JPH0480002A - グリーンシートの積層ずれ検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【概要】

グリーンシートの積層ずれ検出方法に関し、信頼性の高
いグリーンシートの積層ずれ検出方法を提供することを
目的とし、 複数枚積層されたグリーンシートの層間接続を確認する
グリーンシートの積層ずれ検出方法にａいて 各りｉＪ−ンノートの端縁部二こは、積層ずれ検出ウィ
アを形成し、該積層ずη、検出ヴィアの接続をｘｌ透視
して積層状態を確認するように構成する。

【産業上の利用分野】

本発明シよ、グリーンシートの積層ずｆ′Ｌ検出方法乙
こ関するものである。 一般に、多層セラミック基板（よ、アルミナ等のセラミ
ンク材料と、ハインタ、あるいは石英ガラス等との混合
物をスラリー状に混練巳たものをグリーンシートと呼ば
れる板状部材↓こ成形し、これを複数枚積層した積層体
を焼成炉中て焼成して形成され、各層間の接続は、層間
接続ヴィアによって行われている。 かかる多層セラミック基板において、グリーンシートの
積層工程における積層ずれは、層間接続ヴィアの接続不
良に通じるために、確実に検出する必要がある。

【従来の技術】

第３図は従来のグリ−７；−−＋−１の積層ずれの検出
方法を示すものである。 この従来例Ｓこおいて、各グリーンシート１の四隅部、
こは、積層チェンク用のマーク３か印刷され、グリーン
シート１積層後の周縁部の切断（第３図における破線）
により現孔るマーク３の連続性を目視して積層ずれか検
出される。

【発明が解決しようとする課題】

しかし、上述じた従来例においては、マーク３か印刷に
より形成されるために、層間接続ウイアの位置とは完全
二こ対応するものではなく、例えばマーク３の印刷ずれ
等が生した場合には、木口のマーク３が連続性を示して
いるに関わらず、層間接続ヴィアは接続不良の状態とな
っている場合もあり、検出の信頼性に著しく欠けるとい
う欠点を有するものであった。 本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであっ
て、信頼性の高いグリーンシートの積層ずれ検出方法を
提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

本発明Ｓこよれば上記目的；よ、実施例に対応する第１
図；こ示すように、 複数枚積層されたグリーン１−−１−１の層間接続を確
認するクリーンシートの積層ずｎ検出方法コニおいて、 各グリーンシート１の端縁部；こは、積層ずれ検出ウィ
ア２を形成し、該積層ずれ検出ヴ、ア２の接続をＸ′ｍ
透視して積層状態を確認するクリーンシートの積層ずれ
検出方法を提供することにより達成される。

【作用】

上記構成に基づき、本発明Ｇこおいてグリーンシト１の
積層ずれは、各グリーンシート１の積層ずれ検出ヴィア
２をＸ線透視して検出される。 この結果、印刷ずれ等の有無に関わらず、確実に積層ず
れを検出することが可能となる。

【実施例】

以下　本発明の望ま二い実施例を添１寸図面〕こ基づい
て詳細に説明する。 第２図は、本発明の実施例を示すもので、図中１はヌラ
リー状に混練されたアルミナ等のセラミック材料とバイ
ンダ等の混合物を薄を反状に成形して形成されるグリー
ンシートを示すものであり、その表裏面には、図示しな
い配線パターンが印刷されるとともに、その適宜箇所Ｓ
こは、層間接合用ヴィアが形成されている。また、上記
グリーンシート１の四隅部には、積層ずれ検出ヴィア２
．２・・が形成されている。これら層間接合用ヴィアお
よび積層ずれ検出ヴィア２は、グリーンシート１に穿孔
された小孔に銅等の導電材料を充填して形成されている
。 上記グリーンシート１の積層は、例えば、１枚を図示し
ない治具上に載置した後、その積層ずれ検出ヴィア２の
位置を記憶させ、その上層に積層される他のグリーンシ
ート１を適宜の搬送手段によりその上方に搬送し、この
グリーンシート１の積層ずれ検出ウィア２が下層に位置
するクリーン・−ト１の積層ず１、検出ウィア２↓こ合
致するよう乙こ姿勢制御した後１重ね合わせることごこ
よりなされる。そして、上記積層す、？！、検出つ。ア
２の位置記憶内容は、順次、積層体の最ト層コニ位置す
るクリーンシート１のものに更新されていき、該最上層
を基準として次・りに積層される。 以上のようＱこして適数層のクリーンシート１を積層し
て完成された積層体は、プレス型にによりプレスされた
後、Ｘ線照射装置に送られ、Ｘ線透視画像が得られる。 このＸ線透視画像は、上記積層ずれ検出ヴィア２を透視
した画像であり、少なくともＸ、Ｙ方向における上下層
の接続状態か確認できる方向からの複数の画像を得る必
要があり、通常、グリーンシート１積層体を回転させな
がら、第１図に示すように、そのリアルタイム画像を得
、その接続状態が確認され、この結果、プレス工程時に
おけるずれ等も含めて積層ずれの有無が確実に検出され
る。

【発明の効果】 以上の説明から明らかなようコニ、本発明によるグリー
ンシートの積層ずれ検出方法５二よれば、積層工程シこ
おけるグリーンシートの積層ずｎ、を確実に検出するこ
とができるので、長時間を要する焼成工程に不良品を送
り込んでしまうことを確実５二防止することができ、生
産性を著しく向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は積層ずれ検出ヴィアを透視した状態を示す図、 第２図はグリーンシートの積層状態を示す図、第３図は
従来例を示す図である。 図において、 ｌ・・・グリーンシート、 ２・・・積層ずれ検出ヴィア ２：［／會１・・れ１１士つ°゛イア 績１工獣硬±ヴーアｒ送現（たＡ１■示す口１１１図 （Ｇ） （ｂ） グリーンシートのｆｐｔ％Ｊにぺ玉ぎ↑１口１２　因

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 複数枚積層されたグリーンシート（１）の層間接続を確
   認するグリーンシートの積層ずれ検出方法において、 各グリーンシート（１）の端縁部には、積層ずれ検出ヴ
   ィア（２）を形成し、該積層ずれ検出ヴィア（２）の接
   続をＸ線透視して積層状態を確認するグリーンシートの
   積層ずれ検出方法。