JPH0519162A - 対物レンズ及び対物レンズの測定方法 - Google Patents
対物レンズ及び対物レンズの測定方法Info
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- JPH0519162A JPH0519162A JP3202604A JP20260491A JPH0519162A JP H0519162 A JPH0519162 A JP H0519162A JP 3202604 A JP3202604 A JP 3202604A JP 20260491 A JP20260491 A JP 20260491A JP H0519162 A JPH0519162 A JP H0519162A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定時に実際の使用時とは異なる波長の光源
を用いた場合にも、測定誤差の少ない対物レンズを提供
すること、そして、そのような対物レンズの測定方法を
提供することを目的とする。 【構成】 この発明にかかる対物レンズは、互いに異な
る複数の波長における球面収差発生量をほぼ等しくなる
よう設計したことを特徴とし、また、この発明にかかる
対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長とは
異なる波長の光源を用いることを特徴とする。
を用いた場合にも、測定誤差の少ない対物レンズを提供
すること、そして、そのような対物レンズの測定方法を
提供することを目的とする。 【構成】 この発明にかかる対物レンズは、互いに異な
る複数の波長における球面収差発生量をほぼ等しくなる
よう設計したことを特徴とし、また、この発明にかかる
対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長とは
異なる波長の光源を用いることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ディスク装置に用
いられる対物レンズに関し、特に、使用波長とは異なる
波長での測定に適した対物レンズ、及びこの対物レンズ
の測定方法に関する。
いられる対物レンズに関し、特に、使用波長とは異なる
波長での測定に適した対物レンズ、及びこの対物レンズ
の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レンズの性能を検査するためには、その
レンズが実際に使用されるのと同一、あるいは近い環境
の下で測定することが望ましい。したがって、レンズに
光束を入射させて測定する場合には、実装時の使用波長
の光源を用いることが好ましい。
レンズが実際に使用されるのと同一、あるいは近い環境
の下で測定することが望ましい。したがって、レンズに
光束を入射させて測定する場合には、実装時の使用波長
の光源を用いることが好ましい。
【０００３】一方、例えば可視域外で使用されるレンズ
を測定する場合には、使用波長である可視域外の光束を
用いたのでは測定の能率が悪く、使用時とは波長が異な
る可視域の光源を用いて測定したいとの要請がある。
を測定する場合には、使用波長である可視域外の光束を
用いたのでは測定の能率が悪く、使用時とは波長が異な
る可視域の光源を用いて測定したいとの要請がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ディスク用対物レンズは、単波長、あるいは使用時の
光源の波長変動の範囲内で使用されることを前提として
いるため、使用時とかけ離れた波長の光源を用いて測定
を行なうと、測定誤差が大きいという問題がある。
光ディスク用対物レンズは、単波長、あるいは使用時の
光源の波長変動の範囲内で使用されることを前提として
いるため、使用時とかけ離れた波長の光源を用いて測定
を行なうと、測定誤差が大きいという問題がある。
【０００５】特に、測定波長における球面収差が大きい
と、干渉計を用いて形状測定を行なう場合、測定誤差が
大きくなりがちである。
と、干渉計を用いて形状測定を行なう場合、測定誤差が
大きくなりがちである。
【０００６】
【発明の目的】この発明は、上述した従来技術の課題に
鑑みてなされたものであり、測定時に実際の使用時とは
異なる波長の光源を用いた場台にも、測定誤差の少ない
対物レンズを提供すること、そして、そのような対物レ
ンズの測定方法を提供することを目的とする。
鑑みてなされたものであり、測定時に実際の使用時とは
異なる波長の光源を用いた場台にも、測定誤差の少ない
対物レンズを提供すること、そして、そのような対物レ
ンズの測定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる対物レ
ンズは、上記の目的を達成させるため、互いに異なる複
数の波長における球面収差発生量がほぼ等しくなるよう
設計されていることを特徴とし、また、この発明にかか
る対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長と
は異なる波長の光源を用いることを特徴とする。
ンズは、上記の目的を達成させるため、互いに異なる複
数の波長における球面収差発生量がほぼ等しくなるよう
設計されていることを特徴とし、また、この発明にかか
る対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長と
は異なる波長の光源を用いることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
実施例の対物レンズは、例えばハイビジョン用レーザー
ディスクシステムのような、１枚の画像に必要なデータ
が従来のレーザーディスクシステムより大きい光ディス
クシステム用の対物レンズである。
実施例の対物レンズは、例えばハイビジョン用レーザー
ディスクシステムのような、１枚の画像に必要なデータ
が従来のレーザーディスクシステムより大きい光ディス
クシステム用の対物レンズである。
【０００９】記録密度は、書き込みのためのレーザー光
のスポット径の２乗に反比例する。また、光スポット径
は開口数Ｎ．Ａに比例し、使用波長に反比例する。そこ
で、実施例の対物レンズは、記録密度を向上させるため
に従来より開口数Ｎ．Ａ．が大きく、かつ、紫外域で利
用できるよう設計されている。
のスポット径の２乗に反比例する。また、光スポット径
は開口数Ｎ．Ａに比例し、使用波長に反比例する。そこ
で、実施例の対物レンズは、記録密度を向上させるため
に従来より開口数Ｎ．Ａ．が大きく、かつ、紫外域で利
用できるよう設計されている。
【００１０】一方、レンズの製造段階では、使用時の紫
外域の光源を用いると測定が困難であるため、可干渉性
のある可視光を出力し、かつ安価であるＨｅ−Ｎｅレー
ザーを用いる。
外域の光源を用いると測定が困難であるため、可干渉性
のある可視光を出力し、かつ安価であるＨｅ−Ｎｅレー
ザーを用いる。
【００１１】そこで、実施例の対物レンズは、使用時の
光源の波長３５１ｎｍと測定時の光源の波長６３３ｎｍ
とに対して球面収差を補正している。波長の違いによる
球面収差の変化を小さくすることにより、球面収差の少
ない状態でレンズ性能を高精度で測定することができ
る。
光源の波長３５１ｎｍと測定時の光源の波長６３３ｎｍ
とに対して球面収差を補正している。波長の違いによる
球面収差の変化を小さくすることにより、球面収差の少
ない状態でレンズ性能を高精度で測定することができ
る。
【００１２】レンズ加工誤差に起因する収差の変動量は
波長が変化してもほぼ等しく現れるため、使用時とは異
なった波長で調整をしても良好な性能に調整することが
できる。実際に測定対象となるのは、偏心コマ収差、球
面収差、非点隔差等であり、測定結果に基づいて調整す
ることができる。
波長が変化してもほぼ等しく現れるため、使用時とは異
なった波長で調整をしても良好な性能に調整することが
できる。実際に測定対象となるのは、偏心コマ収差、球
面収差、非点隔差等であり、測定結果に基づいて調整す
ることができる。
【００１３】
【実施例１】図１は、実施例１の対物レンズを示したも
のである。具体的な数値構成は表１に示されている。表
中、ＮＡは開口数、ｆは焦点距離、ωは半画角、ｆＢは
バックフォーカス、λは使用波長、ｒは曲率半径、ｄは
面間隔、Ｎｄはｄ−ｌｉｎｅ（５８８ｎｍ）での屈折
率、νｄはアッべ数、Ｎ３５１は波長３５１ｎｍにおけ
る屈折率である。
のである。具体的な数値構成は表１に示されている。表
中、ＮＡは開口数、ｆは焦点距離、ωは半画角、ｆＢは
バックフォーカス、λは使用波長、ｒは曲率半径、ｄは
面間隔、Ｎｄはｄ−ｌｉｎｅ（５８８ｎｍ）での屈折
率、νｄはアッべ数、Ｎ３５１は波長３５１ｎｍにおけ
る屈折率である。
【００１４】図２は、波長３５１ｎｍにおける球面収差
ＳＡ、正弦条件ＳＣ、非点収差（Ｓ：サジタル、Ｍ：メ
リディオナル）を示し、図３はその波面収差を示してい
る。なお、図３の波面収差は、左側の４図がメリディオ
ナル方向、右側の４図がサジタル方向を示しており、収
差量を表す縦軸の単位は波長λである。
ＳＡ、正弦条件ＳＣ、非点収差（Ｓ：サジタル、Ｍ：メ
リディオナル）を示し、図３はその波面収差を示してい
る。なお、図３の波面収差は、左側の４図がメリディオ
ナル方向、右側の４図がサジタル方向を示しており、収
差量を表す縦軸の単位は波長λである。
【００１５】図４は測定時の波長６３３ｎｍでの球面収
差、正弦条件を示しており、図５はその軸上での波面収
差を示している。
差、正弦条件を示しており、図５はその軸上での波面収
差を示している。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【実施例２】図６は実施例２の対物レンズを示したもの
である。具体的な数値構成は表２に示されている。図７
は、この構成による波長３５１ｎｍにおける球面収差、
正弦条件、非点収差を示し、図８は波面収差を示してい
る。
である。具体的な数値構成は表２に示されている。図７
は、この構成による波長３５１ｎｍにおける球面収差、
正弦条件、非点収差を示し、図８は波面収差を示してい
る。
【００１８】また、図９、図１０は測定波長６３３ｎｍ
における球面収差、波面収差をそれぞれ示している。
における球面収差、波面収差をそれぞれ示している。
【００１９】
【表２】
【００２０】
【効果】以上説明したように、この発明によれば、使用
時の波長が測定には適さずに、測定に適した他の波長の
光源を用いて測定する場合であっても、両波長に対して
球面収差を補正することにより、対物レンズの性能を高
精度で測定することができる。
時の波長が測定には適さずに、測定に適した他の波長の
光源を用いて測定する場合であっても、両波長に対して
球面収差を補正することにより、対物レンズの性能を高
精度で測定することができる。
【図１】 実施例１のレンズ断面図である。
【図２】 実施例１の使用波長での球面収差、非点収
差図である。
差図である。
【図３】 実施例１の使用波長での波面収差図であ
る。
る。
【図４】 実施例１の測定波長での球面収差図であ
る。
る。
【図５】 実施例１の測定波長での波面収差図であ
る。
る。
【図６】 実施例２のレンズ断面図である。
【図７】 実施例２の使用波長での球面収差、非点収
差図である。
差図である。
【図８】 実施例２の使用波長での波面収差図であ
る。
る。
【図９】 実施例２の測定波長での球面収差図であ
る。
る。
【図１０】 実施例２の測定波長での波面収差図であ
る。
る。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】特に、測定波長における球面収差が大きい
と、干渉計を用いて収差測定を行なう場合、測定誤差が
大きくなりがちである。
と、干渉計を用いて収差測定を行なう場合、測定誤差が
大きくなりがちである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる対物レ
ンズは、上記の目的を達成させるため、使用時のほぼ単
色の光源の波長と、該使用波長とは異なる測定時の波長
とに対して、発生する球面収差の量がほぼ等しくなるよ
う収差補正したことを特徴とし、また、この発明にかか
る対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長と
は異なる波長の光源を用いて上記の対物レンズを測定す
ることを特徴とする。
ンズは、上記の目的を達成させるため、使用時のほぼ単
色の光源の波長と、該使用波長とは異なる測定時の波長
とに対して、発生する球面収差の量がほぼ等しくなるよ
う収差補正したことを特徴とし、また、この発明にかか
る対物レンズの測定方法は、使用時に用いられる波長と
は異なる波長の光源を用いて上記の対物レンズを測定す
ることを特徴とする。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大野 政博
東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光学
工業株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】互いに異なる複数の波長における球面収差
発生量が、ほぼ等しくなるよう設計されていることを特
徴とする対物レンズ。 - 【請求項２】前記複数の波長は、可視域の波長と可視域
外の波長とであることを特徴とする請求項１に記載の対
物レンズ。 - 【請求項３】使用時に用いられる波長と、該使用波長と
は異なる測定時の波長とに対して、発生する球面収差の
量がほぼ等しくなるよう収差補正されていることを特徴
とする対物レンズ。 - 【請求項４】使用時に用いられる波長とは異なる波長の
光源を用いることを特徴とする対物レンズの測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202604A JPH0519162A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 対物レンズ及び対物レンズの測定方法 |
| US08/272,616 US5500767A (en) | 1991-05-02 | 1994-07-11 | Objective lens and method of measuring its performance |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202604A JPH0519162A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 対物レンズ及び対物レンズの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519162A true JPH0519162A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=16460187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3202604A Pending JPH0519162A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 対物レンズ及び対物レンズの測定方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5500767A (ja) |
| JP (1) | JPH0519162A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105435703A (zh) * | 2014-07-21 | 2016-03-30 | 沃德(天津)传动有限公司 | 搅拌减速机及其输出轴装置 |
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1991
- 1991-05-02 JP JP3202604A patent/JPH0519162A/ja active Pending
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- 1994-07-11 US US08/272,616 patent/US5500767A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| US5500767A (en) | 1996-03-19 |
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