JPH05226454A - 縦型基板熱処理装置のクリーンエアユニットの取付構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリア収納ボックスと熱処理炉との間に設
けられるクリーンエアユニットに対する保守点検や交換
などのメンテナンス作業を容易に行えるようにする。 【構成】 前面に開閉扉１を設けたケーシング２内の上
方側に、制御ボックス７およびキャリア収納ボックス４
それぞれを開閉扉１よりも外方位置まで移動可能に、か
つ、その外方位置からケーシング２の横側方の退避位置
にわたって回転変位可能にケーシング２に設け、そし
て、それらの奥に設けられるクリーンエアユニット６
を、開閉扉１の近傍の取り出し位置とにわたって移動可
能にケーシング２に設け、クリーンエアユニット６をク
リーンルーム側に取り出してメンテナンス作業を行える
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板やセラミッ
クス基板といった各種の基板に対して、酸化、アニーリ
ング、ＣＶＤ（化学気相成長）、あるいは、拡散などの
各種の熱処理を行うために、前面に開閉扉を設けたケー
シング内の上方側に、基板用キャリアを多段に収容可能
なキャリア収納ボックスを設けるとともに、そのキャリ
ア収納ボックスの奥側に熱処理炉を設け、開閉扉とキャ
リア収納ボックスとの間に制御ボックスを設けるととも
に、キャリア収納ボックスと熱処理炉との間にクリーン
エアユニットを設けた縦型基板熱処理装置のクリーンエ
アユニットの取付構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の縦型基板熱処理装置において、
クリーンエアユニットに対する保守点検やフィルターの
交換といったメンテナンス作業を行う場合、従来では、
ケーシングの奥側の着脱可能な仕切り壁を外して熱処理
炉を取り外してから、クリーンルーム側とは反対のメン
テナンスルーム側にクリーンエアユニットを取り出すと
か、あるいは、コンピュータを収容している制御ボック
スおよびキャリア収納ボックスそれぞれを取り外してか
らクリーンエアユニットをクリーンルーム側に取り出す
とかしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、メンテ
ナンスルーム側に取り出す場合、熱処理炉をケーシング
外に取り外すために、その取り外し作業に多大な手間を
要するばかりか、メンテナンスルームの空気によって、
仕切り壁よりクリーンルーム側にあるべきクリーンエア
ユニット、キャリア収納ボックス、制御ボックスが汚染
されやすくなる欠点があった。

【０００４】一方、クリーンルーム側に取り出す場合、
制御ボックスおよびキャリア収納ボックスそれぞれをケ
ーシング外に取り出すために、その取り外し作業に多大
な手間を要する欠点があった。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、キャリア収納ボックスと熱処理炉との
間に設けられるクリーンエアユニットに対する保守点検
や交換などのメンテナンス作業を容易に行うことができ
るようにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述のような
目的を達成するために、前面に開閉扉を設けたケーシン
グ内の上方側に、基板用キャリアを多段に収容可能なキ
ャリア収納ボックスを設けるとともに、そのキャリア収
納ボックスの奥側に熱処理炉を設け、開閉扉とキャリア
収納ボックスとの間に制御ボックスを設けるとともに、
キャリア収納ボックスと熱処理炉との間にクリーンエア
ユニットを設けた縦型基板熱処理装置のクリーンエアユ
ニットの取付構造において、制御ボックスおよびキャリ
ア収納ボックスそれぞれを開閉扉よりも外方位置まで移
動可能に、かつ、その外方位置からケーシングの横側方
の退避位置にわたって回転変位可能にケーシングに設
け、クリーンエアユニットを、キャリア収納ボックスと
熱処理炉との間から開閉扉の近傍の取り出し位置とにわ
たって移動可能にケーシングに設けて構成する。

【０００７】

【作用】本発明の縦型基板熱処理装置のクリーンエアユ
ニットの取付構造の構成によれば、開閉扉を開き、制御
ボックスを開閉扉よりも外方位置まで移動してから退避
位置に回転変位し、更に、キャリア収納ボックスを開閉
扉よりも外方位置まで移動してから退避位置に回転変位
し、その状態で、制御ボックスおよびキャリア収納ボッ
クスそれぞれに邪魔されることなく、クリーンエアユニ
ットを開閉扉の近傍の取り出し位置まで移動して引き出
し、フィルターを交換したり、あるいは、クリーンエア
ユニット全体を交換するなど、適宜、保守点検や交換な
どのメンテナンス作業を行うことができる。

【０００８】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【０００９】図１は、本発明に係る縦型基板熱処理装置
のクリーンエアユニットの取付構造の実施例を示す全体
縦断側面図、図２は全体正面図であり、前面に観音開き
式の開閉扉１，１を設けたケーシング２内の上方側に、
基板用キャリア３を多段に収容可能なキャリア収納ボッ
クス４が設けられるとともに、そのキャリア収納ボック
ス４の奥側に熱処理炉５が設けられ、かつ、キャリア収
納ボックス４と熱処理炉５との間に、フィルター６ａを
収容したクリーンエアユニット６が設けられ、仕切り壁
３０によって熱処理炉５と仕切られている。一方、キャ
リア収納ボックス４よりも前面側にコンピュータを収容
した制御ボックス７が設けられている。

【００１０】キャリア収納ボックス４の下方に、基板用
キャリア３を昇降するハンドリングステージ８が設けら
れるとともに、熱処理炉５の下方に、基板ボート９を昇
降するボートハンドラー１０が設けられている。

【００１１】ハンドリングステージ８よりも前方側にカ
セットハンドラー１１が設けられるとともに、ハンドリ
ングステージ８とボートハンドラー１０との間にウエハ
ハンドラー１２が設けられている。

【００１２】ケーシング２の左右の内周壁面の内の、カ
セットハンドラー１１の支柱１３を取り付けた側に、図
３の一部を省略した斜視図に示すように、支柱１３より
も前方において上下一対の第１の固定ガイド１４，１４
が取り付けられ、その第１の固定ガイド１４，１４それ
ぞれに第１の可動ガイド１５が摺動移動可能に取り付け
られるとともに、第１の可動ガイド１５，１５それぞれ
の先端側に、制御ボックス７の横側面に取り付けた第１
の支持ブラケット１６が鉛直方向の軸芯Ｐ１［図４
（ｂ）参照］周りで回転可能に取り付けられている。

【００１３】また、ケーシング２の左右の内周壁面の内
の他方側に、上下一対の第２の固定ガイド１７，１７が
取り付けられ、その第２の固定ガイド１７，１７それぞ
れに第２の可動ガイド１８が摺動移動可能に取り付けら
れるとともに、第２の可動ガイド１８，１８それぞれの
先端側に、キャリア収納ボックス４の横側面に取り付け
た第２の支持ブラケット１９が鉛直方向の軸芯Ｐ２［図
４（ｂ）参照］周りで回転可能に取り付けられている。

【００１４】また、ケーシング２の天板の下面に、左右
一対の第３の固定ガイド２０，２０が取り付けられ、そ
の第３の固定ガイド２０，２０それぞれに、クリーンエ
アユニット６の上面に取り付けた係合部材２１が摺動移
動可能に取り付けられている。

【００１５】以上の構成により、図４の（ａ）および
（ｂ）それぞれの要部の横断面図に示すように、通常時
には、クリーンエアユニット６を左右の当て板２２，２
２に当接する箇所で位置決め固定し、そして、キャリア
収納ボックス４を、その第２の支持ブラケット１９より
も遠い側に付設された位置決めピン２３をケーシング２
の内周壁面に取り付けたブラケット２４の位置決め穴
（図示せず）に嵌入することにより位置決め固定し、ま
た、制御ボックス７を、その第１の支持ブラケット１６
よりも遠い側に付設された位置決めピン２５をケーシン
グ２の内周壁面に取り付けたブラケット２６の位置決め
穴（図示せず）に嵌入することにより位置決め固定でき
るようになっている。

【００１６】そして、クリーンエアユニット６に対する
メンテナンス作業時には、開閉扉１，１それぞれを揺動
して開き、先ず、制御ボックス７を開閉扉１，１よりも
ケーシング２の外方まで摺動移動し、更に、鉛直軸芯Ｐ
１周りで回転してケーシング２の横外側方の退避位置に
変位し、次いで、キャリア収納ボックス４を開閉扉１，
１よりもケーシング２の外方まで摺動移動し、更に、鉛
直軸芯Ｐ２周りで回転してケーシング２の横外側方の退
避位置に変位し、しかる後に、クリーンエアユニット６
を摺動移動してケーシング２の外方に取り出すことがで
きるようになっている。

【００１７】図示していないが、制御ボックス７に対す
る電気配線類はケーブルベアなどに収納され、ケーシン
グ２の内外への移動に支障をきたさないように構成され
ている。上記実施例では、クリーンエアユニット６のケ
ーシング２の内外への移動を手動でもって行うように構
成しているが、例えば、第３の固定ガイド２０，２０の
一方をネジ軸で構成し、そのネジ軸に螺合する内ネジ部
材をクリーンエアユニット６に取り付けるとともに、ネ
ジ軸に電動モータを連動連結し、電動モータの駆動によ
ってクリーンエアユニット６をケーシング２の内外に移
動するように構成しても良い。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の縦型基板
熱処理装置のクリーンエアユニットの取付構造によれ
ば、制御ボックスおよびキャリア収納ボックスそれぞれ
を開閉扉よりも外方位置まで移動してから退避位置に回
転変位して、クリーンエアユニットを開閉扉の近傍位置
まで移動できるから、フィルターを交換したり、あるい
は、クリーンエアユニット全体を交換するなど、適宜、
保守点検や交換などのメンテナンス作業を行うときに、
制御ボックスおよびキャリア収納ボックスそれぞれをク
リーンエアユニットの取り出しに邪魔にならない位置に
容易に移動でき、クリーンエアユニットに対する保守点
検や交換などのメンテナンス作業を、手間少なく容易に
行うことができるようになった。

【００１９】しかも、クリーンエアユニットに対するメ
ンテナンス作業を、クリーンルーム側に位置する開閉扉
側において行うから、従来のように、クリーンエアユニ
ットをメンテナンスルーム側に取り出す場合のようなキ
ャリア収納ボックス等に対する汚染を良好に回避でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る縦型基板熱処理装置のクリーンエ
アユニットの取付構造の実施例を示す全体縦断側面図で
ある。

【図２】全体正面図である。

【図３】一部を省略した要部の斜視図である。

【図４】要部の横断面図である。

【符号の説明】

１…開閉扉 ２…ケーシング ３…基板用キャリア ４…キャリア収納ボックス ５…熱処理炉 ６…クリーンエアユニット ７…制御ボックス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面に開閉扉を設けたケーシング内の上
   方側に、基板用キャリアを多段に収容可能なキャリア収
   納ボックスを設けるとともに、そのキャリア収納ボック
   スの奥側に熱処理炉を設け、前記開閉扉と前記キャリア
   収納ボックスとの間に制御ボックスを設けるとともに、
   前記キャリア収納ボックスと前記熱処理炉との間にクリ
   ーンエアユニットを設けた縦型基板熱処理装置のクリー
   ンエアユニットの取付構造において、 前記制御ボックスおよび前記キャリア収納ボックスそれ
   ぞれを前記開閉扉よりも外方位置まで移動可能に、か
   つ、その外方位置から前記ケーシングの横側方の退避位
   置にわたって回転変位可能に前記ケーシングに設け、前
   記クリーンエアユニットを、前記キャリア収納ボックス
   と前記熱処理炉との間から前記開閉扉の近傍の取り出し
   位置とにわたって移動可能に前記ケーシングに設けたこ
   とを特徴とする縦型基板熱処理装置のクリーンエアユニ
   ットの取付構造。