JPH05149330A - 軸 受 - Google Patents
軸 受Info
- Publication number
- JPH05149330A JPH05149330A JP31421791A JP31421791A JPH05149330A JP H05149330 A JPH05149330 A JP H05149330A JP 31421791 A JP31421791 A JP 31421791A JP 31421791 A JP31421791 A JP 31421791A JP H05149330 A JPH05149330 A JP H05149330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- alloy
- vacuum
- outer ring
- inner ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空内で使用されるのに好適な軸受（ベアリ
ング）に関し、特に真空内で使用された際に脱ガスが少
なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受の提供を目的とす
る。 【構成】 内輪21b と外輪21c との間で保持器21d によ
り保持された硬球21a の転動により、内輪21b と外輪21
c とが相対回転運動をする軸受において、内輪21b と外
輪21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金
属からなる合金21f を充填するとともに、この合金21f
を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備させて軸受を
構成する。
ング）に関し、特に真空内で使用された際に脱ガスが少
なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受の提供を目的とす
る。 【構成】 内輪21b と外輪21c との間で保持器21d によ
り保持された硬球21a の転動により、内輪21b と外輪21
c とが相対回転運動をする軸受において、内輪21b と外
輪21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金
属からなる合金21f を充填するとともに、この合金21f
を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備させて軸受を
構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空内で使用されるの
に好適な軸受（ベアリング）、特に真空内で使用された
際に脱ガスが少なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受に
関する。
に好適な軸受（ベアリング）、特に真空内で使用された
際に脱ガスが少なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受に
関する。
【０００２】半導体装置を製造するための真空装置の真
空容器内で使用される軸受は、脱ガスが少なく、かつ摩
擦粉の発生も少ないことが不可欠的な要件となってい
る。
空容器内で使用される軸受は、脱ガスが少なく、かつ摩
擦粉の発生も少ないことが不可欠的な要件となってい
る。
【０００３】
【従来の技術】次に、真空内で使用することを目的とし
た従来の軸受について図２を参照して説明する。図２
は、従来の軸受を説明するための図であって、同図(a)
は軸受の断面図、同図(b) は硬球の拡大断面図である。
た従来の軸受について図２を参照して説明する。図２
は、従来の軸受を説明するための図であって、同図(a)
は軸受の断面図、同図(b) は硬球の拡大断面図である。
【０００４】真空内等で使用することを目的とした従来
の軸受11は、内輪11b と、外輪11cと、内輪11b と外輪1
1c との間で保持器11d により保持された硬球11a とで
構成されていた。
の軸受11は、内輪11b と、外輪11cと、内輪11b と外輪1
1c との間で保持器11d により保持された硬球11a とで
構成されていた。
【０００５】そして、上述のことから明らかなように真
空用の軸受11は、真空中での脱ガスの発生を極力抑える
ために、内輪11b と外輪11c との間に潤滑材である油性
のグリース等の充填を行なっていなかった。
空用の軸受11は、真空中での脱ガスの発生を極力抑える
ために、内輪11b と外輪11c との間に潤滑材である油性
のグリース等の充填を行なっていなかった。
【０００６】したがって、従来の軸受11においては内輪
11b と外輪11c との間に潤滑材が充填されていなくとも
硬球11a の転動が滑らかに行なわれるように、硬球11a
は、例えば、特殊鋼よりなる鋼球11a1の表面全体に軟質
の金属、例えば、金(Au)を蒸着してなる金膜11a2を被着
して構成されていた。
11b と外輪11c との間に潤滑材が充填されていなくとも
硬球11a の転動が滑らかに行なわれるように、硬球11a
は、例えば、特殊鋼よりなる鋼球11a1の表面全体に軟質
の金属、例えば、金(Au)を蒸着してなる金膜11a2を被着
して構成されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述したよ
うに表面が金膜11a2で覆われてなる硬球11a 等で構成し
た従来の軸受11は、真空中での脱ガスは少なくなるもの
の、硬球11a の転動により金膜11a2が微細の摩擦粉とな
って鋼球11a1から剥落し、周囲に飛散するという問題が
あった。
うに表面が金膜11a2で覆われてなる硬球11a 等で構成し
た従来の軸受11は、真空中での脱ガスは少なくなるもの
の、硬球11a の転動により金膜11a2が微細の摩擦粉とな
って鋼球11a1から剥落し、周囲に飛散するという問題が
あった。
【０００８】また、この他にも金膜11a2の剥離による潤
滑性の低下による寿命が短くなるという問題もあった。
本発明は、このような問題を解消するためになされたも
のであって、その目的は真空内で使用された際に脱ガス
が少なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受を提供するこ
とにある。
滑性の低下による寿命が短くなるという問題もあった。
本発明は、このような問題を解消するためになされたも
のであって、その目的は真空内で使用された際に脱ガス
が少なく、かつ摩擦粉の発生も少ない軸受を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的は、図１に示す
ように、内輪21b と外輪21c との間で保持器21d により
保持された硬球21a の転動により、内輪21b と外輪21c
とが相対回転運動をする軸受において、内輪21b と外輪
21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金属
からなる合金21f が充填されているとともに、この合金
21f を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備している
ことを特徴とする軸受により達成される。
ように、内輪21b と外輪21c との間で保持器21d により
保持された硬球21a の転動により、内輪21b と外輪21c
とが相対回転運動をする軸受において、内輪21b と外輪
21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金属
からなる合金21f が充填されているとともに、この合金
21f を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備している
ことを特徴とする軸受により達成される。
【００１０】
【作用】図１に示す如く本発明の軸受は、内輪21b と外
輪21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金
属からなる合金21f を充填しているとともに、この合金
21f を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備してい
る。
輪21c との間に低蒸気圧で軟質の少なくとも２種類の金
属からなる合金21f を充填しているとともに、この合金
21f を任意の温度に加熱する加熱手段22を具備してい
る。
【００１１】したがって、加熱手段22により合金21f を
加熱し、合金21f を半溶融状態、すなわち、固体表面、
例えば、硬球21a への付着力が強い状態である固相状態
の合金21f と剪断力の低い状態である液相状態の合金21
f とが共存する状態、つまり半溶融状態の合金21f は低
蒸気圧の状態で油性のグリースと同様な潤滑材として機
能することとなる。
加熱し、合金21f を半溶融状態、すなわち、固体表面、
例えば、硬球21a への付着力が強い状態である固相状態
の合金21f と剪断力の低い状態である液相状態の合金21
f とが共存する状態、つまり半溶融状態の合金21f は低
蒸気圧の状態で油性のグリースと同様な潤滑材として機
能することとなる。
【００１２】斯くして、本発明の軸受は、真空内で使用
されても脱ガスが少なく、かつ発生する摩擦粉も少なく
なるとともに、その寿命も長くなる。
されても脱ガスが少なく、かつ発生する摩擦粉も少なく
なるとともに、その寿命も長くなる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例の軸受について図１
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例の軸受
を説明するための模式的な断面図である。
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例の軸受
を説明するための模式的な断面図である。
【００１４】本発明の一実施例の軸受20は、図１に示す
ように、軸受本体21と、この軸受本体21の低蒸気圧で軟
質の少なくとも２種類の金属からなる合金、例えば、組
成成分がインジウム(In)５０ｗｔ％と鉛（Pb）５０ｗｔ
％からなるインジウム−鉛合金21f(半溶融状態１８２〜
２１０℃）を任意の温度に加熱する加熱手段22とを含ん
で構成したものである。
ように、軸受本体21と、この軸受本体21の低蒸気圧で軟
質の少なくとも２種類の金属からなる合金、例えば、組
成成分がインジウム(In)５０ｗｔ％と鉛（Pb）５０ｗｔ
％からなるインジウム−鉛合金21f(半溶融状態１８２〜
２１０℃）を任意の温度に加熱する加熱手段22とを含ん
で構成したものである。
【００１５】軸受本体21は、内輪21b 、外輪21c 、内輪
21b と外輪21c との間で保持器21dにより保持された特
殊鋼だけでなる硬球21a 、外輪21c の内周面の両端に設
けた凹陥部21c1に外周部を嵌着するとともに、内輪21b
と外輪21c に内周端面を至近距離まで接近させた孔付き
硬貨状の側面カバー21e 、内輪21b と外輪21c 及び側面
カバー21e とが囲まれた空間に充填された如上のインジ
ウム−鉛合金21f とで構成したものである。
21b と外輪21c との間で保持器21dにより保持された特
殊鋼だけでなる硬球21a 、外輪21c の内周面の両端に設
けた凹陥部21c1に外周部を嵌着するとともに、内輪21b
と外輪21c に内周端面を至近距離まで接近させた孔付き
硬貨状の側面カバー21e 、内輪21b と外輪21c 及び側面
カバー21e とが囲まれた空間に充填された如上のインジ
ウム−鉛合金21f とで構成したものである。
【００１６】また、加熱手段22は、温度制御装置22a 、
軸受本体21の外輪21c の外周に周着されたバンドヒータ
22b 、温度制御装置22a に一端を接続して他端をバンド
ヒータ22b に接続した電力線22ｃ、及び軸受本体21の側
面カバー21e の側面を貫通して接点部22d1をインジウム
−鉛合金21f に没入させるとともに、他端を温度制御装
置22a に接続した熱電対、例えば、アルメル−クロメル
熱電対22d とを含んで構成したものである。
軸受本体21の外輪21c の外周に周着されたバンドヒータ
22b 、温度制御装置22a に一端を接続して他端をバンド
ヒータ22b に接続した電力線22ｃ、及び軸受本体21の側
面カバー21e の側面を貫通して接点部22d1をインジウム
−鉛合金21f に没入させるとともに、他端を温度制御装
置22a に接続した熱電対、例えば、アルメル−クロメル
熱電対22d とを含んで構成したものである。
【００１７】したがって、かかる構成をした本発明の一
実施例の軸受20を真空内で使用する際に、その加熱手段
22により軸受本体21のインジウム−鉛合金21f を加熱し
て１８２〜２１０℃の温度、例えば２００℃に保持する
と、このインジウム−鉛合金21f は固相状態のインジウ
ム−鉛合金21f と液相状態のインジウム−鉛合金21fと
が共存した半溶融状態となって、前述した理由により低
蒸気圧の状態で油性のグリースと同様な潤滑材として機
能することとなる。
実施例の軸受20を真空内で使用する際に、その加熱手段
22により軸受本体21のインジウム−鉛合金21f を加熱し
て１８２〜２１０℃の温度、例えば２００℃に保持する
と、このインジウム−鉛合金21f は固相状態のインジウ
ム−鉛合金21f と液相状態のインジウム−鉛合金21fと
が共存した半溶融状態となって、前述した理由により低
蒸気圧の状態で油性のグリースと同様な潤滑材として機
能することとなる。
【００１８】斯くして、本発明の一実施例の軸受20は、
真空内で使用されても脱ガスが少なく、かつ発生する摩
擦粉も少なくなり、寿命も長くなる。なお、上述した本
発明の一実施例の軸受20は、低蒸気圧で軟質の金属から
なる合金としてインジウム−鉛合金を使用して構成した
例であるが、組成成分がインジウム(In)５ｗｔ％とガリ
ウム(Ga)９５ｗｔ％からなり凝固点と融点との差が１０
℃以上あるインジウム−ガリウム合金( 半溶融状態１
５．７〜２５℃）を使用して構成することも当然可能で
ある。
真空内で使用されても脱ガスが少なく、かつ発生する摩
擦粉も少なくなり、寿命も長くなる。なお、上述した本
発明の一実施例の軸受20は、低蒸気圧で軟質の金属から
なる合金としてインジウム−鉛合金を使用して構成した
例であるが、組成成分がインジウム(In)５ｗｔ％とガリ
ウム(Ga)９５ｗｔ％からなり凝固点と融点との差が１０
℃以上あるインジウム−ガリウム合金( 半溶融状態１
５．７〜２５℃）を使用して構成することも当然可能で
ある。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、真空内で
使用されても脱ガスが少なく、かつ摩擦粉の発生が少な
長寿命の軸受の提供を可能にする。
使用されても脱ガスが少なく、かつ摩擦粉の発生が少な
長寿命の軸受の提供を可能にする。
【００２０】したがって、本発明の軸受を採用して半導
体装置を製造するための真空装置を構成すれば、真空装
置の性能が大幅に向上し、半導体装置等を歩留り良く製
造できることとなる。
体装置を製造するための真空装置を構成すれば、真空装
置の性能が大幅に向上し、半導体装置等を歩留り良く製
造できることとなる。
【図１】は、本発明の一実施例の軸受を説明するための
模式的な断面図、
模式的な断面図、
【図２】は、従来の軸受を説明するための図である。
11は、軸受、 11a は、硬球、 11a1は、鋼球、 11a2は、金膜、 11b は、内輪、 11c は、外輪、 11d は、保持器、 20は、軸受、 21は、軸受本体、 21a は、硬球、 21b は、内輪、 21c は、外輪、 21c1は、凹陥部、 21d は、保持器、 21e は、側面カバー、 21f は、インジウム−鉛合金 (合金) 、 22は、加熱手段、 22a は、温度制御装置、 22b は、バンドヒータ、 22c は、電力線、 22d は、アルメル−クロメル熱電対 (熱電対) 、 22d1は、接点部をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 内輪(21b) と外輪(21c) との間で保持器
(21d) により保持された硬球(21a) の転動により、内輪
(21b) と外輪(21c) とが相対回転運動をする軸受におい
て、 内輪(21b) と外輪(21c) との間に低蒸気圧で軟質の少な
くとも２種類の金属からなる合金(21f) が充填されてい
るとともに、この合金(21f) を任意の温度に加熱する加
熱手段(22)を具備していることを特徴とする軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31421791A JPH05149330A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 軸 受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31421791A JPH05149330A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 軸 受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149330A true JPH05149330A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=18050698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31421791A Withdrawn JPH05149330A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 軸 受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05149330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013001116A1 (de) * | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
| DE102013001114A1 (de) * | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP31421791A patent/JPH05149330A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013001116A1 (de) * | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
| DE102013001114A1 (de) * | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
| DE102013001114B4 (de) * | 2013-01-23 | 2015-09-03 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
| DE102013001116B4 (de) * | 2013-01-23 | 2015-09-03 | Audi Ag | Radlager für die rotatorische Lagerung einer Radnabe eines Fahrzeugs |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4856039A (en) | X-ray tube having a rotary anode with rhenium-containing bearing surfaces for a gallium-alloy lubricant | |
| JPH05149330A (ja) | 軸 受 | |
| US20080056450A1 (en) | X-ray tubes and methods of making the same | |
| EP0063394B1 (en) | Device incorporating a bearing | |
| JPS61165021A (ja) | ころがり軸受 | |
| JP3943381B2 (ja) | 軸受装置及びこれを備えたモータ | |
| US3150901A (en) | Bearing surfaces | |
| JPH0765619B2 (ja) | 固体潤滑転がり軸受 | |
| JPS61112820A (ja) | 軸受 | |
| US3606498A (en) | Bearings | |
| US6974257B2 (en) | Dynamic pressure bearing | |
| JPS6360243B2 (ja) | ||
| JP3490074B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPS6329942Y2 (ja) | ||
| JP5205139B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管装置 | |
| JPS6134006B2 (ja) | ||
| JP3061168B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH0741941Y2 (ja) | 転がり軸受 | |
| JP3350178B2 (ja) | 固体潤滑ベアリング | |
| JP2003301843A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2001041232A (ja) | 揺動部用総玉軸受 | |
| JP2002195276A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2504066B2 (ja) | 固体潤滑剤層の玉軸受 | |
| JP2664235B2 (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2503174Y2 (ja) | 固体潤滑転がり軸受 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |