JPH05140763A - 耐剥離性被覆部材及びその製造方法 - Google Patents
耐剥離性被覆部材及びその製造方法Info
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- JPH05140763A JPH05140763A JP32652891A JP32652891A JPH05140763A JP H05140763 A JPH05140763 A JP H05140763A JP 32652891 A JP32652891 A JP 32652891A JP 32652891 A JP32652891 A JP 32652891A JP H05140763 A JPH05140763 A JP H05140763A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
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- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基材の表面にセラミックスの被膜を形成して
なる被覆部材であって、被膜の緻密性を高めること及び
被膜と基材との密着性を高めることにより、耐剥離性，
耐摩耗性，強度に優れる被覆部材を提供する。 【構成】 金属，合金又はセラミックス焼結体の基材に
金属間化合物でなる内層と、セラミックスの外層とを被
覆してなる被覆部材。 【効果】 従来の被覆部材に比べて、被膜の耐剥離性に
おいて３倍以上も向上するという顕著な効果を有してい
る。
なる被覆部材であって、被膜の緻密性を高めること及び
被膜と基材との密着性を高めることにより、耐剥離性，
耐摩耗性，強度に優れる被覆部材を提供する。 【構成】 金属，合金又はセラミックス焼結体の基材に
金属間化合物でなる内層と、セラミックスの外層とを被
覆してなる被覆部材。 【効果】 従来の被覆部材に比べて、被膜の耐剥離性に
おいて３倍以上も向上するという顕著な効果を有してい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐摩耗性，耐食性，耐
熱性及び耐剥離性に優れる被覆部材に関し、具体的に
は、切削工具，耐摩耗工具，機械部品，電気部品等に適
する耐剥離性被覆部材及びその製造方法に関する。
熱性及び耐剥離性に優れる被覆部材に関し、具体的に
は、切削工具，耐摩耗工具，機械部品，電気部品等に適
する耐剥離性被覆部材及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から超硬合金，サーメット，高速度
鋼等の基材の表面に化学蒸着法（ＣＶＤ法）や物理蒸着
法（ＰＶＤ法）でもってセラミックスの被膜を被覆した
被覆材料が実用されている。これらの被覆材料は、基材
の表面に耐摩耗性の優れた被膜を被覆し、被膜の効果を
最大限に発揮させようとしたものである。この被覆材料
に関する提案が多数あり、その代表的なものに特開昭５
９−１１０７７６号公報及び特開昭５９−２５９７２号
公報がある。
鋼等の基材の表面に化学蒸着法（ＣＶＤ法）や物理蒸着
法（ＰＶＤ法）でもってセラミックスの被膜を被覆した
被覆材料が実用されている。これらの被覆材料は、基材
の表面に耐摩耗性の優れた被膜を被覆し、被膜の効果を
最大限に発揮させようとしたものである。この被覆材料
に関する提案が多数あり、その代表的なものに特開昭５
９−１１０７７６号公報及び特開昭５９−２５９７２号
公報がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】特開昭５９−１１０７
７６号公報には、Ｔｉと、周期律表４ａ（Ｔｉは除
く），５ａ，６ａ族金属の一種以上の炭窒化物を硬質相
とし、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ａｌ
の一種以上の金属を結合相とする窒素含有サーメットの
表面に直接Ａｌ2Ｏ3及び／又はＺｒＯ2からなる厚み
０．１〜２０μｍの被膜を被覆した表面被覆焼結硬質合
金が記載されている。
７６号公報には、Ｔｉと、周期律表４ａ（Ｔｉは除
く），５ａ，６ａ族金属の一種以上の炭窒化物を硬質相
とし、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ａｌ
の一種以上の金属を結合相とする窒素含有サーメットの
表面に直接Ａｌ2Ｏ3及び／又はＺｒＯ2からなる厚み
０．１〜２０μｍの被膜を被覆した表面被覆焼結硬質合
金が記載されている。
【０００４】同公報に記載の表面被覆焼結硬質合金は、
窒素含有サーメットでなる基材の表面に直接Ａｌ2Ｏ3及
び／又はＺｒＯ2からなる被膜を被覆し、被膜の優れた
耐摩耗性の効果を発揮させようとしたものであるが、基
材と被膜との密着性が劣るために耐摩耗性の向上が期待
できないという問題がある。
窒素含有サーメットでなる基材の表面に直接Ａｌ2Ｏ3及
び／又はＺｒＯ2からなる被膜を被覆し、被膜の優れた
耐摩耗性の効果を発揮させようとしたものであるが、基
材と被膜との密着性が劣るために耐摩耗性の向上が期待
できないという問題がある。
【０００５】特開昭５９−２５９７２号公報には、超硬
合金，サーメット，セラミックスの基材の表面に、Ａｌ
2Ｏ3とＴｉＣ，ＴｉＮ，ＡｌＮ，ＺｒＮ，Ｓｉ3Ｎ4，Ｔ
ｉＯ，ＺｒＯ2から選ばれる１種又はそれ以上からなる
厚み１〜２０μｍの被覆層があり、被覆層中のＡｌ2Ｏ3
含有量が全体の５０〜９９．９％であり、基材に隣接す
る５μｍ以内のＡｌ2Ｏ3含有量が０．１〜２０％である
被覆硬質部材が記載されている。
合金，サーメット，セラミックスの基材の表面に、Ａｌ
2Ｏ3とＴｉＣ，ＴｉＮ，ＡｌＮ，ＺｒＮ，Ｓｉ3Ｎ4，Ｔ
ｉＯ，ＺｒＯ2から選ばれる１種又はそれ以上からなる
厚み１〜２０μｍの被覆層があり、被覆層中のＡｌ2Ｏ3
含有量が全体の５０〜９９．９％であり、基材に隣接す
る５μｍ以内のＡｌ2Ｏ3含有量が０．１〜２０％である
被覆硬質部材が記載されている。
【０００６】同公報に記載の被覆硬質部材は、基材の表
面に直接金属酸化物の被膜を形成させずに、基材側の被
膜にはＡｌ2Ｏ3の含有量を少なくし、被膜の表面側には
Ａｌ2Ｏ3の含有量を多くし、基材と被膜との密着性並び
に被加工材と接触する被膜の表面側の耐摩耗性を考慮し
たものであるが、被膜の組成成分の制御が困難であるこ
と、被膜の厚さ制御が困難であること、及び基材と被膜
との密着性の向上が満足できるまで達してないという問
題がある。
面に直接金属酸化物の被膜を形成させずに、基材側の被
膜にはＡｌ2Ｏ3の含有量を少なくし、被膜の表面側には
Ａｌ2Ｏ3の含有量を多くし、基材と被膜との密着性並び
に被加工材と接触する被膜の表面側の耐摩耗性を考慮し
たものであるが、被膜の組成成分の制御が困難であるこ
と、被膜の厚さ制御が困難であること、及び基材と被膜
との密着性の向上が満足できるまで達してないという問
題がある。
【０００７】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので具体的には、金属，合金又はセラミックス焼結体
の基材の表面に金属間化合物でなる内層と内層の表面に
セラミックスの外層を形成させて、基材と外層との密着
性及び外層の緻密性を高め、耐剥離性，耐摩耗性，強度
に優れるようにした被覆部材及びその製造方法の提供を
目的とする。
もので具体的には、金属，合金又はセラミックス焼結体
の基材の表面に金属間化合物でなる内層と内層の表面に
セラミックスの外層を形成させて、基材と外層との密着
性及び外層の緻密性を高め、耐剥離性，耐摩耗性，強度
に優れるようにした被覆部材及びその製造方法の提供を
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、被覆材料の
強度を低下させずに、被膜と基材との密着性を高めるこ
とについて検討していた所、金属間化合物がセラミック
スの被膜、特に金属酸化物でなるセラミックスの被膜と
の密着性を高めること、セラミックスの被膜の粒成長抑
制及び被膜の緻密性を高めるという知見を得た。本発明
は、この知見に基づいて完成したものである。
強度を低下させずに、被膜と基材との密着性を高めるこ
とについて検討していた所、金属間化合物がセラミック
スの被膜、特に金属酸化物でなるセラミックスの被膜と
の密着性を高めること、セラミックスの被膜の粒成長抑
制及び被膜の緻密性を高めるという知見を得た。本発明
は、この知見に基づいて完成したものである。
【０００９】本発明の耐剥離性被覆部材は、金属，合金
又はセラミックス焼結体の基材にセラミックスの外層を
被覆してなる被覆部材であって、該基材と該外層との間
に金属間化合物でなる内層を介在させたことを特徴とす
るものである。
又はセラミックス焼結体の基材にセラミックスの外層を
被覆してなる被覆部材であって、該基材と該外層との間
に金属間化合物でなる内層を介在させたことを特徴とす
るものである。
【００１０】本発明の被覆部材における基材は、具体的
には、例えばＷ，Ｍｏ，Ｔｉ，Ｓｉ等の金属、超硬合
金，サーメット，ステンレス，ハイス，インコネル，ハ
ステロイ等の合金又はＡｌ2Ｏ3系セラミックス焼結体，
ＺｒＯ2系セラミックス焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系セラミック
ス焼結体，ＳｉＣ系セラミックス焼結体，ＡｌＮ系セラ
ミックス焼結体を挙げることができる。これらの内、好
ましい基材は、内層の材質との組合わせで選定する必要
があるが、基材と内層との密着性から超硬合金，サーメ
ット，ステンレス，ハイス，耐熱合金，Ａｌ2Ｏ3系セラ
ミックス焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系セラミックス焼結体であ
る。
には、例えばＷ，Ｍｏ，Ｔｉ，Ｓｉ等の金属、超硬合
金，サーメット，ステンレス，ハイス，インコネル，ハ
ステロイ等の合金又はＡｌ2Ｏ3系セラミックス焼結体，
ＺｒＯ2系セラミックス焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系セラミック
ス焼結体，ＳｉＣ系セラミックス焼結体，ＡｌＮ系セラ
ミックス焼結体を挙げることができる。これらの内、好
ましい基材は、内層の材質との組合わせで選定する必要
があるが、基材と内層との密着性から超硬合金，サーメ
ット，ステンレス，ハイス，耐熱合金，Ａｌ2Ｏ3系セラ
ミックス焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系セラミックス焼結体であ
る。
【００１１】この基材の表面に形成される内層は、具体
的には、例えばＮｉＳｉ2，ＣｏＳｉ2，ＴｉＳｉ2，Ｍ
ｏＳｉ2，ＷＳｉ2，Ｆｅ3Ａｌ，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，
Ｎｉ3Ｎｂ，ＡｌＣｏ，Ａｌ5Ｃｏ2，Ａｌ9Ｃｏ2，Ａｌ
13Ｃｏ4，Ｃｏ3Ｔｉ，Ｚｒ3Ａｌ，Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ
3（Ａｌ，Ｗ），Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），ＴｉＡｌ，Ｔｉ
Ａｌ3，Ｎｂ3Ａｌ，Ｖ3Ｓｉを挙げることができる。こ
の内層は、基材の材質と外層の材質により選定する必要
があるが、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ａｌ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｔ
ｉ，Ｓｉの中の少なくとも２種以上からなる金属間化合
物が好ましく、その厚さは、０．１〜１０μｍ、特に好
ましくは０．２〜５μｍである。この内層は、一部基材
の表面部に拡散した状態になっている場合があり、特に
基材が金属又は合金でなる場合には基材の表面部に拡散
させることが容易となり、この場合は基材と内層との密
着性を高める効果も大きいことから好ましいことであ
る。
的には、例えばＮｉＳｉ2，ＣｏＳｉ2，ＴｉＳｉ2，Ｍ
ｏＳｉ2，ＷＳｉ2，Ｆｅ3Ａｌ，ＮｉＡｌ，Ｎｉ3Ａｌ，
Ｎｉ3Ｎｂ，ＡｌＣｏ，Ａｌ5Ｃｏ2，Ａｌ9Ｃｏ2，Ａｌ
13Ｃｏ4，Ｃｏ3Ｔｉ，Ｚｒ3Ａｌ，Ｎｉ3Ｓｉ，Ｎｉ
3（Ａｌ，Ｗ），Ｎｉ2（Ａｌ，Ｔｉ），ＴｉＡｌ，Ｔｉ
Ａｌ3，Ｎｂ3Ａｌ，Ｖ3Ｓｉを挙げることができる。こ
の内層は、基材の材質と外層の材質により選定する必要
があるが、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ａｌ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｔ
ｉ，Ｓｉの中の少なくとも２種以上からなる金属間化合
物が好ましく、その厚さは、０．１〜１０μｍ、特に好
ましくは０．２〜５μｍである。この内層は、一部基材
の表面部に拡散した状態になっている場合があり、特に
基材が金属又は合金でなる場合には基材の表面部に拡散
させることが容易となり、この場合は基材と内層との密
着性を高める効果も大きいことから好ましいことであ
る。
【００１２】この内層の表面に形成される外層は、具体
的には、例えば周期律表４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化
物，窒化物，酸化物，硼化物，Ａｌの窒化物，酸化物，
硼化物，Ｓｉの炭化物，窒化物，酸化物，立方晶窒化硼
素，六方晶窒化硼素，二硫化タングステン，二硫化モリ
ブデン及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種の
単層もしくは複層からなる外層を挙げることができる。
この外層の厚さは、用途や形状により異なるが、０．１
〜２０μｍ厚さ、特に好ましくは０．５〜１０μｍ厚さ
である。
的には、例えば周期律表４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化
物，窒化物，酸化物，硼化物，Ａｌの窒化物，酸化物，
硼化物，Ｓｉの炭化物，窒化物，酸化物，立方晶窒化硼
素，六方晶窒化硼素，二硫化タングステン，二硫化モリ
ブデン及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種の
単層もしくは複層からなる外層を挙げることができる。
この外層の厚さは、用途や形状により異なるが、０．１
〜２０μｍ厚さ、特に好ましくは０．５〜１０μｍ厚さ
である。
【００１３】本発明の被覆部材は、従来から行われてい
る電解メッキ，無電解メッキ，ＣＶＤ法，ＰＶＤ法等の
方法と必要に応じて加熱処理とを組合わせることにより
作製することができるが、次の方法により行うと、バラ
ツキが少なく、安定した特性を有する被覆部材を得るこ
とができる。
る電解メッキ，無電解メッキ，ＣＶＤ法，ＰＶＤ法等の
方法と必要に応じて加熱処理とを組合わせることにより
作製することができるが、次の方法により行うと、バラ
ツキが少なく、安定した特性を有する被覆部材を得るこ
とができる。
【００１４】本発明の被覆部材の製造方法は、金属，合
金又はセラミックス焼結体の基材表面にＰＶＤ法もしく
はＣＶＤ法でもって金属間化合物でなる内層を形成させ
た後、該内層の表面にＰＶＤ法あるいはＣＶＤ法でもっ
てセラミックスの外層を形成させる方法である。
金又はセラミックス焼結体の基材表面にＰＶＤ法もしく
はＣＶＤ法でもって金属間化合物でなる内層を形成させ
た後、該内層の表面にＰＶＤ法あるいはＣＶＤ法でもっ
てセラミックスの外層を形成させる方法である。
【００１５】本発明の製造方法における内層の形成工程
は、ＣＶＤ法又はＰＶＤ法で作製する他に、必要に応じ
てＣＶＤ法又はＰＶＤ法の後に加熱処理工程を加えて内
層の一部を基材の表面部に拡散させることも好ましいこ
とである。
は、ＣＶＤ法又はＰＶＤ法で作製する他に、必要に応じ
てＣＶＤ法又はＰＶＤ法の後に加熱処理工程を加えて内
層の一部を基材の表面部に拡散させることも好ましいこ
とである。
【００１６】
【作用】本発明の耐剥離性被覆部材は、内層が基材と外
層との密着性を高める介在的作用をしていること、外層
の粒成長抑制及び異常成長抑制作用をしているものであ
る。
層との密着性を高める介在的作用をしていること、外層
の粒成長抑制及び異常成長抑制作用をしているものであ
る。
【００１７】
【実施例１】市販されているＳＮＧＮ１２０４１２形状
の超硬合金（ＪＩＳＫ１０相当品ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ
−Ｃｏ組成）の基材を用いて、下記の（Ａ）条件のアル
ミナイズ処理を施した後、（Ｂ）条件の被膜形成処理を
行って本発明品１を得た。 （Ａ）アルミナイズ処理条件 温度：１０８０℃，圧力：大気圧，時間：６０ｍｉｎ， 雰囲気ガス：ＡｌＣｌ3 ０．３３ ｌ／ｍｉｎ（約１
４ｖｏｌ％） Ｈ2 １．００ ｌ／ｍｉｎ（約４３ｖｏｌ％） Ａｒ １．００ ｌ／ｍｉｎ（約４３ｖｏｌ％） （Ｂ）被膜形成処理条件 温度：１０８０℃，圧力：１００Ｔｏｒｒ，時間：６０
ｍｉｎ， 雰囲気ガス：ＡｌＣｌ3 ０．２３ ｌ／ｍｉｎ（約４
ｖｏｌ％） Ｈ2 ５．３５ ｌ／ｍｉｎ（約８７ｖｏｌ％） ＣＯ2 ０．３ ｌ／ｍｉｎ（約５ｖｏｌ％） ＨＣｌ ０．２５ ｌ／ｍｉｎ（約４ｖｏｌ％） 比較として、上述の（Ａ）条件のみ除き、他は本発明品
１と同様にして比較品１を得た。
の超硬合金（ＪＩＳＫ１０相当品ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ
−Ｃｏ組成）の基材を用いて、下記の（Ａ）条件のアル
ミナイズ処理を施した後、（Ｂ）条件の被膜形成処理を
行って本発明品１を得た。 （Ａ）アルミナイズ処理条件 温度：１０８０℃，圧力：大気圧，時間：６０ｍｉｎ， 雰囲気ガス：ＡｌＣｌ3 ０．３３ ｌ／ｍｉｎ（約１
４ｖｏｌ％） Ｈ2 １．００ ｌ／ｍｉｎ（約４３ｖｏｌ％） Ａｒ １．００ ｌ／ｍｉｎ（約４３ｖｏｌ％） （Ｂ）被膜形成処理条件 温度：１０８０℃，圧力：１００Ｔｏｒｒ，時間：６０
ｍｉｎ， 雰囲気ガス：ＡｌＣｌ3 ０．２３ ｌ／ｍｉｎ（約４
ｖｏｌ％） Ｈ2 ５．３５ ｌ／ｍｉｎ（約８７ｖｏｌ％） ＣＯ2 ０．３ ｌ／ｍｉｎ（約５ｖｏｌ％） ＨＣｌ ０．２５ ｌ／ｍｉｎ（約４ｖｏｌ％） 比較として、上述の（Ａ）条件のみ除き、他は本発明品
１と同様にして比較品１を得た。
【００１８】こうして得た本発明品１及び比較品１を光
学顕微鏡及びＸ線回拆法により調べた所、本発明品１
は、基材表面に約２μｍ厚さのＣｏ−Ａｌの内層と約４
μｍ厚さのＡｌ2Ｏ3の外層とが形成されていた。一方、
比較品１は、基材表面に約４μｍ厚みのＡｌ2Ｏ3層が形
成されていた。
学顕微鏡及びＸ線回拆法により調べた所、本発明品１
は、基材表面に約２μｍ厚さのＣｏ−Ａｌの内層と約４
μｍ厚さのＡｌ2Ｏ3の外層とが形成されていた。一方、
比較品１は、基材表面に約４μｍ厚みのＡｌ2Ｏ3層が形
成されていた。
【００１９】次に、先端径０．２ｍｍＲのダイヤモンド
コーンによるスクラッチテストでもつて被膜の剥離臨界
荷重（被膜が剥離する時の荷重）を求めた所、本発明品
１は、５ｋｇに対し、比較品１は布でこすりつけるとほ
ぼ全面に亘って剥離した。
コーンによるスクラッチテストでもつて被膜の剥離臨界
荷重（被膜が剥離する時の荷重）を求めた所、本発明品
１は、５ｋｇに対し、比較品１は布でこすりつけるとほ
ぼ全面に亘って剥離した。
【００２０】
【実施例２】約１０×１６×５ｍｍ形状のＳＵＳ４４０
Ｃの基材を用いて、実施例１の（Ａ）条件の時間１５ｍ
ｉｎ、（Ｂ）条件の時間６０ｍｉｎとした以外は、それ
ぞれ同条件にて処理して、本発明品２を得た。比較とし
て、（Ａ）条件の処理を除いて、他は本発明品２と同様
にして比較品２を得た。
Ｃの基材を用いて、実施例１の（Ａ）条件の時間１５ｍ
ｉｎ、（Ｂ）条件の時間６０ｍｉｎとした以外は、それ
ぞれ同条件にて処理して、本発明品２を得た。比較とし
て、（Ａ）条件の処理を除いて、他は本発明品２と同様
にして比較品２を得た。
【００２１】こうして得た本発明品２及び比較品２を実
施例１と同様にして調べた所、本発明品２は、基材表面
から約０．２μｍ厚さのＦｅ−Ａｌ，Ｎｉ−Ａｌと判断
される内層と約６μｍ厚さのＡｌ2Ｏ3外層が形成されて
いた。一方比較品２は、基材表面に約６μｍ厚さのＡｌ
2Ｏ3の層が形成されていた。
施例１と同様にして調べた所、本発明品２は、基材表面
から約０．２μｍ厚さのＦｅ−Ａｌ，Ｎｉ−Ａｌと判断
される内層と約６μｍ厚さのＡｌ2Ｏ3外層が形成されて
いた。一方比較品２は、基材表面に約６μｍ厚さのＡｌ
2Ｏ3の層が形成されていた。
【００２２】また、被膜の剥離臨界荷重を求めた所、本
発明品２は、２．５ｋｇであったのに対し、比較品２
は、０．８ｋｇであった。
発明品２は、２．５ｋｇであったのに対し、比較品２
は、０．８ｋｇであった。
【００２３】
【発明の効果】本発明の耐剥離性被覆部材は、従来の被
覆部材に比べて被膜の耐剥離性が３倍以上も向上すると
いう効果を有している。このことから、本発明の耐剥離
性被覆部材は、従来の被覆部材の使用領域から、さらに
衝撃性又は高負荷の加わるような使用領域にまで効果を
発揮することができる。
覆部材に比べて被膜の耐剥離性が３倍以上も向上すると
いう効果を有している。このことから、本発明の耐剥離
性被覆部材は、従来の被覆部材の使用領域から、さらに
衝撃性又は高負荷の加わるような使用領域にまで効果を
発揮することができる。
Claims (6)
- 【請求項１】 金属，合金又はセラミックス焼結体の基
材にセラミックスの外層を被覆してなる被覆部材におい
て、該基材と該外層との間に金属間化合物でなる内層を
介在させたことを特徴とする耐剥離性被覆部材。 - 【請求項２】 上記基材は、超硬合金，サーメット，ス
テンレス，ハイス又は耐熱合金からなることを特徴とす
る請求項１記載の耐剥離性被覆部材。 - 【請求項３】 上記外層は、周期律表４ａ，５ａ，６ａ
族金属の炭化物，窒化物，酸化物，硼化物，Ａｌの窒化
物，酸化物，硼化物，Ｓｉの炭化物，窒化物，酸化物及
びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種の単層もし
くは複層でなることを特徴とする請求項１記載の耐剥離
性被覆部材。 - 【請求項４】 上記金属間化合物は、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃ
ｏ，Ａｌ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉの中の少なくとも２
種からなることを特徴とする請求項１記載の耐剥離性被
覆部材。 - 【請求項５】 上記内層は、０．２〜５μｍ厚さでなる
ことを特徴とする請求項１記載の耐剥離性被覆部材。 - 【請求項６】 金属，合金又はセラミックス焼結体の基
材表面に物理蒸着法もしくは化学蒸着法でもって金属間
化合物でなる内層を形成させた後、該内層の表面に物理
蒸着法あるいは化学蒸着法でもってセラミックスの外層
を形成させることを特徴とする耐剥離性被覆部材の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326528A JP3036933B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 耐剥離性被覆部材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326528A JP3036933B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 耐剥離性被覆部材及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05140763A true JPH05140763A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3036933B2 JP3036933B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=18188842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3326528A Expired - Fee Related JP3036933B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 耐剥離性被覆部材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036933B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007122859A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-11-01 | Kyocera Corporation | 切削工具及びその製造方法、並びに切削方法 |
-
1991
- 1991-11-14 JP JP3326528A patent/JP3036933B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2007122859A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-11-01 | Kyocera Corporation | 切削工具及びその製造方法、並びに切削方法 |
| US8182911B2 (en) | 2006-03-28 | 2012-05-22 | Kyocera Corporation | Cutting tool, manufacturing method thereof and cutting method |
| JP4994367B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2012-08-08 | 京セラ株式会社 | 切削工具及びその製造方法、並びに切削方法 |
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| JP3036933B2 (ja) | 2000-04-24 |
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