JPH05198602A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH05198602A JPH05198602A JP4027447A JP2744792A JPH05198602A JP H05198602 A JPH05198602 A JP H05198602A JP 4027447 A JP4027447 A JP 4027447A JP 2744792 A JP2744792 A JP 2744792A JP H05198602 A JPH05198602 A JP H05198602A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はポテンシャルバリアの効果を大幅に
向上させて各水平CCD転送部間の転送効率を大幅に向
上させ、これよって各水平CCD転送部間の転送劣化に
起因する画像の縦筋の発生を防止するとともに、マスク
ずれに起因する製造歩留まりを向上させる。 【構成】 第1水平CCD転送部4に形成されるポテン
シャルバリア13の形状を鋸状にして第1水平CCD転
送部4内全体を強転送電界部にし、これによって垂直C
CD点備え部3から第1水平CCD転送部4に転送され
る信号電荷のうち、偶数番目の信号電荷を振り分け転送
ゲート部6に確実に転送して第2水平CCD転送部7に
供給する。
向上させて各水平CCD転送部間の転送効率を大幅に向
上させ、これよって各水平CCD転送部間の転送劣化に
起因する画像の縦筋の発生を防止するとともに、マスク
ずれに起因する製造歩留まりを向上させる。 【構成】 第1水平CCD転送部4に形成されるポテン
シャルバリア13の形状を鋸状にして第1水平CCD転
送部4内全体を強転送電界部にし、これによって垂直C
CD点備え部3から第1水平CCD転送部4に転送され
る信号電荷のうち、偶数番目の信号電荷を振り分け転送
ゲート部6に確実に転送して第2水平CCD転送部7に
供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複数の水平CCD転送部
を有するインターライントランスファ方式やフレームイ
ンターライントランスファ方式、フレームトランスファ
方式等の固体撮像装置に関する。
を有するインターライントランスファ方式やフレームイ
ンターライントランスファ方式、フレームトランスファ
方式等の固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像装置の1つとして、従来、複数
の水平CCD転送部を持つインターライン方式のCCD
固体撮像装置が知られている。
の水平CCD転送部を持つインターライン方式のCCD
固体撮像装置が知られている。
【0003】図8はこのようなCCD固体撮像装置の一
例を示す構成図である。この図に示すCCD固体撮像装
置はマトリックス状に配置される複数のフォトセンサ1
01と、これら各フォトセンサ101の垂直列間に各
々、配置され、撮像動作によって前記各フォトセンサ1
01で得られた信号電荷を取り込んで垂直方向に転送す
る複数の垂直CCD転送部102と、これらの各垂直C
CD転送部102によって転送された信号電荷を取り込
むとともに、これら信号電荷のうち、奇数番目の信号電
荷を水平方向に転送する第1水平CCD転送部103
と、この第1水平CCD転送部103から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を出力
する第1フローティングディフュージョンアンプ部10
4と、前記第1水平CCD転送部103によって取り込
まれた偶数番目の信号電荷を取り込む振り分け転送ゲー
ト部105と、この振り分け転送ゲート部105によっ
て取り込まれた偶数番目の信号電荷を取り込んで水平方
向に転送する第2水平CCD転送部106と、この第2
水平CCD転送部106から出力される信号電荷を検出
してこの検出結果に応じた画素信号を出力する第2フロ
ーティングディフュージョンアンプ部107とを備えて
いる。
例を示す構成図である。この図に示すCCD固体撮像装
置はマトリックス状に配置される複数のフォトセンサ1
01と、これら各フォトセンサ101の垂直列間に各
々、配置され、撮像動作によって前記各フォトセンサ1
01で得られた信号電荷を取り込んで垂直方向に転送す
る複数の垂直CCD転送部102と、これらの各垂直C
CD転送部102によって転送された信号電荷を取り込
むとともに、これら信号電荷のうち、奇数番目の信号電
荷を水平方向に転送する第1水平CCD転送部103
と、この第1水平CCD転送部103から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を出力
する第1フローティングディフュージョンアンプ部10
4と、前記第1水平CCD転送部103によって取り込
まれた偶数番目の信号電荷を取り込む振り分け転送ゲー
ト部105と、この振り分け転送ゲート部105によっ
て取り込まれた偶数番目の信号電荷を取り込んで水平方
向に転送する第2水平CCD転送部106と、この第2
水平CCD転送部106から出力される信号電荷を検出
してこの検出結果に応じた画素信号を出力する第2フロ
ーティングディフュージョンアンプ部107とを備えて
いる。
【0004】そして、各撮影動作毎に、各フォトセンサ
101によって得られた信号電荷を対応する垂直CCD
転送部102によって取り込んでこれを垂直方向に転送
するとともに、第1水平CCD転送部103によって前
記垂直CCD転送部102から送出される信号電荷を取
り込んで奇数番目の信号電荷を水平方向に転送して第1
フローティングディフュージョンアンプ部104で画素
信号に変換してこれを出力する。
101によって得られた信号電荷を対応する垂直CCD
転送部102によって取り込んでこれを垂直方向に転送
するとともに、第1水平CCD転送部103によって前
記垂直CCD転送部102から送出される信号電荷を取
り込んで奇数番目の信号電荷を水平方向に転送して第1
フローティングディフュージョンアンプ部104で画素
信号に変換してこれを出力する。
【0005】また、この動作と並行して振り分け転送ゲ
ート部105によって前記第1水平CCD転送部103
から偶数番目の信号電荷を取り込んでこれを第2水平C
CD転送部106に転送するとともに、この第2水平C
CD転送部106によって前記偶数番目の信号電荷を水
平方向に転送して第2フローティングディフュージョン
アンプ部107で画素信号に変換してこれを出力する。
ート部105によって前記第1水平CCD転送部103
から偶数番目の信号電荷を取り込んでこれを第2水平C
CD転送部106に転送するとともに、この第2水平C
CD転送部106によって前記偶数番目の信号電荷を水
平方向に転送して第2フローティングディフュージョン
アンプ部107で画素信号に変換してこれを出力する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
固体撮像装置においては、第1水平CCD転送部103
および振り分け転送ゲート部105、第2水平CCD転
送部106として図9に示す構造の回路を使用する。
固体撮像装置においては、第1水平CCD転送部103
および振り分け転送ゲート部105、第2水平CCD転
送部106として図9に示す構造の回路を使用する。
【0007】この図に示す回路は基板となるN型のサブ
ストレート110と、このサブストレート110上に形
成されるP型のウェル層111と、このウェル層111
上に形成されるN型層112と、図10に示す如く第1
水平CCD転送部103の各垂直CCD転送部102に
近い方のポテンシャルが浅くなるようにイオン注入等の
方法によって不純物が拡散されて形成されるポテンシャ
ルバリア113と、図9に示す如く第1水平CCD転送
部103と、第2水平CCD転送部105とを分離する
ように前記N型層112上に形成される振り分け転送ゲ
ート電極114と、図10に示す如く前記N型層112
上に互いに少し重なるように形成される蓄積ゲート電極
115と転送ゲート電極116との対を水平方向に複数
配置して形成しる水平転送電極117とを備えており、
各蓄積ゲート電極115と、各転送ゲート電極116
と、振り分け転送ゲート電極114とに図11に示すよ
うに電圧を印加して図12に示す如くポテンシャルを変
化させて各垂直CCD転送部102から転送される信号
電荷を第1水平CCD転送部103に取り込んでこれを
振り分け転送ゲート部105に転送した後、これを第2
水平CCD転送部106に転送して前記信号電荷を奇数
番目の信号電荷と、偶数番目の信号電荷とに分離する。
ストレート110と、このサブストレート110上に形
成されるP型のウェル層111と、このウェル層111
上に形成されるN型層112と、図10に示す如く第1
水平CCD転送部103の各垂直CCD転送部102に
近い方のポテンシャルが浅くなるようにイオン注入等の
方法によって不純物が拡散されて形成されるポテンシャ
ルバリア113と、図9に示す如く第1水平CCD転送
部103と、第2水平CCD転送部105とを分離する
ように前記N型層112上に形成される振り分け転送ゲ
ート電極114と、図10に示す如く前記N型層112
上に互いに少し重なるように形成される蓄積ゲート電極
115と転送ゲート電極116との対を水平方向に複数
配置して形成しる水平転送電極117とを備えており、
各蓄積ゲート電極115と、各転送ゲート電極116
と、振り分け転送ゲート電極114とに図11に示すよ
うに電圧を印加して図12に示す如くポテンシャルを変
化させて各垂直CCD転送部102から転送される信号
電荷を第1水平CCD転送部103に取り込んでこれを
振り分け転送ゲート部105に転送した後、これを第2
水平CCD転送部106に転送して前記信号電荷を奇数
番目の信号電荷と、偶数番目の信号電荷とに分離する。
【0008】しかしながら、このような固体撮像装置に
おいては、第1水平CCD転送部103内の撮像領域に
近い方にポテンシャルバリア113を形成して振り分け
転送ゲート部105に信号電荷を転送するときの転送効
率を改善するようにしているため、図12に示すポテン
シャル図から明らかなように前記ポテンシャルバリア1
13によって得られる転送電界の強い部分がイオン注入
した領域とイオン注入しない領域との境界部分に限られ
てしまい、実質的な効果が小さいという問題があった。
おいては、第1水平CCD転送部103内の撮像領域に
近い方にポテンシャルバリア113を形成して振り分け
転送ゲート部105に信号電荷を転送するときの転送効
率を改善するようにしているため、図12に示すポテン
シャル図から明らかなように前記ポテンシャルバリア1
13によって得られる転送電界の強い部分がイオン注入
した領域とイオン注入しない領域との境界部分に限られ
てしまい、実質的な効果が小さいという問題があった。
【0009】特に、マスクずれ等によってポテンシャル
バリア113の位置がずれたときには、第1水平CCD
転送部103および第2水平CCD転送部106間の転
送劣化が発生してこの固体撮像装置から出力される画素
信号を再生したとき、画像に縦筋が発生してしまうとい
う問題があった。
バリア113の位置がずれたときには、第1水平CCD
転送部103および第2水平CCD転送部106間の転
送劣化が発生してこの固体撮像装置から出力される画素
信号を再生したとき、画像に縦筋が発生してしまうとい
う問題があった。
【0010】本発明は上記の事情に鑑み、ポテンシャル
バリアの効果を大幅に向上させて各水平CCD転送部間
の転送効率を大幅に向上させることができ、これよって
各水平CCD転送部間の転送劣化に起因する画像の縦筋
の発生を防止することができるとともに、マスクずれに
起因する製造歩留まりを向上させることができる固体撮
像装置を提供することを目的としている。
バリアの効果を大幅に向上させて各水平CCD転送部間
の転送効率を大幅に向上させることができ、これよって
各水平CCD転送部間の転送劣化に起因する画像の縦筋
の発生を防止することができるとともに、マスクずれに
起因する製造歩留まりを向上させることができる固体撮
像装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による固体撮像装置は、光電変換部の信号電
荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、蓄積転送ゲート
電極および転送ゲート電極の対から構成されるととも
に、水平方向に繰り返し配列される複数の水平転送部
と、これら各水平転送部間に形成され、信号電荷の転送
を制御する制御ゲート電極とを有する固体撮像装置にお
いて、各水平転送部間の転送チャネル部に水平転送方向
に連続するとともに、転送チャネルの信号電荷の転送方
向に対して傾斜したポテンシャルバリアを形成したこと
を特徴としている。
めに本発明による固体撮像装置は、光電変換部の信号電
荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、蓄積転送ゲート
電極および転送ゲート電極の対から構成されるととも
に、水平方向に繰り返し配列される複数の水平転送部
と、これら各水平転送部間に形成され、信号電荷の転送
を制御する制御ゲート電極とを有する固体撮像装置にお
いて、各水平転送部間の転送チャネル部に水平転送方向
に連続するとともに、転送チャネルの信号電荷の転送方
向に対して傾斜したポテンシャルバリアを形成したこと
を特徴としている。
【0012】
【作用】上記の構成において、複数の水平転送部間の転
送チャネル部に水平転送方向に連続するとともに、転送
チャネルの信号電荷の転送方向に対して傾斜したポテン
シャルバリアを形成することにより、ポテンシャルバリ
アの効果を大幅に向上させて各水平転送部間の転送効率
を大幅に向上させ、これよって各水平転送部間の転送劣
化に起因する画像の縦筋の発生を防止するとともに、マ
スクずれに起因する製造歩留まりを向上させる。
送チャネル部に水平転送方向に連続するとともに、転送
チャネルの信号電荷の転送方向に対して傾斜したポテン
シャルバリアを形成することにより、ポテンシャルバリ
アの効果を大幅に向上させて各水平転送部間の転送効率
を大幅に向上させ、これよって各水平転送部間の転送劣
化に起因する画像の縦筋の発生を防止するとともに、マ
スクずれに起因する製造歩留まりを向上させる。
【0013】
【実施例】図1は本発明による固体撮像装置の一実施例
を示す構成図である。この図に示す固体撮像装置は複数
のフォトセンサ2と、複数の垂直CCD転送部3と、第
1水平CCD転送部4と、第1フローティングディフュ
ージョンアンプ部5と、振り分け転送ゲート部6と、第
2水平CCD転送部7と、第2フローティングディフュ
ージョンアンプ部8とを備えており、各撮影動作毎に、
各フォトセンサ2によって得られた信号電荷を対応する
垂直CCD転送部3によって取り込んでこれを垂直方向
に転送するとともに、第1水平CCD転送部4によって
前記垂直CCD転送部3から送出される信号電荷を取り
込んで奇数番目の信号電荷を水平方向に転送して第1フ
ローティングディフュージョンアンプ部5で画素信号に
変換してこれを出力させる。また、この動作と並行して
振り分け転送ゲート部6によって前記第1水平CCD転
送部4から偶数番目の信号電荷を取り出してこれを第2
水平CCD転送部7に転送するとともに、この第2水平
CCD転送部7によって前記信号電荷を水平方向に転送
して第2フローティングディフュージョンアンプ部8で
画素信号に変換させてこれを出力させる。
を示す構成図である。この図に示す固体撮像装置は複数
のフォトセンサ2と、複数の垂直CCD転送部3と、第
1水平CCD転送部4と、第1フローティングディフュ
ージョンアンプ部5と、振り分け転送ゲート部6と、第
2水平CCD転送部7と、第2フローティングディフュ
ージョンアンプ部8とを備えており、各撮影動作毎に、
各フォトセンサ2によって得られた信号電荷を対応する
垂直CCD転送部3によって取り込んでこれを垂直方向
に転送するとともに、第1水平CCD転送部4によって
前記垂直CCD転送部3から送出される信号電荷を取り
込んで奇数番目の信号電荷を水平方向に転送して第1フ
ローティングディフュージョンアンプ部5で画素信号に
変換してこれを出力させる。また、この動作と並行して
振り分け転送ゲート部6によって前記第1水平CCD転
送部4から偶数番目の信号電荷を取り出してこれを第2
水平CCD転送部7に転送するとともに、この第2水平
CCD転送部7によって前記信号電荷を水平方向に転送
して第2フローティングディフュージョンアンプ部8で
画素信号に変換させてこれを出力させる。
【0014】各フォトセンサ2はマトリックス状に配置
されており、撮像動作によって得られた信号電荷を対応
する垂直CCD転送部3に各々、供給する。
されており、撮像動作によって得られた信号電荷を対応
する垂直CCD転送部3に各々、供給する。
【0015】各垂直CCD転送部3は各フォトセンサ2
の垂直列間に各々、配置されており、撮像動作によって
前記各フォトセンサ2によって得られた信号電荷を取り
込んでこれを垂直方向に転送して第1水平CCD転送部
4に供給する。
の垂直列間に各々、配置されており、撮像動作によって
前記各フォトセンサ2によって得られた信号電荷を取り
込んでこれを垂直方向に転送して第1水平CCD転送部
4に供給する。
【0016】第1水平CCD転送部4は図2に示す如く
基板となるN型のサブストレート10およびこのサブス
トレート10上に形成されるP型のウェル層11上に形
成されるN型層12にイオン注入法等によって図3に示
す如く前記各垂直CCD転送部3に近い方が直線状にな
るように、かつ反対側が鋸状になるように形成されるポ
テンシャルバリア13と、前記N型層12上に形成され
た2層目のポリシリコンからなる蓄積ゲート電極14お
よび3層目のポリシリコンからなる転送ゲート電極15
を対にして水平方向に配列される複数の水平転送電極1
6とによって構成されており、前記各垂直CCD転送部
3によって転送された信号電荷を取り込むとともに、こ
れら信号電荷のうち、奇数番目の信号電荷を水平方向に
転送して第1フローティングディフュージョンアンプ部
5に供給する。
基板となるN型のサブストレート10およびこのサブス
トレート10上に形成されるP型のウェル層11上に形
成されるN型層12にイオン注入法等によって図3に示
す如く前記各垂直CCD転送部3に近い方が直線状にな
るように、かつ反対側が鋸状になるように形成されるポ
テンシャルバリア13と、前記N型層12上に形成され
た2層目のポリシリコンからなる蓄積ゲート電極14お
よび3層目のポリシリコンからなる転送ゲート電極15
を対にして水平方向に配列される複数の水平転送電極1
6とによって構成されており、前記各垂直CCD転送部
3によって転送された信号電荷を取り込むとともに、こ
れら信号電荷のうち、奇数番目の信号電荷を水平方向に
転送して第1フローティングディフュージョンアンプ部
5に供給する。
【0017】第1フローティングディフュージョンアン
プ部5は前記第1水平CCD転送部4から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を生成
しこれを出力する。
プ部5は前記第1水平CCD転送部4から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を生成
しこれを出力する。
【0018】また、振り分け転送ゲート部6は図2およ
び図3に示す如く所定間隔毎にチャネルストップ18を
有し、前記第1水平CCD転送部4と第2水平CCD転
送部7とを2分するように配置される1層目のポリシリ
コンからなる転送ゲート電極17によって構成されてお
り、前記第1水平CCD転送部4によって取り込まれた
偶数番目の信号電荷を取り込んで、これを第2水平CC
D転送部7に供給する。
び図3に示す如く所定間隔毎にチャネルストップ18を
有し、前記第1水平CCD転送部4と第2水平CCD転
送部7とを2分するように配置される1層目のポリシリ
コンからなる転送ゲート電極17によって構成されてお
り、前記第1水平CCD転送部4によって取り込まれた
偶数番目の信号電荷を取り込んで、これを第2水平CC
D転送部7に供給する。
【0019】第2水平CCD転送部7は図2および図3
に示す如く前記N型層12上に形成された2層目のポリ
シリコンからなる蓄積ゲート電極14および3層目のポ
リシリコンからなる転送ゲート電極15を対にして水平
方向に配列される複数の水平転送電極16によって構成
されており、前記振り分け転送ゲート部6によって取り
込まれた偶数番目の信号電荷を取り込んで水平方向に転
送して第2フローティングディフュージョンアンプ部8
に供給する。
に示す如く前記N型層12上に形成された2層目のポリ
シリコンからなる蓄積ゲート電極14および3層目のポ
リシリコンからなる転送ゲート電極15を対にして水平
方向に配列される複数の水平転送電極16によって構成
されており、前記振り分け転送ゲート部6によって取り
込まれた偶数番目の信号電荷を取り込んで水平方向に転
送して第2フローティングディフュージョンアンプ部8
に供給する。
【0020】第2フローティングディフュージョンアン
プ部8は前記第2水平CCD転送部7から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を生成
してこれを出力する。
プ部8は前記第2水平CCD転送部7から出力される信
号電荷を検出してこの検出結果に応じた画素信号を生成
してこれを出力する。
【0021】次に、図4に示すタイミング図および図5
に示すポテンシャル図を参照しながらこの実施例の振り
分け転送動作を説明する。
に示すポテンシャル図を参照しながらこの実施例の振り
分け転送動作を説明する。
【0022】まず、図4(b)、(c)に示す如く時刻
taで駆動クロックφH1、φH2が“5V”になって
図5(a)に示す如く第1水平CCD転送部4内に信号
電荷が蓄積し、図4(a)に示す如く時刻tbで駆動ク
ロックφHHGが“5V”になれば、第1水平CCD転
送部4と、振り分け転送ゲート部6と、第2水平CCD
転送部7のポテンシャルがほぼ同じ値になって前記信号
電荷が第1水平CCD転送部4から振り分け転送ゲート
部6および第2水平CCD転送部7側に移動する。
taで駆動クロックφH1、φH2が“5V”になって
図5(a)に示す如く第1水平CCD転送部4内に信号
電荷が蓄積し、図4(a)に示す如く時刻tbで駆動ク
ロックφHHGが“5V”になれば、第1水平CCD転
送部4と、振り分け転送ゲート部6と、第2水平CCD
転送部7のポテンシャルがほぼ同じ値になって前記信号
電荷が第1水平CCD転送部4から振り分け転送ゲート
部6および第2水平CCD転送部7側に移動する。
【0023】そして、時刻tcになって駆動クロックφ
H1、φH2が“0”になったとき、図5(b)、
(c)に示す如く第1水平CCD転送部4内にあった信
号電荷が振り分け転送ゲート部6に集められる。
H1、φH2が“0”になったとき、図5(b)、
(c)に示す如く第1水平CCD転送部4内にあった信
号電荷が振り分け転送ゲート部6に集められる。
【0024】このとき、第1水平CCD転送部4のポテ
ンシャルバリア13のエッジを斜めにし、これによって
第1水平CCD転送部4内全体を強転送電界部にしてい
るので、結晶欠陥やパターン崩れによる転送劣化を無く
して第1水平CCD転送部4内にあった信号電荷を振り
分け転送ゲート部6に確実に転送することができる。
ンシャルバリア13のエッジを斜めにし、これによって
第1水平CCD転送部4内全体を強転送電界部にしてい
るので、結晶欠陥やパターン崩れによる転送劣化を無く
して第1水平CCD転送部4内にあった信号電荷を振り
分け転送ゲート部6に確実に転送することができる。
【0025】この後、時刻tdになって駆動クロックφ
H1が“5”になり、次いで時刻teで駆動クロックφ
HHGが“0V”になったとき、図5(d)、(e)に
示す如く振り分け転送ゲート部6内にあった信号電荷が
第2水平CCD転送部7に転送される。
H1が“5”になり、次いで時刻teで駆動クロックφ
HHGが“0V”になったとき、図5(d)、(e)に
示す如く振り分け転送ゲート部6内にあった信号電荷が
第2水平CCD転送部7に転送される。
【0026】このように、この実施例においては、第1
水平CCD転送部4に形成されるポテンシャルバリア1
3の形状を鋸状にして第1水平CCD転送部4内全体を
強転送電界部にしているので、ポテンシャルバリア13
の効果を大幅に向上させて第1水平CCD転送部4と、
第2水平CCD転送部7と間の転送効率を大幅に向上さ
せることができ、これよって第1水平CCD転送部4
と、第2水平CCD転送部7と間の転送劣化に起因して
画像に縦筋が発生するのを防止することができる。
水平CCD転送部4に形成されるポテンシャルバリア1
3の形状を鋸状にして第1水平CCD転送部4内全体を
強転送電界部にしているので、ポテンシャルバリア13
の効果を大幅に向上させて第1水平CCD転送部4と、
第2水平CCD転送部7と間の転送効率を大幅に向上さ
せることができ、これよって第1水平CCD転送部4
と、第2水平CCD転送部7と間の転送劣化に起因して
画像に縦筋が発生するのを防止することができる。
【0027】さらに、この実施例では、ポテンシャルバ
リア13の形状を鋸状にしているので、マスクずれによ
って斜めパターン部13aが上下左右に多少ずれてもポ
テンシャルバリア13としての効果がほとんど変わらな
いので、マスクずれに起因する製造歩留まりを向上させ
ることができる。
リア13の形状を鋸状にしているので、マスクずれによ
って斜めパターン部13aが上下左右に多少ずれてもポ
テンシャルバリア13としての効果がほとんど変わらな
いので、マスクずれに起因する製造歩留まりを向上させ
ることができる。
【0028】また、上述した実施例においては、ポテン
シャルバリア13を1つ設けるようにしているが、図6
に示す如くこのポテンシャルバリア13とともに、この
ポテンシャルバリア13に対して少しずらした位置に、
前記ポテンシャルバリア13と同様な形成手法でもう1
つのポテンシャルバリア20を設けるようにしても良
い。
シャルバリア13を1つ設けるようにしているが、図6
に示す如くこのポテンシャルバリア13とともに、この
ポテンシャルバリア13に対して少しずらした位置に、
前記ポテンシャルバリア13と同様な形成手法でもう1
つのポテンシャルバリア20を設けるようにしても良
い。
【0029】このように構成することにより、新たに付
加したポテンシャルバリア20の形状を鋸状にしている
ので、上述した実施例と同様に第1水平CCD転送部4
と、第2水平CCD転送部7と間の転送効率を大幅に向
上させることができ、これよって第1水平CCD転送部
4と、第2水平CCD転送部7と間の転送劣化に起因し
て画像に縦筋が発生するのを防止することができるとと
もに、マスクずれに起因する製造歩留まりを向上させる
ことができる。
加したポテンシャルバリア20の形状を鋸状にしている
ので、上述した実施例と同様に第1水平CCD転送部4
と、第2水平CCD転送部7と間の転送効率を大幅に向
上させることができ、これよって第1水平CCD転送部
4と、第2水平CCD転送部7と間の転送劣化に起因し
て画像に縦筋が発生するのを防止することができるとと
もに、マスクずれに起因する製造歩留まりを向上させる
ことができる。
【0030】また、このようなポテンシャルバリア20
を付加する代わりに、図7に示す如く第1水平CCD転
送部4に前記ポテンシャルバリア13を反転した形状と
なるようにイオン注入等の手法によってポテンシャルを
深くした鋸状のポテンシャルウェル21を形成するよう
にしても良い。
を付加する代わりに、図7に示す如く第1水平CCD転
送部4に前記ポテンシャルバリア13を反転した形状と
なるようにイオン注入等の手法によってポテンシャルを
深くした鋸状のポテンシャルウェル21を形成するよう
にしても良い。
【0031】このようにしても、上述した各実施例と同
様に第1水平CCD転送部4と、第2水平CCD転送部
7と間の転送効率を大幅に向上させることができ、これ
よって第1水平CCD転送部4と、第2水平CCD転送
部7と間の転送劣化に起因して画像に縦筋が発生するの
を防止することができるとともに、マスクずれに起因す
る製造歩留まりを向上させることができる。
様に第1水平CCD転送部4と、第2水平CCD転送部
7と間の転送効率を大幅に向上させることができ、これ
よって第1水平CCD転送部4と、第2水平CCD転送
部7と間の転送劣化に起因して画像に縦筋が発生するの
を防止することができるとともに、マスクずれに起因す
る製造歩留まりを向上させることができる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ポ
テンシャルバリアの効果を大幅に向上させて各水平CC
D転送部間の転送効率を大幅に向上させることができ、
これよって各水平CCD転送部間の転送劣化に起因する
画像の縦筋の発生を防止することができるとともに、マ
スクずれに起因する製造歩留まりを向上させることがで
きる。
テンシャルバリアの効果を大幅に向上させて各水平CC
D転送部間の転送効率を大幅に向上させることができ、
これよって各水平CCD転送部間の転送劣化に起因する
画像の縦筋の発生を防止することができるとともに、マ
スクずれに起因する製造歩留まりを向上させることがで
きる。
【図1】本発明による固体撮像装置の一実施例を示す構
成図である。
成図である。
【図2】図1に示す第1水平CCD転送部および振り分
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す断面である。
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す断面である。
【図3】図1に示す第1水平CCD転送部および振り分
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す平面図である。
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す平面図である。
【図4】図1に示す第1水平CCD転送部および振り分
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示す
タイミング図である。
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示す
タイミング図である。
【図5】図1に示す第1水平CCD転送部および振り分
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示す
ポテンシャル図である。
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示す
ポテンシャル図である。
【図6】本発明による固体撮像装置の他の実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図7】本発明による固体撮像装置の他の実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図8】従来から知られている固体撮像装置の一実施例
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図9】図8に示す第1水平CCD転送部および振り分
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す断面である。
け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構成
例を示す断面である。
【図10】図8に示す第1水平CCD転送部および振り
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構
成例を示す平面図である。
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の具体的な構
成例を示す平面図である。
【図11】図8に示す第1水平CCD転送部および振り
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示
すタイミング図である。
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示
すタイミング図である。
【図12】図8に示す第1水平CCD転送部および振り
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示
すポテンシャル図である。
分け転送ゲート部、第2水平CCD転送部の動作例を示
すポテンシャル図である。
2 フォトセンサ(光電変換部) 3 垂直CCD転送部(垂直転送部) 4 第1水平CCD転送部(水平転送部) 5 第1フローティングディフュージョンアンプ部 6 振り分け転送ゲート部 7 第2水平CCD転送部(水平転送部) 8 第2フローティングディフュージョンアンプ部 13 ポテンシャルバリア 14 蓄積ゲート電極(蓄積転送ゲート電極) 15 転送ゲート電極 17 転送ゲート電極(制御ゲート電極)
Claims (4)
- 【請求項1】 光電変換部の信号電荷を垂直方向に転送
する垂直転送部と、蓄積転送ゲート電極および転送ゲー
ト電極の対から構成されるとともに、水平方向に繰り返
し配列される複数の水平転送部と、これら各水平転送部
間に形成され、信号電荷の転送を制御する制御ゲート電
極とを有する固体撮像装置において、 各水平転送部間の転送チャネル部に水平転送方向に連続
するとともに、転送チャネルの信号電荷の転送方向に対
して傾斜したポテンシャルバリアを形成した、 ことを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項2】 前記ポテンシャルバリアは楔型に形成さ
れることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 【請求項3】 前記ポテンシャルバリアは楔型に形成さ
れ、かつこれらの各ポテンシャルバリアの位置が互いに
がずらされていることを特徴とする請求項1記載の固体
撮像装置。 - 【請求項4】 前記水平転送部は前記ポテンシャルバリ
アととともに、このポテンシャルバリアと対向するよう
に形成される鋸型のポテンシャルウェルを有する請求項
1または2記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02744792A JP3185939B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02744792A JP3185939B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05198602A true JPH05198602A (ja) | 1993-08-06 |
JP3185939B2 JP3185939B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=12221376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02744792A Expired - Fee Related JP3185939B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3185939B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8514312B2 (en) | 2009-06-23 | 2013-08-20 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image sensor and image-reading device |
-
1992
- 1992-01-20 JP JP02744792A patent/JP3185939B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8514312B2 (en) | 2009-06-23 | 2013-08-20 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image sensor and image-reading device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3185939B2 (ja) | 2001-07-11 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |