JPH0520633B2 - - Google Patents
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- JPH0520633B2 JPH0520633B2 JP59134697A JP13469784A JPH0520633B2 JP H0520633 B2 JPH0520633 B2 JP H0520633B2 JP 59134697 A JP59134697 A JP 59134697A JP 13469784 A JP13469784 A JP 13469784A JP H0520633 B2 JPH0520633 B2 JP H0520633B2
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 72
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアクチユエータに関し、一層詳細には
圧電素子の変位力を効果的に利用して物体を移動
または駆動するようにしたアクチユエータに関す
る。
圧電素子の変位力を効果的に利用して物体を移動
または駆動するようにしたアクチユエータに関す
る。
従来から各種機械における物体の搬送等には油
圧、空気圧等の流体圧を利用した移動手段が広汎
に用いられている。この種の移動手段は比較的大
きな力とストロークとを生み出すために搬送系に
は必要不可欠と謂える。一方、従来からこの種の
移動手段は流体を利用するために精度の高い制御
が困難であるとの問題点に逢着している。
圧、空気圧等の流体圧を利用した移動手段が広汎
に用いられている。この種の移動手段は比較的大
きな力とストロークとを生み出すために搬送系に
は必要不可欠と謂える。一方、従来からこの種の
移動手段は流体を利用するために精度の高い制御
が困難であるとの問題点に逢着している。
ところで、近年、圧電素子(ピエゾ)が注目さ
れるに至つている。すなわち、圧電素子の変位力
はある種の結晶体、または焼結体に電界を加えた
時歪みが生じることによつて得られ、従つて、こ
の変位力を利用して物体を移動または駆動すれ
ば、機械的制御よりもむしろ電気的制御になるた
めに位置決め等が確実に精度良く行われることに
なる。
れるに至つている。すなわち、圧電素子の変位力
はある種の結晶体、または焼結体に電界を加えた
時歪みが生じることによつて得られ、従つて、こ
の変位力を利用して物体を移動または駆動すれ
ば、機械的制御よりもむしろ電気的制御になるた
めに位置決め等が確実に精度良く行われることに
なる。
そこで、本発明は複合系の圧電セラミツクスの
発明等、近年における圧電素子の目覚ましい性能
向上に着目してなされたもので、圧電素子の変位
力を効果的に利用して物体を移動または駆動する
ようにした新規なアクチユエータを提供すること
を目的とする。
発明等、近年における圧電素子の目覚ましい性能
向上に着目してなされたもので、圧電素子の変位
力を効果的に利用して物体を移動または駆動する
ようにした新規なアクチユエータを提供すること
を目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明は、本体
部10と移動手段12とからなり、前記移動手段
12は一方の群からなる変位部材12aと他方の
群からなる変位部材12bとから構成され、夫々
の変位部材12a,12bは水平部位18と前記
水平部位18の両端部から互いに反対方向へと延
在する第1の垂直部位14と第2の垂直部位20
とを有し、夫々の変位部材12a,12bの前記
第1垂直部位14の先端部は前記本体部10に固
着され且つ水平部位18はその軸線方向へ伸長収
縮する第1の圧電素子ユニツト22aを有すると
共に前記第2垂直部位20はその軸線方向へ伸長
収縮する第2の圧電素子ユニツト22bを有し、
しかも前記一方の群からなる変位部材12aの水
平部位18と他方の群からなる変位部材12bの
水平部位18とは互いに直交するように配置され
たマトリクス状に構成し、前記群からなる両変位
部材12a,12bの第1圧電素子ユニツト22
a並びに第2圧電素子ユニツト22bに対する電
源のオン/オフを行うことにより前記変位部材1
2a,12bの第2垂直部位20を介して前記本
体部10をX−Y方向へと移動することを特徴と
する。
部10と移動手段12とからなり、前記移動手段
12は一方の群からなる変位部材12aと他方の
群からなる変位部材12bとから構成され、夫々
の変位部材12a,12bは水平部位18と前記
水平部位18の両端部から互いに反対方向へと延
在する第1の垂直部位14と第2の垂直部位20
とを有し、夫々の変位部材12a,12bの前記
第1垂直部位14の先端部は前記本体部10に固
着され且つ水平部位18はその軸線方向へ伸長収
縮する第1の圧電素子ユニツト22aを有すると
共に前記第2垂直部位20はその軸線方向へ伸長
収縮する第2の圧電素子ユニツト22bを有し、
しかも前記一方の群からなる変位部材12aの水
平部位18と他方の群からなる変位部材12bの
水平部位18とは互いに直交するように配置され
たマトリクス状に構成し、前記群からなる両変位
部材12a,12bの第1圧電素子ユニツト22
a並びに第2圧電素子ユニツト22bに対する電
源のオン/オフを行うことにより前記変位部材1
2a,12bの第2垂直部位20を介して前記本
体部10をX−Y方向へと移動することを特徴と
する。
以下、本発明に係るアクチユエータの好適な実
施例を挙げ、添付の図面を用いて詳細に説明す
る。
施例を挙げ、添付の図面を用いて詳細に説明す
る。
第1図に本発明に係るアクチユエータの第1の
実施例を示す。
実施例を示す。
図に示すように、本体部10の面上には後述す
る圧電素子ユニツトを介して尺取虫状に変位動作
する屈曲した棒状でマトリツクス状に複数植設さ
れた移動手段12が設けられている。そして、本
実施例では、前記移動手段12は図中の矢印X方
向に数えて奇数行の変位部材12aの偶数行の変
位部材12bはその変位方向が、丁度、X−Y方
向に異なつて変位動作するように設けられる。こ
の場合、前記変位部材12a,12bは、夫々屈
曲形状を有する丸棒に形成される。詳細には、変
位部材12a,12bは第1の垂直部位14と、
これに連続して水平方向に延在する水平部位18
と、前記水平部位18から図において垂直方向下
方へと延在する第2の垂直部位20とを有する。
この場合、第1垂直部位14の先端部は本体部1
0の一面に形成された取付穴16に適宜圧入等に
より固着される。また、前記変位部材12a,1
2bを構成する水平部位18と第2垂直部位20
はその軸方向に沿つて夫々圧電素子を積層した第
1および第2の圧電素子ユニツト22aおよび2
2bを含む。
る圧電素子ユニツトを介して尺取虫状に変位動作
する屈曲した棒状でマトリツクス状に複数植設さ
れた移動手段12が設けられている。そして、本
実施例では、前記移動手段12は図中の矢印X方
向に数えて奇数行の変位部材12aの偶数行の変
位部材12bはその変位方向が、丁度、X−Y方
向に異なつて変位動作するように設けられる。こ
の場合、前記変位部材12a,12bは、夫々屈
曲形状を有する丸棒に形成される。詳細には、変
位部材12a,12bは第1の垂直部位14と、
これに連続して水平方向に延在する水平部位18
と、前記水平部位18から図において垂直方向下
方へと延在する第2の垂直部位20とを有する。
この場合、第1垂直部位14の先端部は本体部1
0の一面に形成された取付穴16に適宜圧入等に
より固着される。また、前記変位部材12a,1
2bを構成する水平部位18と第2垂直部位20
はその軸方向に沿つて夫々圧電素子を積層した第
1および第2の圧電素子ユニツト22aおよび2
2bを含む。
すなわち、前記第1、第2圧電素子ユニツト2
2aおよび22bは円板状の圧電セラミツクスを
多数積層して所定の長さの丸棒状に形成されると
共に電源線24aおよび24bを介して図外の直
流電源に温度夫々接続されている。なお、本実施
例では、変位部材12a,12bに接続される電
源線24aおよび24bは図外の制御回路に接続
されて、複数個の変位部材12a,12bが前記
制御回路からの信号により連動して変位動作する
よう構成されている。すなわち、前記第1、第2
圧電素子ユニツト22a,22bは、夫々前記電
源線24a,24bを介して所定の極性での電圧
が印加されると、夫々の軸線方向に伸長し、電源
断で収縮する。
2aおよび22bは円板状の圧電セラミツクスを
多数積層して所定の長さの丸棒状に形成されると
共に電源線24aおよび24bを介して図外の直
流電源に温度夫々接続されている。なお、本実施
例では、変位部材12a,12bに接続される電
源線24aおよび24bは図外の制御回路に接続
されて、複数個の変位部材12a,12bが前記
制御回路からの信号により連動して変位動作する
よう構成されている。すなわち、前記第1、第2
圧電素子ユニツト22a,22bは、夫々前記電
源線24a,24bを介して所定の極性での電圧
が印加されると、夫々の軸線方向に伸長し、電源
断で収縮する。
本発明に係るアクチユエータは基本的には以上
のように構成され、次にその作用および効果につ
いて説明する。
のように構成され、次にその作用および効果につ
いて説明する。
今、本体部10に設けられた移動手段12のう
ちX方向およびY方向に変位する変位部材12
a,12bの群毎に、第3図に示す4つの動作を
1周期とする変位動作を図外の制御回路からの信
号により交互に行えば、本体部10は、第4図に
示すように、床面26に対してX−Y方向に自由
に移動する。
ちX方向およびY方向に変位する変位部材12
a,12bの群毎に、第3図に示す4つの動作を
1周期とする変位動作を図外の制御回路からの信
号により交互に行えば、本体部10は、第4図に
示すように、床面26に対してX−Y方向に自由
に移動する。
これを第3図a乃至第3図bを用いてさらに詳
しく説明すると、先ず、群を構成する変位部材1
2aにおける第2垂直部位20に設けた第2の圧
電素子ユニツト22bに対して電源線24bを介
して所定の電圧を印加する。これにより、前記第
2垂直部位20の第2圧電素子ユニツト22bは
伸長変位し、第3図aの状態のように前記第2垂
直部位20の先端面20aが床面26に当接しこ
れと強く圧着する。なお、この時、他方の群を構
成する変位部材12bでは、その第2圧電素子ユ
ニツト22bに電圧が印加されないことから、こ
の変位部材12bの第2垂直部位20は伸長変位
せず、従つて、前記変位部材12bは床面26か
ら若干浮いた状態にある。
しく説明すると、先ず、群を構成する変位部材1
2aにおける第2垂直部位20に設けた第2の圧
電素子ユニツト22bに対して電源線24bを介
して所定の電圧を印加する。これにより、前記第
2垂直部位20の第2圧電素子ユニツト22bは
伸長変位し、第3図aの状態のように前記第2垂
直部位20の先端面20aが床面26に当接しこ
れと強く圧着する。なお、この時、他方の群を構
成する変位部材12bでは、その第2圧電素子ユ
ニツト22bに電圧が印加されないことから、こ
の変位部材12bの第2垂直部位20は伸長変位
せず、従つて、前記変位部材12bは床面26か
ら若干浮いた状態にある。
次に、前記の状態のまま、今度は変位部材12
aにおける水平部位18の第1圧電素子ユニツト
22aに電源線24aを介して所定の電圧を印加
する。これにより、前記水平部位18の第1圧電
素子ユニツト22aは、第3図bの状態のよう
に、水平方向に伸長変位する。この時、前記第2
垂直部位20の先端面20aは床面26に強く圧
着して先端面20aと床面26間の摩擦抵抗によ
つて固定されたままであるため、結局、前記水平
部位18の伸長変位に伴つて本体部10は、第4
図において、矢印X方向に水平移動する。
aにおける水平部位18の第1圧電素子ユニツト
22aに電源線24aを介して所定の電圧を印加
する。これにより、前記水平部位18の第1圧電
素子ユニツト22aは、第3図bの状態のよう
に、水平方向に伸長変位する。この時、前記第2
垂直部位20の先端面20aは床面26に強く圧
着して先端面20aと床面26間の摩擦抵抗によ
つて固定されたままであるため、結局、前記水平
部位18の伸長変位に伴つて本体部10は、第4
図において、矢印X方向に水平移動する。
この後、前記第2垂直部位20の第2圧電素子
ユニツト22bに対する電圧の印加を停止し、当
該圧電素子ユニツト22bを収縮変位させる。次
いで、他方の群を構成する変位部材12bでは、
第2圧電素子ユニツト22bに電圧が印加されて
当該圧電素子ユニツト22bが伸長変位する。こ
れにより、今度は本体部10が他方の群を構成す
る変位部材12bによつて支持されるようにな
り、一方の群からなる変位部材12bが床面26
から若干浮いた状態になる(第3図cの状態参
照)。
ユニツト22bに対する電圧の印加を停止し、当
該圧電素子ユニツト22bを収縮変位させる。次
いで、他方の群を構成する変位部材12bでは、
第2圧電素子ユニツト22bに電圧が印加されて
当該圧電素子ユニツト22bが伸長変位する。こ
れにより、今度は本体部10が他方の群を構成す
る変位部材12bによつて支持されるようにな
り、一方の群からなる変位部材12bが床面26
から若干浮いた状態になる(第3図cの状態参
照)。
そして、変位部材12aを構成する水平部位1
8の第1圧電素子ユニツト22aに対する電圧の
印加を停止する。これにより、当該圧電素子ユニ
ツト22aは収縮変位し、結局、一方の群からな
る変位部材12aは第2図の状態に復帰する(第
3図dの状態参照)。この後、他方の群からなる
変位部材12aの第2圧電素子ユニツト22bに
対する電圧の印加も停止され、本体部10は両方
の群からなる変位部材12a,12bによつて支
持される。
8の第1圧電素子ユニツト22aに対する電圧の
印加を停止する。これにより、当該圧電素子ユニ
ツト22aは収縮変位し、結局、一方の群からな
る変位部材12aは第2図の状態に復帰する(第
3図dの状態参照)。この後、他方の群からなる
変位部材12aの第2圧電素子ユニツト22bに
対する電圧の印加も停止され、本体部10は両方
の群からなる変位部材12a,12bによつて支
持される。
このようにして一方の群からなる変位部材12
aを第2圧電素子ユニツト22bにおる垂直方向
変位(伸長変位)→第1圧電素子ユニツト22a
における水平方向変位(伸長変位)→第2圧電素
子ユニツト22bにおける垂直方向変位(収縮変
位)→第1圧電素子ユニツト22aにおける水平
方向変位(収縮変位)を1周期として繰り返して
変位させれば、本体部10は順次X方向またはY
方向に移動する。
aを第2圧電素子ユニツト22bにおる垂直方向
変位(伸長変位)→第1圧電素子ユニツト22a
における水平方向変位(伸長変位)→第2圧電素
子ユニツト22bにおける垂直方向変位(収縮変
位)→第1圧電素子ユニツト22aにおける水平
方向変位(収縮変位)を1周期として繰り返して
変位させれば、本体部10は順次X方向またはY
方向に移動する。
換言すれば、前記変位部材12a,12bは、
所謂、尺取虫のように変位動作して本体部10を
所定ストロークだけ直線的に移動させる。従つ
て、X方向に変位する群からなる変位部材12a
とY方向に変位する群からなる変位部材12bと
を交互に変位動作させれば、本体部10は、第4
図に示すように、X−Y方向に自由に移動するこ
とが可能である。
所謂、尺取虫のように変位動作して本体部10を
所定ストロークだけ直線的に移動させる。従つ
て、X方向に変位する群からなる変位部材12a
とY方向に変位する群からなる変位部材12bと
を交互に変位動作させれば、本体部10は、第4
図に示すように、X−Y方向に自由に移動するこ
とが可能である。
一方、第4図に例示した移動に対してその逆の
移動を行わせる場合には、夫々の群からなる変位
部材12a,12bを第1圧電素子ユニツト22
aにおける水平方向変位(伸長変位)→第2圧電
素子ユニツト22bにおける垂直方向変位(伸長
変位)→第1圧電素子ユニツト22aにおける水
平方向変位(収縮変位)→第2圧電素子ユニツト
22bにおける垂直方向変位(収縮変位)を1周
期として繰り返して変位させればよいことが容易
に諒解されよう。
移動を行わせる場合には、夫々の群からなる変位
部材12a,12bを第1圧電素子ユニツト22
aにおける水平方向変位(伸長変位)→第2圧電
素子ユニツト22bにおける垂直方向変位(伸長
変位)→第1圧電素子ユニツト22aにおける水
平方向変位(収縮変位)→第2圧電素子ユニツト
22bにおける垂直方向変位(収縮変位)を1周
期として繰り返して変位させればよいことが容易
に諒解されよう。
次に、第5図乃至第8図は本発明に係るアクチ
ユエータの第2乃至第5の実施例を示す。
ユエータの第2乃至第5の実施例を示す。
第5図は第2図に示したアクチユエータの第2
垂直部位20の先端面20aにゴム等からなる弾
性体30を配設した実施例を示している。この場
合、弾性体30により床面26等との圧着時にお
ける摩擦抵抗の増大が図られ、移動制御が確実に
達成される。
垂直部位20の先端面20aにゴム等からなる弾
性体30を配設した実施例を示している。この場
合、弾性体30により床面26等との圧着時にお
ける摩擦抵抗の増大が図られ、移動制御が確実に
達成される。
第6図は第4図における本体部10を曲面状に
形成して同じく曲面状に形成された床面26上を
X−Y方向に自由に移動させるようにいた実施例
を示す。
形成して同じく曲面状に形成された床面26上を
X−Y方向に自由に移動させるようにいた実施例
を示す。
第7図は第4図における本体部10を円筒状に
形成すると共にこれを固定し、且つ、その内部に
断面円形のシヤフト32を嵌挿し、前記X1−Y1
方向に変位動作する移動手段12によりシヤフト
32を軸線方向に移動あるいは回転させるように
した実施例を示す。
形成すると共にこれを固定し、且つ、その内部に
断面円形のシヤフト32を嵌挿し、前記X1−Y1
方向に変位動作する移動手段12によりシヤフト
32を軸線方向に移動あるいは回転させるように
した実施例を示す。
第8図は第7図おける本体部10を多段的に組
み合わせて団体的に回転自在で、且つ、伸縮自在
な筒部材を構成するようにした実施例を示す。
み合わせて団体的に回転自在で、且つ、伸縮自在
な筒部材を構成するようにした実施例を示す。
以上説明したように、本発明によれば、本体部
に屈折した棒状の変位部材をマトリツクス状に複
数植設すると共に、その変位部材の水平部位と垂
直部位の夫々の一部を圧電素子ユニツトで形成
し、これらの変位部材を連動して変位動作させる
ように移動手段を構成したので、圧電素子の変位
力を効果的に利用して物体をX−Yの任意の方向
に容易に移動することができるという効果が得ら
れる。この場合、前記の移動制御が電気的に行わ
れるために極めて高い精度で行われるという効果
も奏する。
に屈折した棒状の変位部材をマトリツクス状に複
数植設すると共に、その変位部材の水平部位と垂
直部位の夫々の一部を圧電素子ユニツトで形成
し、これらの変位部材を連動して変位動作させる
ように移動手段を構成したので、圧電素子の変位
力を効果的に利用して物体をX−Yの任意の方向
に容易に移動することができるという効果が得ら
れる。この場合、前記の移動制御が電気的に行わ
れるために極めて高い精度で行われるという効果
も奏する。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良および設計の変更が可能なことは
勿論である。
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良および設計の変更が可能なことは
勿論である。
第1図は本発明に係るアクチユエータの第1の
実施例を示す斜視図、第2図は第1図の装置の要
部拡大断面図、第3図a乃至第3図dは第1図に
示す変位部材の作動順序を示す各々の断面図、第
4図は第1図の変位部材の作用状態を示す説明
図、第5図は本発明に係るアクチユエータの第2
の実施例を示す断面図、第6図は本発明に係るア
クチユエータの第3の実施例を示す正面図、第7
図は本発明に係るアクチユエータの第4の実施例
を示す斜視図、第8図は本発明に係るアクチユエ
ータの第5の実施例を示す正面図である。 10……本体部、12……移動手段、12a,
12b……変位部材、14……垂直部位、16…
…取付穴、18……水平部位、20……垂直部
位、22a,22b……圧電素子ユニツト、24
a,24b……電源線、26……床面、30……
弾性体、32……シヤフト。
実施例を示す斜視図、第2図は第1図の装置の要
部拡大断面図、第3図a乃至第3図dは第1図に
示す変位部材の作動順序を示す各々の断面図、第
4図は第1図の変位部材の作用状態を示す説明
図、第5図は本発明に係るアクチユエータの第2
の実施例を示す断面図、第6図は本発明に係るア
クチユエータの第3の実施例を示す正面図、第7
図は本発明に係るアクチユエータの第4の実施例
を示す斜視図、第8図は本発明に係るアクチユエ
ータの第5の実施例を示す正面図である。 10……本体部、12……移動手段、12a,
12b……変位部材、14……垂直部位、16…
…取付穴、18……水平部位、20……垂直部
位、22a,22b……圧電素子ユニツト、24
a,24b……電源線、26……床面、30……
弾性体、32……シヤフト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 本体部10と移動手段12とからなり、前記
移動手段12は一方の群からなる変位部材12a
と他方の群からなる変位部材12bとから構成さ
れ、夫々の変位部材12a,12bは水平部位1
8と前記水平部位18の両端部から互いに反対方
向へと延在する第1の垂直部位14と第2の垂直
部位20とを有し、夫々の変位部材12a,12
bの前記第1垂直部位14の先端部は前記本体部
10に固着され且つ水平部位18はその軸線方向
へ伸長収縮する第1の圧電素子ユニツト22aを
有すると共に前記第2垂直部位20はその軸線方
向へ伸長収縮する第2の圧電素子ユニツト22b
を有し、しかも前記一方の群からなる変位部材1
2aの水平部位18と他方の群からなる変位部材
12bの水平部位18とは互いに直交するように
配置されたマトリクス状に構成し、前記群からな
る両変位部材12a,12bの第1圧電素子ユニ
ツト22a並びに第2圧電素子ユニツト22bに
対する電源のオン/オフを行うことにより前記変
位部材12a,12bの第2垂直部位20を介し
て前記本体部10をX−Y方向へと移動すること
を特徴とするアクチユエータ。 2 特許請求の範囲第1項記載の装置において、
変位部材12a,12bはその先端面に弾性体3
0が配設されてなるアクチユエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59134697A JPS6113072A (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59134697A JPS6113072A (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | アクチユエ−タ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3073327A Division JPH0693212B2 (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | アクチュエータの駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6113072A JPS6113072A (ja) | 1986-01-21 |
JPH0520633B2 true JPH0520633B2 (ja) | 1993-03-22 |
Family
ID=15134477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59134697A Granted JPS6113072A (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | アクチユエ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6113072A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6391712A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 2次元駆動装置 |
JPS6391713A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 超音波型駆動装置 |
JPH0736126B2 (ja) * | 1988-08-11 | 1995-04-19 | オリンパス光学工業株式会社 | 載置体移動アクチュエータ |
JPH0368253U (ja) * | 1989-11-02 | 1991-07-04 | ||
JPH03119134U (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-09 | ||
JP5088231B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2012-12-05 | 株式会社豊田自動織機 | 切替弁 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57197882A (en) * | 1982-05-26 | 1982-12-04 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
JPS5866380A (ja) * | 1981-10-15 | 1983-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電歪基板 |
-
1984
- 1984-06-28 JP JP59134697A patent/JPS6113072A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5866380A (ja) * | 1981-10-15 | 1983-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電歪基板 |
JPS57197882A (en) * | 1982-05-26 | 1982-12-04 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6113072A (ja) | 1986-01-21 |
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