JPH05138685A - モールド装置 - Google Patents
モールド装置Info
- Publication number
- JPH05138685A JPH05138685A JP30210491A JP30210491A JPH05138685A JP H05138685 A JPH05138685 A JP H05138685A JP 30210491 A JP30210491 A JP 30210491A JP 30210491 A JP30210491 A JP 30210491A JP H05138685 A JPH05138685 A JP H05138685A
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- JP
- Japan
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- mold
- foreign matter
- air
- gas
- suction port
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- Pending
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は樹脂カス等の異物の除去作業を確実
に行うことができ、且つ、樹脂カス等の飛散が防止で
き、簡単に交換をすることができる金型用清掃装置の吸
塵ユニットを有したモールド装置を提供することを目的
とする。 【構成】 異物吸込み口42の中に、短く分割された空
気吹出し口41a,41b,41c,41dを配置固定
し、その各々の空気吹出し口41a,41b,41c,
41dに空気供給口47a,47b,47c,47dを
設ける。そして異物吸込み口42をボルト48により、
吸引フード44に固定した構造の吸塵ユニット49を構
成する。
に行うことができ、且つ、樹脂カス等の飛散が防止で
き、簡単に交換をすることができる金型用清掃装置の吸
塵ユニットを有したモールド装置を提供することを目的
とする。 【構成】 異物吸込み口42の中に、短く分割された空
気吹出し口41a,41b,41c,41dを配置固定
し、その各々の空気吹出し口41a,41b,41c,
41dに空気供給口47a,47b,47c,47dを
設ける。そして異物吸込み口42をボルト48により、
吸引フード44に固定した構造の吸塵ユニット49を構
成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はモールド装置に係り、特
に半導体装置の樹脂封止を行う樹脂成形装置に用いて好
適なモールド装置に関する。
に半導体装置の樹脂封止を行う樹脂成形装置に用いて好
適なモールド装置に関する。
【0002】半導体装置の樹脂封止工程において、成形
装置の金型に付着する樹脂カス等の異物の除去作業は、
一般的にエアガンによるエアブローによって行ったり、
空気吹出し口と吸込み口から構成される金型用清掃装置
などで行っている。
装置の金型に付着する樹脂カス等の異物の除去作業は、
一般的にエアガンによるエアブローによって行ったり、
空気吹出し口と吸込み口から構成される金型用清掃装置
などで行っている。
【0003】しかしこれ等の方法では確実に樹脂カス等
の異物を除去しきれず、製品の離形不良、異物混入不
良、打痕不良等の障害が発生する場合がある。
の異物を除去しきれず、製品の離形不良、異物混入不
良、打痕不良等の障害が発生する場合がある。
【0004】そのため、樹脂カス等の異物の除去作業を
確実に行うことができ、且つ、樹脂カス等の飛散による
作業環境の悪化を防止し得る金型用清掃装置を具備した
モールド装置が要求されている。
確実に行うことができ、且つ、樹脂カス等の飛散による
作業環境の悪化を防止し得る金型用清掃装置を具備した
モールド装置が要求されている。
【0005】
【従来の技術】図5は従来の半導体の樹脂封止に使用さ
れる成形機と、金型用清掃装置とにより構成したモール
ド装置を説明するための図である。
れる成形機と、金型用清掃装置とにより構成したモール
ド装置を説明するための図である。
【0006】トランスファ成形機1には、上型2と下型
3とで構成される金型が取り付けられ、金型内に半導体
装置を配して封止樹脂を注入し、モールド成形するもの
で、図5は上型2と下型3を開いて、モールド成形品を
取り出した状態を示している。
3とで構成される金型が取り付けられ、金型内に半導体
装置を配して封止樹脂を注入し、モールド成形するもの
で、図5は上型2と下型3を開いて、モールド成形品を
取り出した状態を示している。
【0007】前記トランスファ成形機1の近くには金型
用清掃装置4が設置され、前記上型2と下型3が開い
て、成形品が取り出された後に、前記上型2と下型3と
の間を前記金型用清掃装置4がレール(図示せず)上を
走りながら往復するように駆動制御ユニット7で制御さ
れている。
用清掃装置4が設置され、前記上型2と下型3が開い
て、成形品が取り出された後に、前記上型2と下型3と
の間を前記金型用清掃装置4がレール(図示せず)上を
走りながら往復するように駆動制御ユニット7で制御さ
れている。
【0008】前記金型用清掃装置4には、空気吸込みユ
ニット5及び空気吹出しユニット6が接続されており、
前記金型用清掃装置4が前記上型2と下型3の間を通過
する際に、金型に付着した樹脂カスを吸引したり、圧縮
空気で吹飛ばしたりして、清掃するようになっている。
ニット5及び空気吹出しユニット6が接続されており、
前記金型用清掃装置4が前記上型2と下型3の間を通過
する際に、金型に付着した樹脂カスを吸引したり、圧縮
空気で吹飛ばしたりして、清掃するようになっている。
【0009】図6は前記金型用清掃装置4の斜視図であ
る。
る。
【0010】本体4bの側部には、レール上を移動する
ための機構が設けられている。
ための機構が設けられている。
【0011】そして前記本体46の先端には、吸塵ダク
ト45を介して、異物吸込み口42と、それに覆いかぶ
さるようにスカート43が取付けられている。
ト45を介して、異物吸込み口42と、それに覆いかぶ
さるようにスカート43が取付けられている。
【0012】前記異物吸込み口42及びスカート43
は、上下に対称に2組取り付けられており、前記上型2
と下型3を両方同時に清掃できるようになっている。
は、上下に対称に2組取り付けられており、前記上型2
と下型3を両方同時に清掃できるようになっている。
【0013】図7は図6におけるVII −VII 線に沿った
断面図であり、金型の間に位置して清掃作業を行ってい
る状態を示している。
断面図であり、金型の間に位置して清掃作業を行ってい
る状態を示している。
【0014】図中矢印は空気の流れを示すもので、吸塵
ダクト45に一体的に形成された上下の空気吹出し口4
1から噴射された空気は、それぞれ上型2と下型3に衝
突し、金型に強固に付着した樹脂カス等の異物を吹飛ば
すよう作用している。
ダクト45に一体的に形成された上下の空気吹出し口4
1から噴射された空気は、それぞれ上型2と下型3に衝
突し、金型に強固に付着した樹脂カス等の異物を吹飛ば
すよう作用している。
【0015】また、吸塵ダクト45に接続された上下の
異物吸込み口42にはそれぞれゴム製のスカート43が
接着されており、それぞれ前記上型2と下型3に密着し
ながら移動して、前記吸塵ダクト45からの空気の吸込
み作用によって金型上の樹脂カス等の異物を吸込むよう
になっている。
異物吸込み口42にはそれぞれゴム製のスカート43が
接着されており、それぞれ前記上型2と下型3に密着し
ながら移動して、前記吸塵ダクト45からの空気の吸込
み作用によって金型上の樹脂カス等の異物を吸込むよう
になっている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の空気
吹出し口41は異物吸込み口42の外側に位置している
ため、前記空気吹出し口41から噴射された圧縮空気に
よって吹き飛ばされた樹脂カス等の異物は周囲に飛散し
て作業環境を悪化するだけでなく、再び金型に付着して
しまうという問題がある。
吹出し口41は異物吸込み口42の外側に位置している
ため、前記空気吹出し口41から噴射された圧縮空気に
よって吹き飛ばされた樹脂カス等の異物は周囲に飛散し
て作業環境を悪化するだけでなく、再び金型に付着して
しまうという問題がある。
【0017】そして、前記空気吹出し口41は吸塵ダク
ト45の全幅にわたって細長く形成され、多数の空気吹
出し用の穴である噴射孔41eが一列に配列されてお
り、その両端から圧縮空気を供給しているので、圧縮空
気の噴射力は前記空気吹出し口41の中央付近の噴射孔
41eでは強く、その端部では弱いというムラを生じて
しまう。よって樹脂カス等の異物を有効に除去できな
い。
ト45の全幅にわたって細長く形成され、多数の空気吹
出し用の穴である噴射孔41eが一列に配列されてお
り、その両端から圧縮空気を供給しているので、圧縮空
気の噴射力は前記空気吹出し口41の中央付近の噴射孔
41eでは強く、その端部では弱いというムラを生じて
しまう。よって樹脂カス等の異物を有効に除去できな
い。
【0018】加えて、前記空気吹出し口41は前記吸塵
ダクト45に一体的に形成されており、また異物吸込み
口42も、前記吸塵ダクト45に対して脱着できない構
造であるため、その交換には前記吸塵ダクト45を含め
て行わなければならず非常に時間と労力を費やしてい
た。
ダクト45に一体的に形成されており、また異物吸込み
口42も、前記吸塵ダクト45に対して脱着できない構
造であるため、その交換には前記吸塵ダクト45を含め
て行わなければならず非常に時間と労力を費やしてい
た。
【0019】このため、種々の金型に適した形状の異物
吸込み口42及び空気吸出し口41を小まめに交換する
ことは行われず、効率の悪い清掃作業を強いられてい
た。
吸込み口42及び空気吸出し口41を小まめに交換する
ことは行われず、効率の悪い清掃作業を強いられてい
た。
【0020】そこで本発明は、上記課題に鑑みなされた
もので、樹脂カス等の異物の除去作業を確実に行うこと
ができ、且つ、樹脂カス等の飛散が防止でき、簡単に交
換ができる吸塵ユニットを有したモールド装置を提供す
ることを目的とする。
もので、樹脂カス等の異物の除去作業を確実に行うこと
ができ、且つ、樹脂カス等の飛散が防止でき、簡単に交
換ができる吸塵ユニットを有したモールド装置を提供す
ることを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記課題は、金型に付着
した付着物を吸引する異物吸込み口と、前記異物吸込み
口の内部に位置し、前記金型に付着した付着物を気体の
噴射によって吹飛ばすための気体吹出し口とを具備した
吸塵ユニットを有するモールド装置により解決される。
した付着物を吸引する異物吸込み口と、前記異物吸込み
口の内部に位置し、前記金型に付着した付着物を気体の
噴射によって吹飛ばすための気体吹出し口とを具備した
吸塵ユニットを有するモールド装置により解決される。
【0022】また、前記気体吹出し口は互いに独立した
気体流路に分割されており、その各々の気体吹出し口に
気体供給口を配した構造としてもよい。
気体流路に分割されており、その各々の気体吹出し口に
気体供給口を配した構造としてもよい。
【0023】さらに上記課題は、金型に付着した付着物
を吸引する異物吸込み口と、前記金型に付着した付着物
を気体の噴射によって吹飛ばすための気体吹出し口とを
有し、固定手段によって前記異物吸込み口内の前記付着
物を吸引するための吸引装置に着脱自在に固定された吸
塵ユニットを有するモールド装置によっても解決され
る。
を吸引する異物吸込み口と、前記金型に付着した付着物
を気体の噴射によって吹飛ばすための気体吹出し口とを
有し、固定手段によって前記異物吸込み口内の前記付着
物を吸引するための吸引装置に着脱自在に固定された吸
塵ユニットを有するモールド装置によっても解決され
る。
【0024】
【作用】空気吹出し口を異物吸込み口の内部に位置させ
ることにより、吹飛ばされた樹脂カスはそのまま異物吸
込み口の内部に吸引されることになる。
ることにより、吹飛ばされた樹脂カスはそのまま異物吸
込み口の内部に吸引されることになる。
【0025】また、空気吹出し口を短く分割して、その
各々に空気供給口を設け、独立して圧縮空気の供給、遮
断を行うことにより、空気吹出し口からの圧縮空気の噴
射を分割して行うことができる。
各々に空気供給口を設け、独立して圧縮空気の供給、遮
断を行うことにより、空気吹出し口からの圧縮空気の噴
射を分割して行うことができる。
【0026】そして吸塵部をボルトにより着脱可能とし
たことにより、吸塵部の交換が容易に行えることとな
る。
たことにより、吸塵部の交換が容易に行えることとな
る。
【0027】
【実施例】図1は本発明の一実施例の要部を示す斜視図
である。
である。
【0028】互いに独立した空気流路を形成している空
気吹出し口41a,41b,41c,41dは、1本の
円柱状を成して異物吸込み口42の内部に固定されてお
り、吸塵ユニット49を形成している。
気吹出し口41a,41b,41c,41dは、1本の
円柱状を成して異物吸込み口42の内部に固定されてお
り、吸塵ユニット49を形成している。
【0029】前記異物吸込み口42は、ボルト48によ
って吸引フード44に固定されており、このボルト48
をはずすことによって、前記吸塵ユニット49は、前記
空気吹出し口41a,41b,41c,41dを内部に
固定したまま取りはずすことができる。
って吸引フード44に固定されており、このボルト48
をはずすことによって、前記吸塵ユニット49は、前記
空気吹出し口41a,41b,41c,41dを内部に
固定したまま取りはずすことができる。
【0030】よって、種々の金型に応じて最も効率良く
清掃作業が行える吸塵ユニットにその都度交換すること
ができるようになる。
清掃作業が行える吸塵ユニットにその都度交換すること
ができるようになる。
【0031】図2は図1のII−II線に沿った断面図、図
3は図1のIII −III 線に沿った断面図である。
3は図1のIII −III 線に沿った断面図である。
【0032】両図とも金型の間に位置して清掃作業を行
っている状態の図を示している。
っている状態の図を示している。
【0033】両図に示したように、前記吸塵ユニット4
9、吸引フード44、吸塵ダクト45から成る組立体
は、上下に対称に配置され、上型2と下型3とを同時に
清掃できるようになっている。
9、吸引フード44、吸塵ダクト45から成る組立体
は、上下に対称に配置され、上型2と下型3とを同時に
清掃できるようになっている。
【0034】前記空気吹出し口41a,41b,41
c,41dは、前記異物吸込み口42の開口部の略中央
で、且つ、前記上型2及び下型3から所定距離離れた位
置に固定され、前記空気供給口47a,47b,47
c,47dは、前記異物吸込み口42の外側に設けられ
ている。
c,41dは、前記異物吸込み口42の開口部の略中央
で、且つ、前記上型2及び下型3から所定距離離れた位
置に固定され、前記空気供給口47a,47b,47
c,47dは、前記異物吸込み口42の外側に設けられ
ている。
【0035】前記空気供給口47a,47b,47c,
47dは、空気チューブを差し込んで接続するタイプの
もので、その取りはずしも簡単に行うことができる。
47dは、空気チューブを差し込んで接続するタイプの
もので、その取りはずしも簡単に行うことができる。
【0036】また、前記異物吸込み口42の開口部全周
にはゴム製のスカート43がはめ込まれており、金型清
掃の際に上型2及び下型3に密着しながら金型上を移動
しても金型を傷つけないような構造となっている。
にはゴム製のスカート43がはめ込まれており、金型清
掃の際に上型2及び下型3に密着しながら金型上を移動
しても金型を傷つけないような構造となっている。
【0037】次に、本実施例による金型清掃作業時の吸
塵ユニット49内での空気の流れを、図4と共に説明す
る。
塵ユニット49内での空気の流れを、図4と共に説明す
る。
【0038】同図中の矢印は空気の流れを示している。
【0039】図5に示された空気吹出しユニット6によ
り発生した圧縮空気は金型用清掃装置4の本体46を通
って、吸塵ユニット49の空気供給口47a,47b,
47c,47dに送られる。
り発生した圧縮空気は金型用清掃装置4の本体46を通
って、吸塵ユニット49の空気供給口47a,47b,
47c,47dに送られる。
【0040】そしてこの圧縮空気は、異物吸込み口42
内に位置する空気吹出し口41a,41b,41c,4
1dに導かれ、金型(図4の場合下型3)に面した方向
に設けられている複数の噴射孔41eから金型の面に対
して噴射される。
内に位置する空気吹出し口41a,41b,41c,4
1dに導かれ、金型(図4の場合下型3)に面した方向
に設けられている複数の噴射孔41eから金型の面に対
して噴射される。
【0041】この時、金型に付着している樹脂カス等の
異物は、圧縮空気の噴射力によって金型から吹飛ばされ
ることになるが、スカート43が金型に密着しているた
め、前記スカート43外に飛散することはない。
異物は、圧縮空気の噴射力によって金型から吹飛ばされ
ることになるが、スカート43が金型に密着しているた
め、前記スカート43外に飛散することはない。
【0042】一方、前記スカート43及び異物吸込み口
42内の空気は吸引フード44、吸塵ダクト45、本体
46を介して、空気吸込みユニット5(図5に図示)に
より吸引されており、金型から吹飛ばされた樹脂カス等
の異物はこの吸引空気の流れるよって運ばれることとな
る。
42内の空気は吸引フード44、吸塵ダクト45、本体
46を介して、空気吸込みユニット5(図5に図示)に
より吸引されており、金型から吹飛ばされた樹脂カス等
の異物はこの吸引空気の流れるよって運ばれることとな
る。
【0043】したがって、樹脂カス等の異物の飛散によ
って周囲の作業環境を悪化することがなく、吹飛ばされ
た樹脂カスが再び金型に付着することもなくなり、金型
の清掃作業を効率的に行うことができる。
って周囲の作業環境を悪化することがなく、吹飛ばされ
た樹脂カスが再び金型に付着することもなくなり、金型
の清掃作業を効率的に行うことができる。
【0044】ここで、空気吹出し口41a,41b,4
1c,41dは、図2に示すように金型の幅にわたって
細長く形成されているが、空気流路は、各々独立してお
り、その各々の空気吹出し口41a,41b,41c,
41dに対して空気供給口47a,47b,47c,4
7dが設けられているため、前記空気供給口47a,4
7b,47c,47dへの圧縮空気の供給を制御するこ
とによって、金型への空気の噴射位置を制御することが
できる。
1c,41dは、図2に示すように金型の幅にわたって
細長く形成されているが、空気流路は、各々独立してお
り、その各々の空気吹出し口41a,41b,41c,
41dに対して空気供給口47a,47b,47c,4
7dが設けられているため、前記空気供給口47a,4
7b,47c,47dへの圧縮空気の供給を制御するこ
とによって、金型への空気の噴射位置を制御することが
できる。
【0045】例えば、空気吹出し口41aから1秒間圧
縮空気を噴射し、次に空気吹出し口41bから1秒間、
次に空気吹出し口41cから1秒間、というように1秒
毎に噴射位置を変えることができるわけである。
縮空気を噴射し、次に空気吹出し口41bから1秒間、
次に空気吹出し口41cから1秒間、というように1秒
毎に噴射位置を変えることができるわけである。
【0046】このようにすると、従来のように空気吹出
し口41a,41b,41c,41d全体から圧縮空気
を常時噴射している場合に比較して、その長さ方向での
圧縮空気の噴射ムラがなくなり、且つ噴射中の噴射孔4
1eの数が少なくなるため、噴射力が強くなる。
し口41a,41b,41c,41d全体から圧縮空気
を常時噴射している場合に比較して、その長さ方向での
圧縮空気の噴射ムラがなくなり、且つ噴射中の噴射孔4
1eの数が少なくなるため、噴射力が強くなる。
【0047】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば樹脂カス等
の異物が周囲に飛散して、再度金型に付着したり、周囲
の作業環境を悪化することがない。
の異物が周囲に飛散して、再度金型に付着したり、周囲
の作業環境を悪化することがない。
【0048】また空気の噴射を分割して行うことができ
ることにより、噴射力のムラをなくすだけでなく噴射力
が強くでき、より効率的な清掃作業を行うことができ
る。
ることにより、噴射力のムラをなくすだけでなく噴射力
が強くでき、より効率的な清掃作業を行うことができ
る。
【0049】そして、吸塵ユニットの交換が容易になっ
たことによって種々の金型に適した吸塵ユニットへの交
換をその都度行えることとなり、効率的な清掃作業がで
きる。
たことによって種々の金型に適した吸塵ユニットへの交
換をその都度行えることとなり、効率的な清掃作業がで
きる。
【図1】本発明の一実施例の要部を示す斜視図である。
【図2】図1のII−II線に沿った断面図である。
【図3】図1のIII −III 線に沿った断面図である。
【図4】吸塵ユニット内の空気の流れを説明する図であ
る。
る。
【図5】従来のモールド装置の構成を説明する図であ
る。
る。
【図6】従来の金型用清掃装置の斜視図である。
【図7】図6のVII −VII 線に沿った断面図である。
4 金型用清掃装置 5 空気吸込みユニット 6 空気吹出しユニット 41a,41b,41c,41d 空気吹出し口 41e 噴射孔 42 異物吸込み口 43 スカート 44 吸引フード 45 吸塵ダクト 46 本体 47a,47b,47c 空気供給口 47d 空気吹出し口 48 ボルト 49 吸塵ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B29K 105:20 B29L 31:34 4F
Claims (3)
- 【請求項1】 金型に付着した付着物を吸引する異物吸
込み口(42)と、 前記異物吸込み口(42)の内部に位置し、前記金型に
付着した付着物を気体の噴射によって吹飛ばすための気
体吹出し口(41a,41b,41c,41d)とを具
備した吸塵ユニット(49)を有することを特徴とする
モールド装置。 - 【請求項2】 前記気体吹出し口(41a,41b,4
1c,41d)は互いに独立した気体流路に分割されて
おり、その各々の気体吹出し口(41a,41b,41
c,41d)に気体供給口(47a,47b,47c,
47d)を配したことを特徴とする請求項1記載のモー
ルド装置。 - 【請求項3】 金型に付着した付着物を吸引する異物吸
込み口(42)と、 前記金型に付着した付着物を気体の噴射によって吹飛ば
すための気体吹出し口(41a,41b,41c,41
d)とを有し、 固定手段(48)によって前記異物吸込み口(42)内
から前記付着物を吸引するための吸引装置(44)に着
脱自在に固定された吸塵ユニット(49)を有すること
を特徴とするモールド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30210491A JPH05138685A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | モールド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30210491A JPH05138685A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | モールド装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05138685A true JPH05138685A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=17904984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30210491A Pending JPH05138685A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | モールド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05138685A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0720253U (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-11 | 啓人 松井 | 金型清掃機 |
JPH09123206A (ja) * | 1995-10-30 | 1997-05-13 | Towa Kk | 電子部品の樹脂封止成形装置 |
CN108527184A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-09-14 | 郑州博尔德磨料磨具有限公司 | 一种用于研磨抛光砂轮的磨料成型模具 |
CN112642979A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-04-13 | 长沙天鹏金属制品有限公司 | 一种旋挖齿加工锻造设备及其锻造方法 |
-
1991
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