JPH05128439A - 薄膜磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05128439A JPH05128439A JP28484091A JP28484091A JPH05128439A JP H05128439 A JPH05128439 A JP H05128439A JP 28484091 A JP28484091 A JP 28484091A JP 28484091 A JP28484091 A JP 28484091A JP H05128439 A JPH05128439 A JP H05128439A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- film magnetic
- substrate
- glass
- adhesive layer
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、薄膜磁気ヘッド基板に保護板を接
着する際、接着剤として用いられるガラスに気泡が発生
しないようにするためになされた。 【構成】薄膜磁気ヘッド基板表面にＣｒ，Ｔｉ，Ｗなど
の金属層９を形成し、これを（真空）熱処理したのちガ
ラス４を塗布した保護板５を接着する。
着する際、接着剤として用いられるガラスに気泡が発生
しないようにするためになされた。 【構成】薄膜磁気ヘッド基板表面にＣｒ，Ｔｉ，Ｗなど
の金属層９を形成し、これを（真空）熱処理したのちガ
ラス４を塗布した保護板５を接着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は薄膜磁気ヘッドの製造
方法に関し、特に、薄膜磁気ヘッドパターンを形成され
た基板上に保護基板を溶着することを必要とする薄膜磁
気ヘッドの保護基板溶着工程の改良に関する。
方法に関し、特に、薄膜磁気ヘッドパターンを形成され
た基板上に保護基板を溶着することを必要とする薄膜磁
気ヘッドの保護基板溶着工程の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドと記録媒体が接触して記録再
生を行う方式の磁気ヘッドは長時間磁気媒体と接触する
ため、摺動面の磨耗が問題となる。そこで一般的に薄膜
磁気ヘッドは図４に示す構造で耐磨耗性が良く、かつ薄
膜磁気ヘッドパターン基板との線膨張係数がマッチング
しているセラミック基板５をヘッド保護板として薄膜磁
気ヘッドパターン上に接着剤を用いて接着し、薄膜磁気
ヘッドの耐磨耗性を向上させることが一般的に行われて
いる。
生を行う方式の磁気ヘッドは長時間磁気媒体と接触する
ため、摺動面の磨耗が問題となる。そこで一般的に薄膜
磁気ヘッドは図４に示す構造で耐磨耗性が良く、かつ薄
膜磁気ヘッドパターン基板との線膨張係数がマッチング
しているセラミック基板５をヘッド保護板として薄膜磁
気ヘッドパターン上に接着剤を用いて接着し、薄膜磁気
ヘッドの耐磨耗性を向上させることが一般的に行われて
いる。
【０００３】接着剤としては無機系接着剤（特にガラ
ス）が用いられるが、薄膜磁気ヘッドは、高温にさらさ
れると磁気特性が劣化するため比較的低温（６００℃以
下）で接着する必要がある。低温でも充分に強い強度で
ガラス接着するために、あらかじめ接着面の全面にガラ
スを塗布またはスパッタリングで成膜する方法が考えら
れている。
ス）が用いられるが、薄膜磁気ヘッドは、高温にさらさ
れると磁気特性が劣化するため比較的低温（６００℃以
下）で接着する必要がある。低温でも充分に強い強度で
ガラス接着するために、あらかじめ接着面の全面にガラ
スを塗布またはスパッタリングで成膜する方法が考えら
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】塗布法は、粉末ガラス
を有機溶剤と混合してペースト状にし、これを塗布印刷
したのち媒体である有機溶剤を蒸発させガラスを溶解さ
せが、熱処理時にガラス内部に気泡が生じ、できあがっ
た磁気ヘッドの摺動面（ガラス接着剤層）に穴が開いて
しまうことが多かった。このように摺動面に穴があると
耐湿面特性の悪化やテープ走行時のテープへの傷等の問
題が発生する。
を有機溶剤と混合してペースト状にし、これを塗布印刷
したのち媒体である有機溶剤を蒸発させガラスを溶解さ
せが、熱処理時にガラス内部に気泡が生じ、できあがっ
た磁気ヘッドの摺動面（ガラス接着剤層）に穴が開いて
しまうことが多かった。このように摺動面に穴があると
耐湿面特性の悪化やテープ走行時のテープへの傷等の問
題が発生する。
【０００５】一方、スパッタ方式はＳｉＯ2 等無機系材
料の保護膜を成膜する方法と同様に工程が長くなりコス
ト的にも不利である。
料の保護膜を成膜する方法と同様に工程が長くなりコス
ト的にも不利である。
【０００６】塗布法で気泡が発生する原因は、上部コア
のパシベーション層のＳｉＯ2 とガラスとが溶着時に高
温で反応するために生じるものである。そこで、この気
泡発生防止と、ＳｉＯ2 とガラスとの接着性を上げ応力
を低下させるための解決策としてパシベーション層のＳ
ｉＯ2 の上部に接着層としてＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等の金属層
を設けることにより、ＳｉＯ2 とガラスとの反応性気泡
の多くは抑えることができた。しかしこの方法でも、ガ
ラス接着層の気泡を皆無にすることができなかった。そ
の結果、気泡による不良が発生し、製品歩留りの低下が
避けられなかった。
のパシベーション層のＳｉＯ2 とガラスとが溶着時に高
温で反応するために生じるものである。そこで、この気
泡発生防止と、ＳｉＯ2 とガラスとの接着性を上げ応力
を低下させるための解決策としてパシベーション層のＳ
ｉＯ2 の上部に接着層としてＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等の金属層
を設けることにより、ＳｉＯ2 とガラスとの反応性気泡
の多くは抑えることができた。しかしこの方法でも、ガ
ラス接着層の気泡を皆無にすることができなかった。そ
の結果、気泡による不良が発生し、製品歩留りの低下が
避けられなかった。
【０００７】この発明は、ＳｉＯ2 とガラスとの反応性
気泡を皆無にし、且つ、ヘッドの内部応力の少ない薄膜
磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
気泡を皆無にし、且つ、ヘッドの内部応力の少ない薄膜
磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、薄膜磁気ヘ
ッドの製造工程において、ヘッドパターンを形成した基
板上にＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等で金属層を形成し、この金属層
を熱処理もしくは真空熱処理したのち、この基板とヘッ
ド保護板とをガラスの溶着によって接着することを特徴
とする。
ッドの製造工程において、ヘッドパターンを形成した基
板上にＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等で金属層を形成し、この金属層
を熱処理もしくは真空熱処理したのち、この基板とヘッ
ド保護板とをガラスの溶着によって接着することを特徴
とする。
【０００９】
【作用】この発明では、ヘッドパターンを形成した基板
上にＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等の金属層を形成して熱処理した。
これによってガラスとの接着性が良くなり薄膜磁気ヘッ
ドパターン基板と保護板との接着が容易になる。さら
に、これらの金属とガラスとは不活性であるためガラス
接着層部での気泡はなくなり、かつ薄膜磁気ヘッド自体
の応力を低下させるようになる。
上にＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等の金属層を形成して熱処理した。
これによってガラスとの接着性が良くなり薄膜磁気ヘッ
ドパターン基板と保護板との接着が容易になる。さら
に、これらの金属とガラスとは不活性であるためガラス
接着層部での気泡はなくなり、かつ薄膜磁気ヘッド自体
の応力を低下させるようになる。
【００１０】
【実施例】本発明が適用されるマルチトラック薄膜磁気
ヘッドのヘッドパターンの断面概略図を図１に示す。さ
らに、図３はこの薄膜磁気ヘッドのパターンが形成され
た基板の断面図であり、図２は保護板の断面図である。
ヘッドのヘッドパターンの断面概略図を図１に示す。さ
らに、図３はこの薄膜磁気ヘッドのパターンが形成され
た基板の断面図であり、図２は保護板の断面図である。
【００１１】まず、Ｍｎ−Ｚｎフェライト基板１に、Ａ
ｌ2 Ｏ3でギャップ層６をスパッタリング法により形成
する。この上に、絶縁層８，コイル７，絶縁層８，上部
コア層２，パシベーション層３，金属接着層９を順次積
層形成してゆく。金属接着層９はＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等から
なっている。これによって薄膜磁気ヘッドパターン基板
１１（図３）を作製する。
ｌ2 Ｏ3でギャップ層６をスパッタリング法により形成
する。この上に、絶縁層８，コイル７，絶縁層８，上部
コア層２，パシベーション層３，金属接着層９を順次積
層形成してゆく。金属接着層９はＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等から
なっている。これによって薄膜磁気ヘッドパターン基板
１１（図３）を作製する。
【００１２】一方、Ｍｎ−Ｚｎフェライト基板５上にガ
ラスペースト層４を印刷・焼成することにより、保護板
１０を作製する。
ラスペースト層４を印刷・焼成することにより、保護板
１０を作製する。
【００１３】前記工程で作製された薄膜磁気ヘッドパタ
ーン基板１１を真空中で４００〜６００℃の温度で熱処
理する。熱処理された薄膜磁気ヘッドパターン基板１１
を前記保護板１０と溶着させることにより、図１に示す
マルチトラック薄膜磁気ヘッドを作製する。
ーン基板１１を真空中で４００〜６００℃の温度で熱処
理する。熱処理された薄膜磁気ヘッドパターン基板１１
を前記保護板１０と溶着させることにより、図１に示す
マルチトラック薄膜磁気ヘッドを作製する。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
金属接着層を塗布したのち（真空）熱処理することによ
り、保護板接着後のガラス接着層に気泡が含まれること
がなくなり、簡略な工程で気泡を皆無にすることができ
る。また、金属接着層とガラスとは接着性がよいため内
部応力が小さい理想的な薄膜磁気ヘッドを作製すること
ができる。これにより、コスト的に安価で高信頼性の薄
膜磁気ヘッドを提供することができる。
金属接着層を塗布したのち（真空）熱処理することによ
り、保護板接着後のガラス接着層に気泡が含まれること
がなくなり、簡略な工程で気泡を皆無にすることができ
る。また、金属接着層とガラスとは接着性がよいため内
部応力が小さい理想的な薄膜磁気ヘッドを作製すること
ができる。これにより、コスト的に安価で高信頼性の薄
膜磁気ヘッドを提供することができる。
【図１】この発明が適用される薄膜磁気ヘッドの断面図
【図２】同薄膜磁気ヘッドの保護板の断面図
【図３】同薄膜磁気ヘッドのパターン基板の断面図
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの断面図
１−基板 ２−上部コア ３−パシベーション膜 ４−ガラス接着層 ５−保護板 ９−金属接着層 １０−（ガラスを塗布された）保護板 １１−薄膜磁気ヘッドパターン基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉川 光彦 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ヤープ株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 薄膜磁気ヘッドの製造工程において、 ヘッドパターンを形成した基板上にＣｒ，Ｔｉ，Ｗ等で
金属層を形成し、この金属層を熱処理もしくは真空熱処
理したのち、この基板とヘッド保護板とをガラスの溶着
によって接着することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28484091A JPH05128439A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28484091A JPH05128439A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05128439A true JPH05128439A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17683702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28484091A Pending JPH05128439A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05128439A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8574729B2 (en) * | 2008-04-23 | 2013-11-05 | Tdk Corporation | Magnetic structure including two ferromagnetically coupled magnetic layers and method of manufacturing same |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP28484091A patent/JPH05128439A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8574729B2 (en) * | 2008-04-23 | 2013-11-05 | Tdk Corporation | Magnetic structure including two ferromagnetically coupled magnetic layers and method of manufacturing same |
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