CN102937418A - 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置 - Google Patents

一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102937418A
CN102937418A CN2012103975894A CN201210397589A CN102937418A CN 102937418 A CN102937418 A CN 102937418A CN 2012103975894 A CN2012103975894 A CN 2012103975894A CN 201210397589 A CN201210397589 A CN 201210397589A CN 102937418 A CN102937418 A CN 102937418A
Authority
CN
China
Prior art keywords
displacement platform
measuring head
rotating mirror
camera
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012103975894A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102937418B (zh
Inventor
李旭东
赵慧洁
李成杰
边赟
姜宏志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beihang University
Original Assignee
Beihang University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beihang University filed Critical Beihang University
Priority to CN201210397589.4A priority Critical patent/CN102937418B/zh
Publication of CN102937418A publication Critical patent/CN102937418A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102937418B publication Critical patent/CN102937418B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

一种扫描式物体表面三维形貌测量装置,该装置由测量头、位移台、计算机组成,计算机通过数据线分别与测量头和位移台连接;其中,测量头由激光器、扫描装置和成像装置组成,激光器与成像装置的光轴之间保持预定夹角,放置于扫描装置的同侧;扫描装置包括电机、多面转镜,角度编码器,电机带动多面转镜和角度编码器高速旋转;成像装置包括成像透镜和相机。一种扫描式物体表面三维形貌测量方法,它有三大步骤。该测量方法具有速度快、测量范围大、精度高等优点,可用于一般物体表面的三维形貌测量。

Description

一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置
技术领域
本发明涉及一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置,该装置的基本原理是利用激光三角法,能够实现非接触光学测量,可用于一般物体表面的三维形貌测量。本发明属于光学三维测量技术领域。
背景技术
激光三角法作为典型的非接触光学主动三维测量方法,广泛应用于三维形貌测量、逆向工程和质量检测等诸多领域。激光三角法每次只能对一个点进行测量,因此需要采取一些措施实现对整个物体的形貌测量。常见的措施包括:光束扫描、物***移以及光束扫描与物***移结合等方法。常见的光束扫描方式包括:振镜扫描法、AOD声光器件扫描法、多面转镜扫描法等。振镜扫描法扫描速度受到限制,AOD声光器件扫描法的扫描范围较小,都无法同时实现大范围高速扫描。
本发明使用多面转镜对光束扫描,同时结合物体的运动实现了大范围高速扫描测量。
发明内容
本发明的目的在于提供了一种基于激光三角法的光束扫描与物体移动相结合的物体表面三维形貌测量装置,该测量装置可实现高速、大范围、高精度物体表面三维形貌测量。
1)本发明一种扫描式物体表面三维形貌测量装置,它是由测量头、计算机和位移台组成,它们之间的位置连接关系是计算机通过数据线分别与测量头和位移台连接。
所述测量头是由激光器、扫描装置和成像装置组成,它们之间的位置连接关系是激光器与成像装置的光轴之间保持预定夹角,放置于扫描装置的同侧。该激光器是可见光半导体激光器。该扫描装置由电机、多面转镜、角度编码器组成;其间关系是:电机带动多面转镜和角度编码器高速旋转;利用多面转镜的特性,实现了对运动物体截面的高速大范围周期性扫描,扫描方向与物体运动方向垂直;利用角度编码器,可以实时读出激光光束偏转的角度。该电机是高速伺服电机;该多面转镜是定制的高精度多面转镜;该角度编码器是高精度增量式光电编码器;该成像装置由透镜和相机组成,其间关系是:为了保证装置具有较大的景深,激光光束、相机成像平面与光轴之间的夹角满足一定条件(参见图1)。具体描述如下:设透镜焦距为f,激光光点A到透镜距离为m,A的像点A′到透镜距离为n;激光光束、成像平面与光轴夹角分别为α、β;成像装置光路满足以下条件:
1 m + 1 n = 1 f
m·tanα=n·tanβ
该透镜是高质量的光学玻璃透镜;该相机是工业数字相机。
所述计算机是高性能数字计算机;计算机接收来自相机的图像数据、来自角度编码器的旋转角度数据以及来自位移台的运动速度数据;计算机对图像数据进行处理,提取出像点的位置,再根据像点位置、旋转角度、运动速度计算得到待测物体的三维形貌。
所述位移台是高精度电动位移台。
作为一种非接触光学测量方法,发明的测量装置光路结构如下所述:激光器发出的光线经过多面转镜的反射投射到待测物体上,激光光点在物体上发生漫反射,反射光经多面转镜反射进入成像装置成像。这种光路结构可实现同步扫描,即多面转镜转动时相机的视场能够随激光光线同步扫描。同步扫描的优势在于可通过减小相机的瞬时视场来提高测量精度,而不影响装置的整体测量范围。发明的测量装置的基本原理是激光三角法(参见图2)。激光三角法通过待测点相对于光学基准线偏移产生的角度变化计算待测点的深度信息,即:成像装置对待测物体上的激光光点成像,根据像点的位置,计算得到待测点的深度信息。再通过对像点坐标的细分,可以得到高精度的深度信息。由于每次能获取一个点的深度信息,本发明通过光束扫描与物体运动相结合的方法实现对物体的扫描。从多面转镜的旋转角度和位移台的移动速度中可以得到待测点的方位信息,根据每个待测点的深度信息和方位信息计算得到物体表面的三维形貌。
2)本发明一种扫描式物体表面三维形貌测量方法,该方法具体步骤如下:
步骤一:将测量头安装在位移台上方,被测物体放置于位移台上;调整测量头的姿态,使得从测量头出射光束的扫描方向与位移台的运动方向垂直。测量头的高度可根据待测物体的大小和测量精度的要求进行调节。
步骤二:计算机控制位移台开始运动;给测量头通电,使测量头内的激光器、扫描装置和成像装置处于工作状态。即,电机带动多面转镜高速转动,角度编码器测量多面镜转动的角度;激光器发出激光光束,光束经多面转镜反射后形成一个扫描面;相机实时采集图像。
步骤三:计算机从测量头接收到相机的图像数据、角度编码器的角度数据;从位移台接收位移台的速度数据;计算机根据接收到的数据实时解算出待测物体的三维形貌数据,完成测量。
装置的测量过程为:位移台带动待测物体直线运动,多面转镜在电机的带动下高速转动;激光器发出的光线经多面转镜反射后对物体周期性扫描,扫描方向与物体运动方向垂直;激光光点反射的光线经多面转镜反射进入成像装置成像;计算机接收相机的图像数据、角度编码器的角度数据、位移台运动速数据,自动计算得到物体的三维形貌数据。
测量坐标系如图3所示,坐标原点O建立在测量头上,Z轴与位移台运动方向平行,X轴与位移台平面平行,建立右手坐标系。被测点P到O点距离记为d,三维坐标记为(x,y,z)。具体计算公式为:
d = l + ap sin θ 2 b sin θ 1 - p sin ( θ 1 + θ 2 )
Figure BDA00002272588000041
Figure BDA00002272588000042
z=vt
其中,p为投射在P点的激光光点成像的像点坐标,a、b、θ1、θ2是测量头的结构参数,
Figure BDA00002272588000043
为多面转镜的偏转角度,v为位移台移动速度,t从开始测量到测量P点的时间间隔。
优点及功效:本发明测量装置的主要优点是扫描速度快、范围大,具有较大的景深,测量精度高。本方法的优点是操作简单,几乎不需人工干预。
附图说明
图1为透镜所在平面、相机成像平面及出射的激光光束之间的位置关系。
图2为激光三角法原理图。
图3为测量坐标系。
图4为装置结构框图。其中,实线方框表示测量头,黑线表示机械或电器连接,虚线箭头表示测量头出射的光线,点划线箭头表示测量头入射的光线。
图中符号说明如下:
A激光光点;A′激光光点在相机上所成像点;α激光光束与光轴夹角;β相机成像平面与光轴夹角;m激光光点A到透镜距离;n像点A′到透镜距离;
Figure BDA00002272588000044
多面转镜的偏转角度;X坐标系X轴;Y坐标系Y轴;Z坐标系Z轴;O坐标系原点;P被测点。
1激光器;2多面转镜;3成像透镜;4相机;5电机;6角度编码器;7计算机;8位移台;9成像装置;10扫描装置;11测量头;12待测物体。
具体实施方式
下面结合附图,对测量装置的具体实施方式进行说明。
1)如图4所示,本发明一种扫描式物体表面三维形貌测量装置,它是由测量头、计算机和位移台组成,它们之间的位置连接关系是计算机通过数据线分别与测量头和位移台连接。
所述测量头是由激光器、扫描装置和成像装置组成,它们之间的位置连接关系是激光器与成像装置之间保持预定夹角,并放置于扫描装置的同侧。
该激光器是可见光半导体激光器。该扫描装置由电机、多面转镜、角度编码器组成;其间关系是:电机带动多面转镜和角度编码器高速旋转;利用多面转镜的特性,实现了对运动物体截面的高速大范围周期性扫描,扫描方向与物体运动方向垂直;利用角度编码器,可以实时读出激光光束偏转的角度。该电机是高速伺服电机;该多面转镜是定制的高精度多面转镜;该角度编码器是高精度增量式光电编码器;该成像装置由透镜和相机组成,其间关系是:为了保证装置具有较大的景深,激光光束、相机成像平面与光轴之间的夹角满足一定条件(参见图1)。具体描述如下:设透镜焦距为f,激光光点A到透镜距离为m,A的像点A′到透镜距离为n;激光光束、成像平面与光轴夹角分别为α、β;成像装置光路满足以下条件:
1 m + 1 n = 1 f
m·tanα=n·tanβ
该透镜是高质量的光学玻璃透镜;该相机是工业数字相机。
所述计算机是高性能数字计算机;计算机接收来自相机的图像数据、来自角度编码器的旋转角度数据以及来自位移台的运动速度数据;计算机对图像数据进行处理,提取出像点的位置,再根据像点位置、旋转角度、运动速度计算得到待测物体的三维形貌。
所述位移台是高精度电动位移台。
作为一种非接触光学测量方法,发明的测量装置光路结构如下所述:激光器发出的光线经过多面转镜的反射投射到待测物体上,激光光点在物体上发生漫反射,反射光经多面转镜反射进入成像装置成像。这种光路结构可实现同步扫描,即多面转镜转动时相机的视场能够随激光光线同步扫描。同步扫描的优势在于可通过减小相机的瞬时视场来提高测量精度,而不影响装置的整体测量范围。发明的测量装置的基本原理是激光三角法(参见图2)。激光三角法通过待测点相对于光学基准线偏移产生的角度变化计算待测点的深度信息,即:成像装置对待测物体上的激光光点成像,根据像点的位置,计算得到待测点的深度信息。再通过对像点坐标的细分,可以得到高精度的深度信息。由于每次能获取一个点的深度信息,本发明通过光束扫描与物体运动相结合的方法实现对物体的扫描。从多面转镜的旋转角度和位移台的移动速度中可以得到待测点的方位信息,根据每个待测点的深度信息和方位信息计算得到物体表面的三维形貌。
2)本发明一种扫描式物体表面三维形貌测量方法,该方法具体步骤如下:
步骤一:将测量头安装在位移台上方,被测物体放置于位移台上;调整测量头的姿态,使得从测量头出射光束的扫描方向与位移台的运动方向垂直。测量头的高度可根据待测物体的大小和测量精度的要求进行调节。
步骤二:计算机控制位移台开始运动;给测量头通电,使测量头内的激光器、扫描装置和成像装置处于工作状态。即,电机带动多面转镜高速转动,角度编码器测量多面镜转动的角度;激光器发出激光光束,光束经多面转镜反射后形成一个扫描面;相机实时采集图像。
步骤三:计算机从测量头接收到相机的图像数据、角度编码器的角度数据;从位移台接收位移台的速度数据;计算机根据接收到的数据实时解算出待测物体的三维形貌数据,完成测量。
装置的测量过程为:位移台带动待测物体直线运动,多面转镜在电机的带动下高速转动;激光器发出的光线经多面转镜反射后对物体周期性扫描,扫描方向与物体运动方向垂直;激光光点反射的光线经多面转镜反射进入成像装置成像;计算机接收相机的图像数据、角度编码器的角度数据、位移台运动速数据,自动计算得到物体的三维形貌数据。
测量坐标系如图3所示,坐标原点O建立在测量头上,Z轴与位移台运动方向平行,X轴与位移台平面平行,建立右手坐标系。被测点P到O点距离记为d,三维坐标记为(x,y,z)。具体计算公式为:
d = l + ap sin θ 2 b sin θ 1 - p sin ( θ 1 + θ 2 )
Figure BDA00002272588000072
Figure BDA00002272588000073
z=vt
其中,p为投射在P点的激光光点成像的像点坐标,a、b、θ1、θ2是测量头的结构参数,为多面转镜的偏转角度,v为位移台移动速度,t从开始测量到测量P点的时间间隔。
测量前,首先将测量头安装在位移台上方,调整测量头的姿态,使得从测量头出射光束的扫描方向与位移台的运动方向垂直。测量头的高度可根据待测物体的大小和测量精度的要求进行调节。
给测量头通电,使测量头内的激光器、扫描装置和成像装置处于工作状态。即,电机带动多面转镜高速转动,角度编码器测量多面镜转动的角度;激光器发出激光光束,光束经多面转镜反射后形成一个扫描面;相机实时采集图像。
将待测物体放置在位移台上,位移台带动待测物体运动,开始测量。
测量头出射的激光扫描面对待测物体进行一维扫描,位移台带动待测物体运动形成了第二维扫描。
计算机从测量头接收到相机的图像数据、角度编码器的角度数据;从位移台接收位移台的速度数据;计算机根据接收到的数据实时解算出待测物体的三维形貌数据,完成测量。

Claims (2)

1.一种扫描式物体表面三维形貌测量装置,其特征在于:它是由测量头、计算机和位移台组成,计算机通过数据线分别与测量头和位移台连接;
所述测量头是由激光器、扫描装置和成像装置组成,激光器与成像装置的光轴之间保持预定夹角,放置于扫描装置的同侧;该激光器是可见光半导体激光器,该扫描装置由电机、多面转镜、角度编码器组成;电机带动多面转镜和角度编码器高速旋转;利用多面转镜的特性,实现了对运动物体截面的高速大范围周期性扫描,扫描方向与物体运动方向垂直;利用角度编码器,实时读出激光光束偏转的角度;该电机是高速伺服电机;该多面转镜是定制的高精度多面转镜;该角度编码器是高精度增量式光电编码器;该成像装置由透镜和相机组成,为了保证装置具有较大的景深,激光光束、相机成像平面与光轴之间的夹角满足预定条件;具体描述如下:设透镜焦距为f,激光光点A到透镜距离为m,A的像点A′到透镜距离为n;激光光束、成像平面与光轴夹角分别为α、β;成像装置光路满足以下条件:
1 m + 1 n = 1 f
m·tanα=n·tanβ
该透镜是高质量的光学玻璃透镜;该相机是工业数字相机;
所述计算机是高性能数字计算机;计算机接收来自相机的图像数据、来自角度编码器的旋转角度数据以及来自位移台的运动速度数据;计算机对图像数据进行处理,提取出像点的位置,再根据像点位置、旋转角度、运动速度计算得到待测物体的三维形貌;
所述位移台是高精度电动位移台。
2.一种扫描式物体表面三维形貌测量方法,该方法具体步骤如下:
步骤一:将测量头安装在位移台上方,被测物体放置于位移台上;调整测量头的姿态,使得从测量头出射光束的扫描方向与位移台的运动方向垂直,测量头的高度根据待测物体的大小和测量精度的要求进行调节;
步骤二:计算机控制位移台开始运动;给测量头通电,使测量头内的激光器、扫描装置和成像装置处于工作状态;即,电机带动多面转镜高速转动,角度编码器测量多面镜转动的角度;激光器发出激光光束,光束经多面转镜反射后形成一个扫描面;相机实时采集图像;
步骤三:计算机从测量头接收到相机的图像数据、角度编码器的角度数据;从位移台接收位移台的速度数据;计算机根据接收到的数据实时解算出待测物体的三维形貌数据,完成测量。
CN201210397589.4A 2012-10-18 2012-10-18 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置 Active CN102937418B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210397589.4A CN102937418B (zh) 2012-10-18 2012-10-18 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210397589.4A CN102937418B (zh) 2012-10-18 2012-10-18 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102937418A true CN102937418A (zh) 2013-02-20
CN102937418B CN102937418B (zh) 2015-09-09

Family

ID=47696329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210397589.4A Active CN102937418B (zh) 2012-10-18 2012-10-18 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102937418B (zh)

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104006762A (zh) * 2014-06-03 2014-08-27 深圳市大族激光科技股份有限公司 获取物体三维信息的方法、装置和***
CN104950923A (zh) * 2015-07-01 2015-09-30 天津市视讯软件开发有限公司 空间二自由度测量距离保持恒定的调整方法
CN103822593B (zh) * 2014-03-17 2017-03-22 沈阳飞机工业(集团)有限公司 大尺寸管件内孔圆柱度误差测量装置及其测量方法
CN106969724A (zh) * 2017-05-09 2017-07-21 河南科技大学 一种自旋转十字线激光扫描的环境三维形貌感知装置
CN107764204A (zh) * 2017-11-30 2018-03-06 苏州优函信息科技有限公司 基于光片显微镜的三维表面形貌仪及三维图像拼接方法
CN108392189A (zh) * 2018-05-14 2018-08-14 王庆亚 基于激光扫描三维动态轮廓测量技术的全息脉诊仪
CN108508503A (zh) * 2017-02-27 2018-09-07 北京航空航天大学 一种可实现图谱及结构信息集成探测的遥感成像***
CN109458949A (zh) * 2018-12-03 2019-03-12 西京学院 一种物体表面形貌扫描重构设备
CN109642820A (zh) * 2017-12-22 2019-04-16 深圳配天智能技术研究院有限公司 光传感装置、检测***及检测方法
WO2019119652A1 (zh) * 2017-12-22 2019-06-27 深圳配天智能技术研究院有限公司 光传感装置、检测***及检测方法
CN110132163A (zh) * 2018-02-09 2019-08-16 长沙青波光电科技有限公司 一种目标物体的轮廓构建装置及方法
CN110966953A (zh) * 2018-09-29 2020-04-07 中国航发商用航空发动机有限责任公司 物体表面轮廓的检测方法
CN111947594A (zh) * 2020-08-14 2020-11-17 上海大学 一种双波长激光三维形貌扫描装置及方法
CN111982266A (zh) * 2020-06-24 2020-11-24 北京航空航天大学 一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法
CN112504174A (zh) * 2020-11-09 2021-03-16 玉溪矿业有限公司 三维激光扫描***及其工作方法
CN113074630A (zh) * 2021-03-03 2021-07-06 天津科技大学 一种激光打印机激光扫描***成像质量检测装置及方法
CN113639663A (zh) * 2021-10-15 2021-11-12 高视科技(苏州)有限公司 一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法
CN115665563A (zh) * 2022-12-14 2023-01-31 深圳市中图仪器股份有限公司 光学测量***及基于光学测量***的成像方法
CN117784088A (zh) * 2024-01-30 2024-03-29 荣耀终端有限公司 激光扫描装置、***、控制方法及存储介质

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009264862A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Panasonic Electric Works Co Ltd 3次元形状計測方法および装置
CN102305601A (zh) * 2011-05-18 2012-01-04 天津大学 光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置
CN202119401U (zh) * 2011-07-12 2012-01-18 上海徕肯工贸有限公司 大型料场三维激光实时测量***
CN102589476A (zh) * 2012-02-13 2012-07-18 天津大学 高速扫描整体成像三维测量方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009264862A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Panasonic Electric Works Co Ltd 3次元形状計測方法および装置
CN102305601A (zh) * 2011-05-18 2012-01-04 天津大学 光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置
CN202119401U (zh) * 2011-07-12 2012-01-18 上海徕肯工贸有限公司 大型料场三维激光实时测量***
CN102589476A (zh) * 2012-02-13 2012-07-18 天津大学 高速扫描整体成像三维测量方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李旭东等: "双振镜点扫描三维形貌测量***", 《光学 精密工程》 *

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103822593B (zh) * 2014-03-17 2017-03-22 沈阳飞机工业(集团)有限公司 大尺寸管件内孔圆柱度误差测量装置及其测量方法
CN104006762B (zh) * 2014-06-03 2017-01-04 大族激光科技产业集团股份有限公司 获取物体三维信息的方法、装置和***
CN104006762A (zh) * 2014-06-03 2014-08-27 深圳市大族激光科技股份有限公司 获取物体三维信息的方法、装置和***
CN104950923A (zh) * 2015-07-01 2015-09-30 天津市视讯软件开发有限公司 空间二自由度测量距离保持恒定的调整方法
CN108508503A (zh) * 2017-02-27 2018-09-07 北京航空航天大学 一种可实现图谱及结构信息集成探测的遥感成像***
CN108508503B (zh) * 2017-02-27 2019-08-02 北京航空航天大学 一种可实现图谱及结构信息集成探测的遥感成像***
CN106969724A (zh) * 2017-05-09 2017-07-21 河南科技大学 一种自旋转十字线激光扫描的环境三维形貌感知装置
CN106969724B (zh) * 2017-05-09 2023-03-24 河南科技大学 一种自旋转十字线激光扫描的环境三维形貌感知装置
CN107764204A (zh) * 2017-11-30 2018-03-06 苏州优函信息科技有限公司 基于光片显微镜的三维表面形貌仪及三维图像拼接方法
CN109642820A (zh) * 2017-12-22 2019-04-16 深圳配天智能技术研究院有限公司 光传感装置、检测***及检测方法
WO2019119652A1 (zh) * 2017-12-22 2019-06-27 深圳配天智能技术研究院有限公司 光传感装置、检测***及检测方法
CN110132163A (zh) * 2018-02-09 2019-08-16 长沙青波光电科技有限公司 一种目标物体的轮廓构建装置及方法
CN108392189A (zh) * 2018-05-14 2018-08-14 王庆亚 基于激光扫描三维动态轮廓测量技术的全息脉诊仪
CN110966953A (zh) * 2018-09-29 2020-04-07 中国航发商用航空发动机有限责任公司 物体表面轮廓的检测方法
CN109458949A (zh) * 2018-12-03 2019-03-12 西京学院 一种物体表面形貌扫描重构设备
CN111982266B (zh) * 2020-06-24 2022-06-28 北京航空航天大学 一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法
CN111982266A (zh) * 2020-06-24 2020-11-24 北京航空航天大学 一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法
CN111947594A (zh) * 2020-08-14 2020-11-17 上海大学 一种双波长激光三维形貌扫描装置及方法
CN112504174A (zh) * 2020-11-09 2021-03-16 玉溪矿业有限公司 三维激光扫描***及其工作方法
CN113074630A (zh) * 2021-03-03 2021-07-06 天津科技大学 一种激光打印机激光扫描***成像质量检测装置及方法
CN113639663B (zh) * 2021-10-15 2021-12-28 高视科技(苏州)有限公司 一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法
CN113639663A (zh) * 2021-10-15 2021-11-12 高视科技(苏州)有限公司 一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法
CN115665563A (zh) * 2022-12-14 2023-01-31 深圳市中图仪器股份有限公司 光学测量***及基于光学测量***的成像方法
CN115665563B (zh) * 2022-12-14 2023-06-27 深圳市中图仪器股份有限公司 光学测量***及基于光学测量***的成像方法
CN116828318A (zh) * 2022-12-14 2023-09-29 深圳市中图仪器股份有限公司 基于多次成像的光学测量***及成像方法
CN116828318B (zh) * 2022-12-14 2024-05-24 深圳市中图仪器股份有限公司 基于多次成像的光学测量***及成像方法
CN117784088A (zh) * 2024-01-30 2024-03-29 荣耀终端有限公司 激光扫描装置、***、控制方法及存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
CN102937418B (zh) 2015-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102937418B (zh) 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置
CN102853786B (zh) 平整度检测装置和方法
US9279662B2 (en) Laser scanner
CN101458072A (zh) 一种基于多传感器的三维轮廓测量装置及其测量方法
CN207936929U (zh) 一种航空叶片前后缘十字线激光扫描装置
CN106352823B (zh) 一种基于多瞄准装置的复合坐标测量***
CN110044293B (zh) 一种三维重构***及三维重构方法
CN101726257B (zh) 多目大范围激光扫描测量方法
CN104132639A (zh) 一种微型光学扫描测距装置及方法
CN1115546C (zh) 表面三维形貌检测方法和装置
CN106813600B (zh) 一种非接触式非连续平面平面度测量***
CN103344182A (zh) 一种基于双目视觉的糖果几何尺寸测量***和方法
CN104614558A (zh) 一种面、线ccd组合的原子力探针扫描测量***及测量方法
JP2016090520A (ja) 白色光干渉計光学ヘッドを用いた非接触表面形状測定方法及び装置
CN109520420A (zh) 一种转台回转中心的空间坐标确定方法
CN103968778A (zh) 一种多激光器检测***
GB2264601A (en) Object inspection
Kuang et al. A four-degree-of-freedom laser measurement system (FDMS) using a single-mode fiber-coupled laser module
CN202304767U (zh) 一种基于多传感器的三维轮廓测量装置
CN105046715A (zh) 一种基于空间解析几何的线阵相机标定方法
CN105698700A (zh) 一种桌面式高自由度激光三维扫描装置
CN105716547A (zh) 一种机械工件平面度快速测量装置及方法
CN103712572A (zh) 结构光源与相机结合的物体轮廓三维坐标测量装置
CN102788573B (zh) 一种线结构光定位投射影像获取装置
CN207147428U (zh) 一种点激光四轴扫描装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant