JPH0511146A - 固体レーザ装置における光フアイバ入射補正装置 - Google Patents
固体レーザ装置における光フアイバ入射補正装置Info
- Publication number
- JPH0511146A JPH0511146A JP16068791A JP16068791A JPH0511146A JP H0511146 A JPH0511146 A JP H0511146A JP 16068791 A JP16068791 A JP 16068791A JP 16068791 A JP16068791 A JP 16068791A JP H0511146 A JPH0511146 A JP H0511146A
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- Japan
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- condenser lens
- laser
- optical fiber
- laser beam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザビームをファイバの受光口の中心に自
動的に合致させる。 【構成】 レーザ媒質1とこのレーザ媒質1に励起光を
投入するための励起ランプ2を備えたレーザ発振器3か
ら出力されたレーザビームを、集光レンズ4を介して光
ファイバ5の受光口10に入射するレーザ装置におい
て、前記レーザ発振器3から出力されるレーザビームを
分岐して前記集光レンズ4と同一特性の修正用集光レン
ズ7に入射し、この修正用レンズ7を通過したレーザビ
ームを検出部8で受け、検出部8によりレーザ光軸と直
交した面でのずれを検出し、前記検出部及び修正用集光
レンズ7を光軸と直交する方向に移動する第1アクチュ
エータ9を作動させて補正すべき方向及び距離情報を得
て、その後、その移動量と同一だけ第2アクチュエータ
11で前記光ファイバの受光口10及び集光レンズを光
軸と直交する方向に移動する。
動的に合致させる。 【構成】 レーザ媒質1とこのレーザ媒質1に励起光を
投入するための励起ランプ2を備えたレーザ発振器3か
ら出力されたレーザビームを、集光レンズ4を介して光
ファイバ5の受光口10に入射するレーザ装置におい
て、前記レーザ発振器3から出力されるレーザビームを
分岐して前記集光レンズ4と同一特性の修正用集光レン
ズ7に入射し、この修正用レンズ7を通過したレーザビ
ームを検出部8で受け、検出部8によりレーザ光軸と直
交した面でのずれを検出し、前記検出部及び修正用集光
レンズ7を光軸と直交する方向に移動する第1アクチュ
エータ9を作動させて補正すべき方向及び距離情報を得
て、その後、その移動量と同一だけ第2アクチュエータ
11で前記光ファイバの受光口10及び集光レンズを光
軸と直交する方向に移動する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は固体レーザ装置における
熱レンズ効果や出力変動によってレーザビームがずれる
ことを補正する装置に関する。
熱レンズ効果や出力変動によってレーザビームがずれる
ことを補正する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、励起ランプでレーザ媒質を励起
して、レーザ発振させる形式のレーザ共振器では、熱的
影響によってレーザビームがずれることがある。この現
象はレーザ媒質が熱によって膨張し、これによりレーザ
媒質の位置がずれるのが原因である。このような熱的影
響やその他の外乱要因によってレーザビームがずれ、照
射平面上のビーム照射位置が経時的に変動することがあ
る。
して、レーザ発振させる形式のレーザ共振器では、熱的
影響によってレーザビームがずれることがある。この現
象はレーザ媒質が熱によって膨張し、これによりレーザ
媒質の位置がずれるのが原因である。このような熱的影
響やその他の外乱要因によってレーザビームがずれ、照
射平面上のビーム照射位置が経時的に変動することがあ
る。
【0003】そして、照射平面上のビーム照射位置が変
動すると光ファイバへのレーザ光の伝達が不十分とな
り、効率的な利用をすることができないという問題が生
じる。このため従来は、出力を抑制したり、レーザ媒質
の冷却装置を改善する等してレーザ媒質の過熱を防止
し、レーザビームの照射位置を安定化させるようにして
いたが、必要な出力が得られなかったり、装置が大型化
する等の問題がある。しかも、これらの方法では変動幅
を少なくすることはできても、完全に安定化させること
はできないため変動に対応して光学系を常に調整する必
要がある。
動すると光ファイバへのレーザ光の伝達が不十分とな
り、効率的な利用をすることができないという問題が生
じる。このため従来は、出力を抑制したり、レーザ媒質
の冷却装置を改善する等してレーザ媒質の過熱を防止
し、レーザビームの照射位置を安定化させるようにして
いたが、必要な出力が得られなかったり、装置が大型化
する等の問題がある。しかも、これらの方法では変動幅
を少なくすることはできても、完全に安定化させること
はできないため変動に対応して光学系を常に調整する必
要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この調整は極
めて面倒であり、レーザ装置の稼働中は専任の技術者が
常時監視しなければならないという問題がある。
めて面倒であり、レーザ装置の稼働中は専任の技術者が
常時監視しなければならないという問題がある。
【0005】本発明は前記事項に鑑みてなされたもの
で、レーザビームの平面上の照射位置が変動しても自動
的に光ファイバの中心にレーザビームを入射することが
できるようにした光ファイバ入射補正装置を提供するこ
とを技術的課題とする。
で、レーザビームの平面上の照射位置が変動しても自動
的に光ファイバの中心にレーザビームを入射することが
できるようにした光ファイバ入射補正装置を提供するこ
とを技術的課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は前記技術的課題
を解決するために、以下のような構成とした。すなわち
本発明はレーザ媒質とこのレーザ媒質に励起光を投入す
るための励起ランプを備えたレーザ発振器から出力され
たレーザビームを、集光レンズを介して光ファイバの受
光口に入射するレーザ装置において、即ち、前記レーザ
発振器から出力されるレーザビームの一部を分割する分
岐する分岐器と、この分岐器の次段に設けられ前記集光
レンズと同一特性の修正用集光レンズと、この修正用集
光レンズを通過したレーザビームを受光する検出部と、
前記検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する方向
に移動する第1アクチュエータと、前記光ファイバの受
光口及び集光レンズを光軸と直交する方向に移動する第
2アクチュエータと、前記検出部の信号を受けて前記第
1及び第2アクチュエータを制御する演算部とを備え、
前記演算部は、前記修正用集光レンズにより検出部上に
照射されたレーザビームの照射位置がずれた場合これを
検出し、検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する
方向に移動させ、このときの検出部及び修正用集光レン
ズの移動量と同一量、前記集光レンズ及び光ファイバの
受光口を移動させるよう構成したことを特徴とする固体
レーザ装置における光ファイバ入射補正装置である。
を解決するために、以下のような構成とした。すなわち
本発明はレーザ媒質とこのレーザ媒質に励起光を投入す
るための励起ランプを備えたレーザ発振器から出力され
たレーザビームを、集光レンズを介して光ファイバの受
光口に入射するレーザ装置において、即ち、前記レーザ
発振器から出力されるレーザビームの一部を分割する分
岐する分岐器と、この分岐器の次段に設けられ前記集光
レンズと同一特性の修正用集光レンズと、この修正用集
光レンズを通過したレーザビームを受光する検出部と、
前記検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する方向
に移動する第1アクチュエータと、前記光ファイバの受
光口及び集光レンズを光軸と直交する方向に移動する第
2アクチュエータと、前記検出部の信号を受けて前記第
1及び第2アクチュエータを制御する演算部とを備え、
前記演算部は、前記修正用集光レンズにより検出部上に
照射されたレーザビームの照射位置がずれた場合これを
検出し、検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する
方向に移動させ、このときの検出部及び修正用集光レン
ズの移動量と同一量、前記集光レンズ及び光ファイバの
受光口を移動させるよう構成したことを特徴とする固体
レーザ装置における光ファイバ入射補正装置である。
【0007】なお、前記第1及び第2アクチュエータは
夫々にX及びY方向の2チャンネルの移動手段を有して
いる。また、修正用集光レンズと分岐器との間にバンド
パスフィルタを介挿することができる。
夫々にX及びY方向の2チャンネルの移動手段を有して
いる。また、修正用集光レンズと分岐器との間にバンド
パスフィルタを介挿することができる。
【0008】
【作用】検出部によりレーザビームの受光面上でのずれ
を検出し、そのデータに基づいて第1アクチュエータを
作動させて修正用集光レンズと検出部の位置を移動さ
せ、検出部の中心位置にレーザビームが当たるようにす
る。この場合、修正用集光レンズと検出部との移動距離
がX及びY方向の座標として得られる。
を検出し、そのデータに基づいて第1アクチュエータを
作動させて修正用集光レンズと検出部の位置を移動さ
せ、検出部の中心位置にレーザビームが当たるようにす
る。この場合、修正用集光レンズと検出部との移動距離
がX及びY方向の座標として得られる。
【0009】そして、演算部はこのデータに基づいて第
2アクチュエータを作動させ、集光レンズ及び光ファイ
バの受光口を移動させる。このとき前記第1アクチュエ
ータで得られたX及びY方向の座標と同一距離だけ移動
させる。
2アクチュエータを作動させ、集光レンズ及び光ファイ
バの受光口を移動させる。このとき前記第1アクチュエ
ータで得られたX及びY方向の座標と同一距離だけ移動
させる。
【0010】これにより、レーザビームの中心は光ファ
イバの受光口の中心に正確に入射し、光ファイバへの集
光性を常時最適な状態に自動調整することができる。こ
のため、光ファイバの受光口の端面が焼損したり結合効
率が悪化することはない。
イバの受光口の中心に正確に入射し、光ファイバへの集
光性を常時最適な状態に自動調整することができる。こ
のため、光ファイバの受光口の端面が焼損したり結合効
率が悪化することはない。
【0011】なお、検出部及び修正用集光レンズの移動
量と同一量、前記集光レンズ及び光ファイバの受光口を
移動させることの意味は、移動方向と移動距離を同一に
するということである。
量と同一量、前記集光レンズ及び光ファイバの受光口を
移動させることの意味は、移動方向と移動距離を同一に
するということである。
【0012】
【実施例】本発明の実施例を図1ないし図3に基づいて
説明する。棒状に形成されたレーザ媒質1の近傍に励起
光を投入するための励起ランプ2が配置されており、ま
た、レーザ媒質1の両端側に全反射鏡20aと半透過鏡
20bが配置されている。そして、励起ランプ2で励起
されたレーザ媒質1からレーザビームが発生し、全反射
鏡20aと半透過鏡20bとの間で反射が繰り返される
ことによって光が増幅されるレーザ発振器3が構成され
ている。
説明する。棒状に形成されたレーザ媒質1の近傍に励起
光を投入するための励起ランプ2が配置されており、ま
た、レーザ媒質1の両端側に全反射鏡20aと半透過鏡
20bが配置されている。そして、励起ランプ2で励起
されたレーザ媒質1からレーザビームが発生し、全反射
鏡20aと半透過鏡20bとの間で反射が繰り返される
ことによって光が増幅されるレーザ発振器3が構成され
ている。
【0013】前記半透過鏡20bのレーザ透過側には分
岐器としてのビームスプリッタ6が設置され、これによ
りレーザ発振器3から出力されたレーザビームは直進方
向と直角方向とに分割されるようになっている。そし
て、直角方向に分岐されたレーザビームは集光レンズ4
を介して光ファイバ5の先端に設けられた受光口10に
入光する。前記受光口10は支持アーム22によって集
光レンズ4と一体的に支持されている。そして集光レン
ズ4は第2アクチュエータ11によって支持され、光軸
に直交するXY平面上で移動することができるように構
成されている。
岐器としてのビームスプリッタ6が設置され、これによ
りレーザ発振器3から出力されたレーザビームは直進方
向と直角方向とに分割されるようになっている。そし
て、直角方向に分岐されたレーザビームは集光レンズ4
を介して光ファイバ5の先端に設けられた受光口10に
入光する。前記受光口10は支持アーム22によって集
光レンズ4と一体的に支持されている。そして集光レン
ズ4は第2アクチュエータ11によって支持され、光軸
に直交するXY平面上で移動することができるように構
成されている。
【0014】前記第2アクチュエータ11は集光レンズ
4をX方向に移動させるためのステッピングモータ11
aと、Y方向に移動させるためのステッピングモータ1
1bからなっている。ステッピングモータ11aはフレ
ーム11cに取り付けられており、このフレーム11c
に前記集光レンズ4がスライド可能に支持されている。
集光レンズ4とステッピングモータ11aとはラックア
ンドピニオン機構で結合されている。ステッピングモー
タ11bは固定フレーム11dに取り付けられており、
この固定フレーム11dに前記フレーム11cがスライ
ド可能に設けられている。そして、このフレーム11c
とステッピングモータ11bとはラックアンドピニオン
機構で結合されている。
4をX方向に移動させるためのステッピングモータ11
aと、Y方向に移動させるためのステッピングモータ1
1bからなっている。ステッピングモータ11aはフレ
ーム11cに取り付けられており、このフレーム11c
に前記集光レンズ4がスライド可能に支持されている。
集光レンズ4とステッピングモータ11aとはラックア
ンドピニオン機構で結合されている。ステッピングモー
タ11bは固定フレーム11dに取り付けられており、
この固定フレーム11dに前記フレーム11cがスライ
ド可能に設けられている。そして、このフレーム11c
とステッピングモータ11bとはラックアンドピニオン
機構で結合されている。
【0015】一方、前記ビームスプリッタ6の背面には
特定波長のみを通過させるためのバンドパスフィルタ2
1が設けられており、その通過波長は可視光を除去でき
るよう1.06μmに設定されている。バンドパスフィ
ルタ21の次段には前記集光レンズ4と同一特性の修正
用集光レンズ7が設けられている。
特定波長のみを通過させるためのバンドパスフィルタ2
1が設けられており、その通過波長は可視光を除去でき
るよう1.06μmに設定されている。バンドパスフィ
ルタ21の次段には前記集光レンズ4と同一特性の修正
用集光レンズ7が設けられている。
【0016】そしてこの修正用集光レンズ7の後段に
は、修正用集光レンズ7を通過したレーザビームを受光
する検出部8としての二次元フォトダイオードアレイが
設けられている。前記修正用集光レンズ7はアーム23
を介して検出部8に固定されており、検出部8と一体的
に移動できるようになっている。この検出部8は第1ア
クチュエータ9により支持され光軸と直交する方向に移
動可能になっている。即ち、この第1アクチュエータ9
は検出部8をX方向に移動させるためのステッピングモ
ータ9aと、Y方向に移動させるためのステッピングモ
ータ9bからなっている。
は、修正用集光レンズ7を通過したレーザビームを受光
する検出部8としての二次元フォトダイオードアレイが
設けられている。前記修正用集光レンズ7はアーム23
を介して検出部8に固定されており、検出部8と一体的
に移動できるようになっている。この検出部8は第1ア
クチュエータ9により支持され光軸と直交する方向に移
動可能になっている。即ち、この第1アクチュエータ9
は検出部8をX方向に移動させるためのステッピングモ
ータ9aと、Y方向に移動させるためのステッピングモ
ータ9bからなっている。
【0017】ステッピングモータ9aはフレーム9cに
取り付けられており、このフレーム9cに前記検出部8
がスライド可能に支持されている。検出部8とステッピ
ングモータ9aとはラックアンドピニオン機構で結合さ
れている。ステッピングモータ9bは固定フレーム9d
に取り付けられており、この固定フレーム9dに前記フ
レーム9cがスライド可能に設けられている。そして、
このフレーム9cとステッピングモータ9bとはラック
アンドピニオン機構で結合されている。
取り付けられており、このフレーム9cに前記検出部8
がスライド可能に支持されている。検出部8とステッピ
ングモータ9aとはラックアンドピニオン機構で結合さ
れている。ステッピングモータ9bは固定フレーム9d
に取り付けられており、この固定フレーム9dに前記フ
レーム9cがスライド可能に設けられている。そして、
このフレーム9cとステッピングモータ9bとはラック
アンドピニオン機構で結合されている。
【0018】前記検出部8の出力信号は演算部12に入
力され、検出部8に照射されたXY座標上でのレーザビ
ームの位置が数値化される。そして前記検出部8をいず
れの方向にどれだけ移動させればレーザビームの位置が
検出部8の中央部(予め設定された特定位置を含む)と
なるかを演算して、前記第1アクチュエータ9を作動さ
せるよう構成してある。
力され、検出部8に照射されたXY座標上でのレーザビ
ームの位置が数値化される。そして前記検出部8をいず
れの方向にどれだけ移動させればレーザビームの位置が
検出部8の中央部(予め設定された特定位置を含む)と
なるかを演算して、前記第1アクチュエータ9を作動さ
せるよう構成してある。
【0019】なお、前記第1アクチュエータ9及び第2
アクチュエータ11は前記ステッピングモータの他、サ
ーボモータ、またはリニアステッピングモータを使用す
ることができ、演算部12からの指令でその駆動量が制
御されるようになっている。
アクチュエータ11は前記ステッピングモータの他、サ
ーボモータ、またはリニアステッピングモータを使用す
ることができ、演算部12からの指令でその駆動量が制
御されるようになっている。
【0020】また、夫々のアクチュエータには移動量検
出手段としてポテンショメータ、ロータリーエンコー
ダ、リニアエンコーダなどが取り付けられており、検出
部8の中心を絶対位置として、前記アクチュエータの移
動量を前記演算部12に出力できるようになっている。
出手段としてポテンショメータ、ロータリーエンコー
ダ、リニアエンコーダなどが取り付けられており、検出
部8の中心を絶対位置として、前記アクチュエータの移
動量を前記演算部12に出力できるようになっている。
【0021】なお、前記アクチュエータがステッピング
モータである場合、修正用レンズを移動させて照射位置
を合わせたときの制御量がそのまま移動量として利用で
きるのでそれ自体移動量検出手段を構成する。
モータである場合、修正用レンズを移動させて照射位置
を合わせたときの制御量がそのまま移動量として利用で
きるのでそれ自体移動量検出手段を構成する。
【0022】また、前記検出部8としてはフォトダイオ
ードアレイの他、MOSイメージセンサ、CCDイメー
ジセンサ、その他の撮像板や撮像管を用いることができ
る。以下、動作例を説明する。
ードアレイの他、MOSイメージセンサ、CCDイメー
ジセンサ、その他の撮像板や撮像管を用いることができ
る。以下、動作例を説明する。
【0023】レーザ発振器3の動作中において、レーザ
ビームは、ビームスプリッタ6によって直角方向に分岐
され、集光レンズ4を介して光ファイバ5の受光口10
に入射する。一方、ビームスプリッタ6を透過したレー
ザビームはバンドパスフィルタ21、修正用集光レンズ
7を介して検出部8を照射する。そして、検出部8でレ
ーザビームの照射位置が検出される。
ビームは、ビームスプリッタ6によって直角方向に分岐
され、集光レンズ4を介して光ファイバ5の受光口10
に入射する。一方、ビームスプリッタ6を透過したレー
ザビームはバンドパスフィルタ21、修正用集光レンズ
7を介して検出部8を照射する。そして、検出部8でレ
ーザビームの照射位置が検出される。
【0024】この情報が演算部12に入力される。そし
て演算部12で入射光の基準位置からのずれが規定以内
であるか否かが判断され、この照射位置が検出部8の基
準位置からずれている場合には、アクチュエータ9を駆
動する信号を送出して照射位置が前記基準位置となるよ
う検出部8を移動させる。ここで、演算部12はこの移
動量をXY座標上の距離で記憶する。
て演算部12で入射光の基準位置からのずれが規定以内
であるか否かが判断され、この照射位置が検出部8の基
準位置からずれている場合には、アクチュエータ9を駆
動する信号を送出して照射位置が前記基準位置となるよ
う検出部8を移動させる。ここで、演算部12はこの移
動量をXY座標上の距離で記憶する。
【0025】続いて、演算部12はこの記憶に基づい
て、第2アクチュエータ11を第1アクチュエータ9の
移動方向、移動距離と同一方向に同一距離だけ駆動す
る。集光レンズ4と修正用集光レンズ7とは同一特性に
してあるため、集光レンズ4の照射位置は光ファイバ5
の受光口10の中心位置と一致する。
て、第2アクチュエータ11を第1アクチュエータ9の
移動方向、移動距離と同一方向に同一距離だけ駆動す
る。集光レンズ4と修正用集光レンズ7とは同一特性に
してあるため、集光レンズ4の照射位置は光ファイバ5
の受光口10の中心位置と一致する。
【0026】以上の動作によって、エネルギーの集中化
を図ることができ、効率の高い結合が可能になる。
を図ることができ、効率の高い結合が可能になる。
【0027】
【発明の効果】本発明によれば、検出部によりレーザ光
軸と直交した面でのずれを検出し、そのデータに基づい
て第1アクチュエータを作動させて補正すべき距離情報
を得て、その後、この距離情報分だけ第2アクチュエー
タを作動させて光ファイバの受光口の中心に照射位置を
合わせるよう構成したので、光ファイバとの結合を常時
最良の状態とすることができる。
軸と直交した面でのずれを検出し、そのデータに基づい
て第1アクチュエータを作動させて補正すべき距離情報
を得て、その後、この距離情報分だけ第2アクチュエー
タを作動させて光ファイバの受光口の中心に照射位置を
合わせるよう構成したので、光ファイバとの結合を常時
最良の状態とすることができる。
【図1】本発明の一実施例を示す側面図
【図2】本発明の一実施例を示す要部の斜視図
【図3】本発明の一実施例を示す要部の斜視図
1 レーザ媒質 2 励起ランプ 3 レーザ発振器 4 集光レンズ 5 光ファイバ 6 ビームスプリッタ 7 修正用集光レンズ 8 検出部 9 第1アクチュエータ 10 受光口 11 第2アクチュエータ 12 演算部
フロントページの続き (72)発明者 数藤 和義 千葉県野田市二ツ塚95番地の3ミヤチテク ノス株式会社内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 レーザ媒質とこのレーザ媒質に励起光を
投入するための励起ランプを備えたレーザ発振器から出
力されたレーザビームを、集光レンズを介して光ファイ
バの受光口に入射するレーザ装置において、 前記レーザ発振器から出力されるレーザビームの一部を
分割する分岐器と、この分岐器の次段に設けられ前記集
光レンズと同一特性の修正用集光レンズと、この修正用
集光レンズを通過したレーザビームを受光する検出部
と、前記検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する
方向に移動する第1アクチュエータと、前記光ファイバ
の受光口及び集光レンズを光軸と直交する方向に移動す
る第2アクチュエータと、前記検出部の信号を受けて前
記第1及び第2アクチュエータを制御する演算部とを備
え、 前記演算部は、前記修正用集光レンズにより検出部上に
照射されたレーザビームの照射位置がずれた場合これを
検出し、検出部及び修正用集光レンズを光軸と直交する
方向に移動させ、このときの検出部及び修正用集光レン
ズの移動量と同一量、前記集光レンズ及び光ファイバの
受光口を移動させるよう構成したことを特徴とする固体
レーザ装置における光ファイバ入射補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16068791A JPH0511146A (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 固体レーザ装置における光フアイバ入射補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16068791A JPH0511146A (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 固体レーザ装置における光フアイバ入射補正装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0511146A true JPH0511146A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=15720300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16068791A Pending JPH0511146A (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 固体レーザ装置における光フアイバ入射補正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0511146A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105137553A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-09 | 安徽航天生物科技股份有限公司 | 一种固体激光器光纤自适应耦合装置 |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP16068791A patent/JPH0511146A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105137553A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-09 | 安徽航天生物科技股份有限公司 | 一种固体激光器光纤自适应耦合装置 |
CN105137553B (zh) * | 2015-09-10 | 2017-07-04 | 安徽航天生物科技股份有限公司 | 一种固体激光器光纤自适应耦合装置 |
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