JPH05211030A

JPH05211030A - 電子放出素子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH05211030A
Application number: JP1562992A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kobayashi; 寛史小林; Yoshihiro Yoshida; 芳博吉田; Takeshi Kozuka; 武小塚
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1992-01-31
Filing date: 1992-01-31
Publication date: 1993-08-20

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、電子放出素子及びその製造方法に
関し、陰極先端に電界集中し易く、電子引出し効率を向
上させて信頼性を向上させることができる電子放出素子
を提供するとともに、複数個の陰極形状のばらつきが小
さく、しかも陰極先端と電子引出し用電極が正確に位置
合わせされた電子放出素子を容易に歩留まりよく形成す
ることができる電子放出素子の製造方法を提供すること
を目的とする。【構成】アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に形成
された電子放出材料部材を陰極とするように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子放出素子及びその
製造方法に係り、詳しくは、フラットＣＲＴ、高速電子
素子等に適用することができ、特に電子引出し効率を向
上させて信頼性を向上させることができる電子放出素子
と、電子放出素子を容易に歩留まりよく形成することが
できる電子放出素子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子放出源としては熱陰極型電子
放出素子が多く用いられてきたが、熱陰極を利用した電
子放出素子では過熱によるエネルギーロスが大きく予備
電離が必要であるうえ、過熱による陰極先端の消耗や汚
染が激しく寿命が短い等の問題を有していた。

【０００３】これらの問題を解決するために注目されて
いる従来の電子放出素子には、冷陰極型のものが知られ
ており、その中でも局部的に高電界を発生させて電解放
出を行わせることができる電界効果型の電子放出素子の
研究開発が近年盛んに行われている。この従来の電界効
果型の電子放出素子については、例えば特開平２−２７
０２４７号公報、特開平３−１４７２２６号公報で報告
されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た特開平２−２７０２４７号公報、特開平３−１４７２
２６号公報で報告されている従来の電界効果型電子放出
素子では、電子放出部となる円錐状や三角錘状の陰極を
蒸着法により形成していたため、陰極の形状を精度よく
形成し難いうえ、再現性よく形成し難かった。特に、複
数個同時に配列されたマルチ電子源を形成する場合に
は、陰極の形状のばらつきが大きかった。このように陰
極の形状のばらつきが大きいと、各陰極での放出電流の
ばらつきが大きくなるという特性不良を生じるだけでな
く、一部の陰極は電子放出をしなかったり、一部の陰極
は異常な電界集中による先端の溶融が生じたりたりする
等信頼性が低下し易かった。

【０００５】また、特公昭５４−１７５５１号公報や特
開平３−１４７２２６号公報で報告されている従来の電
子放出素子では、電子引出し用電極と陰極先端をミクロ
ンスケールの位置に精度よく形成することが困難であっ
た。そこで、本発明は、陰極先端に電界集中し易く、電
子引出し効率を向上させて信頼性を向上させることがで
きる電子放出素子を提供するとともに、複数個の陰極形
状のばらつきが小さく、しかも陰極先端と電子引出し用
電極が正確に位置合わせされた電子放出素子を容易に歩
留まりよく形成することができる電子放出素子の製造方
法を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に形成された電子
放出材料部材を陰極とすることを特徴とするものであ
る。請求項２記載の発明は、アルミニウム多孔性陽極酸
化膜の複数の孔内に形成された円柱状電子放出部を結合
して構成された陰極を有することを特徴とするものであ
る。

【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記電子放出部の先端が前記アルミニウム
陽極酸化膜の孔底側に形成されてなることを特徴とする
ものである。請求項４記載の発明は、アルミニウム部材
を陽極酸化して複数の孔を有するアルミニウム多孔性陽
極酸化膜を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多
孔性陽極酸化膜を陽極酸化されていないアルミニウム部
分から分離する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性
陽極酸化膜の少なくとも一部の孔内に電子放出部を充填
する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜
の片面上に導電部を形成することにより複数の電子放出
部が結合された陰極を形成する工程とを含むことを特徴
とするものである。

【０００８】請求項５記載の発明は、アルミニウム部材
を陽極酸化して複数の孔を有するアルミニウム多孔性陽
極酸化膜を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多
孔性陽極酸化膜の少なくとも一部の孔内に電子放出部を
充填する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸
化膜上に導電部を形成することにより複数の電子放出部
が結合された陰極を形成する工程と、次いで、該アルミ
ニウム多孔性陽極酸化膜のバリヤー層と陽極酸化されて
いないアルミニウム部分の少なくとも一部を除去して電
子放出部の先端を露出させる工程とを含むことを特徴と
するものである。

【０００９】請求項６記載の発明は、請求項２記載の発
明において、前記導電部が形成されている側とは反対側
の前記アルミニウム多孔性陽極酸化膜上に絶縁膜が形成
され、該絶縁膜上に電子引出し用電極が形成されてなる
ことを特徴とするものである。請求項７記載の発明は、
アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔を有するアル
ミニウム多孔性陽極酸化膜を形成する工程と、次いで、
該アルミニウム多孔性陽極酸化膜の少なくとも一部の孔
内に電子放出部を充填する工程と、次いで、該アルミニ
ウム多孔性陽極酸化膜上に導電部を形成することにより
複数の電子放出部が結合された陰極を形成する工程と、
次いで、該アルミニウム部分を除去する工程と、次い
で、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜のバリヤー層上に
電子引出し電極を形成する工程と、次いで、該電子放出
部の先端上の該バリヤー層を除去する工程とを含むこと
を特徴とするものである。

【００１０】請求項８記載の発明は、請求項２乃至３記
載の発明において、前記電子放出部と前記導電部が電解
析出法で同一の材料で形成されてなることを特徴とする
ものである。請求項９記載の発明は、アルミニウム部材
を陽極酸化して複数の孔を有するアルミニウム多孔性陽
極酸化膜を形成する工程と、次いで、電解析出法により
該アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に電子放出部を
形成するとともに、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜上
に導電部を同時形成する工程とを含むことを特徴とする
ものである。

【００１１】請求項10記載の発明は、請求項２乃至７記
載の発明において、前記電子放出部は高融点金属で形成
されてなり、前記導電部は低抵抗金属で形成されてなる
ことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】請求項１記載の発明では、アルミニウム多孔性
陽極酸化膜の孔内に形成された電子放出材料部材を陰極
として構成したため、陰極形状を陽極酸化膜の孔形状で
決定することができる。このため、陰極の先端形状のば
らつきを小さくすることができ、信頼性の良好な電子放
出素子を得ることができる。

【００１３】請求項２記載の発明では、１つの陰極に多
数の電子放出部を具備するように構成したため、電子放
出部全てに高電界強度をかけることができ、全体として
大きな放出電流となる電子放出素子を得ることができ
る。請求項３記載の発明では、電子放出部の先端をアル
ミニウム陽極酸化膜の孔底側に形成して構成したため、
陰極の先端形状を陽極酸化膜の孔底で決定することがで
きる。このため、曲率半径を小さくすることができ、陰
極先端に電界が集中し易く、電子放出特性の良好な電子
放出素子を得ることができる。

【００１４】請求項４記載の発明では、上記請求項２記
載の電子放出素子を容易に歩留まりよく形成することが
できる。請求項５記載の発明では、上記請求項３記載の
電子放出素子を容易に歩留まりよく形成することができ
る。請求項６記載の発明では、電子引出し電極の位置を
絶縁膜の膜厚で制御することができ、電子引出し電極を
陰極に対してミクロンスケールの位置に精度よく形成す
ることができ、上記請求項２記載の電子放出素子の電子
放出特性を更に向上させた電子放出素子を得ることがで
きる。

【００１５】請求項７記載の発明では、電子引出し電極
の位置を陽極酸化膜のバリヤー層の膜厚で制御すること
ができるため、電子引出し電極を陰極に対してミクロン
スケールの位置に精度よく形成することができ、上記請
求項３記載の電子放出素子の電子放出特性を更に向上さ
せた電子放出素子を得ることができるうえ、この電子放
出素子を容易に歩留まりよく形成することができる。

【００１６】請求項８記載の発明では、円柱状電子放出
部と陽極酸化膜上の導電部を電解析出法で同一材料で形
成するようにしたため、製造コストを安くして安価な電
子放出素子を得ることができる。請求項９記載の発明で
は、電子放出材料部材の充填と陽極酸化膜上の導電部形
成を電解析出法により同時に行うようにしたため、製造
コストを安くした安価な電子放出素子を歩留まりよく形
成することができる。

【００１７】請求項10記載の発明では、電子放出部に高
融点金属を用いることにより陰極の寿命を向上させるこ
とができ、かつ、陽極酸化膜上の導電部に低抵抗金属を
用いることにより電子放出部に電界を集中させて電子放
出特性を向上させることができる電子放出素子を得るこ
とができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の一実施例に則したＡｌ多孔性陽極酸化膜の
構造を示す断面及び平面図である。図１において、１は
Ａｌ多孔性陽極酸化膜であり、このＡｌ多孔性陽極酸化
膜１は径0.01〜 0.2μｍでピッチ0.03〜0.06μｍの孔１
ａと、厚さ10〜 200nmのバリヤー層１ｂと、厚さ１〜 2
00μｍのポーラス層１ｃとからなっている。なお、孔底
は半円状になっており、その曲率半径は孔径に略等しく
なっている。

【００１９】次に、図２は本発明の第１実施例に則した
電子放出素子の構造を示す断面図である。図２におい
て、図１と同一符号は同一または相当部分を示し、２ａ
はＡｌ多孔性陽極酸化膜１の複数の孔１ａ内に形成され
た円柱状電子放出部であり、２ｂはこの円柱状電子放出
部２ａを結合するための導電部である。なお、円柱状電
子放出部２ａの材料にはＷ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｄ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｃ等やこれらの合金を
使用することができ、また、導電部２ｂの材料にはＡ
ｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、
Ｍｎ、Ｃｄ等を使用することができる。

【００２０】このように、本実施例では、Ａｌ多孔性陽
極酸化膜１の複数の孔１ａ内に形成された円柱状電子放
出部２ａを結合して構成された陰極を有するように構成
したため、１つの陰極に多数の電子放出部を具備するよ
うに構成することができる。このため、電子放出部全て
に高電界強度をかけることができ、全体として大きな放
出電流となる電子放出素子を得ることができる。（第２実施例）図３は本発明の第２実施例に則した電子
放出素子の構造を示す断面図である。図３において、図
２と同一符号は同一または相当部分を示し、２ｃは先端
がＡｌ多孔性陽極酸化膜１の孔底側に形成された電子放
出部である。

【００２１】本実施例では、電子放出部２ｃの先端をＡ
ｌ多孔性陽極酸化膜１の孔１ａ底側に形成して構成した
ため、陰極の先端形状をＡｌ多孔性陽極酸化膜１の孔１
ａ底で決定することができる。このため、曲率半径を小
さくすることができ、陰極先端に電界が集中し易く、電
子放出特性の良好な電子放出素子を得ることができる。（第３実施例）図４は本発明の第３実施例に則した電子
放出素子の製造方法を説明する図である。この図４は図
２に示す電子放出素子の製造方法の具体例である。図４
において、図１、２と同一符号は同一または相当部分を
示す。

【００２２】次に、その電子放出素子の製造方法を説明
する。まず、図４（ａ）に示すように、Ａｌ箔またはＡ
ｌ板の片面を硫酸、リン酸等の電解液で陽極酸化して複
数の孔１ａを有するＡｌ多孔性陽極酸化膜１を形成す
る。ここでの陽極酸化条件は電圧５〜 200Ｖ、液温０〜
30℃、時間５〜 300分である。

【００２３】次に、図４（ｂ）示すように、Ａｌ多孔性
陽極酸化膜１をＡｌ箔又はＡｌ板から分離する。ここで
の分離方法には、Ａｌ部分を硝酸等のエッチング液で溶
かす方法や逆電解法でバリヤー層を溶かしてＡｌ多孔性
陽極酸化膜１とＡｌ部分を分離する方法等が使用するこ
とができる。次に、図４（ｃ）に示すように、Ａｌ多孔
性陽極酸化膜１の一部の孔１ａ（全部の孔１ａでもよ
い）に円柱状電子放出部２ａを充填する。ここでの充填
方法には電解析出法、蒸着法、溶融金属を流入する方法
等を使用することができ、一部の孔１ａ内に充填するに
はフォトプロセス技術を用いればよい。

【００２４】そして、Ａｌ多孔性陽極酸化膜１の片面上
に導電部２ｂを形成することにより複数の電子放出部２
ａを結合して陰極を形成することにより、図４（ｄ）に
示すような電子放出素子を得ることができる。なお、図
４（ｄ）は図２に示す電子放出素子と同じ構造のもので
ある。ここでの導電部２ｂの形成方法には、電解析出
法、蒸着法、スパッタ法を使用することができる。

【００２５】本実施例では、電子放出素子を容易に歩留
まりよく形成することができる。（第４実施例）図５は本発明の第４実施例に則した電子
放出素子の製造方法を説明する図である。この図５は図
３に示す電子放出素子の製造方法の具体例である。図５
において、図１、３と同一符号は同一または相当部分を
示す。

【００２６】次に、その電子放出素子の製造方法を説明
する。まず、図５（ａ）に示すように、Ａｌ箔またはＡ
ｌ板の片面を硫酸、リン酸等の電解液で陽極液化して複
数の孔１ａを有するＡｌ多孔性陽極酸化膜１を形成す
る。次に、図５（ｂ）に示すように、孔１ａの一部の孔
１ａ（全部の孔１ａでもよい）内に電子放出部２ｃを充
填する。

【００２７】次に、図５（ｃ）に示すように、Ａｌ多孔
性陽極酸化膜１上に導電部２ｂを形成することにより複
数の電子放出部２ｃを結合して１つの陰極を形成する。
そして、Ａｌ多孔性陽極酸化膜１のバリヤー層１ｂとＡ
ｌ部分の全部（一部でもよい）を除去して電子放出部２
ｃの先端を露出させることにより、図５（ｄ）に示すよ
うな電子放出素子を得ることができる。なお、図５
（ｄ）は図３に示す電子放出素子と同じ構造のものであ
る。ここでは、Ａｌ部分を硫酸等のエッチング液で溶か
し、バリヤー層１ｂを水酸化ナトリウム溶液等のエッチ
ング液で溶かす方法が使用することができる。なお、電
子放出部２ｃ周辺のポーラス層１ｃを一部又は全部を溶
かしてもよい。

【００２８】本実施例では、電子放出素子を容易に歩留
まりよく形成することができる。（第５実施例）図６は本発明の第５実施例に則した電子
放出素子の製造方法を説明する図である。この図６は図
２に示す電子放出素子の応用例である。図５において、
図２と同一符号は同一または相当部分を示し、３は導電
部２ｂが形成されている側とは反対側のＡｌ多孔性陽極
酸化膜１上に形成された絶縁層であり、４はレジストマ
スクであり、５は絶縁層３上に形成された電子引出し電
極である。

【００２９】次に、その電子放出素子の製造方法を説明
する。まず、図６（ａ）に示すように、Ａｌ箔またはＡ
ｌ板から分離されたＡｌ多孔性陽極酸化膜１の孔１ａ内
に円柱状電子放出部２ａを充填する。次に、図６（ｂ）
に示すように、Ａｌ多孔性陽極酸化膜１の片面上に導電
部２ｂを形成して複数の電子放出部２ａを結合する。

【００３０】次に、図６（ｃ）に示すように、導電部２
ｂが形成されている側とは反対側のＡｌ多孔性陽極酸化
膜１上に絶縁層３を形成する。この時、絶縁層３間には
レジストマスク４が円柱状電子放出部２ａを覆った状態
で形成されている。なお、ここでの絶縁層３はＳｉ
Ｏ₂、ＳｉＮ、Ａｌ₂Ｏ₃等を蒸着法、スパッタ法等で
形成することができる。

【００３１】そして、絶縁層３上に電子引出し電極５を
形成した後、レジストマスク４を除去することにより、
図６（ｄ）、（ｅ）に示すような電子放出素子を得るこ
とができる。なお、電子引出し電極５の材料には、Ｗ、
Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｄ、Ａｕ、Ｃ
ｕ、Ａｌ及びその化合物等を使用することができる。本
実施例では、電子引出し電極５の位置を絶縁層３の膜厚
で制御することができるため、電子引出し電極５を陰極
に対してミクロンスケールの位置に精度よく形成するこ
とができ、電子放出特性を更に向上させた電子放出素子
を得ることができるうえ、この電子放出素子を容易に歩
留まりよく形成することができる。（第６実施例）図７は本発明の第６実施例に則した電子
放出素子の製造方法を説明する図である。図７におい
て、図３、５と同一符号は同一または相当部分を示し、
５ａはＡｌ多孔性陽極酸化膜１のバリヤー層１ｂ上に形
成された電子引出し電極である。

【００３２】次に、その電子放出素子の製造方法を説明
する。まず、図７（ａ）に示すように、孔１ａ内に電子
放出部２ｃが充填されたＡｌ多孔性陽極酸化膜１上に導
電部２ｂを形成する。次に、図７（ｂ）に示すように、
アルミニウム部分を全て除去する。次に、図７（ｃ）に
示すように、Ａｌ多孔性陽極酸化膜１のバリヤー層１ｂ
上に電子引出し電極５ａを形成する。

【００３３】そして、電子放出部２ｃの先端上のＡｌ多
孔性陽極酸化膜１のバリヤー層１ｂを除去することによ
り、図７（ｄ）、（ｅ）に示すような電子放出素子を得
ることができる。本実施例では、電子引出し電極５ａの
位置をＡｌ多孔性陽極酸化膜１のバリヤー層１ｂの膜厚
で制御することができるため、電子引出し電極５ａを陰
極に対してミクロンスケールの位置に精度よく形成する
ことができ、電子放出特性を更に向上させた電子放出素
子を得ることができるうえ、この電子放出素子を容易に
歩留まりよく形成することができる。

【００３４】次に、本発明においては、図２、３に示す
電子放出素子において、円柱状電子放出部２ａ、２ｃと
導電部２ｂを電解析出法で同一材料で形成されてなるよ
うに構成してもよく、この場合、製造コストを安くして
安価な電子放出素子を得ることができる。（第７実施例）図８は本発明の第７実施例に則した電子
放出素子の製造方法を説明する図である。図８におい
て、図１、６と同一符号は同一または相当部分を示し、
２ｄはＡｌ多孔性陽極酸化膜１の孔１ａ内に形成された
電子放出部であり、２ｅはＡｌ多孔性陽極酸化膜１上に
形成された電子放出部２ｄと同一材料部材からなる導電
部であり、この導電部２ｅと電子放出部２ｄは電解析出
法により同時形成されている。

【００３５】次に、その電子放出素子の製造方法を説明
する。まず、図８（ａ）に示すように、孔１ａが形成さ
れたＡｌ多孔性陽極酸化膜１上に導電部のパターンに対
応してレジストマスク４を形成する。次に、図８（ｂ）
に示すように、電解析出法によりＡｌ多孔性陽極酸化膜
１の孔１ａ内に電子放出部２ｄを形成するとともに、Ａ
ｌ多孔性陽極酸化膜１上に導電部２ｅを同時形成する。

【００３６】そして、レジストマスク４を除去すること
により、図８（ｃ）に示すような電子放出素子を得るこ
とができる。本実施例では、電子放出部２ｄと導電部２
ｅの形成を電解析出法により同時に行うようにしたた
め、製造コストを安くして安価な電子放出素子を歩留ま
りよく形成することができる。

【００３７】次に、本発明においては、図２〜７に示す
電子放出素子及びその製造方法において、電子放出部を
高融点金属（Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍ
ｎ、Ｃｄ、Ａｕ、Ｃｕ、等）で構成し、Ａｌ陽極酸化膜
上の導電部を低抵抗金属（Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ等）で構成
してもよく、この場合、電子放出部に高融点金属を用い
ることにより陰極の寿命を向上させることができ、か
つ、Ａｌ陽極酸化膜上の導電部に低抵抗金属を用いるこ
とにより電子放出部に電界を集中させて電子放出特性を
向上させることができる電子放出素子を得ることができ
る。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、陰極先端に電界集中し
易く、電子引出し効率を向上させて信頼性を向上させる
ことができるうえ、複数個の陰極形状のばらつきが小さ
く、しかも陰極先端と電子引出し電極が正確に位置合わ
せされた電子放出素子を容易に歩留まりよく形成するこ
とができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に則したＡｌ多孔性陽極酸
化膜の構造を示す断面及び平面図である。

【図２】本発明の第１実施例に則した電子放出素子の構
造を示す断面図である。

【図３】本発明の第２実施例に則した電子放出素子の構
造を示す断面図である。

【図４】本発明の第３実施例に則した電子放出素子の製
造方法を説明する図である。

【図５】本発明の第４実施例に則した電子放出素子の製
造方法を説明する図である。

【図６】本発明の第５実施例に則した電子放出素子の製
造方法を説明する図である。

【図７】本発明の第６実施例に則した電子放出素子の製
造方法を説明する図である。

【図８】本発明の第７実施例に則した電子放出素子の製
造方法を説明する図である。

【符号の説明】

１多孔性陽極酸化膜１ａ孔１ｂバリヤー層１ｃポーラス層２ａ円柱状電子放出部２ｂ導電部２ｃ、２ｄ電子放出部２ｅ導電部３絶縁層４レジストマスク５、５ａ電子引出し電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に形
成された電子放出材料部材を陰極とすることを特徴とす
る電子放出素子。
【請求項２】アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の複
数の孔（１ａ）内に形成された円柱状電子放出部（２
ａ）を結合して構成された陰極を有することを特徴とす
る電子放出素子。
【請求項３】前記電子放出部（２ｃ）の先端が前記アル
ミニウム陽極酸化膜（１）の孔（１ａ）底側に形成され
てなることを特徴とする請求項１記載の電子放出素子。
【請求項４】アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔
（１ａ）を有するアルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）
を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）を陽極
酸化されていないアルミニウム部分から分離する工程
と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の少な
くとも一部の孔（１ａ）内に電子放出部（２ａ）を充填
する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の片面
上に導電部（２ｂ）を形成することにより複数の電子放
出部（２ａ）が結合された陰極を形成する工程とを含む
ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項５】アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔
（１ａ）を有するアルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）
を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の少な
くとも一部の孔（１ａ）内に電子放出部（２ｃ）を充填
する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）上に導
電部（２ｂ）を形成することにより複数の電子放出部
（２ｃ）が結合された陰極を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）のバリ
ヤー層（１ｂ）と陽極酸化されていないアルミニウム部
分の少なくとも一部を除去して電子放出部（２ｃ）の先
端を露出させる工程とを含むことを特徴とする電子放出
素子の製造方法。
【請求項６】前記導電部（２ｂ）が形成されている側と
は反対側の前記アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）上
に絶縁膜（３）が形成され、該絶縁膜（３）上に電子引
出し用電極（５）が形成されてなることを特徴とする請
求項２記載の電子放出素子。
【請求項７】アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔
（１ａ）を有するアルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）
を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の少な
くとも一部の孔（１ａ）内に電子放出部（２ｃ）を充填
する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）上に導
電部（２ｂ）を形成することにより複数の電子放出部
（２ｃ）が結合された陰極を形成する工程と、次いで、該アルミニウム部分を除去する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）のバリ
ヤー層（１ｂ）上に電子引出し電極（５ａ）を形成する
工程と、次いで、該電子放出部（２ｃ）の先端上の該バリヤー層
（１ｂ）を除去する工程とを含むことを特徴とする電子
放出素子の製造方法。
【請求項８】前記電子放出部（２ａ、２ｃ）と前記導電
部（２ｂ）が電解析出法で同一の材料で形成されてなる
ことを特徴とする請求項２乃至３記載の電子放出素子。
【請求項９】アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔
（１ａ）を有するアルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）
を形成する工程と、次いで、電解析出法により該アルミニウム多孔性陽極酸
化膜（１）の孔（１ａ）内に電子放出部（２ｄ）を形成
するとともに、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）
上に導電部（２ｅ）を同時形成する工程とを含むことを
特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項10】前記電子放出部は高融点金属で形成されて
なり、前記導電部は低抵抗金属で形成されてなることを
特徴とする請求項２乃至７記載の電子放出素子。