JPH0517645Y2 - - Google Patents
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- JPH0517645Y2 JPH0517645Y2 JP14712887U JP14712887U JPH0517645Y2 JP H0517645 Y2 JPH0517645 Y2 JP H0517645Y2 JP 14712887 U JP14712887 U JP 14712887U JP 14712887 U JP14712887 U JP 14712887U JP H0517645 Y2 JPH0517645 Y2 JP H0517645Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、被測定物の表面色または干渉色の測
定を行う測定装置のためのカラーセンサプローブ
に関し、更に詳しくは被測定物に投光しその反射
光を受光するための光フアイバを備えたカラーセ
ンサプローブに係わる。[Detailed description of the invention] [Industrial field of application] The present invention relates to a color sensor probe for a measuring device that measures the surface color or interference color of an object to be measured, and more specifically relates to a color sensor probe for measuring the surface color or interference color of an object to be measured. The present invention relates to a color sensor probe equipped with an optical fiber for receiving reflected light from the persimmons.
被測定物の表面色または干渉色の測定を行うた
めに、光源から光を導いて被測定物に投光し、そ
の反射光を受光して測定装置に導くカラーセンサ
プローブが知られている。薄膜等の干渉色を測定
する場合や、その干渉色の変化により薄膜の肉厚
を検査する場合に、しばしば正反射測定法が用い
られる。
2. Description of the Related Art In order to measure the surface color or interference color of an object to be measured, a color sensor probe is known that guides light from a light source, projects it onto the object, receives the reflected light, and guides it to a measuring device. Specular reflection measurement is often used when measuring the interference color of a thin film or the like, or when inspecting the thickness of a thin film based on changes in the interference color.
従来の正反射型カラーセンサプローブの例を第
４図、第５図および第６図に示す。この正反射型
カラーセンサプローブは、光源に接続された投光
用ライトガイド１と、測定装置に接続された受光
検出部２からなり、この両者１，２は途中から一
本のケーブル内に納められ、被測定物３側の先端
面４は面一となつている。投光用ライトガイド１
と受光検出部２はそれぞれ多数本の光フアイバか
らなり、この光フアイバはその先端面４側におい
て第５図または第６図の拡大図に示すように配列
されている。すなわち、中心部に受光検出部２の
光フアイバ２ａが配置され、その外周に投光用ラ
イトガイド１の光フアイバ１ａが配置されている
（第５図参照）かまたは反対に中心部に投光用ラ
イトガイド、周辺部に受光検査部となるように配
置されている（図示していない）かまたは投光用
ライトガイド１と受光検出部２のそれぞれの光フ
アイバ１ａ，２ａが混ぜ合わせられてランダム状
に配置されている（第６図参照）。 Examples of conventional specular reflection type color sensor probes are shown in FIGS. 4, 5, and 6. This specular reflection type color sensor probe consists of a light emitting light guide 1 connected to a light source and a light receiving detection section 2 connected to a measuring device. Both 1 and 2 are housed in one cable from the middle. The tip surface 4 on the side of the object to be measured 3 is flush with the other end surface. Floodlight light guide 1
The optical fibers 2 and 2 each consist of a large number of optical fibers, and these optical fibers are arranged on the tip surface 4 side as shown in the enlarged view of FIG. 5 or 6. That is, the optical fiber 2a of the light reception detection section 2 is arranged in the center, and the optical fiber 1a of the light guide 1 for projecting light is arranged around its outer periphery (see Fig. 5), or conversely, the optical fiber 2a of the light receiving and detecting section 2 is arranged in the center (see Fig. 5). The optical fibers 1a and 2a of the projecting light guide 1 and the receiving light detecting section 2 are mixed together (not shown), or the optical fibers 1a and 2a of the projecting light guide 1 and the receiving light detecting section 2 are arranged at the periphery to serve as a light receiving inspection section (not shown). They are arranged randomly (see Figure 6).
この正反射型カラーセンサプローブによる被測
定物３の表面色または干渉色の測定は次のように
して行われる。先ず、照明光を反射しないような
表面を持つ測定台５上に、被測定物３を載置し、
被測定物３の鉛直方向上方において、先端面４が
被測定物３に向くように、カラーセンサプローブ
を固定スタンド６によつて垂直に固定する。次
に、図示していない光源から投光用ライトガイド
１の基端面７に光を入射する。この入射光は投光
用ライトガイド１の光フアイバ１ａ内を伝播し、
被測定物３側の先端面４から出射し、被測定物３
を照明する。被測定物３から反射した光は、先端
面４の受光検出部２の光フアイバ２ａに入射して
その中を伝播し、そして基端面８から出射する。
この出射光は、図示していない測定装置に入射し
分析され、それによつて被測定物３の色が測定さ
れる。なお、上記測定は外部光の影響を防ぐため
に暗室内で行われる。 The measurement of the surface color or interference color of the object to be measured 3 using this specular reflection type color sensor probe is performed as follows. First, the object to be measured 3 is placed on a measuring table 5 having a surface that does not reflect illumination light,
The color sensor probe is fixed vertically above the object to be measured 3 with a fixing stand 6 so that the tip surface 4 faces the object to be measured 3 . Next, light is incident on the base end surface 7 of the light projection light guide 1 from a light source (not shown). This incident light propagates within the optical fiber 1a of the projection light guide 1,
The light is emitted from the tip surface 4 on the side of the object to be measured 3, and
to illuminate. The light reflected from the object to be measured 3 enters the optical fiber 2a of the light receiving and detecting section 2 on the distal end surface 4, propagates therein, and then exits from the proximal end surface 8.
This emitted light enters a measuring device (not shown) and is analyzed, thereby measuring the color of the object 3 to be measured. Note that the above measurements are performed in a dark room to prevent the influence of external light.
上記構造の従来の正反射型カラーセンサプロー
ブは、その先端側の投光用ライトガイド１と受光
検出部２が１本にまとめられ、先端面４が面一で
あるため、測定に際し投光用ライトガイド１と受
光検出部２との相対位置、角度等の調節を必要と
せず、投光用ライトガイド１および受光検出部２
と被測定物３との位置関係を調節するだけでよい
ので、操作性が良好であるという利点がある。し
かし、この正反射型カラーセンサプローブは、投
光用ライトガイド１と受光検出部２を個別に動か
し、被測定物３に対する照明範囲と受光範囲を個
別に変えることができないという欠点を有する。
この欠点は次のような場合に問題となる。例え
ば、測定精度を上げるために被測定物３の全面を
照明し、照明ムラの少ない中心部のみからの反射
光を受光して測定したい場合に、前記正反射型カ
ラーセンサプローブでは、被測定物３の測定範囲
に合わせてその照明範囲と受光範囲を変えること
ができない。
In the conventional specular reflection type color sensor probe having the above structure, the light guide 1 for emitting light and the light receiving detecting section 2 on the tip side are combined into one, and the tip surface 4 is flush with the light guide 1 for emitting light during measurement. There is no need to adjust the relative position, angle, etc. between the light guide 1 and the light receiving detector 2, and the light guide 1 for projecting light and the light receiving detector 2
Since it is only necessary to adjust the positional relationship between the object 3 and the object to be measured 3, there is an advantage that operability is good. However, this specular reflection type color sensor probe has a drawback in that it is not possible to individually move the projecting light guide 1 and the light receiving detection section 2 to individually change the illumination range and light receiving range for the object to be measured 3.
This drawback becomes a problem in the following cases. For example, when you want to illuminate the entire surface of the object 3 to improve measurement accuracy and receive the reflected light only from the center where there is less uneven illumination, the specular reflection type color sensor probe can be used to illuminate the object 3. The illumination range and light receiving range cannot be changed to match the measurement range of item 3.
また、被測定物３が複雑な内面形状、例えば擂
鉢状の内面の底面部だけを測定したい場合は、内
面全体を照明するとその面からの反射光が底面部
を照明してしまい正確に測定できなくなるため、
照明範囲を狭くし、受光範囲を広く取る必要があ
るが、前記正反射型カラーセンサプローブではそ
れぞれの照明範囲と受光範囲を被測定物の形状、
大きさ、測定範囲等に合わせて変えることができ
ない。 In addition, if the object to be measured 3 has a complex inner surface shape, for example, if you want to measure only the bottom part of the mortar-shaped inner surface, if the entire inner surface is illuminated, the reflected light from that surface will illuminate the bottom part, making it impossible to measure accurately. Because it disappears,
It is necessary to narrow the illumination range and widen the light receiving range, but in the specular reflection type color sensor probe, each illumination range and light receiving range are determined by the shape of the object to be measured,
It cannot be changed to suit the size, measurement range, etc.
本考案は上記の欠点を除去するためになされた
ものであり、被測定物への照明範囲および被測定
物からの反射光（正反射光を含む）の受光範囲を
それぞれ個別的に変えることができ、被測定物の
形状、大きさ、測定範囲等にとらわれることなく
被測定物の色を測定することができるカラーセン
サプローブを提供することを目的とする。 The present invention was developed to eliminate the above-mentioned drawbacks, and it is possible to individually change the illumination range of the object to be measured and the receiving range of reflected light (including specular reflection light) from the object to be measured. It is an object of the present invention to provide a color sensor probe that can measure the color of an object to be measured without being limited by the shape, size, measurement range, etc. of the object.
この目的は、本考案により、筐体の上壁または
側壁の一方に、該壁を貫通させて投光用ライトガ
イドを移動可能に配設し、上壁または側壁の他方
に該壁を貫通させて受光検出部を移動可能に配設
し、投光用ライトガイドおよび／または受光検出
部と、筐体底面に置かれた被測定物との間に、ハ
ーフミラーを配置したことによつて達成される。
According to the present invention, the projecting light guide is movably disposed on one of the top wall or the side wall of the casing by penetrating the wall, and the projecting light guide is movably disposed on the other of the top wall or the side wall. This is achieved by movably arranging the light receiving and detecting section, and placing a half mirror between the light emitting light guide and/or the light receiving detecting section and the object to be measured placed on the bottom of the housing. be done.
ここで、投光用ライドガイドと受光検出部は好
ましくはそれぞれ、長手方向にスライド可能に筐
体に固定されている。投光用ライトガイドと受光
検出部は更に、それらの先端に固定されたまたは
それらの光軸に沿つて可動なレンズ系を具備して
いると好適である。更に、投光用ライトガイドま
たは受光検出部の中心軸線とハーフミラー面とが
なす角度を任意に変えることができるように、ハ
ーフミラーが配置されていると好適である。 Here, the light projection ride guide and the light reception detection section are each preferably fixed to the housing so as to be slidable in the longitudinal direction. Preferably, the projecting light guide and the light receiving detection section further include a lens system fixed to their tips or movable along their optical axes. Furthermore, it is preferable that the half mirror is arranged so that the angle between the central axis of the light projecting light guide or the light receiving detection section and the half mirror surface can be arbitrarily changed.
次に、図を参照して本考案の実施例およびその
変形例を詳しく説明する。
Next, embodiments of the present invention and modifications thereof will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は本考案の実施例に係るカラーセンサプ
ローブを示している。第１図において、１０は内
面全体に黒色の布が張りつけられた筐体、１１
は、図示していない光源からの光を導き被測定物
１２を照明するための、多数本の光フアイバを束
ねてなる投光用ライトガイド、１３は、光を透過
光と反射光に分けるハーフミラー、１４は、被測
定物１２からの反射光を受光し図示していない測
定装置に導くための、多数本の光フアイバを束ね
てなる受光検出部である。 FIG. 1 shows a color sensor probe according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 10 is a housing whose entire inner surface is covered with black cloth, 11
13 is a projection light guide made of a bundle of multiple optical fibers for guiding light from a light source (not shown) and illuminating the object to be measured 12; 13 is a half-light guide that divides the light into transmitted light and reflected light; The mirror 14 is a light receiving and detecting section formed by bundling a large number of optical fibers for receiving reflected light from the object to be measured 12 and guiding it to a measuring device (not shown).
前記筐体１０は、１辺の長さが約100mmの直方
体の箱であり、前記のようにその内面全体に、光
を吸収する黒色布が張りつけられ、暗箱を形成し
ている。筐体１０は更に、第１図においてその左
側の側壁が開閉可能に形成されている。そのため
に、側面板１６が複数本の固定ねじ１７によつて
筐体１０に取り外し可能に取りつけられている。
なお、他の側壁、すなわち第１図において手前か
奥の側壁を開閉可能に形成してもよい。筐体１０
の底面には前記被測定物１２が載置されている。 The housing 10 is a rectangular parallelepiped box with a side length of about 100 mm, and as described above, a black cloth that absorbs light is pasted over the entire inner surface of the box to form a dark box. Furthermore, the left side wall of the housing 10 in FIG. 1 is formed to be openable and closable. For this purpose, the side plate 16 is removably attached to the housing 10 with a plurality of fixing screws 17.
Note that the other side walls, that is, the front or rear side walls in FIG. 1, may be formed to be openable and closable. Housing 10
The object to be measured 12 is placed on the bottom surface.
多数本の光フアイバを束ねて例えばシリコンチ
ユーブによつて被覆した前記投光用ライトガイド
１１は、筐体１０の上壁１０ａを垂直方向に貫通
するパイプ状の金具１８に対してネジ等（図示せ
ず）によつて任意の位置に固定し得るように挿入
されている。アルミニウム、真鍮、ステンレス等
からなるこの金具１８は投光用ライトガイド１１
と共に、上壁１０ａ外面に溶接されたリング１９
に、固定ねじ２０によつて締めつけ保持されてい
る。従つて、固定ねじ２０を弛めることによつ
て、投光用ライトガイド１１をその長手方向にス
ライド調節可能である。金具１８はその先端に対
物レンズ２１を保持している。 The projecting light guide 11, which is made by bundling a large number of optical fibers and covering them with, for example, a silicon tube, is attached to a pipe-shaped metal fitting 18 that vertically penetrates the upper wall 10a of the housing 10 by screws or the like (see FIG. (not shown) so that it can be fixed in any position. This metal fitting 18 made of aluminum, brass, stainless steel, etc. is the light guide 11 for projecting light.
Also, a ring 19 welded to the outer surface of the upper wall 10a.
It is tightened and held by a fixing screw 20. Therefore, by loosening the fixing screw 20, the projection light guide 11 can be slid in its longitudinal direction. The metal fitting 18 holds an objective lens 21 at its tip.
金具１８と対物レンズ２１からなるレンズ系２
２と、筐体１０内の被測定物１２との間には、前
記ハーフミラー１３が配置されている。このハー
フミラー１３は、投光用ライトガイド１１から出
射される光の光路２３ａに対して45°の角度αを
なすようにハーフミラー台２４に支持されてい
る。このハーフミラー台２４は２枚の板からな
り、その上端部においてハーフミラー１３の両端
部を支持している。ハーフミラーの上面１３ａに
は金属膜が蒸着されている。 Lens system 2 consisting of metal fitting 18 and objective lens 21
2 and the object to be measured 12 in the housing 10, the half mirror 13 is arranged. This half mirror 13 is supported by a half mirror stand 24 so as to form an angle α of 45° with respect to the optical path 23a of the light emitted from the light projection light guide 11. This half mirror stand 24 is made up of two plates, and supports both ends of the half mirror 13 at its upper end. A metal film is deposited on the upper surface 13a of the half mirror.
多数本の光フアイバを束ねて例えばシリコンチ
ユーブによつて被覆した前記受光検出部１４は、
投光用ライトガイド１１と同様にパイプ状金具２
５に対してネジ等（図示せず）によつて任意の位
置に固定し得るように挿入され、リング２６およ
び固定ねじ２７を介して、筐体１０の右側の側壁
１０ｂに、長手方向にスライド調節可能に保持さ
れている。この受光検出部１４は、投光用ライト
ガイド１１からの出射光の光路２３ａと直交しか
つハーフミラー１３の上面１３ａに交点を持つ入
射光の光路２３ｂ上に配置されている。金具２５
はその先端に保持された対物レンズ２８と共に、
レンズ系２９を形成している。 The light receiving and detecting section 14 is formed by bundling a large number of optical fibers and covering them with, for example, a silicon tube.
Similar to the light guide 11 for projection, the pipe-shaped metal fitting 2
5 so that it can be fixed at any position with a screw or the like (not shown), and slides longitudinally onto the right side wall 10b of the housing 10 via the ring 26 and the fixing screw 27. Adjustably held. The light reception detection unit 14 is arranged on an optical path 23b of incident light that is perpendicular to the optical path 23a of the emitted light from the light projection light guide 11 and has an intersection point on the upper surface 13a of the half mirror 13. Metal fittings 25
together with the objective lens 28 held at its tip,
A lens system 29 is formed.
次に、上記構造のカラーセンサプローブを用い
て、被測定物１２である薄膜からの正反射光２３
ｅをその干渉色として測色し、この薄膜の肉厚を
管理する方法について説明する。図示していない
光源から導かれ投光用ライトガイド１１から出射
した光２３ａは、ハーフミラー１３の上面１３ａ
でハーフミラー１３を透過し直進する光２３ｃと
反射光２３ｄに分かれ、直進した光２３ｃは被測
定物１２を照明する。一方、反射光２３ｄは筐体
１０の側面板１６の内面の黒色布に当たり、吸収
される。 Next, using the color sensor probe having the above structure, the specularly reflected light 23 from the thin film, which is the object to be measured 12, is
A method of measuring e as its interference color and controlling the thickness of this thin film will be explained. Light 23a guided from a light source (not shown) and emitted from the projection light guide 11 is transmitted to the upper surface 13a of the half mirror 13.
The light 23c passes through the half mirror 13 and is split into a reflected light 23d, and the straight light 23c illuminates the object 12 to be measured. On the other hand, the reflected light 23d hits the black cloth on the inner surface of the side plate 16 of the housing 10 and is absorbed.
被測定物１２からの正反射光２３ｅは再びハー
フミラー１３の上面１３ａで透過し直進する光と
反射光に分かれ、この反射光２３ｂは受光検出部
１４に入射し、受光検出部１４の他端側に接続さ
れた図示していない測定装置によつて受光され
る。薄膜等に光が入射すると反射光や透過光はそ
の膜により干渉現象が起き、膜の構成や厚さによ
り異なつた色として着色して見える。この着色し
た光が前記受光光であり、従つて受光された光を
解析し、数値化することにより膜の厚さの変化を
知ることができ、膜の肉厚の管理が可能となる。
なお、上記カラーセンサプローブによつて、被測
定物の干渉色以外の色が測定できることはいうま
でもない。また、筐体１０が暗箱として形成され
ているので、暗室で測定作業する必要がない。 The specularly reflected light 23e from the object to be measured 12 passes through the upper surface 13a of the half mirror 13 again and is divided into a straight forward light and a reflected light. The light is received by a measuring device (not shown) connected to the side. When light is incident on a thin film or the like, interference occurs in the reflected light and transmitted light due to the film, and the film appears colored in different colors depending on the structure and thickness of the film. This colored light is the received light, and by analyzing the received light and converting it into numerical values, changes in the thickness of the film can be known, and the thickness of the film can be managed.
It goes without saying that the color sensor probe described above can measure colors other than interference colors of the object to be measured. Furthermore, since the housing 10 is formed as a dark box, there is no need to carry out measurement work in a dark room.
更に、被測定物１２の形状、大きさ、測定範囲
等に合つた最適な測定条件を得るために、投光用
ライトガイド１１および受光検出部１４を、固定
ねじ２０，２７を弛めることによつて、投光用ラ
イトガイド１１および受光検出部１４の長さ方向
にスライドさせ、位置決めすることができる。 Furthermore, in order to obtain optimal measurement conditions that match the shape, size, measurement range, etc. of the object to be measured 12, the projecting light guide 11 and the light receiving detection section 14 can be adjusted by loosening the fixing screws 20 and 27. Then, the projecting light guide 11 and the light receiving detection section 14 can be slid in the length direction to position them.
第２図、第３ａ図および第３ｂ図に、前記実施
例の変形例を示す。 Figures 2, 3a and 3b show variations of the above embodiment.
第２図に示す変形例は、ハーフミラー１３の角
度を変えたものであり、ハーフミラー１３は、投
光用ライトガイド１１からの出射光の光路２３ａ
とハーフミラー１３の上面１３ａとのなす角度α
が67.5°となるように、すなわちハーフミラー１
３が筐体１０の底面に対して22.5°の角度βをな
すように、ハーフミラー台２４上に支持されてい
る。ハーフミラー１３の角度以外は全て前記実施
例と同じである。 In the modification shown in FIG. 2, the angle of the half mirror 13 is changed.
The angle α formed by the upper surface 13a of the half mirror 13
is 67.5°, that is, half mirror 1
3 is supported on the half mirror stand 24 so as to form an angle β of 22.5° with the bottom surface of the housing 10. Everything except the angle of the half mirror 13 is the same as in the previous embodiment.
このハーフミラー１３を使用した変形例は、日
本工業規格に定められた測色法である０−45°法
に相当し、被測定物１２の表面の垂直方向上方か
ら照明し、被測定物１２の斜め上方45°の角度γ
の反射光をハーフミラー１３からの反射光として
受光し測定するものである。 This modification using the half mirror 13 corresponds to the 0-45° method, which is a colorimetry method specified in the Japanese Industrial Standards, and illuminates the surface of the object 12 from above in the vertical direction. Angle γ of 45° diagonally above
The reflected light from the half mirror 13 is received and measured.
投光用ライトガイド１１から出射され、ハーフ
ミラー１３を透過した光は、被測定物１２を照明
し、その表面上で出射光の光路２３ａに対して
45°の角度γ（45°）で反射した光成分が、ハーフ
ミラー１３の上面１３ａで反射光と透過光に分か
れ、反射光２３ｂは受光検出部１４に入射して測
定装置に導かれ、色が測定される。 The light emitted from the light projection light guide 11 and transmitted through the half mirror 13 illuminates the object to be measured 12, and on the surface of the object 12, the light is directed toward the optical path 23a of the emitted light.
The light component reflected at an angle γ (45°) is separated into reflected light and transmitted light on the upper surface 13a of the half mirror 13, and the reflected light 23b enters the light receiving detection unit 14 and is guided to the measuring device, where the color is measured.
第３ａ図と第３ｂ図に示す変形例は、ハーフミ
ラー１３の傾斜角度を任意に調節できるようにハ
ーフミラー台２４を構成したものであり、その他
は前記実施例と同じである。この変形例の場合、
ハーフミラー１３の傾斜角度の任意調節は、ハー
フミラー１３に固定された固定金具３０にねじ込
み可能である角度調整ねじ３１を弛め、ハーフミ
ラー１３を新たな傾斜位置に傾斜させ、そして角
度調整ねじ３１を再び締めつけることにより行
う。従つて、ハーフミラー上面１３ａと投光用ラ
イトガイド１１からの出射光の前記光路２３ａと
なす角度が任意に変えられるようになり、正反射
光の測定、０−45°法による測定にとらわれるこ
となく測定の範囲を広げることができる。 In the modification shown in FIGS. 3a and 3b, the half mirror stand 24 is constructed so that the inclination angle of the half mirror 13 can be arbitrarily adjusted, and the other features are the same as in the previous embodiment. In this variant,
To arbitrarily adjust the inclination angle of the half mirror 13, loosen the angle adjustment screw 31 that can be screwed into the fixture 30 fixed to the half mirror 13, tilt the half mirror 13 to a new inclination position, and then tighten the angle adjustment screw 31. This is done by tightening 31 again. Therefore, the angle between the upper surface 13a of the half mirror and the optical path 23a of the light emitted from the light projection light guide 11 can be changed arbitrarily, and the measurement of specularly reflected light is no longer limited to measurement using the 0-45° method. The measurement range can be expanded without any problems.
以上、本考案の実施例および変形例について説
明したが、本考案はこれらに限定されるものでは
ない。例えば、投光用ライトガイド１１と受光検
出部１４の取りつけ位置を逆にしてもよい。更
に、投光用ライトガイド１１のレンズ系２２およ
び受光検出部１４のレンズ系２９を、投光用ライ
トガイド１１および受光検出部１４の長さ方向に
摺動可能に設置することもできる。更に、レンズ
系２２，２９を設置せずに使用することもでき
る。更に、ハーフミラー台２４は第１図において
左右に移動可能な機構を備えていてもよい。筐体
１０内面は光を反射しない黒色の布張りとした
が、投光用ライトガイド１１からの光を反射しな
い他のもので内張りしてもよく、また反射防止の
加工を施してもよく、筐体の材料自体が無反射性
のものでもよい。更に、受光検出部の光軸に沿つ
た反対面、すなわち前記実施例の側面板１６の内
面は特に無反射性のよいものが望ましい。更に、
筐体１０内の底面には、被測定物１２を載せる測
定台を設けることができる。この測定台は筐体１
０の底面に移動可能に設けてもよく、底面に固定
してもよい。 Although the embodiments and modifications of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these. For example, the mounting positions of the light projection light guide 11 and the light reception detection section 14 may be reversed. Furthermore, the lens system 22 of the light projection light guide 11 and the lens system 29 of the light reception detection section 14 can be installed so as to be slidable in the length direction of the light projection light guide 11 and the light reception detection section 14. Furthermore, it can also be used without installing the lens systems 22 and 29. Furthermore, the half mirror stand 24 may be provided with a mechanism capable of moving left and right in FIG. Although the inner surface of the housing 10 is lined with black cloth that does not reflect light, it may be lined with other material that does not reflect light from the projecting light guide 11, or may be treated with anti-reflection processing. The material of the housing itself may be non-reflective. Furthermore, it is desirable that the opposite surface along the optical axis of the light receiving and detecting section, that is, the inner surface of the side plate 16 of the above embodiment, has particularly good non-reflection properties. Furthermore,
A measurement stand on which the object to be measured 12 is placed can be provided on the bottom surface of the housing 10 . This measurement stand is housing 1
It may be movably provided on the bottom surface of 0, or may be fixed on the bottom surface.
以上の通り、本考案によれば、筐体の上壁また
は側壁の一方に、該壁を貫通させて投光用ライト
ガイドを移動可能に配設し、上壁または側壁の他
方に該壁を貫通させて受光検出部を移動可能に配
設し、投光用ライトガイドおよび／または受光検
出部と、筐体底面に置かれた被測定物との間に、
ハーフミラーを配置したので、投光用ライトガイ
ドと受光検出部の照明範囲と受光範囲を、被測定
物の形状、大きさ、測定範囲等に合わせて個別的
に変えることができる。従つて、測定精度を落と
すことなく、いろいろな被測定物の測色が可能で
ある。
As described above, according to the present invention, the projection light guide is movably disposed on one of the top wall or the side wall of the casing by penetrating the wall, and the light guide is provided on the other of the top wall or the side wall. The light receiving detection part is movably arranged through the light guide, and the light receiving part is movably arranged between the projecting light guide and/or the light receiving detecting part and the object to be measured placed on the bottom of the housing.
Since the half mirror is arranged, the illumination range and light receiving range of the projecting light guide and the light receiving detection section can be individually changed according to the shape, size, measurement range, etc. of the object to be measured. Therefore, it is possible to measure the color of various objects to be measured without reducing measurement accuracy.
第１図は本考案の実施例によるカラーセンサプ
ローブを示す縦断面図、第２図は第１図の実施例
のカラーセンサプローブの変形例を示す縦断面
図、第３ａ図は第１図の実施例のハーフミラー台
の変形例を示す部分断面図、第３ｂ図は第３ａ図
の右側面図、第４図は従来のカラーセンサプロー
ブを示す図、第５図と第６図は従来のカラーセン
サプローブの光フアイバの配列状態を示す図であ
る。
１０……筐体、１０ａ……筐体の上壁、１０ｂ
……筐体の側壁、１１……投光用ライトガイド、
１２……被測定物、１３……ハーフミラー、１３
ａ……ハーフミラー上面、１４……受光検出部、
１６……側面板、１７……固定ねじ、１８……金
具、１９……リング、２０……固定ねじ、２１…
…対物レンズ、２２……レンズ系、２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ……光路、２４……
ハーフミラー台、２５……金具、２６……リン
グ、２７……固定ねじ、２８……対物レンズ、２
９……レンズ系、３０……固定金具、３１……角
度調節ねじ、α，β，γ……角度。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a color sensor probe according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a modification of the color sensor probe of the embodiment shown in FIG. FIG. 3b is a right side view of FIG. 3a, FIG. 4 is a diagram showing a conventional color sensor probe, and FIGS. 5 and 6 are a diagram showing a conventional color sensor probe. FIG. 3 is a diagram showing an arrangement state of optical fibers of a color sensor probe. 10...Case, 10a...Top wall of the case, 10b
... Side wall of the housing, 11 ... Light guide for floodlighting,
12...Object to be measured, 13...Half mirror, 13
a...Top surface of half mirror, 14...Light reception detection section,
16...Side plate, 17...Fixing screw, 18...Metal fitting, 19...Ring, 20...Fixing screw, 21...
...Objective lens, 22...Lens system, 23a, 23
b, 23c, 23d, 23e... light path, 24...
Half mirror stand, 25...Metal fittings, 26...Ring, 27...Fixing screw, 28...Objective lens, 2
9...Lens system, 30...Fixing bracket, 31...Angle adjustment screw, α, β, γ...Angle.
Claims (1)
させて投光用ライトガイドを移動可能に配設
し、上壁または側壁の他方に該壁を貫通させて
受光検出部を移動可能に配設し、投光用ライト
ガイドおよび／または受光検出部と、筐体底面
に置かれた被測定物との間に、ハーフミラーを
配置したことを特徴とするカラーセンサプロー
ブ。 (2) 投光用ライトガイドと受光検出部がそれぞ
れ、長手方向にスライド可能に筐体に固定され
ていることを特徴とする、実用新案登録請求の
範囲第１項記載のカラーセンサプローブ。 (3) 投光用ライトガイドと受光検出部が、それら
の先端に固定されたまたはそれらの光軸に沿つ
て可動なレンズ系を具備していることを特徴と
する、実用新案登録請求の範囲第１項または第
２項記載のカラーセンサプローブ。 (4) 投光用ライトガイドまたは受光検出部の中心
軸線とハーフミラー面とがなす角度を任意に変
えることができるように、ハーフミラーが配置
されていることを特徴とする、実用新案登録請
求の範囲第１項記載のカラーセンサプローブ。[Claims for Utility Model Registration] (1) A projecting light guide is movably disposed on one of the top wall or side wall of the housing by penetrating the wall, and The light receiving detection unit is movably arranged through the casing, and a half mirror is placed between the light emitting light guide and/or the light receiving detection unit and the object to be measured placed on the bottom of the housing. Characteristic color sensor probe. (2) The color sensor probe according to claim 1, wherein the projecting light guide and the light receiving detection section are each fixed to a housing so as to be slidable in the longitudinal direction. (3) A claim for utility model registration, characterized in that the projecting light guide and the light receiving detection section are provided with a lens system fixed to their tips or movable along their optical axes. The color sensor probe according to item 1 or 2. (4) Request for registration of a utility model, characterized in that the half mirror is arranged so that the angle between the center axis of the light guide for projecting light or the light receiving detection section and the half mirror surface can be arbitrarily changed. The color sensor probe according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14712887U JPH0517645Y2 (en) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14712887U JPH0517645Y2 (en) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6451854U JPS6451854U (en) | 1989-03-30 |
| JPH0517645Y2 true JPH0517645Y2 (en) | 1993-05-12 |
Family
ID=31417252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14712887U Expired - Lifetime JPH0517645Y2 (en) | 1987-09-26 | 1987-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517645Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5111914B2 (en) * | 2007-03-26 | 2013-01-09 | Ｎｕエコ・エンジニアリング株式会社 | Particle density measuring probe and particle density measuring apparatus |
| JP5861355B2 (en) * | 2011-09-22 | 2016-02-16 | アイシン精機株式会社 | Terahertz wave propagation device, and fixing member for terahertz wave generation unit or detection unit |
-
1987
- 1987-09-26 JP JP14712887U patent/JPH0517645Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6451854U (en) | 1989-03-30 |
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