JPH0511991Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0511991Y2 JPH0511991Y2 JP1987061120U JP6112087U JPH0511991Y2 JP H0511991 Y2 JPH0511991 Y2 JP H0511991Y2 JP 1987061120 U JP1987061120 U JP 1987061120U JP 6112087 U JP6112087 U JP 6112087U JP H0511991 Y2 JPH0511991 Y2 JP H0511991Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- vacuum
- vacuum chuck
- adsorbed
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、ウエハやマスクブランクス等の被吸
着体を吸着・固定する真空チヤツク装置に係り、
特に大きさまたは形状の異なる複数種の被吸着体
に対応可能であると共にいずれの種類の被吸着体
であつてもその被吸着面の縁部近傍のみに接触し
て吸着・固定するようにした真空チヤツク装置に
関するものである。
着体を吸着・固定する真空チヤツク装置に係り、
特に大きさまたは形状の異なる複数種の被吸着体
に対応可能であると共にいずれの種類の被吸着体
であつてもその被吸着面の縁部近傍のみに接触し
て吸着・固定するようにした真空チヤツク装置に
関するものである。
ウエハやマスクブランクスのチヤツクは、ウエ
ハ等の表面にチヤツク部材が接触すると、ウエハ
等にゴミが付着したり、またウエハ等が損傷を受
けたりして問題となる場合があり、このような場
合には縁部のみを支持してチヤツクする必要があ
る。また、ウエハやマスクブランクスは種々のサ
イズのものが用いられている。そこで、従来、第
5および6図に示すように、外周にV溝を有する
ローラ1をそれぞれ3個ずつ取付けたアーム2,
3を対向させ、これらのアーム2,3を矢印4,
5で示す方向へ移動可能にし、マスクブランクス
6などの大きさが異なつていても、その縁部を保
持できるようにしたチヤツク装置を用いていた。
ハ等の表面にチヤツク部材が接触すると、ウエハ
等にゴミが付着したり、またウエハ等が損傷を受
けたりして問題となる場合があり、このような場
合には縁部のみを支持してチヤツクする必要があ
る。また、ウエハやマスクブランクスは種々のサ
イズのものが用いられている。そこで、従来、第
5および6図に示すように、外周にV溝を有する
ローラ1をそれぞれ3個ずつ取付けたアーム2,
3を対向させ、これらのアーム2,3を矢印4,
5で示す方向へ移動可能にし、マスクブランクス
6などの大きさが異なつていても、その縁部を保
持できるようにしたチヤツク装置を用いていた。
ところで、第5および6図に示すチヤツク装置
は、ローラ1が回転したり、アーム2,3を図示
しない駆動装置で動かしたりする必要があるた
め、クリーンルーム内で使用される装置として最
も問題にされるゴミの発生原因となり、また複雑
な構造で高価となり、チヤツク精度も劣り易い等
の問題があつた。
は、ローラ1が回転したり、アーム2,3を図示
しない駆動装置で動かしたりする必要があるた
め、クリーンルーム内で使用される装置として最
も問題にされるゴミの発生原因となり、また複雑
な構造で高価となり、チヤツク精度も劣り易い等
の問題があつた。
本考案は、前述したような問題を解決するた
め、真空チヤツク装置において、異なる大きさま
たは形状の被吸着体の被吸着面のそれぞれの縁部
近傍に対応して形成されたランドを有する複数組
の真空チヤツク溝と、各組の真空チヤツク溝を選
択的に真空源に接続する切換弁とを備え、真空チ
ヤツク溝のランドを各組毎に内方に位置するもの
より外方に位置するものを順次高くしたものであ
る。
め、真空チヤツク装置において、異なる大きさま
たは形状の被吸着体の被吸着面のそれぞれの縁部
近傍に対応して形成されたランドを有する複数組
の真空チヤツク溝と、各組の真空チヤツク溝を選
択的に真空源に接続する切換弁とを備え、真空チ
ヤツク溝のランドを各組毎に内方に位置するもの
より外方に位置するものを順次高くしたものであ
る。
被吸着体が小さいためまたはその形状から被吸
着面の縁部が内方に位置する組の真空チヤツク溝
に対応する場合はその組の真空チヤツク溝のみを
真空源に接続して被吸着体を吸着・固定する。ま
た、被吸着体が大きいためまたはその形状から被
吸着面の縁部が外方に位置する組の真空チヤツク
溝に対応する場合はその組のみを真空源に接続し
て吸着・固定する。
着面の縁部が内方に位置する組の真空チヤツク溝
に対応する場合はその組の真空チヤツク溝のみを
真空源に接続して被吸着体を吸着・固定する。ま
た、被吸着体が大きいためまたはその形状から被
吸着面の縁部が外方に位置する組の真空チヤツク
溝に対応する場合はその組のみを真空源に接続し
て吸着・固定する。
このように被吸着体の大きさまたは形状に適合
している組の真空チヤツク溝のみを真空源に接続
することにより、大きさまたは形状の異なる被吸
着体を、それらの被吸着面の縁部近傍のみに接触
して吸着・固定する。
している組の真空チヤツク溝のみを真空源に接続
することにより、大きさまたは形状の異なる被吸
着体を、それらの被吸着面の縁部近傍のみに接触
して吸着・固定する。
以下本考案の一実施例を示す第1図ないし第2
図について説明する。10はチヤツク本体で、図
示しない駆動装置により移動可能に取付けられた
アーム11の先端などに設けられている。
図について説明する。10はチヤツク本体で、図
示しない駆動装置により移動可能に取付けられた
アーム11の先端などに設けられている。
チヤツク本体10の中央部10aは、第2図に
示すように、くぼんでいる。この中央部10aの
第1および2図において左右には、内方から外方
へ階段状に順次高く設定された複数組のランド1
3,14,15がそれぞれ形成されている。各ラ
ンド間の高さの差は0.02〜0.05mm程度あればよ
く、あまり大きくする必要はない。また、最も内
方のランド13と中央部10aとの高さの差は第
1図に示すように各ランド13,14,15にそ
れぞれ置かれた被吸着体6a,6b,6c自身の
たわみによつてこれらの被吸着体6a,6b,6
cが中央部10aに接触しない程度であればよ
い。
示すように、くぼんでいる。この中央部10aの
第1および2図において左右には、内方から外方
へ階段状に順次高く設定された複数組のランド1
3,14,15がそれぞれ形成されている。各ラ
ンド間の高さの差は0.02〜0.05mm程度あればよ
く、あまり大きくする必要はない。また、最も内
方のランド13と中央部10aとの高さの差は第
1図に示すように各ランド13,14,15にそ
れぞれ置かれた被吸着体6a,6b,6c自身の
たわみによつてこれらの被吸着体6a,6b,6
cが中央部10aに接触しない程度であればよ
い。
各ランド13,14,15には、それぞれ真空
チヤツク溝16,17,18が設けられている。
これらの真空チヤツク溝16,17,18は切換
弁19,20,21を介して真空源22に接続さ
れている。なお、23は真空源22からの真空圧
を開閉するための手動開閉弁、24は目視用の真
空ゲージ、25はチヤツクのON・OFFを自動的
に検知するための真空スイツチである。
チヤツク溝16,17,18が設けられている。
これらの真空チヤツク溝16,17,18は切換
弁19,20,21を介して真空源22に接続さ
れている。なお、23は真空源22からの真空圧
を開閉するための手動開閉弁、24は目視用の真
空ゲージ、25はチヤツクのON・OFFを自動的
に検知するための真空スイツチである。
前記ランド13,14,15および真空チヤツ
ク溝16,17,18は、第1図に示すように、
矛じめ大きさが判明していて大きさの異なる被吸
着体6a,6b,6cの縁部近傍に対応し、各ラ
ンド13,14,15は各被吸着体6a,6b,
6cの被吸着面である裏面の縁部近傍の限られた
狭い範囲にのみ接触するように形成されている。
ク溝16,17,18は、第1図に示すように、
矛じめ大きさが判明していて大きさの異なる被吸
着体6a,6b,6cの縁部近傍に対応し、各ラ
ンド13,14,15は各被吸着体6a,6b,
6cの被吸着面である裏面の縁部近傍の限られた
狭い範囲にのみ接触するように形成されている。
次いで本装置の作用について説明する。第1図
に示す最も小さい被吸着体6aを吸着・固定する
場合は、これに対応しているランド13および真
空チヤツク溝16の上に被吸着体6aを置き、切
換弁19を開いて被吸着体6aを吸着・固定す
る。また、中間または最も大きな被吸着体6b,
6cを吸着・固定する場合は、これらに対応して
いるランド14または15および真空チヤツク溝
17または18の上に被吸着体6bまたは6cを
置き、切換弁20または21を開いて被吸着体6
bまたは6cを吸着・固定する。
に示す最も小さい被吸着体6aを吸着・固定する
場合は、これに対応しているランド13および真
空チヤツク溝16の上に被吸着体6aを置き、切
換弁19を開いて被吸着体6aを吸着・固定す
る。また、中間または最も大きな被吸着体6b,
6cを吸着・固定する場合は、これらに対応して
いるランド14または15および真空チヤツク溝
17または18の上に被吸着体6bまたは6cを
置き、切換弁20または21を開いて被吸着体6
bまたは6cを吸着・固定する。
そこで、大きさの異なる被吸着体6a,6c,
6cは、いずれの場合も被吸着面である裏面の縁
部近傍がわずかにランド13,14または15に
接触するのみであり、各被吸着体6a,6b,6
cに対応しているランド13,14または15よ
り内方に位置するランド13,14や中央部10
aには接触しないため、裏面へのゴミの付着や接
触による裏面の損傷は生じない。
6cは、いずれの場合も被吸着面である裏面の縁
部近傍がわずかにランド13,14または15に
接触するのみであり、各被吸着体6a,6b,6
cに対応しているランド13,14または15よ
り内方に位置するランド13,14や中央部10
aには接触しないため、裏面へのゴミの付着や接
触による裏面の損傷は生じない。
また、チヤツク部には可動部がないので、ゴミ
の発生は少なく、チヤツク部から生ずるゴミによ
つて被吸着体6a,6b,6cを汚染することも
ほとんどない。
の発生は少なく、チヤツク部から生ずるゴミによ
つて被吸着体6a,6b,6cを汚染することも
ほとんどない。
第3および4図は、本考案の他の実施例を示す
もので、ウエハのような略円板状の被吸着体26
a等の外周近傍の全周に対応するランド27,2
8,29を有する円形のチヤツク本体30とし、
各ランド27,28,29に円弧状の真空チヤツ
ク溝31,32,33を設けたものである。
もので、ウエハのような略円板状の被吸着体26
a等の外周近傍の全周に対応するランド27,2
8,29を有する円形のチヤツク本体30とし、
各ランド27,28,29に円弧状の真空チヤツ
ク溝31,32,33を設けたものである。
このようにチヤツク本体、ランドおよび真空チ
ヤツク溝の形状や大きさは被吸着体の大きさや形
状に合わせ、さらには真空チヤツクによる被吸着
体の平面度矯正に適した形状および配置にするな
ど、種々変更可能である。
ヤツク溝の形状や大きさは被吸着体の大きさや形
状に合わせ、さらには真空チヤツクによる被吸着
体の平面度矯正に適した形状および配置にするな
ど、種々変更可能である。
以上述べたように本考案によれば、被吸着体へ
の接触をその縁部近傍のわずかな範囲に限定しつ
つ、大きさまたは形状の異なる複数種の被吸着体
をそれぞれ保持することができ、またチヤツク部
は可動部を持たずシンプルな構造であるため、ゴ
ミの発生が少なく、被吸着体の汚染や損傷を最小
限に押えることができ、また装置は安価に製作で
きると共にチヤツク精度を容易に高めることがで
きるなどの効果が得られる。
の接触をその縁部近傍のわずかな範囲に限定しつ
つ、大きさまたは形状の異なる複数種の被吸着体
をそれぞれ保持することができ、またチヤツク部
は可動部を持たずシンプルな構造であるため、ゴ
ミの発生が少なく、被吸着体の汚染や損傷を最小
限に押えることができ、また装置は安価に製作で
きると共にチヤツク精度を容易に高めることがで
きるなどの効果が得られる。
第1図は本考案の一実施例を示すチヤツク部の
平面図とそれに接続されている真空系の回路を示
す図、第2図は第1図の−線による拡大断面
図、第3図は本考案の他の実施例を示すチヤツク
部の平面図、第4図は第3図の−線による断
面図、第5図は従来のチヤツク装置の一例を示す
要部平面図、第6図は第5図の−線による断
面図である。 6a,6b,6c,26a……被吸着体、1
0,30……チヤツク本体、13,14,15,
27,28,29……ランド、16,17,1
8,31,32,33……真空チヤツク溝、1
9,20,21……切換弁、22……真空源。
平面図とそれに接続されている真空系の回路を示
す図、第2図は第1図の−線による拡大断面
図、第3図は本考案の他の実施例を示すチヤツク
部の平面図、第4図は第3図の−線による断
面図、第5図は従来のチヤツク装置の一例を示す
要部平面図、第6図は第5図の−線による断
面図である。 6a,6b,6c,26a……被吸着体、1
0,30……チヤツク本体、13,14,15,
27,28,29……ランド、16,17,1
8,31,32,33……真空チヤツク溝、1
9,20,21……切換弁、22……真空源。
Claims (1)
- 真空チヤツク装置において、異なる大きさまた
は形状の被吸着体の被吸着面のそれぞれの縁部近
傍に対応して形成されたランドを有する複数組の
真空チヤツク溝と、各組の真空チヤツク溝を選択
的に真空源に接続する切換弁とを備え、前記真空
チヤツク溝のランドは各組毎に内方より外方に位
置するものの方が順次高く設定されていることを
特徴とする真空チヤツク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987061120U JPH0511991Y2 (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987061120U JPH0511991Y2 (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63169286U JPS63169286U (ja) | 1988-11-04 |
JPH0511991Y2 true JPH0511991Y2 (ja) | 1993-03-25 |
Family
ID=30894162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987061120U Expired - Lifetime JPH0511991Y2 (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0511991Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6305272B2 (ja) * | 2014-08-14 | 2018-04-04 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5718991B2 (ja) * | 1978-09-06 | 1982-04-20 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5338291Y2 (ja) * | 1973-08-14 | 1978-09-16 | ||
JPS5718991U (ja) * | 1980-07-02 | 1982-01-30 |
-
1987
- 1987-04-22 JP JP1987061120U patent/JPH0511991Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5718991B2 (ja) * | 1978-09-06 | 1982-04-20 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63169286U (ja) | 1988-11-04 |
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