JPH047896Y2 - - Google Patents
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- JPH047896Y2 JPH047896Y2 JP1985156844U JP15684485U JPH047896Y2 JP H047896 Y2 JPH047896 Y2 JP H047896Y2 JP 1985156844 U JP1985156844 U JP 1985156844U JP 15684485 U JP15684485 U JP 15684485U JP H047896 Y2 JPH047896 Y2 JP H047896Y2
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本考案は、切断研削に用いられる薄刃砥石に係
り、特にシリコンウエーハの切断やフエライトヘ
ツドの溝切り等に用いることができるものに関す
る。 ［従来の技術］ シリコンウエーハ等の極めて薄いものを切断研
削する場合に用いられる厚さ数十ないし数百μｍ
の薄刃砥石は、第３図に示されるように、砥石軸
１に嵌着可能に形成された２枚の取り付け用フラ
ンジ２にリング状砥石３を挾み、ナツト４で締め
付け固定して使用される。この場合、従来の薄刃
砥石は、その軸方向の厚さが全面にわたつて均一
に形成されており、これをその対抗面が平行に形
成された２枚のフランジ２に挾んで固定してい
る。 従つて、前記フランジ２の対抗面が完全に平行
であれば固定も完全に行なわれ、切断時に刃先が
回転ぶれや回転むら等を起こすことなく、精度の
良い切断がなされる。 ［考案が解決しようとする問題点］ ところが、前記フランジ２の加工精度は一般に
数μｍ程度であり、これ以下にすることは事実上
極めて困難である。 このため、前記フランジ２の平行度も数μｍな
いし十数μｍ以上の誤差を生ずる。 この誤差が第４図に示されるように、前記フラ
ンジ２の外周に向つて広がるテーパ状部５を形成
するように生じた場合には以下の不都合が起こ
る。 即ち、図に示されるように、砥石３の内周部は
前記２枚のフランジ２によつて固定されるが、外
周部に向かうにしたがつてフランジ２との間にガ
タが生じ、前記フランジ２の外周端近傍ではこの
ガタが数μｍないし十数μｍとなる。 このため、前記フランジ２の外周端近傍では砥
石３は全く固定されず、フリーになる。 これにより、砥石３を回転させると、図の矢印
ｐで示されるように刃先が図中上下に大きくふ
れ、回転ぶれを起こす。 従つて、このような砥石で切断もしくは溝切り
加工を行なつても精度の良い加工を行うことがで
きないばかりでなく、カーフ幅やチツピングを増
大させることとなる。 本考案の目的は、このような欠点のない薄刃砥
石を得ることにある。 ［問題点を解決するための手段及び作用］ 本考案は、リング状砥石における軸方向の厚さ
を半径方向外周に向つて厚くなるようにテーパ状
に形成した構成により、取り付け用フランジの加
工誤差如何にかかわらず常に前記フランジの少な
くても外端部で前記砥石が把持されるようにした
もので、これにより、回転ぶれ等の生ずるおそれ
を除去している。 ［実施例］ 第１図は本考案の実施例に係る薄刃砥石の縦断
面図である。 第１図において、砥石１０は、その軸方向の厚
さが数十ないし数百μｍの薄いリング状をなして
おり、その外周部が刃先１１を構成している。 又、前記砥石１０の軸方向の厚さは内周部１２
から前記刃先１１に向うに従つて次第に厚くなつ
ており、テーパ状部１３を形成している。 この、テーパ状部１３は、前記砥石１０の外周
部における軸方向の厚さをＴとし、内周部の厚さ
をT′とするとともに、それらの差をΔTとしたと
きに、ΔT＝Ｔ−T′＝３〜15μｍになるように、
内周部に向かうにしたがつて薄く形成されてい
る。 この場合、一般に、Ｔ＝30〜300μｍであるが、
ΔT／To≦１／５を満足する範囲でΔTを選定す
る必要がある。 ここで、Toは前記砥石１０の平均厚さであり、
前記の場合は、To＝Ｔ＋T′／２である。 次に、上述の砥石１０の製造方法を電鋳法によ
るダイヤモンド砥石の場合を例にあげて説明す
る。 まず、ニツケル等の結合剤の成分となる金属を
含むめつき液にダイヤモンド砥粒を分散させ、台
がねにリング状をなすように数十ないし数百μｍ
の厚さに共析めつきを施す。 次に、このようにして得られた電鋳層を台がね
から剥離し、然る後に、該電鋳層の剥離面にエツ
チング処理を施して剥離面側のダイヤモンド砥粒
の突き出しを良くすると同時に、めつき成長面側
と剥離面側との対称性を良くし、前記リング状の
内周部が外周部よりも数μｍないし十数μｍ薄い
テーパ状に形成して砥石１０を得る。 上述の実施例にあつては、以下の利点がある。 即ち、第２図に示されるように、フランジ１４
の加工誤差によつて砥石１０の把持部が内周部に
向かうにしたがつて狭くなるようにテーパ状部１
５を形成している場合であつても、前記砥石１０
がテーパ状部１３を有しているために前記フラン
ジ１４の少なくても外周部近傍ではガタを生ずる
ことがない。 このため、前記砥石１０は前記フランジ１４の
外周部近傍で該フランジ１４にしつかりと把持さ
れ、回転中にフラついて回転ブレを起こすことが
ない。 この場合、前記砥石１０の内周部の厚さT′と
外周部の厚さＴとの差ΔTが３〜15μｍの範囲で
かつ砥石１０の平均厚さToの1/5以下に選定され
ていることが重要である。 即ち、ΔTが3μｍ以下では効果が薄く、15μｍ
以上では砥石１０の内周部近傍でのガタが大きく
なり過ぎて把持力が弱くなる。 又、ΔT／To＞１／５とすると、前記砥石１０
自体の厚さに比して該砥石１０と前記フランジ１
４との接触面積が少なくなりすぎて却つて不安定
となる。 尚、前記フランジ１４の加工誤差が前記と逆に
フランジ１４の内周部に向かうにしたがつて前記
砥石１０の把持部が広がるように現れた場合であ
つても、ΔTを前記範囲に選定しておくことによ
り、内周部でのガタが大きくなり過ぎることがな
く、砥石１０はフランジ１４によつてしつかりと
把持される。 このように、本実施例によれば、前記フランジ
１４の加工誤差如何に拘わらず常に砥石１０がフ
ランジ１４にしつかりと把持されるから、砥石１
０の刃先１１が回転ブレを起こす等のおそれがな
い。 これにより、本実施例の砥石を用いれば、カー
フ幅が小さく、かつ、チツピングの極めて少ない
切断加工ができる。 ［実験例］ 次に、実験例を挙げて本考案の効果を実証す
る。 前述の方法を用い、実験例の電鋳薄刃砥石を３
種類製造し、また同様な方法で比較例の電鋳薄刃
砥石を３種類製造した。 これらの砥石のサイズは、いずれも外径76.2、
内径40.0に統一した、また使用した超砥粒は、
しずれもダイヤモンド砥粒である。 次いで、これら実験例１〜３並びに比較例１〜
３の砥石により、それぞれ以下の研削条件におい
て研削を行なつた。 研削条件１：実験例１及び比較例１ 被削材；シリコンウエハー 回転数；20，000rpm 送り速度；100mm／sec 切り込み；0.2mm 研削液；水道水 研削条件２：実験例２，３および比較例２，３ 被削材；ソーダガラス 送り速度；50mm／min 切り込み；２mm 研削液；JIS W3種 ２％水溶液 次ぎの第１表および第２表は、各砥石の形状、
研削結果を示すものである。
り、特にシリコンウエーハの切断やフエライトヘ
ツドの溝切り等に用いることができるものに関す
る。 ［従来の技術］ シリコンウエーハ等の極めて薄いものを切断研
削する場合に用いられる厚さ数十ないし数百μｍ
の薄刃砥石は、第３図に示されるように、砥石軸
１に嵌着可能に形成された２枚の取り付け用フラ
ンジ２にリング状砥石３を挾み、ナツト４で締め
付け固定して使用される。この場合、従来の薄刃
砥石は、その軸方向の厚さが全面にわたつて均一
に形成されており、これをその対抗面が平行に形
成された２枚のフランジ２に挾んで固定してい
る。 従つて、前記フランジ２の対抗面が完全に平行
であれば固定も完全に行なわれ、切断時に刃先が
回転ぶれや回転むら等を起こすことなく、精度の
良い切断がなされる。 ［考案が解決しようとする問題点］ ところが、前記フランジ２の加工精度は一般に
数μｍ程度であり、これ以下にすることは事実上
極めて困難である。 このため、前記フランジ２の平行度も数μｍな
いし十数μｍ以上の誤差を生ずる。 この誤差が第４図に示されるように、前記フラ
ンジ２の外周に向つて広がるテーパ状部５を形成
するように生じた場合には以下の不都合が起こ
る。 即ち、図に示されるように、砥石３の内周部は
前記２枚のフランジ２によつて固定されるが、外
周部に向かうにしたがつてフランジ２との間にガ
タが生じ、前記フランジ２の外周端近傍ではこの
ガタが数μｍないし十数μｍとなる。 このため、前記フランジ２の外周端近傍では砥
石３は全く固定されず、フリーになる。 これにより、砥石３を回転させると、図の矢印
ｐで示されるように刃先が図中上下に大きくふ
れ、回転ぶれを起こす。 従つて、このような砥石で切断もしくは溝切り
加工を行なつても精度の良い加工を行うことがで
きないばかりでなく、カーフ幅やチツピングを増
大させることとなる。 本考案の目的は、このような欠点のない薄刃砥
石を得ることにある。 ［問題点を解決するための手段及び作用］ 本考案は、リング状砥石における軸方向の厚さ
を半径方向外周に向つて厚くなるようにテーパ状
に形成した構成により、取り付け用フランジの加
工誤差如何にかかわらず常に前記フランジの少な
くても外端部で前記砥石が把持されるようにした
もので、これにより、回転ぶれ等の生ずるおそれ
を除去している。 ［実施例］ 第１図は本考案の実施例に係る薄刃砥石の縦断
面図である。 第１図において、砥石１０は、その軸方向の厚
さが数十ないし数百μｍの薄いリング状をなして
おり、その外周部が刃先１１を構成している。 又、前記砥石１０の軸方向の厚さは内周部１２
から前記刃先１１に向うに従つて次第に厚くなつ
ており、テーパ状部１３を形成している。 この、テーパ状部１３は、前記砥石１０の外周
部における軸方向の厚さをＴとし、内周部の厚さ
をT′とするとともに、それらの差をΔTとしたと
きに、ΔT＝Ｔ−T′＝３〜15μｍになるように、
内周部に向かうにしたがつて薄く形成されてい
る。 この場合、一般に、Ｔ＝30〜300μｍであるが、
ΔT／To≦１／５を満足する範囲でΔTを選定す
る必要がある。 ここで、Toは前記砥石１０の平均厚さであり、
前記の場合は、To＝Ｔ＋T′／２である。 次に、上述の砥石１０の製造方法を電鋳法によ
るダイヤモンド砥石の場合を例にあげて説明す
る。 まず、ニツケル等の結合剤の成分となる金属を
含むめつき液にダイヤモンド砥粒を分散させ、台
がねにリング状をなすように数十ないし数百μｍ
の厚さに共析めつきを施す。 次に、このようにして得られた電鋳層を台がね
から剥離し、然る後に、該電鋳層の剥離面にエツ
チング処理を施して剥離面側のダイヤモンド砥粒
の突き出しを良くすると同時に、めつき成長面側
と剥離面側との対称性を良くし、前記リング状の
内周部が外周部よりも数μｍないし十数μｍ薄い
テーパ状に形成して砥石１０を得る。 上述の実施例にあつては、以下の利点がある。 即ち、第２図に示されるように、フランジ１４
の加工誤差によつて砥石１０の把持部が内周部に
向かうにしたがつて狭くなるようにテーパ状部１
５を形成している場合であつても、前記砥石１０
がテーパ状部１３を有しているために前記フラン
ジ１４の少なくても外周部近傍ではガタを生ずる
ことがない。 このため、前記砥石１０は前記フランジ１４の
外周部近傍で該フランジ１４にしつかりと把持さ
れ、回転中にフラついて回転ブレを起こすことが
ない。 この場合、前記砥石１０の内周部の厚さT′と
外周部の厚さＴとの差ΔTが３〜15μｍの範囲で
かつ砥石１０の平均厚さToの1/5以下に選定され
ていることが重要である。 即ち、ΔTが3μｍ以下では効果が薄く、15μｍ
以上では砥石１０の内周部近傍でのガタが大きく
なり過ぎて把持力が弱くなる。 又、ΔT／To＞１／５とすると、前記砥石１０
自体の厚さに比して該砥石１０と前記フランジ１
４との接触面積が少なくなりすぎて却つて不安定
となる。 尚、前記フランジ１４の加工誤差が前記と逆に
フランジ１４の内周部に向かうにしたがつて前記
砥石１０の把持部が広がるように現れた場合であ
つても、ΔTを前記範囲に選定しておくことによ
り、内周部でのガタが大きくなり過ぎることがな
く、砥石１０はフランジ１４によつてしつかりと
把持される。 このように、本実施例によれば、前記フランジ
１４の加工誤差如何に拘わらず常に砥石１０がフ
ランジ１４にしつかりと把持されるから、砥石１
０の刃先１１が回転ブレを起こす等のおそれがな
い。 これにより、本実施例の砥石を用いれば、カー
フ幅が小さく、かつ、チツピングの極めて少ない
切断加工ができる。 ［実験例］ 次に、実験例を挙げて本考案の効果を実証す
る。 前述の方法を用い、実験例の電鋳薄刃砥石を３
種類製造し、また同様な方法で比較例の電鋳薄刃
砥石を３種類製造した。 これらの砥石のサイズは、いずれも外径76.2、
内径40.0に統一した、また使用した超砥粒は、
しずれもダイヤモンド砥粒である。 次いで、これら実験例１〜３並びに比較例１〜
３の砥石により、それぞれ以下の研削条件におい
て研削を行なつた。 研削条件１：実験例１及び比較例１ 被削材；シリコンウエハー 回転数；20，000rpm 送り速度；100mm／sec 切り込み；0.2mm 研削液；水道水 研削条件２：実験例２，３および比較例２，３ 被削材；ソーダガラス 送り速度；50mm／min 切り込み；２mm 研削液；JIS W3種 ２％水溶液 次ぎの第１表および第２表は、各砥石の形状、
研削結果を示すものである。
【表】
【表】
第１表および第２表において、カーフロスと
は、第５図に示すように、研削により形成した溝
の上端縁における幅W1から、砥石の外周部厚さ
Ｔを引いた値をいう。また、カーフ幅振れＡと
は、第６図に示すように、研削により形成した溝
の上端縁における幅W1から、溝の下端における
幅W2を引いた値をいい、カーフ幅振れＢとは、
第７図に示すように、研削により形成した溝の上
端縁に対する溝の下端のずれ（まがり量）W3を
いう。 これらの表から明らかなように、比較例１〜３
の薄刃砥石では、砥石の外周部の厚さと内周部の
厚さとの差が不適当なため、フランジによる砥石
の固定が充分でなく、このため比較的大きなチツ
ピングやカーフロス、カーフ幅振れを生じたが、
実験例１〜３の砥石では、砥石の外周部の厚さと
内周部の厚さとの差が適当で、適度なテーパ形状
を有するため、フランジとの整合性が良好で、フ
ランジの多少の加工誤差のいかんに拘わらず、常
に前記フランジの少なくとも外端部で、前記砥石
が充分把持されるので、チツピング、カーフロ
ス、カーフ幅振れが低下した。 このようなミクロンオーダーの加工精度の要求
は、最近の電子材料の超精密化と相まつて生じた
ものであり、ただ単に砥石の寸法精度が高いだけ
ではこのような超精密加工を達成することは不可
能で、本考案の採用により初めて可能となるもの
である。 ［考案の効果］ 以上詳述したように、本考案は、リング状砥石
における軸方向の厚さを半径方向外周に向かつて
厚くなるようにテーパ状に形成したことにより、
砥石保持用フランジの加工誤差如何に拘わらず、
該フランジとの間にガタを生じさせることなく常
に強固に保持されるようにしたものである。 したがつて、該砥石は回転ブレ等を起こすおそ
れがないから、カーフ幅が小さく、かつ、チツピ
ングの少ない切断加工を可能とする。
は、第５図に示すように、研削により形成した溝
の上端縁における幅W1から、砥石の外周部厚さ
Ｔを引いた値をいう。また、カーフ幅振れＡと
は、第６図に示すように、研削により形成した溝
の上端縁における幅W1から、溝の下端における
幅W2を引いた値をいい、カーフ幅振れＢとは、
第７図に示すように、研削により形成した溝の上
端縁に対する溝の下端のずれ（まがり量）W3を
いう。 これらの表から明らかなように、比較例１〜３
の薄刃砥石では、砥石の外周部の厚さと内周部の
厚さとの差が不適当なため、フランジによる砥石
の固定が充分でなく、このため比較的大きなチツ
ピングやカーフロス、カーフ幅振れを生じたが、
実験例１〜３の砥石では、砥石の外周部の厚さと
内周部の厚さとの差が適当で、適度なテーパ形状
を有するため、フランジとの整合性が良好で、フ
ランジの多少の加工誤差のいかんに拘わらず、常
に前記フランジの少なくとも外端部で、前記砥石
が充分把持されるので、チツピング、カーフロ
ス、カーフ幅振れが低下した。 このようなミクロンオーダーの加工精度の要求
は、最近の電子材料の超精密化と相まつて生じた
ものであり、ただ単に砥石の寸法精度が高いだけ
ではこのような超精密加工を達成することは不可
能で、本考案の採用により初めて可能となるもの
である。 ［考案の効果］ 以上詳述したように、本考案は、リング状砥石
における軸方向の厚さを半径方向外周に向かつて
厚くなるようにテーパ状に形成したことにより、
砥石保持用フランジの加工誤差如何に拘わらず、
該フランジとの間にガタを生じさせることなく常
に強固に保持されるようにしたものである。 したがつて、該砥石は回転ブレ等を起こすおそ
れがないから、カーフ幅が小さく、かつ、チツピ
ングの少ない切断加工を可能とする。
第１図は本考案の実施例に係る薄刃砥石の縦断
面図、第２図は前記実施例の利点を説明するため
の図、第３図は従来の薄刃砥石の縦断面図、第４
図は従来の薄刃砥石の欠点を説明するための第３
図における１部拡大縦断面図、第５図はカーフロ
スを説明するための図、第６図はカーフ幅振れＡ
を説明するための図、第７図はカーフ幅振れＢを
説明するための図である。 １０……砥石、１１……砥石１０の外周部たる
刃先、１２……砥石１０の内周部、１３……テー
パ状部。
面図、第２図は前記実施例の利点を説明するため
の図、第３図は従来の薄刃砥石の縦断面図、第４
図は従来の薄刃砥石の欠点を説明するための第３
図における１部拡大縦断面図、第５図はカーフロ
スを説明するための図、第６図はカーフ幅振れＡ
を説明するための図、第７図はカーフ幅振れＢを
説明するための図である。 １０……砥石、１１……砥石１０の外周部たる
刃先、１２……砥石１０の内周部、１３……テー
パ状部。
Claims (1)
- 平均厚さが30〜300μｍの円環状の薄刃砥石で
あつて、その厚さが砥石半径方向外周側に向けて
漸次大きくなるようにテーパ状に形成し、外周部
の厚さと内周部の厚さとの差が３〜15μｍ、かつ
この差が前記平均厚さの1/5以下であることを特
徴とする薄刃砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985156844U JPH047896Y2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985156844U JPH047896Y2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265162U JPS6265162U (ja) | 1987-04-22 |
| JPH047896Y2 true JPH047896Y2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31078845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985156844U Expired JPH047896Y2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047896Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106956217A (zh) * | 2015-12-14 | 2017-07-18 | 株式会社捷太格特 | 整形器、具备该整形器的整形装置、研削装置及整形方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5844164B2 (ja) * | 1978-11-09 | 1983-10-01 | 株式会社同和 | 気化バ−ナ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5844164U (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-24 | 馬場 博喜 | 切断砥石 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP1985156844U patent/JPH047896Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5844164B2 (ja) * | 1978-11-09 | 1983-10-01 | 株式会社同和 | 気化バ−ナ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106956217A (zh) * | 2015-12-14 | 2017-07-18 | 株式会社捷太格特 | 整形器、具备该整形器的整形装置、研削装置及整形方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6265162U (ja) | 1987-04-22 |
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