JPH0488163A - 真空蒸着亜鉛めっき装置 - Google Patents
真空蒸着亜鉛めっき装置Info
- Publication number
- JPH0488163A JPH0488163A JP20133290A JP20133290A JPH0488163A JP H0488163 A JPH0488163 A JP H0488163A JP 20133290 A JP20133290 A JP 20133290A JP 20133290 A JP20133290 A JP 20133290A JP H0488163 A JPH0488163 A JP H0488163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steel strip
- zinc
- vacuum
- aluminum
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 42
- 239000011701 zinc Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title abstract description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 42
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 22
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 claims description 11
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910001335 Galvanized steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000008397 galvanized steel Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用公費〉
本発明は、鋼帯に真空中で連続的に亜鉛を蒸着めっきす
る真空蒸着亜鉛めっき装置に関する。
る真空蒸着亜鉛めっき装置に関する。
〈従来の技術〉
鋼帯へ亜鉛を蒸着めっきする場合、鋼帯表面に飛来する
蒸発亜鉛原子が保有しているエネルギが小さいため、め
っきされる鋼帯側の表面が活性でないと鋼帯表面上に堆
積した亜鉛めっき層と下地の鋼帯との密着(結合)性が
不完全となる。
蒸発亜鉛原子が保有しているエネルギが小さいため、め
っきされる鋼帯側の表面が活性でないと鋼帯表面上に堆
積した亜鉛めっき層と下地の鋼帯との密着(結合)性が
不完全となる。
そこで、従来においては、還元性の雰囲気を有する還元
焼鈍炉により鋼帯を焼鈍すると同時にその表面を還元活
性化した後、大気に触れさすことな(、直ちにその鋼帯
を真空蒸着室に導入し、亜鉛を真空蒸着している。
焼鈍炉により鋼帯を焼鈍すると同時にその表面を還元活
性化した後、大気に触れさすことな(、直ちにその鋼帯
を真空蒸着室に導入し、亜鉛を真空蒸着している。
〈発明が解決しようとする課題〉
従来、鋼帯に亜鉛を連続的に真空蒸着する場合、亜鉛蒸
着めっき層と鋼帯との密着性を確保するために、前述し
たように予め還元活性化処理する必要があることから、
必ず、真空蒸着めっき設備の前段に還元焼純設備をガス
タイトに連結した設備を使用している。したがって、従
来においては、設備が大きくなると共に、操業上、柔軟
性に欠けるという問題がある。
着めっき層と鋼帯との密着性を確保するために、前述し
たように予め還元活性化処理する必要があることから、
必ず、真空蒸着めっき設備の前段に還元焼純設備をガス
タイトに連結した設備を使用している。したがって、従
来においては、設備が大きくなると共に、操業上、柔軟
性に欠けるという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、上述した問題を解消し
た真空蒸着亜鉛めっき装置を提供することを目的とする
。
た真空蒸着亜鉛めっき装置を提供することを目的とする
。
く課題を解決するための手段〉
前記目的を達成する本発明に係る真空蒸着亜鉛めっき装
置;よ、 真空室に綱帯をM続的に導入して亜鉛を真空蒸着めっき
する装置であって、上記真空室の前段には上記鋼帯に前
処理を施す脱脂・酸洗装置を有し、上記真空室内には上
記脱脂・酸洗装置から導入される鋼帯を予熱する加熱手
段と、予熱された鋼帯にアルミニウムを真空蒸着めっき
するためのアルミニウム用るつぼと、アルミニウムが蒸
着めっきされた鋼帯に亜鉛を真空蒸着めっきするための
亜鉛用るつぼとを備えていることを特徴とする。
置;よ、 真空室に綱帯をM続的に導入して亜鉛を真空蒸着めっき
する装置であって、上記真空室の前段には上記鋼帯に前
処理を施す脱脂・酸洗装置を有し、上記真空室内には上
記脱脂・酸洗装置から導入される鋼帯を予熱する加熱手
段と、予熱された鋼帯にアルミニウムを真空蒸着めっき
するためのアルミニウム用るつぼと、アルミニウムが蒸
着めっきされた鋼帯に亜鉛を真空蒸着めっきするための
亜鉛用るつぼとを備えていることを特徴とする。
く作 用〉
前記構成の真空蒸着亜鉛めっき装置では、綱帯はまず、
脱脂・酸洗装置において脱脂、酸洗、水洗、乾燥の前処
理を施され、真空室に導入される。真空室に導入された
綱帯は加熱手段により例えば200℃に予熱された後、
まず、アルミニウムが例えば30Å以上の厚さで真空蒸
着めっきされ、次いで、亜鉛が真空蒸着めっきされる。
脱脂・酸洗装置において脱脂、酸洗、水洗、乾燥の前処
理を施され、真空室に導入される。真空室に導入された
綱帯は加熱手段により例えば200℃に予熱された後、
まず、アルミニウムが例えば30Å以上の厚さで真空蒸
着めっきされ、次いで、亜鉛が真空蒸着めっきされる。
乙のように通常の前処理を施すと共に予熱した後、アル
ミニウムを蒸着すると、鋼帯とアルミニウム蒸着めっき
層との密着性は充分となる。これは、アルミニウムの蒸
着飛来原子は亜鉛のそれに比べて大きなエネルギを保有
しているからである。
ミニウムを蒸着すると、鋼帯とアルミニウム蒸着めっき
層との密着性は充分となる。これは、アルミニウムの蒸
着飛来原子は亜鉛のそれに比べて大きなエネルギを保有
しているからである。
また、アルミニウム蒸着めっき層は活性で且つ亜鉛との
親和性が良好であるので、このアルミニウム蒸着めっき
層とこの上に蒸着された亜鉛蒸着めっき層との密着性が
良好になる。
親和性が良好であるので、このアルミニウム蒸着めっき
層とこの上に蒸着された亜鉛蒸着めっき層との密着性が
良好になる。
したがって、亜鉛蒸着めっき層はアルミニウム蒸着めっ
き層を介して鋼帯との密着性が良好となる。
き層を介して鋼帯との密着性が良好となる。
く実 施 例〉
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第1図には一実施例に係る真空蒸着亜鉛めっき装置を概
念的に示す。同図中、1は鋼帯、2は脱脂・酸洗装置、
3は脱脂・酸洗装置2の後段に設けられている真空蒸着
装置であり、綱帯1は払い出し装置4から連続的に払い
出されて脱脂・酸洗装置2及び真空蒸着装置3に連続し
て導かれた後、巻取装置5に巻取られるようになってい
る。真空蒸着装置3は、隔壁6とこの隔壁6に設けられ
た一対のロールからなるシール田−ル7とにより複数段
(図では9段)の真空室3a〜31に仕切られており、
各真空室38〜31は真空ポンプP−Pによって差動排
気されて入口及び出口側から中央部に向って大気圧から
順次高真空に設定されている。そして、中央部側の真空
室3eにはアルミニウム溶湯8が保持されるアルミニウ
ム用るつぼ9が、また、真空室3fには亜鉛溶湯10が
保持される亜鉛るっぽ11が設けられており、真空室3
eのアルミニウム用るつぼ9の直前には、例えば電子ビ
ーム、誘導加熱、あるいは抵抗加熱等により鋼帯1を予
熱する加熱手段12が設けられている。なお、図中1.
V、、、 V、2はそれぞれ真空室7e、7fの真空
度を測定するための真空計’ T!L’ TG2はそれ
ぞれアルミニウム用るつぼ9中のアルミニウム蒸着湯8
及び亜鉛用るっぽ11中の亜鉛溶湯lOの温度を測定す
るための温度計を示す。
念的に示す。同図中、1は鋼帯、2は脱脂・酸洗装置、
3は脱脂・酸洗装置2の後段に設けられている真空蒸着
装置であり、綱帯1は払い出し装置4から連続的に払い
出されて脱脂・酸洗装置2及び真空蒸着装置3に連続し
て導かれた後、巻取装置5に巻取られるようになってい
る。真空蒸着装置3は、隔壁6とこの隔壁6に設けられ
た一対のロールからなるシール田−ル7とにより複数段
(図では9段)の真空室3a〜31に仕切られており、
各真空室38〜31は真空ポンプP−Pによって差動排
気されて入口及び出口側から中央部に向って大気圧から
順次高真空に設定されている。そして、中央部側の真空
室3eにはアルミニウム溶湯8が保持されるアルミニウ
ム用るつぼ9が、また、真空室3fには亜鉛溶湯10が
保持される亜鉛るっぽ11が設けられており、真空室3
eのアルミニウム用るつぼ9の直前には、例えば電子ビ
ーム、誘導加熱、あるいは抵抗加熱等により鋼帯1を予
熱する加熱手段12が設けられている。なお、図中1.
V、、、 V、2はそれぞれ真空室7e、7fの真空
度を測定するための真空計’ T!L’ TG2はそれ
ぞれアルミニウム用るつぼ9中のアルミニウム蒸着湯8
及び亜鉛用るっぽ11中の亜鉛溶湯lOの温度を測定す
るための温度計を示す。
このような真空蒸着亜鉛めっき装置で亜鉛蒸着めっきを
施すには、各真空室3&〜31を真空ポンプP1〜P、
によって差動排気して例えば真空室3a、3iを150
Torr、真空室3b、3hを50 Torr、真空
室3c、3gを5Torr1真空室3d、3fを10−
”Torr。
施すには、各真空室3&〜31を真空ポンプP1〜P、
によって差動排気して例えば真空室3a、3iを150
Torr、真空室3b、3hを50 Torr、真空
室3c、3gを5Torr1真空室3d、3fを10−
”Torr。
真空室3eを10−’Torrとすると共に例えば電子
ビーム、誘導加熱、抵抗加熱等の図示しない加熱手段に
よりアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用るっぽ11を所
定の温度に加熱しておく。そして、鋼帯1を走行させ、
脱脂・酸洗装W2で脱脂、酸洗、水洗及び乾燥の通常の
前処理を行った後、前処理された鋼帯1を真空蒸着装置
3に導く。鋼帯1は真空室38〜3dを通り、加熱手段
12により約200℃まで加熱され、真空室3e内でア
ルミニウムが蒸着めっきされ、次いで真空室3f内で亜
鉛がめっきされる。蒸着めっきが施された鋼帯1は真空
室3g〜31を通って大気中の巻取装置5に巻取られる
。
ビーム、誘導加熱、抵抗加熱等の図示しない加熱手段に
よりアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用るっぽ11を所
定の温度に加熱しておく。そして、鋼帯1を走行させ、
脱脂・酸洗装W2で脱脂、酸洗、水洗及び乾燥の通常の
前処理を行った後、前処理された鋼帯1を真空蒸着装置
3に導く。鋼帯1は真空室38〜3dを通り、加熱手段
12により約200℃まで加熱され、真空室3e内でア
ルミニウムが蒸着めっきされ、次いで真空室3f内で亜
鉛がめっきされる。蒸着めっきが施された鋼帯1は真空
室3g〜31を通って大気中の巻取装置5に巻取られる
。
ここで、アルミニウムの蒸着膜厚は、アルミニウム用る
っぽ9内のアルミニウム溶湯8の温度と鋼帯1へのアル
ミニウムの蒸着レートとの関係から鋼帯1の搬送速度を
基準にして、アルミニウム溶湯8の温度を調節すること
により、所定の膜厚になるように制御される。また、亜
鉛の蒸着膜厚も、アルミニウムと同様に亜鉛用るつぼ1
1内の亜鉛溶湯10の温度を調節することにより制御さ
れろ。
っぽ9内のアルミニウム溶湯8の温度と鋼帯1へのアル
ミニウムの蒸着レートとの関係から鋼帯1の搬送速度を
基準にして、アルミニウム溶湯8の温度を調節すること
により、所定の膜厚になるように制御される。また、亜
鉛の蒸着膜厚も、アルミニウムと同様に亜鉛用るつぼ1
1内の亜鉛溶湯10の温度を調節することにより制御さ
れろ。
本発明者らの実験によると、上述した装置で形成した亜
鉛の蒸着めっき膜は、アルミニウムの蒸着めっき膜厚を
30人り上にすれば、従来の還元焼鈍を行った後に蒸着
めっきした亜鉛めっき膜と同等思上の密着性を有するこ
とが確認された。
鉛の蒸着めっき膜は、アルミニウムの蒸着めっき膜厚を
30人り上にすれば、従来の還元焼鈍を行った後に蒸着
めっきした亜鉛めっき膜と同等思上の密着性を有するこ
とが確認された。
第2図には他の実施例に係る真空蒸着亜鉛めっき装置を
示す。かかる装置はアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用
るつぼ11を同じ真空室内に設けた以外は上記実施例の
装置と同じであり、同一作用を示す部材には同一符号を
付して重複する説明は省略する。なお、真空ポンプ、真
空計及び温度計の図示は省略する。
示す。かかる装置はアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用
るつぼ11を同じ真空室内に設けた以外は上記実施例の
装置と同じであり、同一作用を示す部材には同一符号を
付して重複する説明は省略する。なお、真空ポンプ、真
空計及び温度計の図示は省略する。
本実施例の真空蒸着族W3Aは隔壁6及びシールロール
7により複数段(図では8段)の真空室3」〜3qに仕
切られ、上記実施例と同様に図示しない真空ポンプに上
り差動排気されている。そして、その中央部側の真空室
3n内にアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用るつぼ11
が設けられている。
7により複数段(図では8段)の真空室3」〜3qに仕
切られ、上記実施例と同様に図示しない真空ポンプに上
り差動排気されている。そして、その中央部側の真空室
3n内にアルミニウム用るつぼ9及び亜鉛用るつぼ11
が設けられている。
このように同じ真空室3n内にアルミニウム用るつぼ9
及び亜鉛用るつぼ11を設けても、各るつぼの温度をそ
れぞれ所定の温度に設定することにより、所望亜鉛めっ
き鋼帯を得ることができる。
及び亜鉛用るつぼ11を設けても、各るつぼの温度をそ
れぞれ所定の温度に設定することにより、所望亜鉛めっ
き鋼帯を得ることができる。
なお、思上説明した実施例では真空蒸着装置の直前に脱
脂・酸洗装置を設けたが、予め別ラインで前処理を施し
た鋼帯を真空蒸着装置に導入するようにしてもよ(、こ
の場合には上記脱脂・酸洗装置2を省略することができ
ろ。
脂・酸洗装置を設けたが、予め別ラインで前処理を施し
た鋼帯を真空蒸着装置に導入するようにしてもよ(、こ
の場合には上記脱脂・酸洗装置2を省略することができ
ろ。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明の真空蒸着亜鉛めっき装置
は、前処理すると共に予熱された鋼帯にアルミニウムを
蒸着めっきし、次いで亜鉛を蒸着めっきできるようにな
っているので、アルミニウム蒸着めっき層を介して鋼帯
と亜鉛蒸着めっき層との密着性が良好になる。したがっ
て、従来のように還元焼純設備を用いることなく密着性
のよい亜鉛めっき鋼板が得うれ、装置のコンパクト化、
操業性の向上が実現できた。
は、前処理すると共に予熱された鋼帯にアルミニウムを
蒸着めっきし、次いで亜鉛を蒸着めっきできるようにな
っているので、アルミニウム蒸着めっき層を介して鋼帯
と亜鉛蒸着めっき層との密着性が良好になる。したがっ
て、従来のように還元焼純設備を用いることなく密着性
のよい亜鉛めっき鋼板が得うれ、装置のコンパクト化、
操業性の向上が実現できた。
第1図は一実施例に係る真空蒸着亜鉛めっき装置の概念
図、第2図は他の実施例に係る真空蒸着亜鉛めっき装置
の概念図である。 図面中、 1は鋼帯、 2は脱脂・酸洗装置、 3.3Aは真空蒸着装置、 38〜3qは真空室、 6は隔壁、 7はシールロール、 8はアルミニウム溶湯、 9はアルミニウム用るつぼ、 10は亜鉛溶湯、 11は亜鉛用るつぼ、 2は加熱手段である。 三菱重工業株式会社
図、第2図は他の実施例に係る真空蒸着亜鉛めっき装置
の概念図である。 図面中、 1は鋼帯、 2は脱脂・酸洗装置、 3.3Aは真空蒸着装置、 38〜3qは真空室、 6は隔壁、 7はシールロール、 8はアルミニウム溶湯、 9はアルミニウム用るつぼ、 10は亜鉛溶湯、 11は亜鉛用るつぼ、 2は加熱手段である。 三菱重工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真空室に鋼帯を連続的に導入して亜鉛を真空蒸着めっ
きする装置であって、 上記真空室の前段には上記鋼帯に前処理を施す脱脂・酸
洗装置を有し、 上記真空室内には上記脱脂・酸洗装置から導入される鋼
帯を予熱する加熱手段と、予熱された鋼帯にアルミニウ
ムを真空蒸着めっきするためのアルミニウム用るつぼと
、アルミニウムが蒸着めっきされた鋼帯に亜鉛を真空蒸
着めっきするための亜鉛用るつぼとを備えている、 ことを特徴とする真空蒸着亜鉛めっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20133290A JPH0488163A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 真空蒸着亜鉛めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20133290A JPH0488163A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 真空蒸着亜鉛めっき装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0488163A true JPH0488163A (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=16439263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20133290A Pending JPH0488163A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 真空蒸着亜鉛めっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0488163A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007186775A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Bridgestone Corp | 成膜方法及び装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6421055A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Kobe Steel Ltd | Production of plated steel stock excellent in adhesion |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP20133290A patent/JPH0488163A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6421055A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Kobe Steel Ltd | Production of plated steel stock excellent in adhesion |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007186775A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Bridgestone Corp | 成膜方法及び装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0305573B1 (en) | Continuous composite coating apparatus for coating strip | |
US20040175511A1 (en) | Coater having substrate cleaning device and coating deposition methods employing such coater | |
US7541070B2 (en) | Method of vapor-depositing strip-shaped substrates with a transparent barrier layer made of aluminum oxide | |
WO2022047948A1 (zh) | 一种多层复合结构的铝基导电薄膜的制备方法 | |
JPH0488163A (ja) | 真空蒸着亜鉛めっき装置 | |
JP4568994B2 (ja) | ロールコーター式連続スパッタリング装置 | |
JPH02149661A (ja) | 薄膜形成方法およびその装置 | |
JPS62185877A (ja) | 真空薄膜形成装置 | |
JPS6353262B2 (ja) | ||
JPH08209329A (ja) | 巻き取り式蒸着装置及びcvd装置 | |
JPS62222078A (ja) | 帯板連続複合コ−テイング設備 | |
JPS634057A (ja) | 合金化蒸着亜鉛メツキ鋼帯の製造方法 | |
JPH0610335B2 (ja) | 耐熱性に優れたアルミニウムめつき鋼板 | |
JPH0649901B2 (ja) | けい素鋼板の磁気特性改善方法 | |
JPH01184270A (ja) | 真空蒸着装置 | |
US3761302A (en) | Reducing re evaporation of vacuum vapor deposited coatings | |
JPH021223B2 (ja) | ||
JPH0759745B2 (ja) | 耐熱性に優れたチタンめつき鋼板 | |
JP2898652B2 (ja) | イオンプレーティング用蒸発装置 | |
JPH0633458B2 (ja) | 表面外観に優れた蒸着メツキ鋼板の製造方法 | |
JP2005220445A (ja) | 巻き取り式蒸着装置及びcvd装置 | |
JPS61195973A (ja) | 連続式真空蒸着めつき装置 | |
JPS6296668A (ja) | 片面合金化差厚蒸着亜鉛めっき鋼板の製造方法 | |
JPS6296669A (ja) | 合金化蒸着亜鉛めっき鋼板の製造方法 | |
JPH05320875A (ja) | 複層Zn−Ti合金めっき鋼板及びその製造方法 |