JPH0480002A - グリーンシートの積層ずれ検出方法 - Google Patents
グリーンシートの積層ずれ検出方法Info
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- JPH0480002A JPH0480002A JP19397490A JP19397490A JPH0480002A JP H0480002 A JPH0480002 A JP H0480002A JP 19397490 A JP19397490 A JP 19397490A JP 19397490 A JP19397490 A JP 19397490A JP H0480002 A JPH0480002 A JP H0480002A
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- viaholes
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Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
グリーンシートの積層ずれ検出方法に関し、信頼性の高
いグリーンシートの積層ずれ検出方法を提供することを
目的とし、 複数枚積層されたグリーンシートの層間接続を確認する
グリーンシートの積層ずれ検出方法にaいて 各りiJ−ンノートの端縁部二こは、積層ずれ検出ウィ
アを形成し、該積層ずη、検出ヴィアの接続をxl透視
して積層状態を確認するように構成する。
いグリーンシートの積層ずれ検出方法を提供することを
目的とし、 複数枚積層されたグリーンシートの層間接続を確認する
グリーンシートの積層ずれ検出方法にaいて 各りiJ−ンノートの端縁部二こは、積層ずれ検出ウィ
アを形成し、該積層ずη、検出ヴィアの接続をxl透視
して積層状態を確認するように構成する。
本発明シよ、グリーンシートの積層ずf′L検出方法乙
こ関するものである。 一般に、多層セラミック基板(よ、アルミナ等のセラミ
ンク材料と、ハインタ、あるいは石英ガラス等との混合
物をスラリー状に混練巳たものをグリーンシートと呼ば
れる板状部材↓こ成形し、これを複数枚積層した積層体
を焼成炉中て焼成して形成され、各層間の接続は、層間
接続ヴィアによって行われている。 かかる多層セラミック基板において、グリーンシートの
積層工程における積層ずれは、層間接続ヴィアの接続不
良に通じるために、確実に検出する必要がある。
こ関するものである。 一般に、多層セラミック基板(よ、アルミナ等のセラミ
ンク材料と、ハインタ、あるいは石英ガラス等との混合
物をスラリー状に混練巳たものをグリーンシートと呼ば
れる板状部材↓こ成形し、これを複数枚積層した積層体
を焼成炉中て焼成して形成され、各層間の接続は、層間
接続ヴィアによって行われている。 かかる多層セラミック基板において、グリーンシートの
積層工程における積層ずれは、層間接続ヴィアの接続不
良に通じるために、確実に検出する必要がある。
第3図は従来のグリ−7;−−+−1の積層ずれの検出
方法を示すものである。 この従来例Sこおいて、各グリーンシート1の四隅部、
こは、積層チェンク用のマーク3か印刷され、グリーン
シート1積層後の周縁部の切断(第3図における破線)
により現孔るマーク3の連続性を目視して積層ずれか検
出される。
方法を示すものである。 この従来例Sこおいて、各グリーンシート1の四隅部、
こは、積層チェンク用のマーク3か印刷され、グリーン
シート1積層後の周縁部の切断(第3図における破線)
により現孔るマーク3の連続性を目視して積層ずれか検
出される。
しかし、上述じた従来例においては、マーク3か印刷に
より形成されるために、層間接続ウイアの位置とは完全
二こ対応するものではなく、例えばマーク3の印刷ずれ
等が生した場合には、木口のマーク3が連続性を示して
いるに関わらず、層間接続ヴィアは接続不良の状態とな
っている場合もあり、検出の信頼性に著しく欠けるとい
う欠点を有するものであった。 本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであっ
て、信頼性の高いグリーンシートの積層ずれ検出方法を
提供することを目的とする。
より形成されるために、層間接続ウイアの位置とは完全
二こ対応するものではなく、例えばマーク3の印刷ずれ
等が生した場合には、木口のマーク3が連続性を示して
いるに関わらず、層間接続ヴィアは接続不良の状態とな
っている場合もあり、検出の信頼性に著しく欠けるとい
う欠点を有するものであった。 本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであっ
て、信頼性の高いグリーンシートの積層ずれ検出方法を
提供することを目的とする。
本発明Sこよれば上記目的;よ、実施例に対応する第1
図;こ示すように、 複数枚積層されたグリーン1−−1−1の層間接続を確
認するクリーンシートの積層ずn検出方法コニおいて、 各グリーンシート1の端縁部;こは、積層ずれ検出ウィ
ア2を形成し、該積層ずれ検出ヴ、ア2の接続をX′m
透視して積層状態を確認するクリーンシートの積層ずれ
検出方法を提供することにより達成される。
図;こ示すように、 複数枚積層されたグリーン1−−1−1の層間接続を確
認するクリーンシートの積層ずn検出方法コニおいて、 各グリーンシート1の端縁部;こは、積層ずれ検出ウィ
ア2を形成し、該積層ずれ検出ヴ、ア2の接続をX′m
透視して積層状態を確認するクリーンシートの積層ずれ
検出方法を提供することにより達成される。
上記構成に基づき、本発明Gこおいてグリーンシト1の
積層ずれは、各グリーンシート1の積層ずれ検出ヴィア
2をX線透視して検出される。 この結果、印刷ずれ等の有無に関わらず、確実に積層ず
れを検出することが可能となる。
積層ずれは、各グリーンシート1の積層ずれ検出ヴィア
2をX線透視して検出される。 この結果、印刷ずれ等の有無に関わらず、確実に積層ず
れを検出することが可能となる。
以下 本発明の望ま二い実施例を添1寸図面〕こ基づい
て詳細に説明する。 第2図は、本発明の実施例を示すもので、図中1はヌラ
リー状に混練されたアルミナ等のセラミック材料とバイ
ンダ等の混合物を薄を反状に成形して形成されるグリー
ンシートを示すものであり、その表裏面には、図示しな
い配線パターンが印刷されるとともに、その適宜箇所S
こは、層間接合用ヴィアが形成されている。また、上記
グリーンシート1の四隅部には、積層ずれ検出ヴィア2
.2・・が形成されている。これら層間接合用ヴィアお
よび積層ずれ検出ヴィア2は、グリーンシート1に穿孔
された小孔に銅等の導電材料を充填して形成されている
。 上記グリーンシート1の積層は、例えば、1枚を図示し
ない治具上に載置した後、その積層ずれ検出ヴィア2の
位置を記憶させ、その上層に積層される他のグリーンシ
ート1を適宜の搬送手段によりその上方に搬送し、この
グリーンシート1の積層ずれ検出ウィア2が下層に位置
するクリーン・−ト1の積層ず1、検出ウィア2↓こ合
致するよう乙こ姿勢制御した後1重ね合わせることごこ
よりなされる。そして、上記積層す、?!、検出つ。ア
2の位置記憶内容は、順次、積層体の最ト層コニ位置す
るクリーンシート1のものに更新されていき、該最上層
を基準として次・りに積層される。 以上のようQこして適数層のクリーンシート1を積層し
て完成された積層体は、プレス型にによりプレスされた
後、X線照射装置に送られ、X線透視画像が得られる。 このX線透視画像は、上記積層ずれ検出ヴィア2を透視
した画像であり、少なくともX、Y方向における上下層
の接続状態か確認できる方向からの複数の画像を得る必
要があり、通常、グリーンシート1積層体を回転させな
がら、第1図に示すように、そのリアルタイム画像を得
、その接続状態が確認され、この結果、プレス工程時に
おけるずれ等も含めて積層ずれの有無が確実に検出され
る。
て詳細に説明する。 第2図は、本発明の実施例を示すもので、図中1はヌラ
リー状に混練されたアルミナ等のセラミック材料とバイ
ンダ等の混合物を薄を反状に成形して形成されるグリー
ンシートを示すものであり、その表裏面には、図示しな
い配線パターンが印刷されるとともに、その適宜箇所S
こは、層間接合用ヴィアが形成されている。また、上記
グリーンシート1の四隅部には、積層ずれ検出ヴィア2
.2・・が形成されている。これら層間接合用ヴィアお
よび積層ずれ検出ヴィア2は、グリーンシート1に穿孔
された小孔に銅等の導電材料を充填して形成されている
。 上記グリーンシート1の積層は、例えば、1枚を図示し
ない治具上に載置した後、その積層ずれ検出ヴィア2の
位置を記憶させ、その上層に積層される他のグリーンシ
ート1を適宜の搬送手段によりその上方に搬送し、この
グリーンシート1の積層ずれ検出ウィア2が下層に位置
するクリーン・−ト1の積層ず1、検出ウィア2↓こ合
致するよう乙こ姿勢制御した後1重ね合わせることごこ
よりなされる。そして、上記積層す、?!、検出つ。ア
2の位置記憶内容は、順次、積層体の最ト層コニ位置す
るクリーンシート1のものに更新されていき、該最上層
を基準として次・りに積層される。 以上のようQこして適数層のクリーンシート1を積層し
て完成された積層体は、プレス型にによりプレスされた
後、X線照射装置に送られ、X線透視画像が得られる。 このX線透視画像は、上記積層ずれ検出ヴィア2を透視
した画像であり、少なくともX、Y方向における上下層
の接続状態か確認できる方向からの複数の画像を得る必
要があり、通常、グリーンシート1積層体を回転させな
がら、第1図に示すように、そのリアルタイム画像を得
、その接続状態が確認され、この結果、プレス工程時に
おけるずれ等も含めて積層ずれの有無が確実に検出され
る。
【発明の効果】
以上の説明から明らかなようコニ、本発明によるグリー
ンシートの積層ずれ検出方法5二よれば、積層工程シこ
おけるグリーンシートの積層ずn、を確実に検出するこ
とができるので、長時間を要する焼成工程に不良品を送
り込んでしまうことを確実5二防止することができ、生
産性を著しく向上させることができる。
ンシートの積層ずれ検出方法5二よれば、積層工程シこ
おけるグリーンシートの積層ずn、を確実に検出するこ
とができるので、長時間を要する焼成工程に不良品を送
り込んでしまうことを確実5二防止することができ、生
産性を著しく向上させることができる。
第1図は積層ずれ検出ヴィアを透視した状態を示す図、
第2図はグリーンシートの積層状態を示す図、第3図は
従来例を示す図である。 図において、 l・・・グリーンシート、 2・・・積層ずれ検出ヴィア 2:[/會1・・れ11士つ°゛イア 績1工獣硬±ヴーアr送現(たA1■示す口111図 (G) (b) グリーンシートのfpt%Jにぺ玉ぎ↑1口12 因
従来例を示す図である。 図において、 l・・・グリーンシート、 2・・・積層ずれ検出ヴィア 2:[/會1・・れ11士つ°゛イア 績1工獣硬±ヴーアr送現(たA1■示す口111図 (G) (b) グリーンシートのfpt%Jにぺ玉ぎ↑1口12 因
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数枚積層されたグリーンシート(1)の層間接続を確
認するグリーンシートの積層ずれ検出方法において、 各グリーンシート(1)の端縁部には、積層ずれ検出ヴ
ィア(2)を形成し、該積層ずれ検出ヴィア(2)の接
続をX線透視して積層状態を確認するグリーンシートの
積層ずれ検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19397490A JPH0480002A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | グリーンシートの積層ずれ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19397490A JPH0480002A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | グリーンシートの積層ずれ検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0480002A true JPH0480002A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16316874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19397490A Pending JPH0480002A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | グリーンシートの積層ずれ検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0480002A (ja) |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP19397490A patent/JPH0480002A/ja active Pending
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