JPH0493908A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JPH0493908A JPH0493908A JP20791290A JP20791290A JPH0493908A JP H0493908 A JPH0493908 A JP H0493908A JP 20791290 A JP20791290 A JP 20791290A JP 20791290 A JP20791290 A JP 20791290A JP H0493908 A JPH0493908 A JP H0493908A
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- objective lens
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- revolver
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、切換え可能の複数の対物レンズと、合焦検出
手段を備えた顕微鏡に関する。
手段を備えた顕微鏡に関する。
現在、微細な試料を拡大観察したり、観察像を写真やビ
デオ画像等として記録することのできる顕微鏡は、工業
分野を初め生物分野の研究や検査等に多く利用されてい
るが、この種の顕微鏡は、通常拡大倍率の異なる複数の
対物レンズを回転式のレボルバ−に取付け、観察倍率を
変更する場合には上記レボルバ−を電動或いは手動で回
転して観察光学系内へ挿入されるべき対物レンズを切換
えることにより行っている。ところで、この種従来の顕
微鏡では、レボルバ−や対物レンズの部品精度誤差によ
り対物レンズの切換え操作に応じて多少のピントズレが
生じるため、再度ピント合せ操作を行なわなければなら
ない。そこで、本願出願人は特願平2−65399号に
おいて、対物レンズ毎の同焦データを記憶した記憶手段
と、切換え前に使用されていた対物レンズと切換え後に
使用される対物レンズとの同焦データに基づいて結像状
態を補正する補正手段とを具備せしめることにより対物
レンズの切換え時に自動的に合焦位置が補正されるよう
にした顕微鏡を提案した。これによれば、観察倍率を変
更するために、レボルバ−に取付けられた対物レンズを
切換えても常に良好な合焦状態が得られ、対物レンズ切
換え後にピント合わせをする必要はない。
デオ画像等として記録することのできる顕微鏡は、工業
分野を初め生物分野の研究や検査等に多く利用されてい
るが、この種の顕微鏡は、通常拡大倍率の異なる複数の
対物レンズを回転式のレボルバ−に取付け、観察倍率を
変更する場合には上記レボルバ−を電動或いは手動で回
転して観察光学系内へ挿入されるべき対物レンズを切換
えることにより行っている。ところで、この種従来の顕
微鏡では、レボルバ−や対物レンズの部品精度誤差によ
り対物レンズの切換え操作に応じて多少のピントズレが
生じるため、再度ピント合せ操作を行なわなければなら
ない。そこで、本願出願人は特願平2−65399号に
おいて、対物レンズ毎の同焦データを記憶した記憶手段
と、切換え前に使用されていた対物レンズと切換え後に
使用される対物レンズとの同焦データに基づいて結像状
態を補正する補正手段とを具備せしめることにより対物
レンズの切換え時に自動的に合焦位置が補正されるよう
にした顕微鏡を提案した。これによれば、観察倍率を変
更するために、レボルバ−に取付けられた対物レンズを
切換えても常に良好な合焦状態が得られ、対物レンズ切
換え後にピント合わせをする必要はない。
しかしながら、上記提案による顕微鏡では、切換えに伴
う合焦位置のズレ(同焦ズレ)を補正するための補正量
の設定をキーボード等を利用して手動で行なわなければ
ならないため、操作が面倒であった。又、顕微鏡の対物
レンズやフレームは周囲温度の変化等により寸法等が変
化するため、上記補正量も特に長時間の使用中には多少
なりとも変化するものであり、従ってその都度補正量の
設定を行なわなければ効果が得られないという問題点が
あった。
う合焦位置のズレ(同焦ズレ)を補正するための補正量
の設定をキーボード等を利用して手動で行なわなければ
ならないため、操作が面倒であった。又、顕微鏡の対物
レンズやフレームは周囲温度の変化等により寸法等が変
化するため、上記補正量も特に長時間の使用中には多少
なりとも変化するものであり、従ってその都度補正量の
設定を行なわなければ効果が得られないという問題点が
あった。
本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
なされたものであり、その目的とするところは、特に同
焦ズレの補正量を手動操作で行なう必要がなく、又長時
間使用しても対物レンズの切換えによる同焦ズレが適確
に補正され得る、操作性の良い顕微鏡を提供しようとす
るものである。
なされたものであり、その目的とするところは、特に同
焦ズレの補正量を手動操作で行なう必要がなく、又長時
間使用しても対物レンズの切換えによる同焦ズレが適確
に補正され得る、操作性の良い顕微鏡を提供しようとす
るものである。
上記目的を達成するために、本発明による顕微鏡は、各
対物レンズ毎の同焦データを記憶する記憶手段と、切換
え前に使用されていた対物レンズと切換え後に使用され
る対物レンズとの同焦ズレを上記記憶手段のデータに基
づき補正して良好な結像状態を保持させる補正手段と、
上記記憶手段により記憶された各対物レンズの同焦デー
タを合焦検出時に常に更新する手段とを備えている。
対物レンズ毎の同焦データを記憶する記憶手段と、切換
え前に使用されていた対物レンズと切換え後に使用され
る対物レンズとの同焦ズレを上記記憶手段のデータに基
づき補正して良好な結像状態を保持させる補正手段と、
上記記憶手段により記憶された各対物レンズの同焦デー
タを合焦検出時に常に更新する手段とを備えている。
記憶手段は、使用中の対物レンズによる合焦位置と次に
使用すべく切換えられる対物レンズによる合焦位置との
差をデータテーブルの形で記憶していて、対物レンズが
切換えられたとき切換え前の対物レンズとの間の上記合
焦位置の差から補正手段により、自動的に切換えられた
対物レンズに適合した合焦位置へステージが持ち来され
る。記憶手段により記憶された各対物レンズの合焦位置
データは合焦検出時に更新される。
使用すべく切換えられる対物レンズによる合焦位置との
差をデータテーブルの形で記憶していて、対物レンズが
切換えられたとき切換え前の対物レンズとの間の上記合
焦位置の差から補正手段により、自動的に切換えられた
対物レンズに適合した合焦位置へステージが持ち来され
る。記憶手段により記憶された各対物レンズの合焦位置
データは合焦検出時に更新される。
以下、図示した実施例に基つき本発明の詳細な説明する
。
。
第1図において、1は顕微鏡本体、2は倍率の異なる複
数の対物レンズを取付けた回転式レボルバ−3は観察光
路内へ挿入された対物レンズにより形成された像を検出
するための像検出センサ4は像検出センサー3により検
出された像を電気信号に変換する像検出回路、5は観察
光路に現在どの対物レンズが挿入されているかを検出す
るレボルバ−位置検出センサー 6は対物レンズの切換
えを行なうためレボルバ−2を電気的に駆動するレボル
バ−駆動回路、7は対物レンズの光軸方向へ移動可能な
試料移動ステージ、8はステージ7の現在位置を検出す
るための例えばロータリーエンコーダ等のスケールで構
成されたステージ位置検出センサー 9はステージ7を
駆動するためのステージ駆動回路、IOは像検出回路4
、レボルバ−位置検出センサー5.レボルバ−駆動回路
6.ステージ位置検出センサー8及びステージ駆動回路
9の動作を管理する制御回路、IIは演算回路、12は
制御回路10による制御に際し必要とされるデータを記
憶する記憶回路、13は初期データを設定するための初
期設定スイッチ14と合焦検出を行なうためのAFスイ
ッチ15とレボルバ−2を右回転させるためのスイッチ
16とレボルバ−2を左回転させるためのスイッチ17
を含むコントロール部である。尚、制御回路IOには制
御過程で必要とされる諸データを一時的に記憶しておく
記憶装置が含まれており、又記憶回路12には電源スィ
ッチが切られた後でも記憶されているデータテーブル1
8(第2図)が含まれている。回転式レボルバ−2には
、例えば第3図に示すように、その可動部に基準位置か
ら各対物レンズ19,20,21.・・・・を夫々観察
光路内へ持ち来たすのに必要な回転角に対応する範囲に
亘って延びる同心円弧状の反射板210,211.21
2. ・・・・或いは同心円弧状のスリット210’、
211’、212’、 ・・・・が設けられていて、
レボルバ−位置検出センサー5として複数個の反射型光
センサー501,502,503゜・・・・が用いられ
る場合にはこれらに夫々対応するように配設された複数
の上記反射板210,211,212. ・・・・が
用いられ、又レボルバー位置検出センサー5′として複
数個の透過型光センサー501’、502’、503’
、 ・・・・が用いられる場合にはこれらに夫々対応
するように配設された複数の上記スリット210’、2
11’、212′、・・・・が用いられ、それによって
何れの対物レンズが観察光路内へ挿入されたかを検出し
得るようになっている。
数の対物レンズを取付けた回転式レボルバ−3は観察光
路内へ挿入された対物レンズにより形成された像を検出
するための像検出センサ4は像検出センサー3により検
出された像を電気信号に変換する像検出回路、5は観察
光路に現在どの対物レンズが挿入されているかを検出す
るレボルバ−位置検出センサー 6は対物レンズの切換
えを行なうためレボルバ−2を電気的に駆動するレボル
バ−駆動回路、7は対物レンズの光軸方向へ移動可能な
試料移動ステージ、8はステージ7の現在位置を検出す
るための例えばロータリーエンコーダ等のスケールで構
成されたステージ位置検出センサー 9はステージ7を
駆動するためのステージ駆動回路、IOは像検出回路4
、レボルバ−位置検出センサー5.レボルバ−駆動回路
6.ステージ位置検出センサー8及びステージ駆動回路
9の動作を管理する制御回路、IIは演算回路、12は
制御回路10による制御に際し必要とされるデータを記
憶する記憶回路、13は初期データを設定するための初
期設定スイッチ14と合焦検出を行なうためのAFスイ
ッチ15とレボルバ−2を右回転させるためのスイッチ
16とレボルバ−2を左回転させるためのスイッチ17
を含むコントロール部である。尚、制御回路IOには制
御過程で必要とされる諸データを一時的に記憶しておく
記憶装置が含まれており、又記憶回路12には電源スィ
ッチが切られた後でも記憶されているデータテーブル1
8(第2図)が含まれている。回転式レボルバ−2には
、例えば第3図に示すように、その可動部に基準位置か
ら各対物レンズ19,20,21.・・・・を夫々観察
光路内へ持ち来たすのに必要な回転角に対応する範囲に
亘って延びる同心円弧状の反射板210,211.21
2. ・・・・或いは同心円弧状のスリット210’、
211’、212’、 ・・・・が設けられていて、
レボルバ−位置検出センサー5として複数個の反射型光
センサー501,502,503゜・・・・が用いられ
る場合にはこれらに夫々対応するように配設された複数
の上記反射板210,211,212. ・・・・が
用いられ、又レボルバー位置検出センサー5′として複
数個の透過型光センサー501’、502’、503’
、 ・・・・が用いられる場合にはこれらに夫々対応
するように配設された複数の上記スリット210’、2
11’、212′、・・・・が用いられ、それによって
何れの対物レンズが観察光路内へ挿入されたかを検出し
得るようになっている。
次に上記実施例の作用について第4図のフローチャート
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
通常、顕微鏡には4〜6本の対物レンズが取付けられて
いるが、各対物レンズの合焦位置は、各対物レンズ自身
の焦点距離の違いやレボルバ−の各対物レンズ取付は部
位の突出差によって互いに異なる。第5図は対物レンズ
19,20,21.。
いるが、各対物レンズの合焦位置は、各対物レンズ自身
の焦点距離の違いやレボルバ−の各対物レンズ取付は部
位の突出差によって互いに異なる。第5図は対物レンズ
19,20,21.。
・・・・、Nの合焦時のステージ位置19’、20’2
1′、・・・・、N′を図式的に示したものである。
1′、・・・・、N′を図式的に示したものである。
従って、対物レンズ毎の合焦ステージ位置は各対物レン
ズ特有のデータとして何らかの形で記憶回路12中のデ
ータテーブル18に記憶させて置く必要がある。このデ
ータは、本実施例によれば、次のようにして記憶せしめ
られる。
ズ特有のデータとして何らかの形で記憶回路12中のデ
ータテーブル18に記憶させて置く必要がある。このデ
ータは、本実施例によれば、次のようにして記憶せしめ
られる。
先づ、初期設定について述べる。今、観察光路上に対物
レンズ19が挿入されているとすれば、コントロール部
13の初期設定スイッチ14が押されると、制御回路1
0は対物レンズ19の合焦検出を行なうため像検出セン
サー3からの像信号を像検出回路4を介して取込み、例
えばコントラスト法の如き周知の合焦検出方法を利用し
てステージ駆動回路9により試料移動ステージ7を動か
し、合焦状態が得られるようにする。かくして得られた
ステージ位置19′ (第5図)と使用対物レンズ19
(即ち、レボルバ−位置)を制御回路10中のメモリへ
一時的に記憶させる。ここでは、第4図のフローチャー
トで示すようにステージ位置は制御回路10内のメモリ
のA部分に、又レボルバ−位置はメモリのB部に夫々記
憶させる。
レンズ19が挿入されているとすれば、コントロール部
13の初期設定スイッチ14が押されると、制御回路1
0は対物レンズ19の合焦検出を行なうため像検出セン
サー3からの像信号を像検出回路4を介して取込み、例
えばコントラスト法の如き周知の合焦検出方法を利用し
てステージ駆動回路9により試料移動ステージ7を動か
し、合焦状態が得られるようにする。かくして得られた
ステージ位置19′ (第5図)と使用対物レンズ19
(即ち、レボルバ−位置)を制御回路10中のメモリへ
一時的に記憶させる。ここでは、第4図のフローチャー
トで示すようにステージ位置は制御回路10内のメモリ
のA部分に、又レボルバ−位置はメモリのB部に夫々記
憶させる。
次に制御回路10は、レボルバ−駆動回路6へ信号を送
って回転式レボルバ−2を1ピッチ分回動させ、それに
よって対物レンズ19の代わりに対物レンズ20が観察
光路上へ挿入されるようにする。このようにして使用さ
れるべき対物レンズが切換えられた後対物レンズ20に
ついて上記と同様の手順で合焦検出を行なう。合焦検出
が終了すると、その時のステージ位置20′とレボルバ
−位置を、ステージ位置検出センサー8とレボルバ−位
置検出センサー5より読取り、夫々制御回路10内のメ
モリのC部分とD部分に記憶させる。
って回転式レボルバ−2を1ピッチ分回動させ、それに
よって対物レンズ19の代わりに対物レンズ20が観察
光路上へ挿入されるようにする。このようにして使用さ
れるべき対物レンズが切換えられた後対物レンズ20に
ついて上記と同様の手順で合焦検出を行なう。合焦検出
が終了すると、その時のステージ位置20′とレボルバ
−位置を、ステージ位置検出センサー8とレボルバ−位
置検出センサー5より読取り、夫々制御回路10内のメ
モリのC部分とD部分に記憶させる。
このC部分のデータと前記−時的にA部分に記憶された
対物レンズ切換え前のステージ位置19′との差を取り
、この差が記憶回路12のデータテーブル18に記憶さ
れる。例えば、対物レンズ19がレボルバ−2の取付は
穴Nα1 (以下単にレボ穴Nα1と略称する)に、対
物レンズ20がレボ穴Nα2に装着されているとすれば
、データテーブル18のa部分に記憶されることになる
。このような作業をレボルバ−2に装着された対物レン
ズの総てについて行ない、各合焦位置の差をデータテー
ブル18に記憶させる。この時はフローチャートで示す
ようにC部分のデータをA部分に、又り部分のデータを
B部分に夫々入れ替えて上述の動作を繰り返せばよい。
対物レンズ切換え前のステージ位置19′との差を取り
、この差が記憶回路12のデータテーブル18に記憶さ
れる。例えば、対物レンズ19がレボルバ−2の取付は
穴Nα1 (以下単にレボ穴Nα1と略称する)に、対
物レンズ20がレボ穴Nα2に装着されているとすれば
、データテーブル18のa部分に記憶されることになる
。このような作業をレボルバ−2に装着された対物レン
ズの総てについて行ない、各合焦位置の差をデータテー
ブル18に記憶させる。この時はフローチャートで示す
ようにC部分のデータをA部分に、又り部分のデータを
B部分に夫々入れ替えて上述の動作を繰り返せばよい。
又、隣合わない対物レンズ例えば対物レンズ19と21
の合焦位置即ちステージ位置の差は、対物レンズ19と
20との間のステージ位置差と、対物レンズ20と21
との間のステージ位置差とから、演算回路11により求
めることができる。即ち、第5図に示す例の場合は、対
物レンズ19と20との間のステージ位置差と対物レン
ズ20と21との間のステージ位置差をだすことにより
求めることができる。かくして、データテーブル18に
は、回転レボルバ−2に装着されるべき対物レンズの数
をNとすると、(N2−N)72個のデータが記憶され
ることになる。
の合焦位置即ちステージ位置の差は、対物レンズ19と
20との間のステージ位置差と、対物レンズ20と21
との間のステージ位置差とから、演算回路11により求
めることができる。即ち、第5図に示す例の場合は、対
物レンズ19と20との間のステージ位置差と対物レン
ズ20と21との間のステージ位置差をだすことにより
求めることができる。かくして、データテーブル18に
は、回転レボルバ−2に装着されるべき対物レンズの数
をNとすると、(N2−N)72個のデータが記憶され
ることになる。
次に、観察時の動作について述べる。今、対物レンズ1
9が観察光路上に挿入されているものとし、これを対物
レンズ20へ切換えるためコントロール部13のスイッ
チ16を押すか或いは手動でレボルバ−2を第3図矢印
方向へ回動したとする。制御回路10では、先づ対物レ
ンズ20のステージ位置データ20′を一時的に制御回
路IO中ツメモリのA部分に記憶し、この時のレボルバ
−位置をメモリのB部分に記憶する。次にデータテーブ
ル18から対物レンズ20と21との間のステージ位置
差を読出し、読出したデータと上記−時的に記憶したデ
ータとに基づいてステージ駆動回路9へ信号を与え、そ
れにより試料移動ステージ7が駆動せしめられて、新し
いステージ位置が決定される。かくして、切換えられた
新しい対物レンズ2Iに適合した合焦状態が得られる。
9が観察光路上に挿入されているものとし、これを対物
レンズ20へ切換えるためコントロール部13のスイッ
チ16を押すか或いは手動でレボルバ−2を第3図矢印
方向へ回動したとする。制御回路10では、先づ対物レ
ンズ20のステージ位置データ20′を一時的に制御回
路IO中ツメモリのA部分に記憶し、この時のレボルバ
−位置をメモリのB部分に記憶する。次にデータテーブ
ル18から対物レンズ20と21との間のステージ位置
差を読出し、読出したデータと上記−時的に記憶したデ
ータとに基づいてステージ駆動回路9へ信号を与え、そ
れにより試料移動ステージ7が駆動せしめられて、新し
いステージ位置が決定される。かくして、切換えられた
新しい対物レンズ2Iに適合した合焦状態が得られる。
この場合、顕微鏡の対物レンズやフレームが使用環境等
の変化により実際の合焦位置が例えば第5図にdで示し
た部分だけズしていたとすれば、正しい合焦位置20′
へステージ7を再び移動せしめる必要が生じる。この場
合は、コントロール部13のAPスイッチ15を押すこ
とにより合焦検出か行なわれる。かくして合焦検出が行
なわれた後制御回路IO中のメモリのA部分に一時的に
記憶された対物レンズ20のステージ位置20′と新し
く設定されたステージ位置20′との間の差が求められ
る。この差を既にデータテーブル18に記憶されていた
それまでの補正値にたしたものが更新された補正値とし
てデータテーブル18に記憶し直される。以後の異なる
対物レンズの切換えに際しては、この新しい補正値に基
づいてステージ位置差の補正が行なわれるので、合焦位
置の補正か正確に行なわれ得る。
の変化により実際の合焦位置が例えば第5図にdで示し
た部分だけズしていたとすれば、正しい合焦位置20′
へステージ7を再び移動せしめる必要が生じる。この場
合は、コントロール部13のAPスイッチ15を押すこ
とにより合焦検出か行なわれる。かくして合焦検出が行
なわれた後制御回路IO中のメモリのA部分に一時的に
記憶された対物レンズ20のステージ位置20′と新し
く設定されたステージ位置20′との間の差が求められ
る。この差を既にデータテーブル18に記憶されていた
それまでの補正値にたしたものが更新された補正値とし
てデータテーブル18に記憶し直される。以後の異なる
対物レンズの切換えに際しては、この新しい補正値に基
づいてステージ位置差の補正が行なわれるので、合焦位
置の補正か正確に行なわれ得る。
このように、合焦検出時に合焦位置のデータが更新され
るので、環境の変化に左右されず常に適正な合焦位置補
正が可能となる。又、対物レンズの切換え時に、仮りに
合焦位置がズしていたとしてもそのズレ量は実際上数μ
mから数10μmであるので、瞬時に合焦検出を行なう
ことができ、極めて操作性の良い顕微鏡が提供され得る
。
るので、環境の変化に左右されず常に適正な合焦位置補
正が可能となる。又、対物レンズの切換え時に、仮りに
合焦位置がズしていたとしてもそのズレ量は実際上数μ
mから数10μmであるので、瞬時に合焦検出を行なう
ことができ、極めて操作性の良い顕微鏡が提供され得る
。
上述の如く本発明によれば、観察倍率を変更するために
レボルバ−に装着された対物レンズを切換えた時の試料
移動ステージの合焦位置補正に使用するデータを手動操
作で入力する必要はなく、また合焦検出時において上記
データを更新するため長時間の使用においても対物レン
ズの切換えに応じて常に適正な合焦位置補正が行なわれ
得る、極めて操作性の良い顕微鏡を提供することができ
る。
レボルバ−に装着された対物レンズを切換えた時の試料
移動ステージの合焦位置補正に使用するデータを手動操
作で入力する必要はなく、また合焦検出時において上記
データを更新するため長時間の使用においても対物レン
ズの切換えに応じて常に適正な合焦位置補正が行なわれ
得る、極めて操作性の良い顕微鏡を提供することができ
る。
第1図は本発明に係る顕微鏡の一実施例を示すブロック
図、第2図は記憶回路に記憶されるべきデータテーブル
の一例を示す図、第3図は回転式レボルバ−の互いに異
なる二つの構造例を示す正面図、第4図は合焦検出の操
作手順を示すフローチャート、第5図は切換えられるべ
き複数の対物レンズの合焦位置の差を示す説明図である
。 1・・・・顕微鏡本体、2・・・・レボルバ−3・・・
・像検出センサー 4・・・・像検出回路、5・・・・
レボルバ−位置検出センサー 6・・・・レボルバ−駆
動回路、7・・・・試料移動ステージ、8・・・・ステ
ージ位置検出センサー 9・・・・ステージ駆動回路、
10・・・・制御回路、11・・・・演算回路、12・
・・・記憶回路、13・・・・コントロール部、14・
・・・初期設定スイッチ、15・・・・AFスイッチ、
16,17・・・・レボルバ−回転用スイッチ、18・
・・・データテーブル、19,20,21.・・・・、
N・・・・対物レンズ。 第3図 牙5図
図、第2図は記憶回路に記憶されるべきデータテーブル
の一例を示す図、第3図は回転式レボルバ−の互いに異
なる二つの構造例を示す正面図、第4図は合焦検出の操
作手順を示すフローチャート、第5図は切換えられるべ
き複数の対物レンズの合焦位置の差を示す説明図である
。 1・・・・顕微鏡本体、2・・・・レボルバ−3・・・
・像検出センサー 4・・・・像検出回路、5・・・・
レボルバ−位置検出センサー 6・・・・レボルバ−駆
動回路、7・・・・試料移動ステージ、8・・・・ステ
ージ位置検出センサー 9・・・・ステージ駆動回路、
10・・・・制御回路、11・・・・演算回路、12・
・・・記憶回路、13・・・・コントロール部、14・
・・・初期設定スイッチ、15・・・・AFスイッチ、
16,17・・・・レボルバ−回転用スイッチ、18・
・・・データテーブル、19,20,21.・・・・、
N・・・・対物レンズ。 第3図 牙5図
Claims (1)
- 切換え可能の複数の対物レンズと、合焦検出手段とを備
えた顕微鏡において、各対物レンズ毎の同焦データを記
憶する記憶手段と、切換え前に使用されていた対物レン
ズと切換え後に使用される対物レンズとの同焦ズレを上
記記憶手段のデータに基づき補正して良好な結像状態を
保持させる補正手段と、上記記憶手段により記憶された
各対物レンズの同焦データを合焦検出時に更新する手段
とを有することを特徴とする顕微鏡。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002003119A1 (de) * | 2000-07-06 | 2002-01-10 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Erkennung der maximalposition eines revolvers oder schiebers in mikroskopen |
JP2006003653A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Olympus Corp | 生体試料観察システム |
JP2006017814A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Olympus Corp | システム顕微鏡 |
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JP2008292240A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Olympus Corp | 3次元形状観察装置 |
-
1990
- 1990-08-06 JP JP20791290A patent/JP2919017B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002003119A1 (de) * | 2000-07-06 | 2002-01-10 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Erkennung der maximalposition eines revolvers oder schiebers in mikroskopen |
US6744576B2 (en) | 2000-07-06 | 2004-06-01 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Recognition of the maximum position of a revolving dial or slide on microscopes |
JP2006003653A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Olympus Corp | 生体試料観察システム |
JP2006017814A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Olympus Corp | システム顕微鏡 |
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JP4712334B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2011-06-29 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置、顕微鏡ユニット、プログラム |
JP2008292240A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Olympus Corp | 3次元形状観察装置 |
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JP2919017B2 (ja) | 1999-07-12 |
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