JPH0469547A - 物体表面情報検知装置及び物体表面情報検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第８図） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（第１図、第２図）作用 実施例 い）第１の実施例の説明（第３図〜第５図）（ｉｉ　）
第２の実施例の説明（第６回）（ｉｎ）第３の実施例の
説明（第７図）発明の効果 ［概　要］ 物体表面情報検知装置、特に光反射率、光拡散率、高さ
１表面色等の物体の表面情報を検知する装置に関し、 該物体からの反射光（帰還光）の検出系を工夫して、物
体の光反射率、光拡散率、高さ１表面色情報等を同時に
検知し、それらの情報間の任意の相関を求め、高速かつ
効率良く表面情報を出力することを目的とし、 その第１の装置は、物体に光を照射する光発生手段と、
前記光を偏向走査する光走査手段と、前記物体からの反
射光に基づいて拡散光検知信号を出力する第１の検出手
段と、前記反射光に基づいて反射光検知信号又は表面色
検知信号を出力する第２の検出手段と、前記反射光に基
づいて高さ検知信号を出力する第３の検出手段と、前記
拡散光検知信号１反射光検知信号又は表面色検知信号及
び高さ検知信号を信号処理して表面検知信号を出力する
信号処理手段と、前記光発生手段、光走査手段、第１の
検出手段、第２の検出手段、第３の検出手段及び信号処
理手段の入出力を制御する制御手段を具備することを含
ろ構成し、 前記第１の装置において、前記第１の検出手段が前記反
射光を結像する第１の光学手段と、前記結像された反射
光を分割する光分割手段と、前記分割された第１の反射
光を部分的に遮光する遮光手段と、前記遮光手段からの
第１の反射光を検出する第１の光検出手段から成り、前
記第２の検出手段が前記分割された第２の反射光を部分
的に通過させる部分開口手段と、前記部分開口手段から
の第２の反射光を結像する第２の光学手段と、前記第２
の反射光を検出する複数の第２の光検出手段から成るこ
とを含み構成し、 その第２の装置は、前記第１の装置であって、前記第１
の検出手段が前記反射光を結像する第１の光学手段と、
前記結像された反射光の一部を通過させ、かつ、該反射
光を変向する第１の空間フィルタと、前記変向された反
射光を検出する第１の光検出手段から成り、前記第２の
検出手段が前記第１の空間フィルタを通過した反射光を
結像する第２の光学手段と、前記反射光を検出する複数
の第２の光検出手段から成ることを含み構成し、その第
３の装置は第１の装置であって、前記第１の検出手段が
前記反射光を結像する第１の光学手段と、前記結像され
た反射光の一部を遮光し、かつ、該反射光を通過させる
第２の空間フィルタと、前記遮光された反射光を検出す
る第１の光検出手段から成り、前記第２の検出手段が前
記第２の空間フィルタを通過した反射光を結像する第２
の光学手段と、前記反射光を検出する複数の第２の光検
出手段から成ることを含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、物体表面情報検知装置及び物体表面情報検知
方法に関するものであり、更に詳しく言えば、光反射率
、光拡散率、高さ１表面色等の物体の表面情報を検知す
る装置及び方法に間するものである。

近年、コンピュータの普及による産業の自動化に伴い、
ＩＣ（半導体集積回路装置）の組立・検査工程において
、プリント基板の実装部品等の有無・表面色・位置ずれ
などを検査する物体検査装置が用いられている。

ところで、物体の表面情報を検知する場合には、その表
面の光反射率の相違を検知する反射光検知装置、その拡
散光を検知する拡散光検知装置、その高さを検知する高
さ検知装置及びその表面色を検出する表面色検知装置等
のような単機能をもった装置が用いられている。例えば
、プリント基板に形成された電子部品や配線等の実装状
態は、光反射率、光拡散率、高さ５表面色等の一つの表
面情報を検知することによって、その有無や位置ずれ等
が検査されている。かかる場合、製造工程を経た同し被
検査物体が多量に流れるロフト単位の検査をするときに
は、単機能の装置を用いる方法でも良い。

しかし、特定のＩＣ等の小量の物体の光反射率光拡散率
、高さ１表面色等の表面情報を総合して、その良否を判
断したい場合がある。かかる場合に、先の個々の装置に
係る検知工程を順に経て、各検知装置から表面情報を中
央に集中して情報処理をすることも可能であるが、デー
タ処理に時間を要し、検査の迅速性に欠けるという問題
がある。

そこで、検出系を工夫して、物体の光反射率光拡散率、
高さ２表面色情報等を同時に検知し、それらの情報間の
任意の相関を求め、高速かつ効率良く表面情報を出力す
ることができる装置及び方法が望まれている。

〔従来の技術］ 第８図（ａ）〜（ｃ）は、従来例に係る物体表面情報検
知装置の構成図である。

同図（ａ）は、プリント基板５等の物体の光反射率や拡
散光を検知する検知装置の構成図を示している。

同図（ａ）において、該検知装置は、レーザ光源ＩＡ、
　　ビームエクスパンダＩＢ、　　ミラーＩＣ。

ハーフミラ−ＩＤ、回転多面鏡２Ａ、走査レンズ２Ｂ及
びミー７−２Ｃから成る光走査系と、レンズ３Ａ、　　
ピンホール板３Ｂ及び光センサ３Ｃから成る光検出系と
を具備している。

当該装置の機能は、まず、レーザ光源ＩＡからレーザ光
Ｌ１２が発生されると、該レーザ光Ｌ１２がビームエク
スパンダＩＢにより広角される。また、広角されたレー
ザ光Ｌ１２がミラーＩＣにより変向され、該変向された
レーザ光Ｌ１２がハーフミラ−ＩＤにより分割される。

該分割されたレーザ光Ｌ１２は回転多面鏡２Ａ、走査レ
ンズ２Ｂにより偏向走査され、該偏向走査されたレーザ
光Ｌ１２がミラー２Ｃにより変向されて、プリント基板
５に達する。ここで、プリント基板５からの反射光Ｌ２
２が走査レンズ２Ｂ、回転多面鏡２Ａ及びハーフミラ−
ＩＤにより帰還し、それがレンズ３Ａにより結像され、
該反射光■、２２の一部がピンホール板３Ｂを通過する
。該通過した反射光Ｌ２２は光センサ３Ｃにより検出さ
れる。

これにより、プリント基板５の光反射率を反射光検知信
号Ｓ２３として検知することができる。また、光検出系
において、ピンホール板３Ｂに換えて同図破線円内図に
示すような遮光板３Ｄをセットすることにより、プリン
ト基板５の拡散光を拡散光検知信号として検出すること
ができる。

同図（ｂ）は、プリント基板５の高さ情報を検知する検
知装置の構成図を示している。

同図（ｂ）において、該検知装置は、ハーフミラ−ＩＤ
を除く先の光走査系と、レンズ５ＡやＰＳＤ　（Ｐｏｓ
ｉｔｉｏｎ　５ｅｎｓｉｔｉｖｅ　　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ
）から成る検出系を備えている。

当該装置の機能は、まず、レーザ光ｆＩＩＡからレーザ
光Ｌ１２が発生されると、該レーザ光Ｌ１２がビームエ
クスパンダＩＢにより広角される。また、広角されたレ
ーザ光ＬＩ２がミラーＩＣにより変向され、該変向され
たレーザ光Ｌ１２がハーフミラ−ＩＤにより分割される
。該分割されたレーザ光Ｌ１２は回転多面鏡２Ａ、走査
レンズ２Ｂにより偏向走査され、該偏向走査されたレー
ザ光Ｌ１２がミラー２Ｃにより変向されて、プリント基
板５に達する。ここで、プリント基板５からの反射光Ｌ
２３が斜めθ方向からレンズ３Ａを介して結像され、該
反射光Ｌ２３がＰＳＤ５Ｂにより輝度情報１１＋１２高
さ情報（１１−１２）　／　（１１＋１２）として検出
される。

これにより、プリント基板５の高さ情報を高さ検知信号
Ｓ３２として検出することができる。

同図（ｃ）は、プリント基板５の表面色を検知する検知
装置の構成図を示している。

同図（ｃ）において、該検知装置は、先の光走査系と、
青反射フィルタＦｌ、緑反射フィルタＦ２、ミラー３Ｅ
及び３つの光センサ３Ｆ〜３Ｈから成る検出系を備えて
いる。

当該装置の機能は、まず、レーザ光源ＩＡからレーザ光
ＬＩ２が発生されると、該レーザ光Ｌ１２がビームエク
スパンダＩＢにより広角される。また、広角されたレー
ザ光Ｌ１２がミラーＩＣにより変向され、該変向された
レーザ光Ｌ１２がハーフミラＩＤにより分割される。該
分割されたし・−ザ光Ｌ１２は回転多面鏡２Ａ、走査レ
ンズ２Ｂにより偏向走査され、該偏向走査されたレーザ
光Ｌ１２がミラー２Ｃにより変向されて、プリント基板
５に達する。ここで、プリント基板５からの反射光Ｌ２
４が走査レンズ２Ｂ、回転多面鏡２Ａ及びハーフミラ−
ＩＤにより帰還し、それが青反射フィルタＦｌに入射す
る。この際に、青色のみが反射をして光センサ３Ｆによ
り検出される。

また、青反射フィルタＦ１を通過した反射光Ｌ２４が緑
反射フィルタＦ２に入射をする。この際に、緑色のみが
反射をして光センサ３Ｇにより検出される。さらに、緑
反射フィルタＦ２を通過した反射光Ｌ２４がミラー３Ｅ
で反射をし、赤色のみが光センサ３　Ｈより検出される
。

これにより、プリント基板５の表面色情報（赤色輝度情
報Ｒ１緑色輝度情報Ｇ及び青輝度情報）を各センサ３Ｆ
〜３Ｈからの表面色検知信号Ｓ２４として検知すること
ができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、従来例によれば、プリント基板の実装部品等
の有無・表面色・位置ずれなどを検査する場合において
、反射光検知装置、拡散光検知装置、高さ検知装置及び
表面色検知装置等のような単機能をもった装置が用いら
れている。

例えば、プリント基板に形成された電子部品や配線等の
実装状態は、光反射率、光拡散率、高さ表面色等の一つ
の表面情報を検知することによって、その有無や位置ず
れ等が検査されている。このような単機能の装置を用い
る方法は、同じ製造過程を経た被検査物体が多量に流れ
るロフト単位の検査をする場合には適している。

しかし、特定のＩＣ等の比較的に少量の物体を検査する
場合であって、その表面情報を総合判断しなければ、そ
の良否を判定することができない場合には、単機能の装
置を用いる方法では不都合を生ずることがある。すなわ
ち、このような要求があった場合には、先の各検知装置
により物体の光反射率、光拡散率、高さ９表面色等の検
知処理を順に行ない、該検知装置からの表面情報を中央
に集中し、その情報処理を行うことで総合判断をする方
法が考えられる。

かかる場合、被検知物体を検知装置にセットする時間、
それを他の検知装置に移動する移動時間及び各検知装置
からの表面情報を処理するに時間を要し、検査処理の迅
速性に欠けるという問題がある。

本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作されたもの
であり、物体からの反射光（帰還光）の検出系を工夫し
て、物体の光反射率、光拡散率。

高さ１表面色情報等を同時に検知し、それらの情報間の
任意の相関を求め、高速かつ効率良く表面情報を出力す
ることが可能となる物体表面情報検知装置の提供を目的
とする。

［課題を解決するための手段］ 第１図、第２図（ａ）〜（ｅ）は、本発明に係る物体表
面情報検知装置及び物体表面情報検知方法の原理図及び
その第１．第２の検出手段の原理図をそれぞれ示してい
る。

その第１の装置は、第１図に示すように、物体１９に光
Ｌ１を照射する光発生手段１１と、前記光Ｌ１を偏向走
査する光走査手段１２と、前記物体１９からの反射光Ｌ
２に基づいて拡散光検知信号Ｓ１を出力する第１の検出
手段１３と、前記反射光Ｌ２に基づいて反射光検知信号
又は表面色検知信号Ｓ２を出力する第２の検出手段１４
と、前記反射光Ｌ２に基づいて高さ検知信号Ｓ３を出力
する第３の検出手段１５と、前記拡散光検知信号Ｓ１１
反射光検知信号又は表面色検知信号Ｓ２及び高さ検知信
号Ｓ３を信号処理して表面検知信号Ｓ４を出力する信号
処理手段１６と、前記光発生手段１１．光走査手段１２
．第１の検出手段１３第２の検出手段１４．第３の検出
手段１５及び。

信号処理手段１６の入出力を制御する制御手段１７を具
備することを特徴とし、 前記第１の装置において、前記物体１９を移動する移動
手段１８が設けられ、前記制御手段１７が移動手段１日
の人出力を制御することを特徴とし、 前記第１の装置において、前記第１の検出手段１３が第
２図（ａ）に示すように、前記反射光Ｌ２を結像する第
１の光学手段１３Ａと、前記結像された反射光Ｌ２を分
割する光分割手段１３Ｂと、前記分割された第１の反射
光Ｌ２１を部分的に遮光する遮光手段１３Ｃと、前記遮
光手段１３Ｃからの第１の反射光Ｌ２１を検出する第１
の光検出手段１３Ｄから成り、前記第２の検出手段１４
が前記分割された第２の反射光Ｌ２２を部分的に通過さ
せる部分開口手段１４Ａと、前記部分開口手段１４Ａか
らの第２の反射光Ｌ２２を結像する第２の光学手段１４
Ｂと、前記第２の反射光Ｌ２２を検出する複数の第２の
光検出手段１４Ｄから成ることを特徴とし、その第２の
装置は、第１の装置であって、前記第１の検出手段１３
が第２図（ｂ）に示すように、前記反射光Ｌ２を結像す
る第１の光学手段１３Ａと、前記結像された反射光Ｌ２
の一部を通過させ、かつ、該反射光Ｌ２を変向する第１
の空間フィルタ１．３Ｅと、前記変向された反射光Ｌ２
を検出する第１の光検出手段１３Ｄから成り、前記第２
の検出手段１４が前記第１の空間フィルタ１３Ｅを通過
した反射光Ｌ２を結像する第２の光学手段１４Ｂと、前
記反射光Ｌ２を検出する複数の第２の光検出手段１４Ｄ
から成ることを特徴とし、 その第３の装置は、第１の装置において、前記第１の検
出手段１３が第２図（Ｃ）に示すように、前記反射光Ｌ
２を結像する・第１の光学手段１３Ａと、前記結像され
た反射光Ｌ２の一部を遮光し、かつ、該反射光Ｌ２を通
過させる第２の空間フィルタ１３Ｆと、前記遮光された
反射光Ｌ２を検出する第１の光検出手段１３Ｄから成り
、前記第２の検出手段１４が前記第２の空間フィルタ１
３Ｆを通過した反射光Ｌ２を結像する第２の光学手段１
４Ｂと、前記反射光Ｌ２を検出する複数の第２の光検出
手段１４Ｄから成ることを特徴とし、 前記第２．第３の装置において、前記第１．第２の空間
フィルタ１．３Ｅ、１．３Ｆは、第２図（ｂ）。

（ｃ）に示すように、前記反射光Ｌ２の光軸Ｃに対して
、任意の角度θにより傾斜して設けられることを特徴と
し、 前記第２の装置の前記第１の空間フィルタ１．３Ｅであ
って、第２図（ｄ）に示すように、前記反射光Ｌ２を通
過させる開口部２０Ａが楕円形状を有し、前記開口部２
０Ａの幅方向ｄに対して長手方向の長さｌがｄ／ｓｉｎ
　θなる関係に設定されることを特徴とし、 前記第３の装置の前記第２の空間フィルタ１３Ｆであっ
て、第２図（ｅ）に示すように、前記反射光Ｌ２を遮光
する遮光部２０Ｂが楕円形状を有し、前記遮光部２０Ｂ
の幅方向ｄに対して長手方向の長さ！がｄ／ｓｉｎ　θ
なる関係に設定されることを特徴とし、 その方法は、物体１９に光Ｌ１の照射処理をし、かつ、
前記光Ｌ１の偏向走査処理をし、前記物体Ｉ９からの反
射光Ｌ２に基づいて拡散光検知処理反射光検知処理１表
面色検知処理及び高さ検知処理をし、前記拡散光検知処
理８反射光検知処理表面色検知処理及び高さ検知処理に
基づいて前記物体１９の表面情報の取得処理をすること
を特徴とし、上記目的を達成する。

〔作　用〕

本発明の第１の装置によれば、第１図に示すように、光
発生手段１１．光走査手段１２．第１の検出手段１３．
第２の検出手段１４．第３の検出手段１５．信号処理手
段１６及び制御手段１７が具備されている。

例えば、光発生手段１１から光Ｌ１が出射されると、ま
ず、光走査手段１２により光Ｌ１が偏向走査され、それ
が移動制御される物体１９に照射される。これにより、
物体１９からの反射光Ｌ２に基づいて、第１の検出手段
１３から拡散光検知信号Ｓ１が出力され、第２の検出手
段１４がら反射光検知信号又は表面色検知信号ｓ２が出
力され、第３の検出手段１５から高さ検知信号ｓ３が同
時に出力される。

すなわち、物体Ｉ９からの反射光Ｌ２が第１の検出手段
Ｉ３の第１の光学手段１３Ａにより結像され、該結像さ
れた反射光Ｌ２が光分割手段１３Ｂにより分割される。

また、分割された第１の反射光Ｌ２Ｉが部分的に遮光手
段Ｉ３Ｃにより遮光され、該遮光手段１３Ｃからの第１
の反射光Ｌ２１が拡散光検知信号Ｓ１として第１の光検
出手段１３Ｄにより検出される。さらに、物体１９がら
の反射光Ｌ２が第１の検出手段Ｉ４の光分割手段１３Ｂ
により分割され、該分割された第２の反射光Ｌ２２が部
分開口手段１４Ａを部分的に通過する。この際に、部分
開口手段１４Ａからの第２の反射光Ｌ２２が第２の光学
手段１４Ｂにより結像され、該第２の反射光Ｌ２２が反
射光検知信号又は表面色検知信号ｓ２として複数の第２
の光検出手段１４Ｄにより検出される。

このため、従来例のように単機能の装置を順次用いるこ
となく、同時に検出した物体の光反射率光拡散率、高さ
１表面色等の情報間の任意の相関を求めることによって
、物体の表面情報の総合判断しなければその良否を判定
することができない特定のＩＣ等の表面情報を効率良く
かつ高速に検知することが可能となる。

これにより、従来例に比べて物体１９等の被検知対象を
検知装置にセントする時間、それを他の検知装置に移動
する移動時間及び各検知装置からの表面情報を処理する
データ処理時間の大幅な削減が図られ、検査処理の高速
化を図ることが可能となる。

また、本発明の第２の装置によれば、第１の装置であっ
て、第１の光学手段１３Ａ、第１の空間フィルタ１３Ｅ
及び第１の光検出手段１３Ｄから成る第１の検出手段１
３と、第２の光学手段１４Ｂ及び複数の第２の光検出手
段１４Ｄから成る第２の検出手段Ｉ４とが設けられてい
る。

例えば、物体１９からの反射光Ｌ２が第１の光学手段１
３Ａにより結像され、該結像された反射光Ｌ　２の一部
が第１の空間フィルタ１３Ｅを通過し、かつ、該反射光
Ｌ２が第１の空間フィルタ１３Ｅにより変向される。こ
の際の第１の空間フィルタ１３Ｅは、反射光Ｌ２の光軸
Ｃに対して、任意の角度θにより傾斜して設けられ、そ
の反射光Ｌ２を通過させる開口部２０Ａが楕円形状を有
し、開口部２０Ａの幅方向ｄに対して長手方向の長さｌ
がｄ／ｓｉｎθなる関係に設定されている。また、変向
された反射光Ｌ２が拡散光検知信号Ｓ１として第１の光
検出手段１．３Ｄにより検出される。さらに、第１の空
間フィルタ１３Ｅを通過した反射光Ｌ２は第２の検出手
段１４の第２の光学手段１４Ｂにより結像され、該反射
光Ｌ２が反射光検知信号又は表面色検知信号Ｓ２として
複数の第２の光検出手段１４Ｄにより検出される。

このため、第１の装置の光分割手段１３Ｂ、遮光手段１
３Ｃ及び部分開口手段１４Ａを第１の空間フィルタ１３
Ｅ−つに置き替えが可能になることから物体１９からの
反射光Ｌ２（帰還光）を検出する光学系構成物の簡略化
を図ることが可能となる。

これにより、第１の装置のメリットに加えてコスト低減
化を図ることが可能となる。

さらに、本発明の第３の装置によれば、第１の装置であ
って、第１の光学手段１３Ａ、第２の空間フィルタ１３
Ｆ、第１の光検出手段１３０から成る第１の検出手段１
３と、第２の光学手段１４Ｂ、第２の光検出手段１４Ｄ
から成る第２の検出手段１４が設けられている。

例えば、物体１９からの反射光Ｌ２が第１の光学手段１
３Ａにより結像され、該結像された反射光Ｌ２の一部が
遮光され、かつ、該反射光Ｌ２が第２の空間フィルタ１
３Ｆを通過する。この際の第２の空間フィルタ１．３Ｆ
は、反射光Ｌ２の光軸Ｃに対して、任意の角度θにより
傾斜して設けられ、該反射光Ｌ２を遮光する遮光部２０
Ｂが楕円形状を有し、該遮光部２０Ｂの幅方向ｄに対し
て長手方向の長さｌがｄ／ｓｉｎ　θなる関係に設定さ
れている。

さらに、遮光された反射光Ｌ２が第１の光検出手段Ｉ３
Ｄにより検出される。また、第２の空間フィルタ１３Ｆ
を通過した反射光Ｌ２が第２の光学手段１４Ｂにより結
像され、該反射光Ｌ２が複数の第２の光検出手段＋４Ｄ
により検出される。

このため、第２の装置の装置と同様に第１の装置の光分
割手段１３Ｂ、遮光手段１３Ｃ及び部分開口手段１４Ａ
を第２の空間フィルタ１３Ｆ−つに置き替えが可能にな
ることから物体１９からの反射光Ｌ２（帰還光）を検出
する光学系構成物の簡略化を図ることが可能となる。

これにより、第２の装置と同様に第１の装置のメリット
に加えてコスト低減化を図ることが可能となる。

本発明の方法によれば拡散光検知処理１反射光検知処理
１表面色検知処理及び高さ検知処理に基づいて物体１９
の表面情報が取得処理されている。

このため、従来例のように単機能の装置を順次用いるこ
となく、物体の表面情報の総合判断しなければその良否
を判定することができない特定のＩＣ等の表面情報を効
率良くかつ高速に検知することが可能となる。

これにより、検査処理の高速化を図ることが可能となる
。

〔実施例］ 次に図を参照しながら本発明の実施例について説明をす
る。

第３〜第７図は、本発明の実施例に係る物体表面情報検
知装置及び物体表面情報検知方法を説明する図である。

（ｉ）第１の実施例の説明 第３図は、本発明の第１の実施例に係る物体表面情報検
知装置の構成図を示している。　図において、２１は光
発生手段１１の一実施例となるレーザ光照射ユニットで
あり、レーザ光源２１Ａ、ビームエクスパンダ２１Ｂ、
ミラー２１Ｃ及び／’ｌ−フミラー２１Ｄから成る。

レーザ光照射ユニット２１の機能は、まず、レーザ光源
２１Ａで発生した白色レーザ光Ｌｌｌをビームエクスパ
ンダ２１Ｂにより広角し、さらに、広角されたレーザ光
Ｌｌｌをミラー２１Ｃにより変向し、該変向したレーザ
光Ｌ１２をハーフミラ−２１Ｄにより分割し、該ミラー
２１Ｄを通過したレーザ光Ｌ１２を回転多面鏡２２Ａに
入射するものである。

２２は光走査手段１２の一実施例となるレーザ光走査ユ
ニットであり、回転多面鏡２２Ａ、走査レンズ２２Ｂ及
びミラー２２Ｃから成る。レーザ光走査ユニット２２の
機能は、ミラー２１Ｄを通過したレーザ光Ｌ１２を回転
多面鏡２２Ａにより偏向走査し、該偏向走査したレーザ
光Ｌ１２をミラー２２Ｃにより変向して、それを被検知
対象となるプリント基板２９に照射するものである。

２３は第１の検出手段１３の一実施例となる第１の帰還
光検出ユニットであり、第１の光学手段１３Ａとなるレ
ンズ２３Ａ、光分割手段１３Ｂとなるハーフミラ−２３
Ｂ、遮光手段１３Ｃとなる遮光型空間フィルタ２３Ｃ及
び第１の光検出手段１３Ｄとなる第１の光センサ２３Ｄ
から成る。なお、第１の帰還光検出ユニット２３の光軸
は反射光Ｌ２１に係る光軸Ｃに対して、ハーフミラ−２
３Ｂにより直交するように位置合わせされている。第１
の帰還光検出ユニット２３の機能は、第４図に示すよう
に、まず、プリント基板２９からの反射光（帰還光）Ｌ
２１がハーフミラ−２１Ｄにより分割されてレンズ２３
Ａに入射されると、ハーフミラ−２３Ｂにより、該反射
光Ｌ２１が分割され、一方の反射光Ｌ２１がフィルタ２
３Ｃに入射され、他の反射光Ｌ２１を第２の帰還光検出
ユニット２４に入射させる。これにより、遮光型空間フ
ィルタ２３Ｃに入射した反射光Ｌ２１が第１の光センサ
２３Ｄにより検出される。ここで、遮光型空間フィルタ
２３Ｃには反射光Ｌ２１の一部を遮光する遮光部２３Ｅ
が設けられ、それが円形状を有し、該反射光Ｌ２１の光
軸Ｃに位置合わせされている。

これにより、プリント基板２９の拡散光情報を拡散光検
知信号５１＝Ｉｄとして検出することができる。

２４は第２の検出手段１４の一実施例となる第２の帰還
光検出ユニットであり、部分開口手段１４Ａとなるピン
ホール板２４Ａ、第２の光学手段１４Ｂとなるレンズ２
４Ｂ、複数の第２の光検出手段１４Ｄとなる青反射フィ
ルタＦｌ、緑反射フィルタＦ２゜ミラー２４Ｃ及び第２
〜第４の光センサ２４Ｄ〜２４Ｆから成る。なお、第２
の帰還光検出ユニット２４の光軸は反射光Ｌ２１に係る
光軸Ｃに位置合わせされている。

第２の帰還光検出ユニット２４の機能は、第４図に示す
ように、ハーフミラ−２３Ｂからの反射光Ｌ２１がピン
ホール板２４．、Ａに入射されると、ピンホール２４Ｇ
を通過した反射光Ｌ２１が青反射フィルタＦｌに入射す
る。この際に、青色のみが反射をして第２の光センサ２
４Ｄにより検出される。また、青反射フィルタＦ１を通
過した反射光Ｌ２１が緑反射フィルタＦ２に入射をする
。この際に、緑色のみが反射をして第３の光センサ２４
Ｅにより検出される。さらに、緑反射フィルタＦ２を通
過した反射光Ｌ２１がミラー２４Ｃで反射をし、赤色の
みが第４の光センサ２４Ｆより検出される。なお、ピン
ホール２４Ｇは円形状を有し、該反射光Ｌ２１の光軸Ｃ
に位置合わせされている。

これにより、プリント基板２９の表面色情報（赤色輝度
情報Ｒ１緑色輝度情報Ｇ及び青輝度情報）となる表面色
検知信号又は反射光検知信号Ｓ３−ＩＲ，ｒＧ、ＩＢを
検知することができる。

２５は第３の検出手段１５の一実施例となる第３の帰還
光検出ユニットであり、結像レンズ２５Ａ及びＰ　Ｓ　
Ｄ　（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　５ｅｎｓｉｔｉｖｅ　　Ｄｅ
ｔｅｃｔｏｒ）　２５Ｂから成る。

第３の帰還光検出ユニット２５の機能は、第４図に示す
ように、プリント基板２９からの反射光Ｌ２１が斜めθ
方向からレンズ２５Ａを介して結像され、該反射光ｌ５
２１がＰＳＤ２５Ｂにより輝度情報１１十１２．高さ情
報（ＩＩ−Ｔ２）　／　（１１＋１２）として検出され
る。

これにより、プリント基板２９の高さ情報を高さ検知信
号Ｓ３−１１．１２として検出することができる。

２６は信号処理手段１６の一実施例となる信号処理回路
であり、マイクロ・コンピュータ２７に基づいて拡散光
検知信号Ｓｌ、反射光検知信号又は表面色検知信号Ｓ２
及び高さ検知信号Ｓ３の信号処理をして表面検知信号Ｓ
４を出力するものである。なお、信号処理の内容につい
ては第５図において説明をする。

２８は移動手段１８の一実施例となるステージ移動装置
であり、プリント基板２９を載置したＸＹステージ２８
Ａを移動制御するものである。

２７は制御手段１７の一実施例となるマイクロ・コンピ
ュータであり、レーザ光照射ユニント２１、第１〜第３
の帰還光検出ユニソ）２３．２４２５及びステージ移動
装置２８の入出力を制御するものである。

第５図は、本発明の各実施例に係る信号処理回路を説明
する図である。

図において、２６は信号処理回路であり、Ａ／Ｄ変換回
路２６Ａ〜２６Ｆ及び画像メモリ２６Ｇから成る。当該
回路の機能は、まず、第１〜第３の帰還光検出ユニット
２３〜２５からの各検知信号１ｄ１１　１２、ｉＲ，Ｉ
Ｇ及びＩＢをＡ／Ｄ変換回路２６Ａ〜２６Ｆにより、ア
ナログ／デジタル変換処理をする。ここで、検知信号Ｔ
ｄはＡ／Ｄ変換回路２６Ａによりｉビットのデータに変
換されて画像メモリ２６Ｇのメモリ変換テーブルにアド
レスとして入力される。また、検知信号１１．Ｔ２はＡ
／Ｄ変換回路２６Ｂ、２６Ｃによりｊビットのデータに
変換されて、同様にメモリ変換テーブルにアドレス入力
される。さらに、検知信号ＩＲ，ＩＧ及び［ＢはＡ／Ｄ
変換回路２６Ａによりにピントのデータに変換されて、
メモリ変換テーブルにアドレス入力される。

この際に、テーブルの内容がマイクロ・コンピュータ２
７により演算処理されることにより書き換えられる。

その第１の演算処理は、例えば、光拡散性を有するプリ
ント基板２９に形成された金属配線の高さ情報のみを検
知する場合には、光拡散検知信号Ｉｄが予め設定された
第１の定数（閾値レヘル等）より小さく、かつ、高さ情
報（Ｉｆ−１２）　／　（１１＋１２）が第２の定数よ
り大きいか、又は、同等である場合にはｎビットの出力
データ「１」が出力される。また、それ以外の場合には
、出力データｒ□、が出力される。

第２の演算処理は、光拡散性を有するプリント基板２９
に２種類以上の金属配線が形成され、その表面色が赤と
青とを有している場合において、例えば、赤色の配線領
域のみを検知する場合には、光拡散検知信号１ｄが第１
の演算処理と同様に予め設定された第１の定数（閾値レ
ヘル等）より小さく、表面色検知信号ＩＲ，ＩＣ及びＩ
ＢがＴＲ／（ＩＲ＋ＩＣ＋ＩＢ）の関係にあって、第３
の定数より大きいか、又は、同等である場合であって、
かつ、表面色検知信号ＩＲが第４の定数より大きいか、
又は、同等である場合にｎビットの出力データ「１」が
出力される。また、それ以外の場合には、出力データ「
０」が出力される。

第３の演算処理は、光拡散性を有するプリント基板２９
に２種類以上の金属配線が形成され、その表面が滑らか
な状態と粗い状態とを存している場合において、例えば
、滑らかな状態の配線領域のみを検知する場合には、光
拡散検知信号Ｔｄが第１の演算処理と同様に予め設定さ
れた第１の定数（閾値レヘル等）より小さく、高さ検知
信号■１．１２．表面色検知信号ｌＲ９１Ｇ及びＩＢが
（ＩＲ＋ＩＣ；＋ＩＢ）／（１１＋Ｉ２＋ＩＲ＋ＩＧ＋
　Ｉ　Ｂ）の関係にあって、第５の定数より大きいか、
又は、同等である場合であって、かっ、表面色検知信号
Ｉ　Ｒ＋　Ｉ　Ｃ＋　ｌ　Ｂが第６の定数より大きいか
、又は、同等である場合にｎピントの出力データ「１ノ
が出力される。また、それ以外の場合には、出力データ
「Ｏｊが出力される。

これにより、各検知信号間において、任意の演算処理を
したデータ出力を得ることが可能となる。

このようにして、本発明の第１の実施例の装置によれば
、レーザ光照射ユニント２１．レーザ光走査ユニット２
２．第１〜第３の帰還光検出ユニット２３〜２５．信号
処理回路２６及びマイクロ・コンピュータ２７が具備さ
れている。

このため、レーザ光照射ユニット２１から白色レーザ光
Ｌｌｌが出射されると、まず、レーザ光走査ユニント２
２により光Ｌｌｌが偏向走査され、それが移動制御され
るプリント基板２９に照射される。これにより、プリン
ト基板２９からの反射光Ｌ２１に基づいて、第１の帰還
光検出ユニット２３から拡散光検知信号５Ｉ＝Ｉｄが出
力され、第２の帰還光検出ユニット２４から反射光検知
信号又は表面色検知信号５２＝ＩＲ，ＩＣ，ＩＢが出力
され、第３の帰還光検出ユニフト２５がら高さ検知信号
Ｓ３＝＋１．１２が同時に出力される。

このことで、従来例のように単ｉ能の装置を順次用いる
ことなく、同時に検出したプリント基板２９の光反射率
、光拡散率、高さ１表面色等の情報間の任意の相関を信
号処理回路２６及びマイクロ・コンピュータ２７により
求めることによって、物体の表面情報の特異情報を用い
て、その良否を判定することが可能となる。

これにより、従来例に比べてプリント基板２９等の被検
知対象を検知装置にセットする時間、それを他の検知装
置に移動する移動時間及び各検知装置からの表面情報を
処理するデータ処理時間の大幅な削減が図られ、検査処
理の高速化を回ることが可能となる。

（ｉｉ　）第２の実施例の説明 第６図（ａ）、（ｂ）は、本発明の第２の実施例に係る
第１１第２の帰還光検出ユニットの構成Ｖ及び第１の空
間フィルタの平面図をそれぞれ示している。

同図（ａ）において、第１の実施例の検出ユニットと異
なるのは、第２の実施例の検出ユニットでは反射光Ｌ２
］を第１．第２の帰還光検出ユニッ）２３．２４に分割
する手段が簡略化されていることを特徴としている。

すなわち、第１の帰還光検出ユニット２３は、反射光Ｌ
２１を結像するレンズ２３Ａと、該結像された反射光Ｌ
２１の一部を通過させ、がっ、該反射光Ｌ２を変向する
第１の空間フィルタ１．３Ｅと、該変向された反射光Ｌ
２１を検出する第１の光センサ２３Ｄから成る。ここで
、第１の空間フィルタ１３Ｅは、第６図（ａ）に示すよ
うに、反射光Ｌ２１の光軸Ｃに対して、例えば、角度θ
−４５°により傾斜して設けられるものである。これに
より、第１の帰還光検出ユニット２３の光軸が反射光Ｌ
２１に係る光軸Ｃに対して直交させることができる。

また、第１の空間フィルタ１３Ｅは、第６図（ｂ）に示
すように、該反射光Ｌ２１を通過させる開口部（光通過
領域）２０Ａが楕円形状を有し、該開口部２０Ａの幅方
向ｄに対して長手方向の長さｌがｄ／ｓｉｎ　θなる関
係るこ設定されるものである。開口部２０Ａは反射光Ｌ
２１を透過させる状態であれば良く、必ずしも物理的に
貫通口を設けなくも良い。また、光通過領域以外は光反
射領域となっている。

なお、第２の帰還光検出ユニット２４は、第１の実施例
のピンホール板２４Ａが省略され、レンズ２４Ｂ、青反
射フィルタＦｌ、緑反射フィルタＦ２ミラー２４Ｃ及び
光センサ２４Ｄ〜２４Ｆから成る。なお、第２の帰還光
検出ユニット２４の光軸は反射光Ｌ２１に係る光軸Ｃに
位置合わせされる。

また、第２の帰還光検出ユニット２４の機能については
、第１の空間フィルタ１３Ｅの開口部２０Ａを透過した
反射光Ｌ２１が青反射フィルタＦ１に入射される。その
後は、第１の実施例と同様であるため説明を省略する。

これにより、プリント基Ｆｉ、２９の拡散光情報を拡散
光検知信号５１＝Ｉｄとして検出することができる。ま
た、その表面色検知信号５３＝ＩＲＩＧ、ｒＢを検知す
ることができる。

このようにして、本発明の第２の実施例の装置によれば
、レンズ２３Ａ、第１の空間フィルタ１３Ｅ及び元栓セ
ンサ２３Ｄから成る第１の帰還光検出ユニット２３と、
レンズ２４Ｂ、各フィルタＦｌ、Ｆ２、ミラー２４Ｃ及
び光センサ２４Ｄ〜２４Ｆから成る第２の帰還光検出ユ
ニ７）２４とが設けられているや このため、プリント基板２９からの反射光Ｌ２１がレン
ズ２３Ａにより結像され、該結像された反射光Ｌ１２の
一部が第１の空間フィルタ１３Ｅを通過し、かつ、該反
射光Ｌ２１が第１の空間フィルタ１３Ｈにより変向され
る。また、変向された反射光Ｌ２１が拡散光検知信号Ｓ
１として光センサ２３Ｄにより検出される。さらに、第
１の空間フィルタ１３Ｅを通過した反射光Ｌ２１は第２
の帰還光検出ユニット２４のレンズ２４Ｂにより結像さ
れ、該反射光Ｌ２１が反射光検知信号又は表面色検知信
号Ｓ２として３つの光センサ２４Ｄにより検出される。

このことで、第１の実施例に係る装置のハーフミラ−２
３Ｂ　　遮光型空間フィルタ２３Ｃ及びピンホール板２
４Ａを第１の空間フィルタ１３Ｅ−つに置き替えが可能
になることからプリント基板２９からの反射光Ｌ２１（
帰還光）の検出する光学系構成物の簡略化を図ることが
可能となる。

これにより、第１の装置のメリントに加えて検知装置の
コスト低減化を図ることが可能となる。

（ｉｉｉ）第３の実施例の説明 第７図（ａ）、　　（ｂ）は、本発明の第３の実施例に
係る第１．第２の帰還光検出ユニットの構成図及び第２
の空間フィルタの平面図をそれぞれ示している。

同図（ａ）において、第１の実施例の検出ユニットと異
なるのは、第３の実施例の検出ユニットでは第２の実施
例の検出ユニットと同様に、反射光Ｌ２１を第１．第２
の帰還光検出ユニット２３２４に分割する手段が簡略化
されていることを特徴としている。

すなわち、第１の帰還光検出ユニット２３は、反射光Ｌ
２１を結像するレンズ２３Ａと、該結像された反射光Ｌ
２１の一部を遮光し、かつ、該反射光Ｌ２１を変向する
第２の空間フィルタ１３Ｆと、該変向された反射光Ｌ２
１を検出する光センサ２３Ｄから成る。ここで、第２の
空間フィルタ１３Ｆは、第７図（ａ）に示すように、反
射光Ｌ２１の光軸Ｃに対して、例えば、角度θ＝４５°
により傾斜して設けられるものである。これにより、第
１の帰還光検出ユニット２３の光軸を反射光Ｌ２１に係
る光軸Ｃに直交させることができる。

また、第２の空間フィルタ１３Ｆは、第７図（ｂ）に示
すように、該反射光Ｌ２１を遮光する遮光部（光反射領
域）２０Ｂが楕円形状を有し、該遮光部２０Ｂの幅方向
ｄに対して長平方向の長さｌがｄ／ｓｉｎ　θなる関係
に設定されるものである。

なお、第２の帰還光検出ユニット２４では、第２の実施
例と同様にピンホール＋ｆｆ１２４Ａが省略され、該“
”・ト２４が・ｂｙ、（２４Ｂ・青反射）・″タＩＦｌ
、緑反射フィルタＦ２．　　ミラー２４Ｃ及び光センサ
２４Ｄ〜２４Ｆから成る。また、第２の帰還光検出ユニ
’ｙ　）　２４の機能については、第２の空間フィルタ
１３Ｆを通過した反射光Ｌ２１が青反射フィルタＦｌに
入射される。その後は、第１の実施例と同様であるため
説明を省略する。

これにより、プリント基板２９の拡散光情報を第２の実
施例と同様に拡散光検知信号５１＝Ｉｄとして検出する
ことができる。また、その表面色検知信号５３＝ＩＲ，
ＩＣ，ＩＢを検知することができる。

このようにして、本発明の第３の実施例の装置によれば
、レンズ２３Ａ、第２の空間フィルタ１３Ｆ及び元栓セ
ンサ２３Ｄから成る第１の帰還光検出ユニット２３と、
レンズ２４Ｂ、各フィルタＦｌ、Ｆ２、　　ミラー２４
Ｃ及び光センサ２４Ｄ〜２４Ｆから成る第２の帰還光検
出ユニット２４とが設けられている。

このため、プリント基板２９からの反射光Ｌ２１がレン
ズ２３Ａにより結像され、該結像された反射光Ｌ１２の
一部が第２の空間フィルタ１３Ｆを通過し、かつ、該反
射光Ｌ２１が第２の空間フィルタ１３Ｆにより変向され
る。また、変向された反射光Ｌ２１が拡散光検知信号Ｓ
１として光センサ２３Ｄにより検出される。さらに、第
２の空間フィルタ１３Ｆを通過した反射光Ｌ２１は第２
の帰還光検出ユニット２４のレンズ２４Ｂにより結像さ
れ、該反射光Ｌ２１が反射光検知信号又は表面色検知信
号Ｓ２として３つの光センサ２４Ｄ〜２４Ｆにより検出
される。

このことで、第１の実施例に係る装置のハーフミラ−２
３Ｂ、遮光型空間フィルタ２３Ｃ及びピンホール板２４
Ａを第２の空間フィルタＩ３Ｆ−つに置き替えが可能に
なることからプリント基板２９からの反射光Ｌ２１（帰
還光）を検出する光学系構成物の簡略化を図ることが可
能となる。

これにより、第１の装置のメリットに加えて、第２の実
施例と同様に検知装置のコスト低減化を図ることが可能
となる。

である。

〔発明の効果］ 以上説明したように、本発明の各装置によれば、光発生
手段、光走査手段、第１〜第３の検出手段信号処理手段
及び制御手段が具備され、物体からの反射光に基づいて
、拡散光検知信号１反射光検知信号又は表面色検知信号
、高さ検知信号Ｓ３が同時に出力することができる。

このため、従来例のように単機能の装置を順次用いるこ
となく、同時に検出した物体の光反射率光拡散率、高さ
９表面色等の情報間の任意の相関を求めることによって
、表面情報を効率良くかつ高速に検知することが可能と
なる。

また、本発明の第２．第３の装置によれば、第１、第２
の空間フィルタにより、第１の装置の光分割手段、遮光
手段及び部分開口手段の機能を一つの機能に置き替える
ことが可能となる。このことで、物体からの反射光（帰
還光）を検出する光学系構成物の簡略化を図ることが可
能となる。

これにより、物体の表面の特定情報を用いた良否判定処
理を効率良くすることができる。さらに物体表面情報検
知装置のコスト低減化を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る物体表面情報検知装置の原理図
、 第２図は、本発明に係る物体表面情報検知装置の第１．
第２の検出手段の原理図、 第３図は、本発明の第１の実施例に物体表面情報検知装
置の構成図、 第４図は、本発明の第１の実施例に係る第１゜第２の帰
還光検出ユニットの構成図、 第５図は、本発明の各実施例に係る信号処理回路を説明
する図、 第６図は、本発明の第２の実施例に係る第１第２の帰還
光検出ユニットの構成図、 第７図は、本発明の第３の実施例に係る第１゜第２の帰
還光検出ユニットの構成図、 第８図は、従来例に係る物体表面情報検知装置の構成図
である。 （符号の説明） １１・・・光発生手段、 １２・・・光走査手段、 １３・・・第１の検出手段、 １４・・・第２の検出手段、 １５・・・第３の検出手段、 １６・・・信号処理手段、 １７・・・制御手段、 １８・・・移動手段、 １３Ａ・・・第１の光学手段、 １３Ｂ・・・光分割手段、 １３Ｃ・・・遮光手段、 １３Ｄ・・・第１の光検出手段、 １３Ｅ・・・第１の空間フィルタ、 １３Ｆ・・・第２の空間フィルタ、 １４Ａ・・・部分開口手段、 １４Ｂ・・・第２の光学手段、 １４Ｄ−・・第２の光検出手段、 ２０Ａ・・・開口部、 ２０Ｂ・・・遮光部、 ｄ・・・幅方向の長さ、 Ｅ・・・長手方向の長さ、 Ｃ・・・光軸、 Ｌｌ・・・光、 Ｌ２・・・反射光、 Ｓｌ・・・拡散光検知信号、 Ｓ２・・・反射光検知信号又は表面色検知信号、Ｓ３・
・・高さ検知信号、 Ｓ４・・・表面検知信号。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）物体（１９）に光（Ｌ１）を照射する光発生手段
   （１１）と、前記光（Ｌ１）を偏向走査する光走査手段
   （１２）と、前記物体（１９）からの反射光（Ｌ２）に
   基づいて拡散光検知信号（Ｓ１）を出力する第１の検出
   手段（１３）と、前記反射光（Ｌ２）に基づいて反射光
   検知信号又は表面色検知信号（Ｓ２）を出力する第２の
   検出手段（１４）と、前記反射光（Ｌ２）に基づいて高
   さ検知信号（Ｓ３）を出力する第３の検出手段（１５）
   と、前記拡散光検知信号（Ｓ１）、反射光検知信号又は
   表面色検知信号（Ｓ２）及び高さ検知信号（Ｓ３）を信
   号処理して表面検知信号（Ｓ４）を出力する信号処理手
   段（１６）と、前記光発生手段（１１）、光走査手段（
   １２）、第１の検出手段（１３）、第２の検出手段（１
   ４）、第３の検出手段（１５）及び信号処理手段（１６
   ）の入出力を制御する制御手段（１７）とを具備するこ
   とを特徴とする物体表面情報検知装置。
2. （２）請求項１記載の物体表面情報検知装置において、
   前記物体（１９）を移動する移動手段（１８）が設けら
   れ、前記制御手段（１７）が移動手段（１８）の入出力
   を制御することを特徴とする物体表面情報検知装置。
3. （３）請求項１記載の物体表面情報検知装置において、
   前記第１の検出手段（１３）が前記反射光（Ｌ２）を結
   像する第１の光学手段（１３Ａ）と、前記結像された反
   射光（Ｌ２）を分割する光分割手段（１３Ｂ）と、前記
   分割された第１の反射光（Ｌ２１）を部分的に遮光する
   遮光手段（１３Ｃ）と、前記遮光手段（１３Ｃ）からの
   第１の反射光（Ｌ２１）を検出する第１の光検出手段（
   １３Ｄ）から成り、前記第２の検出手段（１４）が前記
   分割された第２の反射光（Ｌ２２）を部分的に通過させ
   る部分開口手段（１４Ａ）と、前記部分開口手段（１４
   Ａ）からの第２の反射光（Ｌ２２）を結像する第２の光
   学手段（１４Ｂ）と、前記第２の反射光（Ｌ２２）を検
   出する複数の第２の光検出手段（１４Ｄ）から成ること
   を特徴とする物体表面情報検知装置。
4. （４）請求項１記載の物体表面情報検知装置であって、
   前記第１の検出手段（１３）が前記反射光（Ｌ２）を結
   像する第１の光学手段（１３Ａ）と、前記結像された反
   射光（Ｌ２）の一部を通過させ、かつ、該反射光（Ｌ２
   ）を変向する第１の空間フィルタ（１３Ｅ）と、前記変
   向された反射光（Ｌ２）を検出する第１の光検出手段（
   １３Ｄ）から成り、前記第２の検出手段（１４）が前記
   第１の空間フィルタ（１３Ｅ）を通過した反射光（Ｌ２
   ）を結像する第２の光学手段（１４Ｂ）と、前記反射光
   （Ｌ２）を検出する複数の第２の光検出手段（１４Ｄ）
   から成ることを特徴とする物体表面情報検知装置。
5. （５）請求項１記載の物体表面情報検知装置において、
   前記第１の検出手段（１３）が前記反射光（Ｌ２）を結
   像する第１の光学手段（１３Ａ）と、前記結像された反
   射光（Ｌ２）の一部を遮光し、かつ、該反射光（Ｌ２）
   を通過させる第２の空間フィルタ（１３Ｆ）と、前記遮
   光された反射光（Ｌ２）を検出する第１の光検出手段（
   １３Ｄ）から成り、 前記第２の検出手段（１４）が前記第２の空間フィルタ
   （１３Ｆ）を通過した反射光（Ｌ２）を結像する第２の
   光学手段（１４Ｂ）と、前記反射光（Ｌ２）を検出する
   複数の第２の光検出手段（１４Ｄ）から成ることを特徴
   とする物体表面情報検知装置。
6. （６）請求項４、５記載の物体表面情報検知装置におい
   て、前記第１、第２のの空間フィルタ（１３Ｅ、１３Ｆ
   ）は、前記反射光（Ｌ２）の光軸（Ｃ）に対して、任意
   の角度（θ）により傾斜して設けられることを特徴とす
   る物体表面情報検知装置。
7. （７）請求項４記載の物体表面情報検知装置の前記第１
   の空間フィルタ（１３Ｅ）であって、前記反射光（Ｌ２
   ）を通過させる開口部（２０Ａ）が楕円形状を有し、前
   記開口部（２０Ａ）の幅方向ｄに対して長手方向の長さ
   （ｌ）がｄ／ｓｉｎθなる関係に設定されることを特徴
   とする物体表面情報検知装置。
8. （８）請求項５記載の物体表面情報検知装置の前記第２
   の空間フィルタ（１３Ｆ）であって、前記反射光（Ｌ２
   ）を遮光する遮光部（２０Ｂ）が楕円形状を有し、前記
   遮光部（２０Ｂ）の幅方向ｄに対して長手方向の長さ（
   ｌ）がｄ／ｓｉｎθなる関係に設定されることを特徴と
   する物体表面情報検知装置。
9. （９）物体（１９）に光（Ｌ１）の照射処理をし、かつ
   、前記光（Ｌ１）の偏向走査処理をし、前記物体（１９
   ）からの反射光（Ｌ２）に基づいて拡散光検知処理、反
   射光検知処理、表面色検知処理及び高さ検知処理をし、
   前記拡散光検知処理、反射光検知処理、表面色検知処理
   及び高さ検知処理に基づいて前記物体（１９）の表面情
   報の取得処理をすることを特徴とする物体表面情報検知
   方法。