JPH05166117A - Magnetic head and production thereof - Google Patents
Magnetic head and production thereofInfo
- Publication number
- JPH05166117A JPH05166117A JP33051891A JP33051891A JPH05166117A JP H05166117 A JPH05166117 A JP H05166117A JP 33051891 A JP33051891 A JP 33051891A JP 33051891 A JP33051891 A JP 33051891A JP H05166117 A JPH05166117 A JP H05166117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- metal
- core halves
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ等に採用されるラミネート型の磁気ヘッドおよび
その製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated type magnetic head used in, for example, a video tape recorder and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時、磁気記録再生装置においては、高
密度記録の要求から、メタルテープ及びＢａ−フェライ
ト媒体等のように、高抗磁力の磁気記録媒体が開発され
ている。これらの高抗磁力の磁気記録媒体に対して従来
のフェライトヘッドで記録しようとすると、飽和時速密
度が比較的小さいことから、ヘッドギャップ近傍におい
て磁気飽和が発生し、十分な書込磁界強度を得ることが
できない。そこで、ギャップ部を飽和磁束密度が高い金
属磁性体で構成したメタルヘッドが採用される。金属磁
性体は、Ｍｎ−Ｚｎフェライトに比して比抵抗が極めて
小さく、ＭＨｚオーダーの周波数帯域では、渦電流損に
よる表皮効果によって実行的な透磁率が低下する。この
理由から、薄膜形成技術によって金属磁性膜と非磁性膜
とを交互に積層してメインコアを得るラミネートヘッド
が採用されることになってきた。2. Description of the Related Art Recently, in a magnetic recording / reproducing apparatus, a magnetic recording medium having a high coercive force such as a metal tape and a Ba-ferrite medium has been developed in order to meet the demand for high density recording. When a conventional ferrite head is used for recording on such a high coercive force magnetic recording medium, the saturation velocity density is relatively small, so that magnetic saturation occurs near the head gap and a sufficient write magnetic field strength is obtained. I can't. Therefore, a metal head in which the gap portion is made of a metal magnetic material having a high saturation magnetic flux density is used. The metal magnetic material has a much smaller specific resistance than Mn-Zn ferrite, and in the frequency band of the MHz order, the effective magnetic permeability decreases due to the skin effect due to eddy current loss. For this reason, a laminating head has been adopted in which a metal magnetic film and a non-magnetic film are alternately laminated by a thin film forming technique to obtain a main core.
【０００３】図９は、このようなラミネートヘッド型の
従来の磁気ヘッドを示す斜視図である。また、図１０は
ラミネートヘッド１の摺動面側から見た正面図である。FIG. 9 is a perspective view showing such a laminated head type conventional magnetic head. Further, FIG. 10 is a front view seen from the sliding surface side of the laminating head 1.
【０００４】ラミネートヘッド１はコア半体２、３によ
って構成する。コア半体２、３は非磁性体のギャップス
ペーサー１０を介挿して溶着しており、コア半体２、３
の間隙によってギャップを形成する。コア半体２、３
は、いずれも非磁性体のホルダ４上に、スパッタ法また
は蒸着法等によって金属磁性膜５及び絶縁膜６を交互に
形成し、更に、ガラス融着によって非磁性体のホルダ８
を積層したものである。金属磁性膜５及び絶縁膜６はト
ラック幅の厚み（狭トラック幅）に形成されて積層磁性
膜７を構成する。The laminating head 1 is composed of core halves 2 and 3. The core halves 2 and 3 are welded together with a non-magnetic gap spacer 10 interposed therebetween.
To form a gap. Core halves 2, 3
In both cases, a metal magnetic film 5 and an insulating film 6 are alternately formed on the non-magnetic holder 4 by a sputtering method or a vapor deposition method, and further, a non-magnetic holder 8 is formed by glass fusion.
Are laminated. The metal magnetic film 5 and the insulating film 6 are formed in a track width thickness (narrow track width) to form a laminated magnetic film 7.
【０００５】なお、金属磁性膜５の一層分の厚みＴＭ
は、下記式（１）のスキンデプスλｓを求めることによ
り決定される。The thickness TM of one layer of the metal magnetic film 5
Is determined by obtaining the skin depth λs of the following formula (1).
【０００６】[0006]
【式１】 膜厚ｔＭ≦２λｓ ρ：電気比抵抗（Ω・ｍ） ｆ：周波数（Ｈｚ） μｏ：４π×１０-7（Ｈ／ｍ） μ：実効透磁率 コア半体２、３は、例えば、ガラス充填溝１１に充填し
たガラスのガラス融着によって接着する。なお、コア半
体２、３同士を無機接着剤で接着することもある。この
ように構成されたラミネートヘッド１は、有機接着剤１
５によって金属ベース板１６上の所定の位置に接着す
る。そして、コア半体２に形成した巻線溝１２及びコア
半体２、３の一側面に形成した巻線規制溝１３を利用し
てコア半体２、３に巻線１４を巻装する。更に、ラミネ
ートヘッド１のガラス充填溝１１側の一面には、防湿及
び保護のために、モールド剤１７（斜線部）を塗布して
いる。[Formula 1] Film thickness tM ≦ 2λs ρ: Electrical resistivity (Ω · m) f: Frequency (Hz) μo: 4π × 10 −7 (H / m) μ: Effective permeability The core halves 2 and 3 are, for example, glass-filled. The glass filled in the groove 11 is adhered by glass fusion. The core halves 2 and 3 may be bonded to each other with an inorganic adhesive. The laminating head 1 configured as described above is used for the organic adhesive 1
It adheres to the predetermined position on the metal base plate 16 by 5. Then, the winding 14 is wound around the core halves 2 and 3 by utilizing the winding groove 12 formed in the core half 2 and the winding regulating groove 13 formed on one side surface of the core halves 2 and 3. Further, a molding agent 17 (hatched portion) is applied to one surface of the laminating head 1 on the glass filling groove 11 side for moisture prevention and protection.
【０００７】ラミネートヘッド１は、高磁束密度である
金属磁性膜５を使用しているのでフェライトヘッドに比
して強い記録磁界を発生することができ、メタルテープ
等の高保持力の記録媒体に対しても十分な書込能力を有
する。また、金属磁性膜５相互間に絶縁層６を介した積
層構造であるので、導電性が良好な金属磁性膜による渦
電流損失が低減される。Since the laminating head 1 uses the metal magnetic film 5 having a high magnetic flux density, it can generate a stronger recording magnetic field than a ferrite head, and is suitable for a recording medium having a high coercive force such as a metal tape. It also has sufficient writing ability. Further, since the metal magnetic film 5 has a laminated structure with the insulating layer 6 interposed therebetween, the eddy current loss due to the metal magnetic film having good conductivity is reduced.
【０００８】ところで、前述したように、ラミネートヘ
ッド１は有機接着剤１５によって金属ベース板１６に固
定している。図１０から明らかなように、金属ベース板
１６と積層磁性膜７との間には、絶縁体である有機接着
剤１５及びホルダ４が存在し、積層磁性膜７は、金属ベ
ース板１６と同電位（導通状態）にはならない。また、
金属磁性膜５同士は絶縁膜６によって、絶縁され、更
に、コア半体２、３同士の接合面もギャップスペーサー
１０によって分離されているので、コア半体２、、３の
各金属磁性膜５同士も同電位とはならない。By the way, as described above, the laminating head 1 is fixed to the metal base plate 16 by the organic adhesive 15. As is clear from FIG. 10, the organic adhesive 15 as an insulator and the holder 4 exist between the metal base plate 16 and the laminated magnetic film 7, and the laminated magnetic film 7 is the same as the metal base plate 16. It does not become a potential (conduction state). Also,
Since the metal magnetic films 5 are insulated from each other by the insulating film 6 and the joint surface between the core halves 2 and 3 is also separated by the gap spacer 10, the metal magnetic films 5 of the core halves 2 and 3 are separated. They do not have the same potential.
【０００９】この場合に、図示しない磁気テープをヘッ
ド１に摺接走行させることにより発生する静電気がコア
半体２、３相互間に蓄積されてしまう。蓄積された電荷
は、ギャップスペーサー１０を介してコア半体２、３相
互間で不規則に放電する。この放電現象によって、ギャ
ップスペーサー１０近傍に微小破壊１８及び面荒れ１９
が発生する。これにより、実効トラック幅が狭くなり、
スペースロス等によって高周波成分の記録及び再生特性
が劣化し、更に、放電ノイズも発生してビデオテープレ
コーダに採用した場合には再生画質が著しく劣化する。In this case, static electricity generated by sliding a magnetic tape (not shown) on the head 1 accumulates between the core halves 2 and 3. The accumulated charges are irregularly discharged between the core halves 2 and 3 via the gap spacer 10. Due to this discharge phenomenon, minute breakage 18 and surface roughening 19 occur in the vicinity of the gap spacer 10.
Occurs. This reduces the effective track width,
The recording and reproducing characteristics of high frequency components are deteriorated due to space loss and the like, and discharge noise is also generated, so that when reproduced in a video tape recorder, the reproduced image quality is remarkably deteriorated.
【００１０】この放電現象を防止するためには、絶縁さ
れた各部分同士を電気的に同電位（導通状態）とすれば
よい。例えば、コア半体２、３の側面に導電性塗料を塗
布する。図１１はこの場合の構成をラミネートヘッド１
のコア半体２、３のギャップ接合面で切断して示す説明
図である。In order to prevent this discharge phenomenon, it is only necessary to electrically insulate the insulated parts to the same potential (conduction state). For example, a conductive paint is applied to the side surfaces of the core halves 2 and 3. FIG. 11 shows the structure in this case as a laminating head 1.
It is explanatory drawing cut | disconnected and shown in the gap joining surface of the core half bodies 2 and 3.
【００１１】図１１に示すように、ラミネートヘッド１
を有機接着剤１５によって金属ベース板１６に接着した
後、積層磁性膜７が露呈したコア半体２、３の一面側及
び隣接する上面から金属ベース板１６との接合部まで、
導電性塗料２０（梨地模様）を塗布している。更に、こ
の導電性塗料２０を被覆するように、モールド剤１７を
塗布している。導電性塗料２０によって、積層磁性膜７
の各金属磁性膜５同士が導通状態となり、更に、積層磁
性膜７と金属スペース板１６とが導電率状態となって同
電位化が計られる。As shown in FIG. 11, the laminating head 1
After being bonded to the metal base plate 16 by the organic adhesive 15, from the one surface side and the adjacent upper surface of the core halves 2 and 3 where the laminated magnetic film 7 is exposed to the joint portion with the metal base plate 16,
The conductive paint 20 (matte pattern) is applied. Further, a molding agent 17 is applied so as to cover the conductive paint 20. With the conductive paint 20, the laminated magnetic film 7
The metal magnetic films 5 are brought into conduction with each other, and the laminated magnetic film 7 and the metal space plate 16 are brought into a conductive state so that the same potential is measured.
【００１２】しかしながら、実際には、ラミネートヘッ
ド１の一側面の積層磁性膜７の形状によって、図１１に
示すように、導電性塗料２０に塗布むらが生じる。この
ため、確実な同電位を得ることができないという問題が
ある。However, in practice, the shape of the laminated magnetic film 7 on one side surface of the laminating head 1 causes uneven coating on the conductive paint 20, as shown in FIG. Therefore, there is a problem that the same potential cannot be surely obtained.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の磁気ヘッドにおいては、コア半体同士及びコア半体と
金属ベース板との間の絶縁性が高いことから静電気が蓄
積され、放電現象による機械的及び電気的な特性劣化を
生じてしまうという問題点がある。As described above, in the conventional magnetic head, static electricity is accumulated due to the high insulation between the core halves and between the core halves and the metal base plate, resulting in a discharge phenomenon. There is a problem in that mechanical and electrical characteristics are deteriorated by the above.
【００１４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、導電性塗料による不確実なベース板に対する接地方
法を廃止し、確実に静電気による放電現象を防止するこ
とができる磁気ヘッドを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a magnetic head capable of reliably preventing a discharge phenomenon due to static electricity by eliminating an uncertain grounding method for a base plate by a conductive paint. The purpose is to
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の磁気ヘッドは、非磁性体とこの非磁性体相
互間に金属磁性膜および絶縁膜を交互に積層して形成し
た積層磁性膜とから成り媒体摺動面が形成された一対の
コア半体と、この一対のコア半体の接合部および前記積
層磁性膜の金属磁性膜および絶縁膜が露呈した前記媒体
摺接面の反対側の少なくとも一面に形成した金属膜とを
備えたことを特徴としている。In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention has a laminated magnetic layer formed by alternately laminating a non-magnetic material and a metal magnetic film and an insulating film between the non-magnetic material. A pair of core halves formed of a film and having a medium sliding surface formed thereon, a junction of the pair of core halves, and the medium sliding contact surface exposed by the metal magnetic film and the insulating film of the laminated magnetic film. And a metal film formed on at least one side surface.
【００１６】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
非磁性体相互間に金属磁性膜および絶縁膜を交互に積層
して積層磁性膜を形成し一対のコア半体を形成する工程
と、この一対のコア半体を接触配置し、溶融接合部材の
溶融によって一対のコア半体を接合する工程と、この接
合されたコア半体を前記溶融接合部材が両端面に露出す
るよう所定のピッチで切断し、かつ媒体摺動面を形成す
る工程と、この一対のコア半体の接合部および前記積層
磁性膜の金属磁性膜および絶縁膜が露呈した磁気記録媒
体摺接面の反対側の少なくとも一面に金属膜を形成する
工程とを有するとを特徴としている。The method of manufacturing the magnetic head of the present invention is
A step of forming a laminated magnetic film by alternately laminating a metal magnetic film and an insulating film between non-magnetic materials to form a pair of core halves, and arranging the pair of core halves in contact with each other, A step of joining a pair of core halves by melting, a step of cutting the joined core halves at a predetermined pitch so that the fused joining member is exposed at both end surfaces, and forming a medium sliding surface, And a step of forming a metal film on at least one surface opposite to the sliding contact surface of the magnetic recording medium exposed by the joining portion of the pair of core halves and the metal magnetic film and the insulating film of the laminated magnetic film. There is.
【００１７】[0017]
【作用】本発明の磁気ヘッドにおいては、一対のコア半
体同士の接合部並びに積層磁性膜の金属磁性膜及び絶縁
膜が露呈した、磁気テープ摺動面の反対側の少なくとも
一面に一層もしくは複数層の金属膜を形成している。金
属膜によって金属磁性膜相互間の絶縁抵抗が低下すると
共に、一対のコア半体の各積層磁性膜相互間の絶縁抵抗
も低下する。これにより、コア半体同士は同電位とな
り、金属ベース板に貼付けした場合の接地が良好とな
る。In the magnetic head of the present invention, one or a plurality of layers are provided on at least one surface on the opposite side of the sliding surface of the magnetic tape where the joining portion between the pair of core halves and the metal magnetic film and the insulating film of the laminated magnetic film are exposed. Forming a layer metal film. The metal film reduces the insulation resistance between the magnetic metal films, and also reduces the insulation resistance between the laminated magnetic films of the pair of core halves. As a result, the core halves have the same potential, and the grounding is good when the core halves are attached to the metal base plate.
【００１８】[0018]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明の一実施例に係る磁気ヘッドの斜
視図である。ラミネ−ト型の磁気ヘッド２１は、例えば
ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ3 等の非磁性のギャップ
スペ−サ−２２を介してコア半体２３，２４を貼り合わ
せた構造となっている。コア半体２３，２４は、センダ
スト等の金属磁性膜２５とＳｉＯ2 等の絶縁膜２６とを
トラック幅（ＴＭ）の厚さに積層して得られる積層磁性
膜２７を非磁性体のホルダ２８相互間に挟んだラミネ−
ト構造となっている。なお、ホルダ２８としては、金属
磁性膜２５と熱膨張係数が一致するセラミック材や結晶
化ガラス材を使用する。このラミネ−ト構造によって、
広い周波数帯域において渦電流損が低く、高抗磁力の磁
気記録媒体に対して十分な記録磁界を発生することがで
き、高密度記録が可能である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention. The laminate type magnetic head 21 has a structure in which core halves 23 and 24 are bonded together via a non-magnetic gap spacer 22 such as SiO 2 , Al 2 O 3 or ZrO 3 . .. For the core halves 23 and 24, a laminated magnetic film 27 obtained by laminating a metal magnetic film 25 such as sendust and an insulating film 26 such as SiO 2 to a track width (TM) is used as a holder 28 of a non-magnetic material. Lamine sandwiched between each other
It has a structure. As the holder 28, a ceramic material or a crystallized glass material having the same thermal expansion coefficient as the metal magnetic film 25 is used. With this laminar structure,
The eddy current loss is low in a wide frequency band, a sufficient recording magnetic field can be generated for a magnetic recording medium having a high coercive force, and high density recording is possible.
【００１９】コア半体２４は、コア半体２３との接合面
に、磁気記録媒体の摺動面から所定間隔離れたトラック
幅方向に巻線溝２９を形成し、摺動面の反対側の面から
所定間隔離れたトラック幅方向にガラス充填溝３０を形
成している。また、コア半体２３，２４の接合面の反対
側の面には、巻線溝２９に対応する位置に一対の巻線規
制溝３１を利用して、コア半体２３，２４に巻線３６を
巻装するようになっている。磁気ヘッド２１は図示しな
い有機接着剤によって貼付け面を金属ベ−ス板１６のヘ
ッド取付部のに接着する。The core half 24 has a winding groove 29 formed on the joint surface with the core half 23 in the track width direction at a predetermined distance from the sliding surface of the magnetic recording medium. The glass filling groove 30 is formed in the track width direction at a predetermined distance from the surface. Further, on the surface opposite to the joining surface of the core halves 23, 24, a pair of winding regulating grooves 31 is used at a position corresponding to the winding groove 29, and the windings 36 are wound around the core halves 23, 24. It is designed to be wrapped around. The magnetic head 21 is adhered to the head mounting portion of the metal base plate 16 by an organic adhesive (not shown).
【００２０】また、磁気記録媒体摺動面の反対側の一面
とその近接の四側面の近房に金属膜３２を形成してい
る。この金属膜３２によって金属磁性膜２５，２５相互
間の直流絶縁抵抗およびコア半体２３，２４の各積層磁
性膜２７相互間の直流絶縁抵抗は、１００ＫΩ以下とな
る。Further, a metal film 32 is formed on one surface on the opposite side of the sliding surface of the magnetic recording medium and on the adjacent four side surfaces. Due to the metal film 32, the DC insulation resistance between the metal magnetic films 25 and 25 and the DC insulation resistance between the laminated magnetic films 27 of the core halves 23 and 24 are 100 KΩ or less.
【００２１】このように構成した磁気ヘッド２１を金属
ベ−ス板１６に接着した後、防湿および巻線保護のため
のモ−ルド剤３５（図中の斜線部）を塗布している。After the magnetic head 21 thus constructed is adhered to the metal base plate 16, a mold agent 35 (hatched portion in the figure) for preventing moisture and winding is applied.
【００２２】モ−ルド剤３５の塗布された磁気ヘッド２
１は真空薄膜形成装置で形成された金属膜３２によって
金属磁性膜２５，２５相互間およびコア半体２３，２４
の各積層磁性膜２７，２７相互間の直流絶縁抵抗は１０
０ＫΩ以下となって、良好な導通性が得られる。また、
金属膜３２は、金属ベ−ス板１６との貼付け面の一部に
も形成されているので、金属ベ−ス板１６への接着後も
導電性塗料を塗布することなく、金属ベ−ス板１６と磁
気ヘッド２１との導通性も確実なものとなる。磁気ヘッ
ド２１の接地が良好となるので、磁気記録媒体の摺動に
よる静電気の発生が抑制され、放電現象による機械的お
よび電気的な特性劣化を防止することができる。Magnetic head 2 coated with mold agent 35
The reference numeral 1 denotes a metal film 32 formed by a vacuum thin film forming apparatus, which is used between the metal magnetic films 25, 25 and the core halves 23, 24
The DC insulation resistance between each of the laminated magnetic films 27 and 27 is 10
It becomes 0 KΩ or less, and good conductivity is obtained. Also,
Since the metal film 32 is also formed on a part of the bonding surface with the metal base plate 16, the metal base 32 is not coated with the conductive paint even after being adhered to the metal base plate 16. Conductivity between the plate 16 and the magnetic head 21 is also ensured. Since the magnetic head 21 is grounded well, generation of static electricity due to sliding of the magnetic recording medium is suppressed, and deterioration of mechanical and electrical characteristics due to a discharge phenomenon can be prevented.
【００２３】次に、図２乃至図８を参照して磁気ヘッド
２１の製造方法を説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic head 21 will be described with reference to FIGS.
【００２４】図２は非磁性体のホルダブロック４１と積
層磁性膜４２との積層接合を説明するための説明図であ
る。ホルダブロック４１としては、金属磁性膜２５に熱
膨張係数を一致させた例えばＭｇＯ系のセラミック材ま
たはＬｉ2 Ｏ−ＳｉＯ2 系の結晶化ガラス材等を用い
る。先ず、ホルダブロック４１の両面を鏡面ポリシング
仕上げする。その表面粗さの最大値Ｒmax は２００オン
グストロ−ム以下に設定する。一方、積層磁性膜４２は
真空薄膜形成装置により、金属磁性膜４３，絶縁膜４
４，および保護膜４５が構成される。FIG. 2 is an explanatory view for explaining the lamination joining of the nonmagnetic holder block 41 and the laminated magnetic film 42. As the holder block 41, for example, a MgO-based ceramic material or a Li 2 O—SiO 2 -based crystallized glass material whose thermal expansion coefficient is matched with that of the metal magnetic film 25 is used. First, both surfaces of the holder block 41 are mirror-polished. The maximum value Rmax of the surface roughness is set to 200 angstroms or less. On the other hand, the laminated magnetic film 42 is formed on the metal magnetic film 43 and the insulating film 4 by the vacuum thin film forming apparatus.
4, and the protective film 45.
【００２５】図３は積層磁性膜４２の構成を示す正面図
である。先ず、ホルダブロック４１上にセンダスト等の
金属磁性膜ブロック４３とＳｉＯ2 等の絶縁膜４４とを
スパッタリング等によって交互に積層し、更に、厚さが
１０００乃至５０００オングストロ−ムのＳｉＯ2 等の
保護膜４５を形成する。保護膜４５によって、ガラス材
との濡れ性を改善すると共に、ガラス材の金属磁性膜４
３に対する浸食を防止する。こうして、ホルダブロック
４１の一面に所望のトラック幅分の厚さの積層磁性膜４
２を形成する。FIG. 3 is a front view showing the structure of the laminated magnetic film 42. First, a metal magnetic film block 43 such as sendust and an insulating film 44 such as SiO 2 are alternately laminated on the holder block 41 by sputtering or the like, and further protection of SiO 2 or the like having a thickness of 1000 to 5000 angstroms is performed. The film 45 is formed. The protective film 45 improves the wettability with the glass material, and at the same time, the metallic magnetic film 4 of the glass material.
Prevent erosion on 3. Thus, the laminated magnetic film 4 having a desired track width is formed on one surface of the holder block 41.
Form 2.
【００２６】ホルダブロック４１の積層磁性膜４２形成
面の反対側の面には、図２に示すように、スクリ−ン印
刷またはスパッタリングによって、接合用のガラス材４
６（斜線部）を１０μｍ以下の厚さに形成する。なお、
ガラス材４６としては、例えば軟化点温度Ｔｓが５５０
℃以上のものを使用する。On the surface of the holder block 41 opposite to the surface on which the laminated magnetic film 42 is formed, as shown in FIG. 2, a glass material 4 for bonding is formed by screen printing or sputtering.
6 (hatched portion) is formed to a thickness of 10 μm or less. In addition,
As the glass material 46, for example, the softening point temperature Ts is 550.
Use a temperature above ℃.
【００２７】次いで、ホルダブロック４１および積層磁
性膜４２の複数の積層体を、ガラス材４６と積層磁性ブ
ロック４２とが対向するように接合し、窒素雰囲気中
で、面圧５乃至１０kg／cm2 を印加しながら、６００乃
至６５０℃で１時間加熱してガラス接合する。Next, a plurality of laminated bodies of the holder block 41 and the laminated magnetic film 42 are joined so that the glass material 46 and the laminated magnetic block 42 face each other, and the surface pressure is 5 to 10 kg / cm 2 in a nitrogen atmosphere. Is applied for 1 hour at 600 to 650 ° C. to perform glass bonding.
【００２８】図４はこのガラス接合によって得た積層ブ
ロック４７を示す斜視図である。次ぎに、ワイヤソ−ま
たはバンドソ−によって、積層ブロック４７を一点鎖線
にて示すピッチＰＡでスライスする。この場合は、磁気
ギャップのアジマス角を考慮して、積層磁性膜４２の積
層方向、すなわち、トラック幅方向に対して角度θだけ
傾斜させてスライスする。これにより、複数のコア半体
ブロックを得る。FIG. 4 is a perspective view showing a laminated block 47 obtained by this glass bonding. Next, the laminated block 47 is sliced at the pitch PA indicated by the alternate long and short dash line by a wire saw or a band saw. In this case, in consideration of the azimuth angle of the magnetic gap, the laminated magnetic film 42 is sliced while being inclined by an angle θ with respect to the laminating direction, that is, the track width direction. Thereby, a plurality of core half blocks are obtained.
【００２９】図５はコア半体ブロックを示す斜視図であ
る。一対のコア半体ブロック５１，５２を用意し、一方
のコア半体ブロック５１に溝加工を行う。すなわち、コ
ア半体ブロック５１のコア半体ブロック５２との接合面
のトラック幅方向に、外周に研磨面を有する砥石（以
下、外周型砥石という）加工機によって、所定寸法の巻
線溝２９およびガラス充填溝３０を形成する。次いで、
コア半体ブロック５１，５２のギャップ対向面５３を表
面粗さの最大値Ｒmax が８０オングストロ−ム以下とな
るように鏡面ポリシング加工をする。FIG. 5 is a perspective view showing the core half block. A pair of core half blocks 51 and 52 is prepared, and one core half block 51 is grooved. That is, in the track width direction of the joining surface of the core half block 51 with the core half block 52, a winding groove 29 having a predetermined size is formed by a grindstone (hereinafter, referred to as outer peripheral grindstone) processing machine having a polishing surface on the outer periphery. The glass filling groove 30 is formed. Then
The gap facing surfaces 53 of the core half blocks 51 and 52 are mirror-polished so that the maximum value Rmax of the surface roughness is 80 angstroms or less.
【００３０】次に、コア半体ブロック５１，５２の各ギ
ャップ対向面５３に、スパッタリング等によって、所望
のギャップ長の１／２の厚さで図示しないギャップスペ
−サ−（例えば、ＳｉＯ2 ）を形成する。次いで、図６
の斜視図に示すように、コア半体ブロック５１，５２
を、ギャップ対抗面５３同士が対向するように貼り合わ
せ、低融点ガラス材５４（梨地模様）を巻線溝２９およ
びガラス充填溝３０に充填する。次いで、作業温度５０
０℃以下でガラス融着を行って、コア半体ブロック５
１，５２を接合する。次ぎに、コア半体ブロック５１，
５２の側面の巻線溝２９に対応した所定位置に、外周型
砥石加工機によって、巻線規制溝３１を形成する。Next, a gap spacer (for example, SiO 2 ) (not shown) having a thickness of ½ of the desired gap length is formed on each gap facing surface 53 of the core half blocks 51 and 52 by sputtering or the like. To form. Then, FIG.
As shown in the perspective view of FIG.
Are bonded so that the gap facing surfaces 53 face each other, and the low melting point glass material 54 (matte pattern) is filled in the winding groove 29 and the glass filling groove 30. Next, working temperature 50
Glass fusion bonding is performed at 0 ° C or lower to form the core half block 5
Join 1,52. Next, the core half block 51,
A winding control groove 31 is formed at a predetermined position on the side surface of 52 corresponding to the winding groove 29 by an outer peripheral grindstone processing machine.
【００３１】次に、摺動面の反対側の面３３を、表面粗
さの最大値Ｒmax が１００オングストロ―ム以下となる
ように鏡面ポリシング加工をする。そして、ダイヤモン
ド砥石による円筒研削を行なって摺動面を破線にて示す
ようにＲ形成する。Next, the surface 33 on the opposite side of the sliding surface is mirror-polished so that the maximum value Rmax of the surface roughness is 100 angstroms or less. Then, cylindrical grinding is performed with a diamond grindstone to form a sliding surface R as shown by a broken line.
【００３２】最後に、ワイヤ―を使用して、２点鎖線に
よって示す切断位置（ピッチＰｓ）でスライスする。Finally, a wire is used to slice at a cutting position (pitch Ps) indicated by a two-dot chain line.
【００３３】図７は、このスライス方法と金属膜３２
（図示せず）を形成する方法を示す斜視図である。接合
ブロックをスライスする場合、図示の取付台６０、例え
ばカ―ボン、ガラス、セッコ―材に接合ブロック（コア
半体５１，５２）を有機接着剤で固定し、取付台６０と
ともにスライスする。FIG. 7 shows this slicing method and the metal film 32.
FIG. 6 is a perspective view showing a method of forming (not shown). When slicing the joint block, the joint block (core halves 51, 52) is fixed to the illustrated mounting base 60, for example, carbon, glass, or scoco material with an organic adhesive and sliced together with the mounting base 60.
【００３４】次に取付台６０とスライスチップ５８を良
く洗浄し、汚れをとった後、スライスピッチ（Ｐｓ）に
合ったスリットマスク６１を取付ける。取付け深さｄ
は、０．５mm程度とする。Next, after the mounting base 60 and the slice tip 58 are thoroughly washed and cleaned, a slit mask 61 suitable for the slice pitch (Ps) is attached. Installation depth d
Is about 0.5 mm.
【００３５】そして、スパッタ装置等により摺動面の反
対側の面３３及びその近接の四側面に一層もしくは、複
数層の金属膜３２を形成する。Then, one or a plurality of layers of metal film 32 are formed on the surface 33 on the opposite side of the sliding surface and the four side surfaces in the vicinity thereof by using a sputtering apparatus or the like.
【００３６】金属膜３２としては、例えば、Ｃｒ又はＣ
ｕによる単層膜を採用する。また、金属膜３２として、
Ｃｒを下地膜とし、この下地膜上にＣｕの膜を形成する
２層膜を採用してもよう。下記表１は２膜層を採用した
場合の加工条件を示している。なお、合計の膜厚ｔは、
機械的強度、膜剥離、機械寸法上の制約及び電気抵抗値
を考慮して、１０００オングストロ―ムの範囲とする。The metal film 32 is, for example, Cr or C.
A single layer film made of u is adopted. Further, as the metal film 32,
It is also possible to use a two-layer film in which Cr is used as a base film and a Cu film is formed on this base film. Table 1 below shows processing conditions when the two film layers are adopted. The total film thickness t is
Considering mechanical strength, film peeling, mechanical size restrictions and electric resistance value, the range is 1000 angstrom.
【００３７】[0037]
【表１】 なお、上記表１の条件で金属膜３２を形成すると、積層
磁性膜２７を標準センダストで形成した場合には、コア
半体２３，２４相互間の直流抵抗を、接触抵抗を含めて
１００Ω以下の値にすることができる。[Table 1] When the metal film 32 is formed under the conditions shown in Table 1 above, when the laminated magnetic film 27 is formed of standard sendust, the DC resistance between the core halves 23 and 24 is 100Ω or less including the contact resistance. It can be a value.
【００３８】金属膜３２を形成後、取付台６０からスラ
イスチップ５８を取出す。こうして形成したラミネ―ト
型の磁気ヘッド２１を、図８の説明図に示すように、金
属ベ―ス板１６上に瞬間接着剤等の有機接着剤１５で接
着する。図８では磁気ヘッド２１をコア半体２３、２４
の接合面に平行な面で切断して示している。After forming the metal film 32, the slice tip 58 is taken out from the mounting base 60. The laminate type magnetic head 21 thus formed is adhered to the metal base plate 16 with an organic adhesive 15 such as an instant adhesive as shown in the explanatory view of FIG. In FIG. 8, the magnetic head 21 is divided into core halves 23, 24.
It is shown by cutting along a plane parallel to the joint surface of.
【００３９】この金属膜３２によって、コア半体２３、
２４を金属ベ―ス板１６に確実に接地することが可能と
なる。次に、モ―ルド剤を３５（斜線部）を塗布し、巻
線溝２９及び巻線規制溝３１を利用して巻線３６を巻装
することにより、図１（ｂ）の状態となる。With this metal film 32, the core halves 23,
It is possible to reliably ground 24 to the metal base plate 16. Next, a mold agent 35 (hatched portion) is applied, and the winding 36 is wound by using the winding groove 29 and the winding regulating groove 31, so that the state shown in FIG. 1B is obtained. ..
【００４０】このように本実施例においては、金属膜３
２を形成することにより金属磁性膜２５相互間及びコア
半体２３、２４の各積層磁性膜２７相互間の良好な導通
性が得られる。また、金属膜３２が金属ベ―ス板１６と
の貼付け面側にも一部形成してあるので、金属ベ―ス板
１６と磁気ヘッド２１との導通性が良好となる。Thus, in this embodiment, the metal film 3
By forming 2, the good conductivity can be obtained between the metal magnetic films 25 and between the laminated magnetic films 27 of the core halves 23 and 24. Further, since the metal film 32 is also partially formed on the side of the surface on which the metal base plate 16 is attached, the conductivity between the metal base plate 16 and the magnetic head 21 is improved.
【００４１】これにより、静電気の発生を防止すること
ができ、放電現象による特性劣化を防止することができ
る。As a result, it is possible to prevent the generation of static electricity and prevent the characteristic deterioration due to the discharge phenomenon.
【００４２】[0042]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、導
電性塗料による不確実な接地法を廃止し、金属膜による
信頼性の高い接地法をとることで、静電気が蓄積される
ことが防止でき、よって放電現象による特性劣化が生じ
ないという効果を得ることができる。As described above, according to the present invention, static electricity can be accumulated by eliminating the uncertain grounding method using the conductive paint and using the reliable grounding method using the metal film. Therefore, it is possible to prevent the deterioration of characteristics due to the discharge phenomenon.
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head according to the present invention.
【図２】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 2 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図３】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 3 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図４】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 4 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図５】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 5 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図６】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 6 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図７】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 7 is a perspective view for explaining the method of manufacturing the magnetic head of the present invention.
【図８】本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の斜視図。FIG. 8 is a perspective view for explaining the method of manufacturing the magnetic head of the present invention.
【図９】ラミネート型の従来例の磁気ヘッドの斜視図。FIG. 9 is a perspective view of a conventional magnetic head of a laminate type.
【図１０】図９の摺動面側から見た正面図。10 is a front view seen from the sliding surface side of FIG.
【図１１】従来の問題点を説明する説明図。FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating a conventional problem.
１６…金属ベース板、２１…磁気ヘッド、２３，２４…
コア半体、２５…金属磁性膜、２６…絶縁膜、２７…積
層磁性膜、２８…ホルダ、３２…金属膜。16 ... Metal base plate, 21 ... Magnetic head, 23, 24 ...
Core half, 25 ... Metal magnetic film, 26 ... Insulating film, 27 ... Laminated magnetic film, 28 ... Holder, 32 ... Metal film.
Claims (3)
性膜および絶縁膜を交互に積層して形成した積層磁性膜
とから成り媒体摺動面が形成された一対のコア半体と、 この一対のコア半体の接合部および前記積層磁性膜の金
属磁性膜および絶縁膜が露呈した前記媒体摺接面の反対
側の少なくとも一面に形成した金属膜とを備えたことを
特徴とする磁気ヘッド。1. A pair of core halves each having a medium sliding surface formed of a non-magnetic material and a laminated magnetic film formed by alternately laminating a metal magnetic film and an insulating film between the non-magnetic material. A pair of core halves and a metal film formed on at least one surface of the laminated magnetic film opposite to the medium sliding contact surface where the metal magnetic film and the insulating film are exposed. Magnetic head.
膜を交互に積層して積層磁性膜を形成し一対のコア半体
を形成する工程と、 この一対のコア半体を接触配置し、溶融接合部材の溶融
によって一対のコア半体を接合する工程と、 この接合されたコア半体を前記溶融接合部材が両端面に
露出するよう所定のピッチで切断し、かつ媒体摺動面を
形成する工程と、 この一対のコア半体の接合部および前記積層磁性膜の金
属磁性膜および絶縁膜が露呈した磁気記録媒体摺接面の
反対側の少なくとも一面に金属膜を形成する工程とを有
するとを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。2. A step of forming a pair of core halves by alternately laminating a metal magnetic film and an insulating film between nonmagnetic bodies to form a pair of core halves, and arranging the pair of core halves in contact with each other. A step of joining a pair of core halves by melting the melt-joining member, cutting the joined core halves at a predetermined pitch so that the melt-joining member is exposed at both end surfaces, and And a step of forming a metal film on at least one surface opposite to the sliding contact surface of the magnetic recording medium exposed by the metal magnetic film and the insulating film of the pair of core halves and the laminated magnetic film. A method of manufacturing a magnetic head, comprising:
とも単層もしくは真空薄膜形成装置にて形成することを
特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの製造方法。3. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 2, wherein the step of forming the metal film is performed by at least a single layer or a vacuum thin film forming apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33051891A JPH05166117A (en) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Magnetic head and production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33051891A JPH05166117A (en) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Magnetic head and production thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166117A true JPH05166117A (en) | 1993-07-02 |
Family
ID=18233530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33051891A Withdrawn JPH05166117A (en) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Magnetic head and production thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166117A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020515098A (en) * | 2016-12-22 | 2020-05-21 | ロジャーズ コーポレーション | Multi-layered magnetic dielectric material |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP33051891A patent/JPH05166117A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020515098A (en) * | 2016-12-22 | 2020-05-21 | ロジャーズ コーポレーション | Multi-layered magnetic dielectric material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0542726B2 (en) | ||
| JPS6124806B2 (en) | ||
| US4719527A (en) | Composite magnetic head having accurately aligned gaps | |
| EP0051123B1 (en) | Magnetic head assembly | |
| JPH05166117A (en) | Magnetic head and production thereof | |
| JPH04255901A (en) | Magnetic head | |
| KR940005553B1 (en) | Magnetic head and manufacturing method thereof | |
| JPS60261007A (en) | Magnetic head | |
| EP0242861B1 (en) | Magnetic head | |
| JP2646746B2 (en) | Magnetic head and method of manufacturing the same | |
| JPH07210815A (en) | Magnetic head and its production and magnetic recording and reproducing device | |
| JP3620207B2 (en) | Magnetic head and manufacturing method thereof | |
| JPH0863709A (en) | Magnetic head device | |
| JPH06131624A (en) | Magnetic head | |
| JPS6124007A (en) | Thin film magnetic head | |
| JPH0447367B2 (en) | ||
| JPS63239607A (en) | Production of magnetic head core | |
| JPH05250617A (en) | Magnetic head and its manufacture | |
| JPS62141609A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JPH0438606A (en) | Laminated magnetic head and production thereof | |
| JPH02130706A (en) | Magnetic head | |
| JPS6331855B2 (en) | ||
| JPH0320807B2 (en) | ||
| JPS6222218A (en) | Thin film magnetic head | |
| JPS63300418A (en) | Magnetic head and its production |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |