JPH05186276A - カーボンファイバ強化カーボン複合材を用いた受熱板材料およびその製造方法 - Google Patents

カーボンファイバ強化カーボン複合材を用いた受熱板材料およびその製造方法

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JPH05186276A
JPH05186276A JP4000423A JP42392A JPH05186276A JP H05186276 A JPH05186276 A JP H05186276A JP 4000423 A JP4000423 A JP 4000423A JP 42392 A JP42392 A JP 42392A JP H05186276 A JPH05186276 A JP H05186276A
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JP
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composite
heat
carbon
carbon fiber
thermal conductivity
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JP4000423A
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Masashi Takahashi
雅士 高橋
Yoshiyasu Ito
義康 伊藤
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】高耐熱性と高熱伝導性を併せ持つC/Cコンポ
ジットを用いた受熱板材料およびその製造方法を得る。 【構成】カーボンファイバにCVD法もしくはCVI法
またはこれらを組合せた方法により熱分解炭素を析出さ
せ、表面は緻密で気孔はないが、内部になる程気孔率が
徐々に増大するようにしたC/Cコンポジットを製作
し、これを板厚方向で切断した後、HIP法により気孔
中にCuを溶融含浸しC/CコンポジットとCuを傾斜
組成一体化する。この材料を機械加工して最終的な形状
に仕上げると同時にCu層に水冷用のパイプを取付け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カーボンファイバ強化
カーボン複合材(以下、C/Cコンポジットという)と
Cu(銅)のように、耐熱性と高温強度を持つC/Cコ
ンポジットと高熱伝導性を持つCuを複合化した受熱板
材料およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】受熱板や活性金属溶解用るつぼに代表さ
れる超高温場を有する機器においては、高温で高エネル
ギー密度を持った電子ビームやプラズマ等に耐え得る材
料が必要である。そこで、この材料には、(1)温度が
上昇する受熱面での耐熱性が十分であること、(2)熱
伝導性が良く、かつ冷却特性に優れていることの2特性
が要求される。
【0003】ところが、単一の材料では、上記(1)項
で示した耐熱性と、上記(2)項で示した高熱伝導性を
同時に満たすものが見当たらない。そのために、高融点
材料であると同時に高温強度も優れたW(タングステ
ン)やグラファイトと熱伝導性の良好なCuを複合化す
ることにより、両方の特性を同時に得ようという試みも
なされている。現状では、WやグラファイトとCuを複
合化する場合には、ろう付等により接合する方法が一般
的に用いられている。また、最近、WとCuの系におい
て、加熱時にWとCuの熱膨脹率の差に起因して発生す
る熱応力を緩和するために、WとCuの組成比を連続的
に変化させて構成した受熱板材料やその製造方法も提案
されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来より、高密度化を
はじめ、C/Cコンポジットのバルク材としての特性改
善の努力はなされており、強度や熱伝導性の面における
改善は著しいものがある。ところが、接合等のそれを幅
広く適用していくための技術は、まだ十分ではないのが
現状である。
【0005】前述したように、C/CコンポジットとC
uをろう付けにより複合化し、受熱板として高温で用い
た場合、熱応力によりろう付部でのはく離がしばしば起
る。これは、両者の熱膨脹率の差が大きく(C/Cコン
ポジットは平行方向が9〜11×10-6/K,直角方向が
0.4×10-6/Kに対し、Cuは17.1×10-6/K)また、
ろう付部が強度的に弱いためである。この結果、はく離
部で熱抵抗が増大するために、冷却特性が著しく低下
し、受熱面の温度が大幅に上昇する。最悪の場合、C/
Cコンポジットの溶融・昇華や冷却媒体である水の吹き
出し等の事故を誘発する可能性がある。
【0006】このような観点から見れば、熱応力緩和の
ためにはC/CコンポジットとCuの界面での組成を傾
斜させたC/Cコンポジット/Cu傾斜組成材料が有効
である。この傾斜組成材料の製造方法としては、板厚が
厚いものの場合に焼結法をベースとした方法が用いられ
ている。たとえば、2種類の粉末の混合比率を変えて積
層したものを一体焼結して製造する方法や粒径を変えた
粉末を積層したものを一体焼結して気孔率が傾斜した焼
結体を作製し、その気孔中に後から第2の材料を溶浸す
る方法等が提案されている。
【0007】しかしながら、C/CコンポジットとCu
系の場合には、カーボンファイバを含んでいるために、
何れの方法もそのまま適用することは不可能である。さ
らに、C/Cコンポジットは、カーボンファイバに液状
の原料(カーボン)を含浸・黒鉛化することが多く、そ
の黒鉛化温度もCuの融点よりもはるかに高いために、
C/CコンポジットとCuの傾斜組成複合化は、非常に
困難である。本発明は、高耐熱性と高熱伝導性を併せ持
つC/Cコンポジットを用いた受熱板材料およびその製
造方法を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】〔請求項1〕に対応する
発明は、受熱面と反受熱面を有し、受熱面側はC/Cコ
ンポジットから形成され、反受熱面側は高熱伝導性材料
から形成されるC/Cコンポジットを用いた受熱板材料
において、受熱面側のC/Cコンポジットと反受熱面側
の高熱伝導性材料の界面における組成比が連続的に変化
している構成としたC/Cコンポジットを用いた受熱板
材料である。
【0009】また、〔請求項2〕に対応する発明は、カ
ーボンファイバにCVD法(化学的蒸着法)もしくはC
VI法(化学的含浸法)またはこれらを組合わせ方法に
より、表面は緻密で内部が疎になるように密度が深さ方
向に沿って変化するように炭素を析出させる工程と、内
部に残存した気孔中に高熱伝導性材料を溶融含浸させる
工程を含み、炭素と高熱伝導性材料の界面における組成
を傾斜させるようにしたC/Cコンポジットを用いた受
熱板材料の製造方法である。
【0010】さらに、〔請求項3〕に対応する発明は、
C/Cコンポジットと高熱伝導性材料の接合方法におい
て、高熱伝導性材料の融点以上でHIP(熱間等方性加
圧)処理し、C/Cコンポジットに残存する微細な気孔
中に高導電性材料を含浸させるようにしたC/Cコンポ
ジットと高熱伝導性材料の接合方法である。
【0011】
【作用】〔請求項1〕に対応する発明によれば、耐熱性
と熱伝導性を併せ持つC/Cコンポジットを用いた受熱
板材料を得ることができる。
【0012】また、〔請求項2〕に対応する発明によれ
ば、C/Cコンポジットと高熱伝導性材料との界面にお
ける組成が連続的に変化するので熱応力緩和特性が優れ
ると共に、C/Cコンポジット中に高熱伝導性材料が連
続的に存在するので熱伝導性が優れたC/Cコンポジッ
トを用いた受熱板材料を製造することができる。
【0013】さらに、〔請求項3〕に対応する発明によ
れば、カーボン,カーボンファイバおよび高熱伝導材料
が、組織上でネットワーク構造となるため、C/Cコン
ポジットと高熱伝導性材料の接合強度(密着度)優れた
C/Cコンポジットと高熱伝導性材料の接合方法が得ら
れる。
【0014】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面を参照して説
明する。図1は、本発明である受熱板材料の製造方法を
説明するためのフローチャートである。まず、第1の工
程では、積層クロスやフェルト等のカーボンファイバ成
形物を製造する。第2の工程では、第1の工程で得られ
たカーボンファイバ成形物に対し、CVD法やCVI法
またはこれらの組合せにより熱分解炭素を析出させ、表
面は緻密で気孔はないが、内部になる程気孔率が徐々に
増大するC/Cコンポジットを得る。
【0015】図2は、カーボンファイバ成形物内部での
CVI法による熱分解炭素の析出状況を模式的に示した
説明図である。初期段階の(b)や(c)では、反応ガ
スが自由に気孔中を動きまわれるため、表面と裏面とで
殆んど大差なくカーボンファイバ表面に熱分解炭素が析
出する。次の段階の(d)(e)では、析出した炭素が
成長し、閉気孔が存在するようになると、その閉気孔を
残したままそれより表面側で炭素の析出が続く。したが
って、CVD法やCVI法またはこれらの組合せによ
り、定性的には(f)に示すように表面でCが緻密で気
孔がなく内部で気孔率が傾斜しているような組織を持つ
C/Cコンポジットが得られる。図3は、カーボン含浸
速度と含浸深さの関係を示したものであるが、加熱温度
やガス供給量等を低下させて炭素をゆるやかに析出させ
る程、含浸深さが大きい。すなわち、気孔率が傾斜した
領域が大きいC/Cコンポジットの製造が可能となる。
【0016】第3の工程では、第2の工程で得られたC
/Cコンポジットを切断し、6面のうち5面には表面ま
で炭素が非常に緻密に析出しているが、残る1面だけに
は炭素の析出がない、または、少ないC/Cコンポジッ
トを得る。第4の工程では、第3の工程で得たC/Cコ
ンポジットの気孔中に、HIP法により熱伝導率が大き
いCuを溶融含浸し、C/CコンポジットとCuを傾斜
組成一体化する。第5の工程では、第4の工程で得たC
/Cコンポジット/Cu傾斜組成材料を機械加工し、最
終的な形状に仕上げると同時にCu層に水冷用パイプを
取付け、C/Cコンポジット/Cu傾斜組成材料を用い
た受熱板が完成する。このようにして得られたC/Cコ
ンポジット/Cu受熱板材料によれば、以下のような効
果が得られる。
【0017】(1)本実施例の製造方法によるC/Cコ
ンポジット/Cu受熱板材料は、C/Cコンポジットと
Cuの界面での組成が傾斜しており、さらに、組織的に
もマトリクスカーボン,カーボンファイバ,Cuがネッ
トワークを組んでいるという特徴がある。そのため、従
来製造されていたろう付等による接合体に比べ、発生す
る熱応力が小さく、受熱板としての使用時に界面でのは
く離や割れの発生事故が低減できる。
【0018】(2)本実施例の製造方法によるC/Cコ
ンポジット/Cu受熱板材料は、側面も耐熱性の大きい
カーボンに覆れていると共に、その部分での組織も非常
に緻密なものとなっている。そのため、何らかの原因で
大きな熱負荷を受け、融点の低いCuの一部が溶融した
としても、側面からのCuの滲み出しは起こらない。し
たがって、そのCuの滲み出しによる熱伝導性の低下、
場合によっては、そのためのカーボンの溶融・昇華事故
が低減できる。
【0019】(3)本実施例の製造方法によるC/Cコ
ンポジット/Cu受熱板材料は、熱伝導性に優れている
ため、高熱負荷に耐えられるという点で性能の高いもの
である。C/Cコンポジット単体としても、マトリック
スとして熱分解炭素を用い、カーボンファイバ Vol%を
50%以下としているために、表1からも明らかなよう
に、従来グラファイトや樹脂含浸法によるC/Cコンポ
ジットに比べ、熱伝導率が大きい。
【0020】
【表1】
【0021】また、C/Cコンポジット/Cu傾斜組成
材料という点からは、C/Cコンポジット中をさらに熱
伝導率が大きいCuがネットワーク状に存在するため、
Cuに近い熱伝導性が得られる。
【0022】(4)本実施例の製造方法を、C/Cコン
ポジットとCuの接合という観点から見れば、マトリク
スカーボン,カーボンファイバおよびCuがネットワー
ク構造となっており、接触面積がきわめて大きいため
に、従来からのろう付け等による接合方法に比べ接合強
度が大きい。
【0023】なお、本実施例の製造方法は、C/Cコン
ポジットとCuの材料系に限定されるものではなく、カ
ーボンファイバ成形体にCVI法やCVD法により含浸
できる全ての材料に適用できる。さらに気孔中への第2
の材料の溶浸プロセスとの複合化により、複数の材料の
傾斜組成化が可能となる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、C
/Cコンポジットと高熱伝導材料の傾斜組成複合化が可
能となり、高耐熱性と高熱伝導性を併せ持つC/Cコン
ポジットを用いた受熱板材料およびその製造方法を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のC/Cコンポジットを用いた受熱板の
製造方法を示すフローチャート。
【図2】本発明におけるカーボンファイバ成形物に熱分
解炭素が析出し、深さ方向に沿って気孔率が傾斜するこ
とを模式的に示す説明図。
【図3】本発明におけるC/Cコンポジットのカーボン
の含浸速度と含浸深さの関係を示す曲線図。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 受熱面と反受熱面を有し、受熱面側はカ
    ーボンファイバ強化カーボン複合材から形成され、反受
    熱面側は高熱伝導性材料から形成されるカーボンファイ
    バ強化カーボン複合材を用いた受熱板材料において、前
    記受熱面側の前記カーボンファイバ強化カーボン複合材
    と前記反受熱面側の前記高熱伝導性材料の界面における
    組成比が連続的に変化した構成としていることを特徴と
    するカーボンファイバ強化カーボン複合材を用いた受熱
    板材料。
  2. 【請求項2】 カーボンファイバにCVD法もしくはC
    VI法またはこれらを組合わせ方法により、表面は緻密
    で内部が疎になるように密度が深さ方向に沿って変化す
    るように炭素を析出させる工程と、内部に残存した気孔
    中に高熱伝導性材料を溶融含浸させる工程を含み、前記
    炭素と前記高熱伝導性材料の界面における組成を傾斜さ
    せるようにしたことを特徴とするカーボンファイバ強化
    カーボン複合材を用いた受熱板材料の製造方法。
  3. 【請求項3】 カーボンファイバ強化カーボン複合材と
    高熱伝導性材料の接合方法において、前記高熱伝導性材
    料の融点以上でHIP処理し、前記カーボンファイバ強
    化カーボン複合材に残存する微細な気孔中に前記高導電
    性材料を含浸させるようにしたことを特徴とするカーボ
    ンファイバ強化カーボン複合材と高熱伝導性材料の接合
    方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0634494A2 (en) * 1993-07-14 1995-01-18 Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan Copper-carbon composite material with graded function and method for manufacturing the same
WO1999019273A1 (fr) * 1997-10-09 1999-04-22 Ngk Insulators, Ltd. Materiau composite fibreux et son procede de fabrication
EP0978701A1 (en) * 1998-08-05 2000-02-09 Ngk Insulators, Ltd. Kiln tool with good workability
JP2000226273A (ja) * 1999-02-05 2000-08-15 Plansee Ag 熱的に高負荷可能な複合構造部材の製造方法
US7138190B2 (en) * 2002-03-21 2006-11-21 Sgl Carbon Ag Composite containing reinforcing fibers comprising carbon
CN112592196A (zh) * 2020-12-30 2021-04-02 青岛高泰新材料有限公司 多层高温碳碳装料架的制作方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0634494A2 (en) * 1993-07-14 1995-01-18 Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan Copper-carbon composite material with graded function and method for manufacturing the same
EP0634494A3 (en) * 1993-07-14 1995-10-11 Doryokuro Kakunenryo Graded copper-carbon composites and process for their manufacture.
WO1999019273A1 (fr) * 1997-10-09 1999-04-22 Ngk Insulators, Ltd. Materiau composite fibreux et son procede de fabrication
US6447893B2 (en) 1997-10-09 2002-09-10 Ngk Insulators, Ltd. Fibrous composite material and process for producing the same
JP3491902B2 (ja) * 1997-10-09 2004-02-03 日本碍子株式会社 繊維複合材料及びその製造方法
EP0978701A1 (en) * 1998-08-05 2000-02-09 Ngk Insulators, Ltd. Kiln tool with good workability
US6162544A (en) * 1998-08-05 2000-12-19 Ngk Insulators, Ltd. Kiln tool with good workability
JP2000226273A (ja) * 1999-02-05 2000-08-15 Plansee Ag 熱的に高負荷可能な複合構造部材の製造方法
US7138190B2 (en) * 2002-03-21 2006-11-21 Sgl Carbon Ag Composite containing reinforcing fibers comprising carbon
CN112592196A (zh) * 2020-12-30 2021-04-02 青岛高泰新材料有限公司 多层高温碳碳装料架的制作方法

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