JPH05128985A - マイクロビーム発生装置 - Google Patents
マイクロビーム発生装置Info
- Publication number
- JPH05128985A JPH05128985A JP3317505A JP31750591A JPH05128985A JP H05128985 A JPH05128985 A JP H05128985A JP 3317505 A JP3317505 A JP 3317505A JP 31750591 A JP31750591 A JP 31750591A JP H05128985 A JPH05128985 A JP H05128985A
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- JP
- Japan
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- electrode
- ion
- opening electrode
- entrance
- microbeam
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ビーム径の縮小率を小さくでき、かつ、レンズ
系の色収差を引き起こさず、径０．１μｍ程度のマイク
ロビームを発生することのできるマイクロビーム発生装
置を提供する。 【構成】イオン源１と、物点を構成するスリット２と、
入口開口電極３ａおよび出口開口電極３ｂをもつ加速管
３と、入口開口電極５ａ、中央開口電極５ｂおよび出口
開口電極５ｃをもつアインツエルレンズ５とをイオンビ
ームの軸線上に順次配置し、第１の電源６によりイオン
源、スリット２間に電圧を印加し、第２の電源７により
加速管の入口、出口開口電極間に電圧を印加し、アイン
ツエルレンズの中央開口電極とイオン源とを同電位に
し、加速管を通過したイオンビームを見掛け上、加速管
の入口又はその少し手前の虚像点からの発散ビームとし
アインツエルレンズによって結像してマイクロビームの
スポット８を形成する。
系の色収差を引き起こさず、径０．１μｍ程度のマイク
ロビームを発生することのできるマイクロビーム発生装
置を提供する。 【構成】イオン源１と、物点を構成するスリット２と、
入口開口電極３ａおよび出口開口電極３ｂをもつ加速管
３と、入口開口電極５ａ、中央開口電極５ｂおよび出口
開口電極５ｃをもつアインツエルレンズ５とをイオンビ
ームの軸線上に順次配置し、第１の電源６によりイオン
源、スリット２間に電圧を印加し、第２の電源７により
加速管の入口、出口開口電極間に電圧を印加し、アイン
ツエルレンズの中央開口電極とイオン源とを同電位に
し、加速管を通過したイオンビームを見掛け上、加速管
の入口又はその少し手前の虚像点からの発散ビームとし
アインツエルレンズによって結像してマイクロビームの
スポット８を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はイオンや電子等の荷電
粒子のマイクロビームを発生させるマイクロビーム発生
装置に関するものである。
粒子のマイクロビームを発生させるマイクロビーム発生
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のマイクロビーム発生装置は図３に
示されており、同図において、加速管１１を出たイオン
ビームは集束レンズ１５によってスリット１２に集束さ
れ、これを通過した後、多段の四重極電磁石で出来た集
束レンズ１３によって集束され、マイクロビームスポッ
ト１４を形成するようになる。
示されており、同図において、加速管１１を出たイオン
ビームは集束レンズ１５によってスリット１２に集束さ
れ、これを通過した後、多段の四重極電磁石で出来た集
束レンズ１３によって集束され、マイクロビームスポッ
ト１４を形成するようになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のマイクロビーム
発生装置は、多段の四重極電磁石で出来た集束レンズ１
３でイオンビームを集束して、ビーム径を縮小してい
る。しかしながら、その縮小率Ｍを小さくするにつれ
て、集束レンズ１３の球面収差によるビーム像のボケが
急速に増大するようになる。そのため、縮小率Ｍを余り
小さくすることができない問題があった。また、従来の
マイクロビーム発生装置は、加速管１１に印加される電
圧と、集束レンズ１３の四重極電磁石に流される励起電
流が別個の電源によって供給されているので、イオンビ
ームのエネルギーのゆらぎがレンズ系の色収差を引き起
こすようになる問題があった。このような問題があるこ
とから、従来のマイクロビーム発生装置の実現可能なマ
イクロビームの径はほぼ１μｍが限界であった。
発生装置は、多段の四重極電磁石で出来た集束レンズ１
３でイオンビームを集束して、ビーム径を縮小してい
る。しかしながら、その縮小率Ｍを小さくするにつれ
て、集束レンズ１３の球面収差によるビーム像のボケが
急速に増大するようになる。そのため、縮小率Ｍを余り
小さくすることができない問題があった。また、従来の
マイクロビーム発生装置は、加速管１１に印加される電
圧と、集束レンズ１３の四重極電磁石に流される励起電
流が別個の電源によって供給されているので、イオンビ
ームのエネルギーのゆらぎがレンズ系の色収差を引き起
こすようになる問題があった。このような問題があるこ
とから、従来のマイクロビーム発生装置の実現可能なマ
イクロビームの径はほぼ１μｍが限界であった。
【０００４】この発明の目的は、上記の問題を解決し
て、ビーム径の縮小率を小さくでき、かつ、レンズ系の
色収差を引き起こさず、径０．１μｍ程度のマイクロビ
ームを発生することのできるマイクロビーム発生装置を
提供することにある。
て、ビーム径の縮小率を小さくでき、かつ、レンズ系の
色収差を引き起こさず、径０．１μｍ程度のマイクロビ
ームを発生することのできるマイクロビーム発生装置を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のマイクロビーム発生装置は、イオン源
と、物点を構成するスリット（以下、物点スリットとい
う）と、入口開口電極および出口開口電極をもつ加速管
と、入口開口電極、中央開口電極および出口開口電極を
もつアインツエルレンズとをイオンビームの軸線上に所
定の間隔で順次配置すると共に、第１の電源によってイ
オン源と物点スリットとの間に所定の電圧を印加し、更
に、第２の電源によって加速管の入口開口電極と出口開
口電極との間に所定の電圧を印加し、更にその上、アイ
ンツエルレンズの中央開口電極とイオン源とを電気的に
接続して同電位にし、加速管を通過したイオンビームが
見掛け上、加速管の入口もしくはその少し手前（イオン
源側）の虚像点からの発散ビームとなり、その発散ビー
ムがアインツエルレンズによって結像されてマイクロビ
ームのスポットを形成することを特徴とするものであ
る。
に、この発明のマイクロビーム発生装置は、イオン源
と、物点を構成するスリット（以下、物点スリットとい
う）と、入口開口電極および出口開口電極をもつ加速管
と、入口開口電極、中央開口電極および出口開口電極を
もつアインツエルレンズとをイオンビームの軸線上に所
定の間隔で順次配置すると共に、第１の電源によってイ
オン源と物点スリットとの間に所定の電圧を印加し、更
に、第２の電源によって加速管の入口開口電極と出口開
口電極との間に所定の電圧を印加し、更にその上、アイ
ンツエルレンズの中央開口電極とイオン源とを電気的に
接続して同電位にし、加速管を通過したイオンビームが
見掛け上、加速管の入口もしくはその少し手前（イオン
源側）の虚像点からの発散ビームとなり、その発散ビー
ムがアインツエルレンズによって結像されてマイクロビ
ームのスポットを形成することを特徴とするものであ
る。
【０００６】
【作用】この発明において、イオン源より引き出された
イオンビームは、第１の電源によってイオン源と物点ス
リットとの間に印加された所定の電圧Ｖ1 により加速さ
れた後、物点スリットを通過し、半頂角αの発散ビーム
として加速管の入口開口電極に入射し、第２の電源によ
って加速管の入口開口電極と出口開口電極との間に印加
された所定の電圧Ｖ2 によりこの部分に形成された開口
レンズの作用によって、スリットの物点Ａに対応した見
掛け上の像Ｂを入口開口電極の直後に作る。しかし、こ
の像Ｂは加速管の加速電場によるイオン軌跡の湾曲効果
がないと仮定して、入口開口電極のレンズ作用だけを考
慮した場合に想定されるものである。したがって、実際
には加速管に入射するイオンビームは加速管の加速電場
によって引きずられ、Ｂより後方（図１では右方）にず
れた点にクロスオーバーを作るようになる。そして、加
速管を通過したイオンビームは半頂角βの発散ビームと
なるが、そのイオン軌道を直線的にイオン源側に延長す
ると、イオンビームの軸線上のＣ点に反転した虚像Ｃが
形成されるようになる。像Ｂと虚像Ｃとは大きさがほと
んど同じで、像の位置が平行に移動しているだけである
から、加速管のレンズ作用による縮小倍率Ｍは加速管の
入口開口電極のレンズ作用の強さだけで決まるようにな
る。加速管を出た発散ビームはアインツエルレンズによ
って虚像Ｃに対応する像Ｄを結像するようになる。その
場合、アインツエルレンズの中央開口電極とイオン源と
を電気的に接続して同電位にしているので、仮に、加速
管に印加される電圧が変動したとしても、レンズ系に色
収差を引き起こすことはない。
イオンビームは、第１の電源によってイオン源と物点ス
リットとの間に印加された所定の電圧Ｖ1 により加速さ
れた後、物点スリットを通過し、半頂角αの発散ビーム
として加速管の入口開口電極に入射し、第２の電源によ
って加速管の入口開口電極と出口開口電極との間に印加
された所定の電圧Ｖ2 によりこの部分に形成された開口
レンズの作用によって、スリットの物点Ａに対応した見
掛け上の像Ｂを入口開口電極の直後に作る。しかし、こ
の像Ｂは加速管の加速電場によるイオン軌跡の湾曲効果
がないと仮定して、入口開口電極のレンズ作用だけを考
慮した場合に想定されるものである。したがって、実際
には加速管に入射するイオンビームは加速管の加速電場
によって引きずられ、Ｂより後方（図１では右方）にず
れた点にクロスオーバーを作るようになる。そして、加
速管を通過したイオンビームは半頂角βの発散ビームと
なるが、そのイオン軌道を直線的にイオン源側に延長す
ると、イオンビームの軸線上のＣ点に反転した虚像Ｃが
形成されるようになる。像Ｂと虚像Ｃとは大きさがほと
んど同じで、像の位置が平行に移動しているだけである
から、加速管のレンズ作用による縮小倍率Ｍは加速管の
入口開口電極のレンズ作用の強さだけで決まるようにな
る。加速管を出た発散ビームはアインツエルレンズによ
って虚像Ｃに対応する像Ｄを結像するようになる。その
場合、アインツエルレンズの中央開口電極とイオン源と
を電気的に接続して同電位にしているので、仮に、加速
管に印加される電圧が変動したとしても、レンズ系に色
収差を引き起こすことはない。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例のマイクロビーム
発生装置は図１に示されている。この図において、イオ
ン源１と、物点スリット２と、入口開口電極３ａおよび
出口開口電極３ｂをもつ加速管３と、加速管３を出たイ
オンビームを絞る絞り４と、入口開口電極５ａ、中央開
口電極５ｂおよび出口開口電極５ｃをもつアインツエル
レンズ５とがイオンビームの軸線上に所定の間隔で順次
配置されている。イオン源１と物点スリット２との間に
は第１の電源６によって所定の電圧Ｖ1 が印加され、ま
た、加速管３の入口開口電極３ａと出口開口電極３ｂと
の間には第２の電源７によって所定の電圧Ｖ2 が印加さ
れている。更に、アインツエルレンズ５の中央開口電極
５ｂとイオン源１とは電気的に接続され、同電位になっ
ている。８はアインツエルレンズ５によって結像された
マイクロビームの最終の結像点である。アインツエルレ
ンズ５の入口開口電極５ａ、中央開口電極５ｂおよび出
口開口電極５ｃ間の間隔はイオンの加速電圧と同じ大き
さの高電圧を安定に保持するために、充分な大きさに作
られており、そのために、このレンズの球面収差が小さ
くなっている。
しながら説明する。この発明の実施例のマイクロビーム
発生装置は図１に示されている。この図において、イオ
ン源１と、物点スリット２と、入口開口電極３ａおよび
出口開口電極３ｂをもつ加速管３と、加速管３を出たイ
オンビームを絞る絞り４と、入口開口電極５ａ、中央開
口電極５ｂおよび出口開口電極５ｃをもつアインツエル
レンズ５とがイオンビームの軸線上に所定の間隔で順次
配置されている。イオン源１と物点スリット２との間に
は第１の電源６によって所定の電圧Ｖ1 が印加され、ま
た、加速管３の入口開口電極３ａと出口開口電極３ｂと
の間には第２の電源７によって所定の電圧Ｖ2 が印加さ
れている。更に、アインツエルレンズ５の中央開口電極
５ｂとイオン源１とは電気的に接続され、同電位になっ
ている。８はアインツエルレンズ５によって結像された
マイクロビームの最終の結像点である。アインツエルレ
ンズ５の入口開口電極５ａ、中央開口電極５ｂおよび出
口開口電極５ｃ間の間隔はイオンの加速電圧と同じ大き
さの高電圧を安定に保持するために、充分な大きさに作
られており、そのために、このレンズの球面収差が小さ
くなっている。
【０００８】上記実施例において、イオン源１より引き
出されたイオンビームは、イオン源１と物点スリット２
との間に印加された所定の電圧Ｖ1 により加速された
後、物点スリット２を通過し、半頂角αの発散ビームと
して加速管３の入口開口電極３ａに入射し、加速管３の
入口開口電極３ａと出口開口電極３ｂとの間に印加され
た所定の電圧Ｖ2 によりこの部分に形成された開口レン
ズの作用により、物点Ａに対応した見掛け上の像Ｂが入
口開口電極３ａの直後に作られる。しかし、この像Ｂは
加速管３の加速電場によるイオン軌跡の湾曲効果がない
と仮定して、入口開口電極３ａのレンズ作用だけを考慮
した場合に想定されるものである。したがって、実際に
は加速管３に入射するイオンビームは加速管３の加速電
場によって引きずられ、Ｂより右方にずれた点にクロス
オーバーを作るようになる。加速管３を通過したイオン
ビームは半頂角βの発散ビームとなるが、そのイオン軌
道を直線的にイオン源１側に延長すると、イオンビーム
の軸線上のＣ点に反転した虚像Ｃが形成されるようにな
る。像Ｂと虚像Ｃとは大きさがほとんど同じで、像の位
置が平行に移動しているだけであるから、加速管のレン
ズ作用による縮小倍率Ｍは加速管３の入口開口電極３ａ
のレンズ作用の強さだけで決まるようになる。加速管３
を出た発散ビームは絞り４を通過した後、アインツエル
レンズ５によって虚像Ｃに対応する像Ｄとして結像され
るようになる。その場合、アインツエルレンズ５の中央
開口電極５ｂとイオン源１とを電気的に接続して同電位
にしているので、仮に、加速管３に印加される電圧が変
動したとしても、レンズ系に色収差を引き起こすことは
ない。
出されたイオンビームは、イオン源１と物点スリット２
との間に印加された所定の電圧Ｖ1 により加速された
後、物点スリット２を通過し、半頂角αの発散ビームと
して加速管３の入口開口電極３ａに入射し、加速管３の
入口開口電極３ａと出口開口電極３ｂとの間に印加され
た所定の電圧Ｖ2 によりこの部分に形成された開口レン
ズの作用により、物点Ａに対応した見掛け上の像Ｂが入
口開口電極３ａの直後に作られる。しかし、この像Ｂは
加速管３の加速電場によるイオン軌跡の湾曲効果がない
と仮定して、入口開口電極３ａのレンズ作用だけを考慮
した場合に想定されるものである。したがって、実際に
は加速管３に入射するイオンビームは加速管３の加速電
場によって引きずられ、Ｂより右方にずれた点にクロス
オーバーを作るようになる。加速管３を通過したイオン
ビームは半頂角βの発散ビームとなるが、そのイオン軌
道を直線的にイオン源１側に延長すると、イオンビーム
の軸線上のＣ点に反転した虚像Ｃが形成されるようにな
る。像Ｂと虚像Ｃとは大きさがほとんど同じで、像の位
置が平行に移動しているだけであるから、加速管のレン
ズ作用による縮小倍率Ｍは加速管３の入口開口電極３ａ
のレンズ作用の強さだけで決まるようになる。加速管３
を出た発散ビームは絞り４を通過した後、アインツエル
レンズ５によって虚像Ｃに対応する像Ｄとして結像され
るようになる。その場合、アインツエルレンズ５の中央
開口電極５ｂとイオン源１とを電気的に接続して同電位
にしているので、仮に、加速管３に印加される電圧が変
動したとしても、レンズ系に色収差を引き起こすことは
ない。
【０００９】ところで、アインツエルレンズ５を含むレ
ンズ系全体の縮小倍率は、各々のレンズの縮小倍率の積
で与えられる。アインツエルレンズ５での縮小倍率は、
その球面収差による像のボケが問題になるのを避けるた
めに、０．５程度以下にすることは許されないので、全
系の縮小倍率は主に加速管のレンズ作用によって決めら
れることになる。レンズ系全体の縮小倍率Ｍ、角倍率β
／α、ビームエネルギー増大率Ｎ＝（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）／Ｖ
1 の相互間には輝度不変則により、次の関係式が成立す
る。 Ｍ（β／α）Ｎ1/2 ＝１・・・・・・（１） ここで、若し、β／α≒１とすると、Ｍ＝１／Ｎ1/2 と
なる。したがって、一例として、Ｖ1 ＝１０Ｖ、Ｖ1 ＋
Ｖ2 ＝１００ＫＶとすると、Ｎ＝１０4 で、Ｍ＝１０-2
が得られることになる。
ンズ系全体の縮小倍率は、各々のレンズの縮小倍率の積
で与えられる。アインツエルレンズ５での縮小倍率は、
その球面収差による像のボケが問題になるのを避けるた
めに、０．５程度以下にすることは許されないので、全
系の縮小倍率は主に加速管のレンズ作用によって決めら
れることになる。レンズ系全体の縮小倍率Ｍ、角倍率β
／α、ビームエネルギー増大率Ｎ＝（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）／Ｖ
1 の相互間には輝度不変則により、次の関係式が成立す
る。 Ｍ（β／α）Ｎ1/2 ＝１・・・・・・（１） ここで、若し、β／α≒１とすると、Ｍ＝１／Ｎ1/2 と
なる。したがって、一例として、Ｖ1 ＝１０Ｖ、Ｖ1 ＋
Ｖ2 ＝１００ＫＶとすると、Ｎ＝１０4 で、Ｍ＝１０-2
が得られることになる。
【００１０】上記実施例では、１個の加速管を用いてい
るが、加速管を２段に重ねてもよい。その場合、加速管
のレンズ作用による縮小倍率Ｍは各段の加速管の縮小倍
率の積で与えられるので、Ｍ＜１／１００が可能にな
り、非常に小さな縮小倍率を得ることができるようにな
る。また、その際、球面収差に基づく像のボケは、主に
最後の加速管のレンズ作用によって決定されるので、縮
小倍率の余り小さくないレンズ作用をもつ加速管を２段
目に使用すれば、その影響を大幅に抑えることが出来る
ようになり、図２はその実施例を示している。同図にお
いて、９は入口開口電極９ａおよび出口開口電極９ｂを
もつ第１段加速管、１０は入口開口電極１０ａおよび出
口開口電極１０ｂをもつ第２段加速管で、それぞれの加
速管９、１０の入口開口電極９ａ、１０ａおよび出口開
口電極９ｂ、１０ｂの電位は次のように設定されてい
る。 第１段加速管：入口開口電極９ａ＝１０Ｖ 出口開口電極９ｂ＝１０００Ｖ 第２段加速管：入口開口電極１０ａ＝１０００Ｖ 出口開口電極１０ｂ＝１００ＫＶ 各段の加速管における電圧増大率Ｎは共に１０2 であ
る。また、詳しい計算結果によれば、全レンズ系の縮小
倍率Ｍ≒１．８×１０-3で、入射スリットの径を０．０
５ｍｍφとしたとき、最終結像点８で得られるビームス
ポット径は０．０９μｍとなり、球面収差によるビーム
スポットのボケは０．０３μｍとなる。
るが、加速管を２段に重ねてもよい。その場合、加速管
のレンズ作用による縮小倍率Ｍは各段の加速管の縮小倍
率の積で与えられるので、Ｍ＜１／１００が可能にな
り、非常に小さな縮小倍率を得ることができるようにな
る。また、その際、球面収差に基づく像のボケは、主に
最後の加速管のレンズ作用によって決定されるので、縮
小倍率の余り小さくないレンズ作用をもつ加速管を２段
目に使用すれば、その影響を大幅に抑えることが出来る
ようになり、図２はその実施例を示している。同図にお
いて、９は入口開口電極９ａおよび出口開口電極９ｂを
もつ第１段加速管、１０は入口開口電極１０ａおよび出
口開口電極１０ｂをもつ第２段加速管で、それぞれの加
速管９、１０の入口開口電極９ａ、１０ａおよび出口開
口電極９ｂ、１０ｂの電位は次のように設定されてい
る。 第１段加速管：入口開口電極９ａ＝１０Ｖ 出口開口電極９ｂ＝１０００Ｖ 第２段加速管：入口開口電極１０ａ＝１０００Ｖ 出口開口電極１０ｂ＝１００ＫＶ 各段の加速管における電圧増大率Ｎは共に１０2 であ
る。また、詳しい計算結果によれば、全レンズ系の縮小
倍率Ｍ≒１．８×１０-3で、入射スリットの径を０．０
５ｍｍφとしたとき、最終結像点８で得られるビームス
ポット径は０．０９μｍとなり、球面収差によるビーム
スポットのボケは０．０３μｍとなる。
【００１１】
【発明の効果】この発明においては、上記のように入射
イオンビームが加速管の入口開口電極において加速管に
入射した直後のまだエネルギーが低い間に強いレンズ作
用を受けるために、ビームサイズの縮小効果が大きくな
るうえ、球面収差が従来のものに比べて格段に小さくな
る利点がある。したがつて、１０-2程度の大幅な縮小率
を、球面収差をそれほど大きくすることなしに実現する
ことができる。また、加速管の後に設置されているアイ
ンツエルレンズにかける電圧を加速管にかける電圧と同
じにしているので、加速電圧のゆらぎに起因する色収差
を完全に除去することが出来る。そのため、１００Ｋｅ
Ｖ程度のエネルギーのイオンビームに対して、径０．１
μｍのマイクロビームを発生することが可能になる。
イオンビームが加速管の入口開口電極において加速管に
入射した直後のまだエネルギーが低い間に強いレンズ作
用を受けるために、ビームサイズの縮小効果が大きくな
るうえ、球面収差が従来のものに比べて格段に小さくな
る利点がある。したがつて、１０-2程度の大幅な縮小率
を、球面収差をそれほど大きくすることなしに実現する
ことができる。また、加速管の後に設置されているアイ
ンツエルレンズにかける電圧を加速管にかける電圧と同
じにしているので、加速電圧のゆらぎに起因する色収差
を完全に除去することが出来る。そのため、１００Ｋｅ
Ｖ程度のエネルギーのイオンビームに対して、径０．１
μｍのマイクロビームを発生することが可能になる。
【図１】この発明の実施例の説明図
【図２】この発明のその他の実施例の説明図
【図３】従来のマイクロビーム発生装置を示す説明図
１・・・・・・イオン源 ２・・・・・・物点スリット ３・・・・・・加速管 ３ａ・・・・・加速管の入口開口電極 ３ｂ・・・・・加速管の出口開口電極 ４・・・・・・絞り ５・・・・・・アインツエルレンズ ５ａ・・・・・アインツエルレンズの入口開口電極 ５ｂ・・・・・アインツエルレンズの中央開口電極 ５ｃ・・・・・アインツエルレンズの出口開口電極 ６・・・・・・第１の電源 ７・・・・・・第２の電源 ８・・・・・・マイクロビームの結像点
Claims (1)
- 【請求項１】イオン源と、物点を構成するスリットと、
入口開口電極および出口開口電極をもつ加速管と、入口
開口電極、中央開口電極および出口開口電極をもつアイ
ンツエルレンズとをイオンビームの軸線上に所定の間隔
で順次配置すると共に、第１の電源によってイオン源と
物点を構成するスリットとの間に所定の電圧を印加し、
更に、第２の電源によって加速管の入口開口電極と出口
開口電極との間に所定の電圧を印加し、更にその上、ア
インツエルレンズの中央開口電極とイオン源とを電気的
に接続して同電位にし、加速管を通過したイオンビーム
が見掛け上、加速管の入口もしくはその少し手前の虚像
点からの発散ビームとなり、その発散ビームがアインツ
エルレンズによって結像されてマイクロビームのスポッ
トを形成することを特徴とするマイクロビーム発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3317505A JPH05128985A (ja) | 1991-11-04 | 1991-11-04 | マイクロビーム発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3317505A JPH05128985A (ja) | 1991-11-04 | 1991-11-04 | マイクロビーム発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05128985A true JPH05128985A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=18088985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3317505A Pending JPH05128985A (ja) | 1991-11-04 | 1991-11-04 | マイクロビーム発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05128985A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007059297A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Japan Atomic Energy Agency | 小型高エネルギー集束イオンビーム装置 |
| JP2007123000A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Japan Atomic Energy Agency | 折り返しタンデム型静電加速器を用いたコンパクト高エネルギー集束イオンビーム形成装置 |
| JP2008166137A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置 |
-
1991
- 1991-11-04 JP JP3317505A patent/JPH05128985A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4665117B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2011-04-06 | 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 | 小型高エネルギー集束イオンビーム装置 |
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