JPH0480609A - 顕微鏡装置およびこの装置による測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、板体上の２点間の距離を測定する測表装置お
よびこの装置装置による測定方法に関する。

〔従来の技術〕

近年、各種技術分野においては装置が微小化又は高精度
化され、これに伴い装置の製造時における各部の寸法も
厳格な管理が必要となり、このため、サブμｍオーダの
精度で測定可能な測長装置が要望されるようになった。

ここで、上記のように高精度の測長が必要である対象物
としで、テレビジョン、コンピュータ等の表示ムこ使用
される液晶表示装置を例示して説明する。

第４図は液晶表示装置の電極の配置図である。

図で、Ｉは基板、２は基板１上に縦横に多数配置された
電極である。例えば、図で横方向の長さが４００ｎの基
板１上に電極２が横方向１列に６７００個配列されてい
る。これら各電極２は互いに正確な間隔で配置される必
要がある。即ち、第４図に示す隣接する電極２間の寸法
Ｘ＋、）＋　は正確でなければならない。したがって、
このような電極パターンを製造するための原板（マスク
）における上記寸法Ｘ＋＋３’＋　は厳格に管理されな
ければならない。そして、このためには、高精度の測長
装置が必要である。例えば、上記の例では、寸法ｘ１は
６０μであるので、測長装置としてはサブμｍオーダの
精度のものが要望される。このような装置の測定に使用
される測長装置を第５図により説明する。

第５図は従来の測長装置の系統図である。図で、５は図
示しない空気定盤上に支持されたステージ、６はステー
ジ５上を図で左右に移動可能な移動台、７は移動台６を
駆動するモータである。移動台６は、モータ７の回転軸
に連結され周面に螺旋状のねじが形成されている軸（螺
軸）に螺合する螺子を有し、モータ７の回転により左右
に移動する構成となっている。８は移動台６に固定され
たテーブル、９はテーブル８上に載置された被測長対象
物である原板を示す。９ｐは第４図に示す電極２を作成
するため原板９に構成された電極パターンである。電極
パターン９ｐは第４図に示す電極２の配置に等しく配置
されている。１０はこれら電極パターン９ｐを観察する
顕微鏡、１１は顕微鏡１０を支持するスタンド、１２は
原板９を照明する光源、１３は光源１２を支持すると共
に光を顕微鏡１０に導く導光管である。１４は顕微鏡１
０の視野内の像を撮像するカメラであり、像に応じた電
気信号を出力する。

１５はリニアエンコーダであり、スケール１５ａおよび
センサ１５ｂで構成される。スケール１５ａはテーブル
８の側面に配置された多数の反射膜で構成されている。

この反射膜は、例えば５μｍの巾を有し５μｍ間隔で配
置されている。センサ１５ｂは発光素子スリット板およ
び受光素子より成り、反射膜で反射された発光素子から
の光を、スリット板を介して受光素子で受光する構成と
なっている。

このリニアエンコーダ１５によりテーブル８の移動距離
がサブμｍオーダの精度で測定できる。このようなリニ
アエンコーダは周知である。

１６は画像処理装置を示し、画像処理部１６ａおよび表
示部１６ｂで構成されている。画像処理部１６ａはカメ
ラ１４からの信号に基づき顕微鏡１０の視野内の像を表
示部１６ｂに表示する処理を行なうとともに、後述する
ようにその像についての種々の処理を実行する。表示部
１６ｂは等間隔に縦横に配列された微粒子（画素）で構
成されている。これらの画素は表示部１６ｂにおける発
光単位であり、各画素が選択的に発光することにより、
映像が形成表示される。各画素は、画像処理部１６ａに
内蔵されたメモリのアドレスに対応せしめられているの
が通常である。どの画素を発光させるかの選択は、カメ
ラ１４の信号に基づいて画像処理部１６ａで行なわれる
。１７は測長装置における所定の演算制御を行なう制御
装置であり、マイクロコンピュータを用いて構成されて
いる。

次に、上記測長装置の動作を第６図（ａ）　、　（ｂ）
に示す画像処理装置の表示像を参照しながら説明する。

まず、原板９をテーブル８上にセットし、顕微鏡１０の
倍率を電極パターン９ｐの全体像やその周辺が把握可能
な程度（例えば５倍）に低くする。

次いで、カメラ１４に撮影され表示部１６ｂに表示され
た顕微＠１０の視野を観察しながら、制御装置１７を介
して（又は手動で）テーブル８を移動させ、最端部の電
極パターン９ｐ（この電極パターンを９ｐ＋　とする）
を顕微鏡１０の視野にとらえる。この状態で顕微鏡１０
の倍率を高倍率（例えば２００倍）とする。このとき、
表示部１６ｂに表示された顕微鏡１０の視野内の映像が
第６図（ａ）に示されている。第６図（ａ）において、
Ａは顕微鏡ＩＯの視野、Ｃは顕微鏡１０の中心線乙こ対
応する中心線、また、９ｐ１　′は電極パターン９ｐ＋
　の映像である。

電極パターン９ｐ＋は顕微鏡１０て拡大されているため
、その映像９ｐ１′は電極パターン９ｐの極く一部であ
り、かつ、その縁部（エツジ）は図示のように凹凸とな
って現われる。ところで、原板９における測長は、各電
極パターン９ｐのエツジ間を測定するのであるから、エ
ツジに凹凸が存在していては測定不可能となる。このた
め、何等かの手段によりエツジを確定する必要がある。

このエツジの確定は、画像処理部１６ａにおいて、映像
９ｐ、′の縁部の発光画素の位置を多数検出し、それら
の平均値を演算することにより行なわれる。なお、この
ようなエツジの確定方法は、投影分布法として周知であ
るので詳細な説明は省略する。第６図（ａ）に、確定し
たエツジが符号Ｅで示されている。画像処理部１６ａは
中心線ＣとエツジＥとの間隔１１を、その間の画素数を
カウントする（メモリのアドレスの差を演算する）こと
により求め、その値β１を制御装置１７に出力する。

次に、制御装置１７はモータ７に指令信号を出力し、テ
ーブル８を移動して次の電極パターン９ｐ（この電極パ
ターン９１）２とする。）を顕微鏡１０の視野に入れ、
これを表示部１６ｂに表示する。このときのテーブル８
の移動量ｌはリニアエンコーダ１５により検出され、制
御装置１７に出力される。

第６図（ｂ）に電極パターン９ｐ２が視野に入ったとき
の状態が示されている。第６図（ｂ）で第６図（ａ）と
同一部分には同一符号が付しである。

９ｐ２′は電極パターン９ｐｚの映像を示す。電極パタ
ーン９１）２の映像９ｐ２′に対しても、電極パターン
９ｐ＋の映像９ｐ＋’と全く同様にしてエツジＥが確定
され、中心線Ｃとの間隔７！２が求められ、この値１２
が制御装置１７に出力される。

ここで、リニアエンコーダ１５で検出された移動量ｌは
、最初の視野において顕微鏡１０の中心線に対向する原
板９上の位置と、次の視野において顕微鏡１０の中心線
に対向する原板９上の位置との間の間隔に等しい。した
がって、第６図（ａ）　、　（ｂ）に示す視野の場合、
制御装置１７は入力された値ｌ１１２、ｌを加算して測
定値Ｌ　（Ｌ＝ｊｌ！Ｉ　↓１２＋ｌ）を得る。各電極
パターン９ｐの間隔は、第４図に示す電極２の間隔ｘＩ
　＋　　ｘ２　＋　　ｘ３・・・・・・・・・と同しよ
うに、最端部の電極パターン（９ｐ＋）のエツジＥを基
準とし、上述のような方法で、当該エツジＥからの間隔
として測定される。

上記測長方向と直交する方向における各電極パターン９
の間隔の測定は、テーブル８から一旦原板９を外し、載
置方向を９０°変更して再度テーブル８に載置すること
により行なわれるが、このような手間を省くため、ステ
ージ５の下に移動方向が直交するステージを重ね、リニ
アエンコーダ１５が配置されている側面と隣接する側面
にさらに他のリニアエンコーダを設けて２軸（Ｘ軸、Ｙ
軸）の測長装置を構成してもよい。

第７図はリニアエンコーダに代えてレーザ測長器を用い
た測長装置の系統図である。図で、第５１に示す部分と
同一部分には同一符号を付して説明を省略する。Ｘ、Ｙ
は座標軸を示す。本実施例はＸ軸およびＹ軸方向の測定
が可能な２、軸の測長装置である。５ｘ、５ｙはそれぞ
れＸ軸、Ｙ軸方向の移動機構が備えられているステージ
であり、ステージ５Ｘはステージ５Ｙ上においてＹ軸方
向に移動可能に設置されている。７Ｘは移動台６をＸ軸
方向に移動さセるモータ、７Ｙはステージ５ＸをＹ軸方
向に移動させるモータである。１７′は制御装置である
。この制御装置１７′は第５図に示す制御装置１７力月
軸（Ｘ軸）に関してのみの制御装置であるのに対して２
軸（Ｘ軸、Ｙ軸）に関しての制御装置である点で異なる
だけで基本的動作は両者同じである。

３６はレーザヘッドであり、例えば２周波レーザヘッド
が用いられる。このレーザヘッドは僅かに異なる周波数
ｆ、、ｆ２のレーザ光を出力する。

３７はレーザヘッド３６からのレーザ光を直線方向およ
びこれと直角方向に分ｖ１するビームスプリッタである
。３８Ｘ、３８Ｙはレーザ光のうち周波数ｆ１のレーザ
光のみを出力するインタフェロメータである。３９はテ
ーブル８に固定されたＬ型ミラーであり、Ｘ軸方向の反
射を行なう部分３９ＸおよびＹ軸方向の反射を行なう部
分３９Ｙを有する。４０Ｘ４０ＹはそれぞれＸ軸、Ｙ軸
のレシーバであり、インタフェロメータ３８Ｘ、３８Ｙ
から送られてくるレーザ光の周波数に基づいて所定の信
号を出力する。

４１はパルスコンパレータであり、レーザヘッド３６か
らの信号とレシーバ４０Ｘ、４０Ｙからの信号とに基づ
いてＸ軸方向およびＹ軸方向の変位量を演算し、これを
制御装置１７′に出力する。レーザヘッド３６、ビーム
スプリッタ３７、インタフェロメータ３８Ｘ、３８Ｙ、
Ｌ型ミラー３９、レシーバ４０Ｘ、４０Ｙ、およびパル
スコンパレータ４１によりレーザ測長器が構成される。

この装置の測長は、Ｘ軸、Ｙ軸それぞれについて第５図
に示す装置の測長動作と同し動作により行なわれるもの
であり、ただ、チーフル８の変位量の検出がリニアエン
コーダ１５の代わりにレーザ測長器で行なわれる点での
み相違する。したがって、この装置の動作の説明はレー
ザ測長器のＸ軸の測長動作の概略を述べるに留める。

レーザヘッド３６からの各レーザ光はビームスプリッタ
３７により分側され、その一方がインタフェロメータ３
８Ｘに入力され、かつ、周波数ｆ１のレーザ光のみミラ
ー３９の部分３９Ｘに照射される。この状態でテーブル
８が変位すると照射されたレーザ光には、ドツプラ効果
によりドツプラ変調が発生し、ミラ一部分３９Ｘから反
射されるレーザ光の周波数は（ｒ＋　±Δｆ１）となる
。この反射レーザ光はインタフェロメータ３８Ｘを経て
周波数ｆ２のレーザ光とともにレシーバ４０Ｘに入力さ
れ、レシーバ４０Ｘでは、これら２つのレーザ光の周波
数に基づき（ｆｚ　　　（ｆｌ　±Δｆ１））の演算が
なされ、これに応じた信号が出力される。一方、レーザ
ヘッド３６からは各レーザ光の周波数の差に応じた信号
（ｆＺ　−ｆｌ　’）が出力され、レシーバ４０Ｘの信
号とともにパルスコンパレータ４Ｉに入力すれる。パル
スコンパレータ４１では両人力値に基づいて（（ｆ２−
ｆ、）−ｆ２＋　（ｆ、　　±Δｆ１））の演算が実行
され、この結果、信号上△ｆ、がとり出される。この信
号±Δｆ１はテーブル８の変位に比例した信号であり、
制御装置１７′に入力されて前述の数（ｉ　ｆとして用
いられる。このレーザ測長器の使用により精度の高い測
定が可能となる。

又、この装置は、２軸測定の場合、原板を一旦取外した
後取付ける手間と時間を省くことができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、近年、被測長対象物を使用する装置のうち大
型化が進められているものがでてきた。

例えば、さきに例示した液晶テレビジョン等がこれに相
当する。このため測長装置もこれに伴って大型化する必
要が生じる。上記液晶テレビジョンを例にとると、画面
が大型となることにより、原Ｖｉ９の大きさも増大し、
全ての電極パターン９ｐを測定するためには、従前より
遥かに大きなストローク（例えば１００１００Ｏ１００
０ｍ　）が可能な測長装置が必要となる。

しかしながら、第５．７図に示す従来の装置を大型化し
て大きなストロークを得ようとすると、次のような問題
が生じる。

（１）モータ７．７Ｘ、７Ｙに連結された螺軸が長くな
り、ねしピッチを高精度で製作するのが困難となる。

（２）移動台６を移動させるステージ５の案内面を平面
に仕上げるのが困難となる。

（３）ＩＸ軸が長くなるので、その自重や移動台の重量
等により螺軸にたわみが生じる。

以上（１）〜（３）の理由により、テーブル８の移動に
おいて、ピッチング、ヨーイング、ローリング等の誤差
が生じ、測定精度が著るしく低下する。この他、次のよ
うな問題も生じる。

（４）モータ７．７Ｘ、７Ｙの負荷が大きくなり、発熱
量が大きくなる。これを抑えるためにはモータ７．７Ｘ
、７Ｙの容量を大きくする必要がある。

（５）上記モータ７．７Ｘ、７Ｙだけでなく、ステージ
５、移動台６、等が大型化し製造コストが増大する。

さらに、第７図に示すレーザ測長器を用いた装置では次
のような問題を生しる。

（６）ストロークが大きくなるため、レーザ光の経路も
長くなり、環境変化の影響も受は易くなり、高精度の寸
法測定が困難となる。−例として４００　ｍＸ４００　
ｗのストロークにおいて、誤差０．０４μｍである場合
、同一環境下で、１０００鶴Ｘ１０００ｍのストローク
とした場合、誤差は０．１μｍとなる。

このように、測長装置を大型化すると、必然的に測定精
度が著るしく低下するという問題が生していた。

本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
高い測定精度を維持しつつ、大きな寸法を測定すること
ができる測長装置およびこの測長装置による測定方法を
捉供するにある。

５課題を解決するための手段〕 上記の目的を達成するため、本発明は、被測長物を載置
するテーブルと、このテーブルの表面をほぼ等しい形状
、面積で複数領域二二区分したときの１つの領域の形状
とほぼ等じく僅か二二大きな面積をもち、かつ、前記テ
ーブルを移動させる移動台と、この移動台を移動可能に
支持するベースと、前記複数領域のそれぞれに対向配置
され前記ベース乙こ連結された複数の顕微鏡と、前記チ
ーフルの移動量を測定する測定手段と、この測定手段に
より測定された移動量に基づいて前記被測長物の２点間
の長さを演算する演算手段とで測長装置を構成したこと
を特徴とする。

さらに本発明は、上記構成の測長装置を用いて、まず、
位置が既知である多数パターンより成る板体を前記テー
ブルに載置し、前記各顕微鏡の視野内にあるパターンに
基づいて前記各顕微鏡の相対位置を求めておき、次いで
前記テーブルに被測長物を載置し、この被測長物の予め
定められた３つの点により直交座標を設定し、前記顕微
鏡位置を前記直交座標の座標値に変換した後、２つの測
定点のそれぞれをそれらの属する領域の顕微鏡の視野内
に移動させ、これら移動量とこれら移動に関与した顕微
鏡の座標値に基づいて前記各測定点間の距離を演算する
ことをも特徴とする。

〔作用〕

被測長物を測定する前に、予め寸法が判っているパター
ンより成る板体を用い、各顕微鏡の相対位置を求めてお
く。次に、被測長物をテーブルに載置して測定を行なう
が、その測定に先立ち、被測長物上に予め定められてい
る３つの点を基準にして直交座標を設定し、各顕微鏡の
位置をこの直交座標の座標値に変換する。この状態で、
所要の２点間の距離測定を行なう。この測定は、各点を
、その点が属する領域の顕微鏡の視野内に移動させ、そ
の移動量と、測定に関与した顕微鏡の座標とに基づいて
演算により算出される。

このようにすると、移動台のストロークは１つの領域の
大きさに対応するストロークの範囲内となり、このスト
ロークにより長い寸法の測定が可能となり、測定精度の
低下を防止することができる。

〔実施例〕

以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明の実施例に係る測長装置の系統図である
。本実施例ではレーザ測長器が使用される。図で、第７
図に示す部分と同−又は等価な部分には同一符号を付し
て説明を省略する。８′はテーブルである。このテーブ
ル８′は第７図に示すテーブルより遥かに大きな形状、
面積を有する。

１０Ａ〜ＩＯＤは第７図に示す顕微鏡１０と同じ顕微鏡
、Ａ０〜Ｄ、は顕微鏡１０Ａ〜ＩＯＤの視野の中心を示
す。これら顕微鏡１０Ａ〜ＩＯＤの位置については後述
する。１４Ａ〜１４Ｄは第７図に示すカメラ１４と同じ
カメラであり、顕微鏡１０Ａ〜ＩＯＤの像を撮像する。

１７″は第７図に示す制御装置１７′に相当する制御装
置であるが、制御装Ｗ１７′の機能に加え、さらに、後
述する他の機能が付加されている。１８は各カメラ１４
Ａ〜１４Ｄの撮像信号を制御装置１７″の指令により切
換える切換器である。

次に、本実施例の動作を第２図（ａ）、　　（ｂ）およ
び第３図を参照しながら説明する。第２図（ａ）はテー
ブルの上面閾である。まず、この図に基づいて第１図に
示す顕微鏡１０Ａ〜ＩＯＤの配置位置を説明する。本実
施例では、チーフル８′の面が一点鎖線で示す４つの領
域に区分されている。

これらの領域が符号８’Ａ〜８’Ｄで示されている。顕
微鏡１０Ａ〜ＩＯＤは、それぞれ領域８’Ａ〜８’Ｄの
ほぼ中央に位置するように配置され、ステージ５と同じ
基盤上に固定される。第２図（ａ）では顕微鏡１０Ａ〜
ＩＯＤは図示されず、その視野中心Ａ。−Ｄ、のみ示さ
れている。

第２図（ａ）で、９Ｓはテーブル８′上に載置された基
準マスクを示す。この基準マスク９Ｓは、例えば第７図
に示すような多数の電極パターン９ｐが配置されたマス
クであり、これら電極パターン９ｐは、いずれも基準マ
スク９Ｓ上の所定点に対する位置が予め他の手段で測定
されていて既知である。基準マスク９Ｓの縦横の長さは
充分に大きく設定しである。したがって、基準マスク９
ｓは同時に、すべての顕微鏡１０Ａ〜ＩＯＤの視野内に
ある。

被測長物の測定に際し、最初、テーブル８′には第２図
（ａ）に示すように基準マスク９Ｓが載置される。この
状態で、この基準マスク９ｓｃこ対する各顕微鏡１０Ａ
〜ＩＯＤの視野中心Ａ。−Ｄｏの位置（座標）が測定さ
れる。この座標の測定が第２図（ｂ）に示されている。

第２図（ｂ）は顕微鏡１０Ａの顕微鏡像の平面図である
。この図で、１゜ＡＡは顕微鏡１０Ａの視野、Ａｏは第
２図（ａ）に示すものと同じ視野中心を示す。９ｓＰ、
Ｊは基準マスク９Ｓのパターンの１つであり、Ｘ軸、Ｙ
軸方向にそれぞれｉ番目およびｊ番目のパターンである
。ｄＸ、ｄｙはパターン９３Ｐ１Ｊの右肩部の視野中心
Ａ０に対するＸ軸、Ｙ軸方向の距離を示す。

今、テーブル８′を停止した状態で顕微鏡１０Ａの視野
１０ＡＡが第２図（ｂ）に示すものであるとすると、こ
のパターン９３Ｐ、の肩部と視野中心Ａ０との距離ｄＸ
、ｄｙが画素数のカウント（アドレス演算）により判る
。パターン９ＳＰｉＪの肩部の位置は既知であるので、
視野中心Ａ。の座標が求まる。次いで、同様の手段で視
野中心Ｂ。の座標を求め、続いて視野中心Ｃｏ、Ｄｏの
座標を求める。これらの座標により、固定状態にある各
顕微鏡１０Ａ〜１０Ｄの各視野中心間の相対位置関係が
得られる。

このように、各視野中心Ａ。−Ｄｏの座標を求めた後、
被測長物の測定が行なわれる。この測定を第３図を参照
しながら説明する。第３図はテーブル８′に被測長物を
載置した状態の平面図である。第３図で、第２図に示す
部分と同一部分には同一符号が付しである。９は被測長
物、Ｍ＋　、Ｍ２、Ｍ３は被測長物９の３つの隅部に付
されたマーク、０はマークＭＩの角部を示す。この例で
は被測長物９の各角部は直角であるとする。

被測長物９が測定を行なうためテーブル８′に第３図に
示す状態で載置されたとすると、この状態で、測定者は
まずレーザ測長器を初期設定した後、移動台６を駆動し
てマークＭ１の角部を顕微鏡１０Ａの視野中心Ａ。に移
動させ、その座標を視野中心Ａ。の座標と当該移動距離
Ｘつ、Ｙ２とから求める。同様の手段で、マークＭ２の
角部と視野中心Ｂ。との一致によりマークＭ２の角部の
座標が求められ、さらに、マークＭ３の角部と視野中心
Ｃ８との一致によりマークＭ３の角部の座標が求められ
る。これら各マークＭ、〜Ｍ３の角部の座標から、マー
クＭ１．Ｍ２の角部を結ぶ直線をＸ軸、当該直線に対し
てマークＭ３の角部から下ろした垂線をＹ軸、それらの
交点を原点とする新らたな座標軸が設定される。図示の
場合、この座標軸の原点０はマークＭ、の角部となる。

次いで、さきに求められていた視野中心Ａ０〜Ｄ０の座
標値が新らたな座標軸の座標値に変換される。

以上の座標値の計算や変換は周知の手法により制御装置
１７″に備えられたマイクロコンピュータの演算手段に
より実行される。

このような処理がなされた後、被測長物９上の２点間の
距離の測定が行なわれる。例えば、点Ｐ。

と点Ｐ、の２点間を測定する場合、測定者は点ＰＣをそ
の属する領域の顕微鏡１０Ｃの視野内に移動させ、レー
ザ測長器によりその移動距離ｘｃ、Ｙｃが読まれる。制
御装置１７″は、視野中心Ｃ０の座標と移動距離Ｘｃ、
Ｙｃから、前記新らしい座標軸に対する点Ｐ、の座標を
演算する。全く同様に、測定者は点Ｐ、を顕微鏡１０Ｄ
の視野内に移動さ　せ、これにより点Ｐ、の座標が演算
される。制御装置１７“は演算された点ＰＣ，Ｐ、の座
標に基づいて、画点間の距離を演算する。

このように、本実施例では、テーブル８′を４つの領域
に区分し、各領域に対向して顕微鏡を配置するようにし
たので、移動台のストロークは１つの領域の範囲内に留
めることができ、これにより、精度の低下を防止するこ
とができる。ここで、従来装置に比較し、顕微鏡および
カメラを３つ増加させ、かつ、制御装置の機能も増加さ
せる必要があるが、このためのコスト増は、長ストロー
クの装置を製造する場合の製造コスト増に比較して遥か
に低い値である。

なお、上記実施例の説明では、レーザ測長器を使用した
例について述べたが、リニアエンコーダを使用してもよ
いのは当然である。また、チーフルの領域は４つてなく
適宜の数に区分してもよいが、その形状は正方形に近い
ものが望ましい。さらに、位置合わせの基準は顕微鏡の
視野中心でなく、視野内の設定された点とすることがで
きる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、テーブルを複数領域に
区分し、各領域に対向してそれぞれ顕微鏡を設けるよう
にしたので、小さなストロークで長い距離を測定するこ
とができ、ひいては、高い測定精度を維持することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る測長装置の系統図、第２
図（ａ）はテーブルに基準マスクを載置した状態の平面
図、第２図（ｂ）は顕微鏡像の平面図、第３図はテーブ
ルに被測長物を載置した状態の平面図、第４図は液晶表
示装置の電極の配置図、第５図は従来の測長装置の系統
図、第６図（ａ）、（ｂ）は顕微鏡像の平面図、第７図
は従来の他の測長装置の系統図である。 ６・・・・・・移動台、８′・・・・・・テーブル、Ｉ
ＯＡ〜ＩＯＤ・・・・・・顕微鏡、１４Ａ〜１４Ｄ・・
・・・・カメラ、１７″・・・・・・制御装置、１８・
・・・・・切換器 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 （ａ） （ｂ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測長物を載置するテーブルと、このテーブルの
   表面をほぼ等しい形状、面積で複数領域に区分したとき
   の１つの領域の形状とほぼ等しく僅かに大きな面積をも
   ち、かつ、前記テーブルを移動させる移動台と、この移
   動台を移動可能に支持するベースと、前記複数領域のそ
   れぞれに対向配置され前記ベースに連結された複数の顕
   微鏡と、前記テーブルの移動量を測定する測定手段と、
   この測定手段により測定された移動量に基づいて前記被
   測長物の２点間の長さを演算する演算手段とで構成した
   ことを特徴とする測長装置
2. （２）被測長物を載置するテーブルと、このテーブルの
   表面をほぼ等しい形状、面積で複数領域に区分したとき
   の１つの領域の形状とほぼ等しく僅かに大きな面積をも
   ち、かつ、前記テーブルを移動させる移動台と、この移
   動台を移動可能に支持するベースと、前記複数領域のそ
   れぞれに対向配置され前記ベースに連結された複数の顕
   微鏡と、前記テーブルの移動量を測定する測定手段と、
   この測定手段により測定された移動量に基づいて前記被
   測長物の２点間の長さを演算する演算手段とで構成され
   ている測長装置を用い、位置が既知である多数パターン
   より成る板体を前記テーブルに載置し、前記各顕微鏡の
   視野内にあるパターンに基づいて前記各顕微鏡の相対位
   置を求めておき、次いで前記テーブルに被測長物を載置
   し、この被測長物の予め定められた３つの点により直交
   座標を設定し、前記顕微鏡位置を前記直交座標の座標値
   に変換した後、２つの測定点のそれぞれをそれらの属す
   る領域の顕微鏡の視野内に移動させ、これら移動量とこ
   れら移動に関与した顕微鏡の座標値に基づいて前記各測
   定点間の距離を演算することを特徴とする測定方法