount of the probe simultaneously are provided. Touch sensor tool.
の光を受光して電気信号に変換する4分割の受光部を有
する光センサからなる請求項1記載のタッチセンサツー
ル。2. The touch sensor tool according to claim 1, wherein the optical sensor unit comprises a light source and an optical sensor having a four-divided light receiving section for receiving light from the light source and converting the light into an electric signal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7321492A JPH05228799A (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Touch sensor tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7321492A JPH05228799A (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Touch sensor tool |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05228799A true JPH05228799A (en) | 1993-09-07 |
Family
ID=13511694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7321492A Pending JPH05228799A (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Touch sensor tool |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05228799A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002059341A (en) * | 2000-08-24 | 2002-02-26 | Okuma Corp | Measuring unit |
JP2008504555A (en) * | 2004-06-28 | 2008-02-14 | ヘキサゴン メトロロジー エービー | Measuring probe for use in coordinate measuring instruments |
EP2857831A3 (en) * | 2013-10-02 | 2015-04-22 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Built-in type vision based inspection tool for autonomous setting of initial origin |
JP2021070151A (en) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 彭 ▲シン▼烽Hsin Fung Peng | Device capable of processing and measuring workpiece in production line |
KR102622681B1 (en) * | 2023-06-07 | 2024-01-09 | 신성테크 주식회사 | Deep Hole processing device and Deep Hole processing method using the same. |
-
1992
- 1992-02-25 JP JP7321492A patent/JPH05228799A/en active Pending
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