JPH0498165A - 液冷ｂｔ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路の初期不良品を取り除く目的に
使用するＢＴ装置（Ｂ　ｕ　ｒ　ｎ　−Ｉ　ｎＴ　ｅ　
ｓ　を装置）に関し、特に循環式液冷ＢＴ装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来のこの種の液冷ＢＴ装置は、冷媒液を循環させるポ
ンプ、パイプ、バルブ、固定式オーバフロータンク、外
部タンク、外装フレーム、被テストデバイスを動作させ
る信号源を含むＢＴ板ラック等を有している。

次にその動作について説明する。ＢＴ板に被テストデバ
イスを装着した後、動作用信号源を含むＢＴ板ラックを
上下動させ、手前からＢＴ板をＢＴ板ラックに装着させ
、そのｆｕ　Ｂ　Ｔ板うックを冷媒液中に沈め、冷媒液
を循環させながら被デストチハイスを動作させ、バーン
イン試験を行なっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来の液冷ＢＴ装置ては、ＢＴ板を冷媒液に浸漬し
、また引き上ける際、被テストデバイスを動作させる信
号源を含むＢＴ板ラックを上下動させているため、信号
源への給電線が機械的な折れ曲りストレスを受け、断線
等の故障が生し易いという問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の液冷ＢＴ装置では、ＢＴ板ラックを固定して上
下動作をさせないようにし、その代り電装系等複雑な機
構を持たない冷媒液のオーバフロータンクを上下動作さ
せる機構を備えている。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の構成図である。

可動式オーバフロータンク４ａ（下降時：実線で示す）
は、下降してＢＴ板ラツク９が正面から見える状態とな
る。この時、伸縮パイプ５ａは縮んでいる。ＢＴ板ラツ
ク９にＢＴ板３を矢印方向からセラＩ−Ｌ、オーバフロ
ータンク上下動駆動モータ１を動作させると釣下げチェ
ーン２が巻き取られ、可動式オーバフロータンク４ａが
可動式オーバフロータンク４（上昇時：破線で示す）の
位置まで上昇する。この時、伸縮パイプ５ａは、破線で
示す伸縮パイプらのように伸びている。次にオイルポン
プ８を動作させると冷媒液７が可動式オーバフロータン
ク４からオーバフローし、ＢＴ板が冷媒液に浸漬される
。オーバフローした冷媒液は外部タンク６に落下する。

従って、本実施例によればＢＴ板シックリか上下動しな
いなめ、信号源の給電線の故障はなくなる。

次に本発明の第２の実施例について説明する。

基本的な動作は第１の実施例と同じであるが、本実施例
では伸縮パイプ５を用いない。

すなわち第２図の構成図に示すように、伸縮パイプに代
って可動式オーバフロータンク４に接続されるパイプを
ストレートなパイプとし、このパイプを冷媒液の循環経
路パイプ内に挿入できるようにしたものである。これに
より接続パイプの伸縮による疲労故障はなくすこヒがで
きる。

もちろん循環経路パイプとオーバフロータンク下のスト
レートパイプとのクリアランスで若干の流量の減少があ
るが無視しうる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、信号源用の給電線を含む
ＢＴ板ラックを固定し、オーバーフロータンクを可動と
したことにより、線径も小さく機械的強度のあまりない
給電線でも、折れ曲りストレスによる゛断線等の故障が
なくなるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の構成図、第２図は′第
２の実施例の構成図である。 １・・・オーバフロータンク上下動駆動モータ、２・・
・釣下げチェーン、３・・・ＢＴ板、４，４ａ・・・可
動式オーバフロータンク、５，５ａ・・・伸縮パイプ、
６・・・外部タンク、７・・・冷媒液、８・・・オイル
ポンプ、９・・・ＢＴ板ラック。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体集積回路の初期不良品を取りのぞく目的で行な
   われるバーイン試験に使用される液冷ＢＴ装置において
   、被テストデバイスを実装したＢＴ板を装着するＢＴ板
   ラックを固定し、前記ＢＴ板を浸漬する冷媒液のオーバ
   フロータンクを上下動可能としたことを特徴とする液冷
   ＢＴ装置。