JPH0467349A

JPH0467349A - フレキシブル磁気ディスク用負圧パッドおよび製造方法

Info

Publication number: JPH0467349A
Application number: JP17267990A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Kuroda; 和弘黒田
Original assignee: Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 1990-07-02
Filing date: 1990-07-02
Publication date: 1992-03-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は２フレキシブル磁気デイスク装置等に用いられ
る負圧パッドに関するものである。

［従来の技術］磁気記録装置の小型化，転送時間短縮等の要求により，
２インチフレキシブル磁気ディスク装置（以下２’　Ｆ
ＤＤという）が開発された。これはメタル磁性粉を塗付
した２インチ記録媒体を３６００ｒｐ−で回転させて記
録再生を行なうもので、データディスクやスチルビデオ
フロッピー装置として商品化されている。また高記憶容
量化、高画質化の要求も強く、更に記録密度の向上が求
められている。しかし、高密度記録になるほど磁気ヘッ
ドと記録媒体との接触状態が問題となり、スペーシング
ロスの抑制が重要な課題となる。２’　ＦＤＤでは高速
回転する記録媒体の表面の空気が粘性によって引っ張ら
れ、高速で流れる空気膜を形成するのでスペーシングロ
スが大きくなりやすい。

そのため、第８図に示すように記録媒体を介して磁気ヘ
ッドと反対側に設けた安定部材（パッド８１）を用い、
記録媒体８２とパッド８１間に形成した空気膜の圧力で
記録媒体８２を磁気ヘッド８３に押しつける方法がとら
れている。しかし。

この方法はパッドが固定式のためトラックの内周。

外周で均一な当たりを得ることが困難であること。

スペーシングを小さくするためにヘッド荷重を増し過ぎ
ると、記録媒体の損傷を招く恐れがあること等が問題と
なり、第９図に示すようなベルヌイプレート方式と呼ば
れる負圧パッドが開発された。

この方式においては記録媒体８２が回転すると。

ベルヌイの定理により負圧発生部９１の圧力が低下し、
大気圧で記録媒体８２が磁気ヘッド９２に押しつけられ
ることを利用して良好な当たりを得るものである。ベル
ヌイプレート方式では、パッド方式のような当たり調整
が不用なことや、負圧パッドとへラドキャリッジが一体
のため内周、外周で均一なスペーシングが得られる利点
がある。

一方、現行仕様の記録媒体では内周側トラックにおける
記録減磁の問題から、記録密度の向上には限界があり、
媒体電磁変換特性の改良が求められている。具体的には
金属薄膜型記録媒体や、原理的に高密度記録が可能な垂
直磁気記録方式が期待される。

垂直磁気記録では、主にＣｏＣｒ等の合金薄膜を記録媒
体に使用しており、非磁性ベースフィルム上に蒸着やス
パッタリング等の方法で形成される。金属薄膜では膜形
成時における熱や応力等の影響で、記録媒体に若干の反
り、歪みが生じることがあり、媒体自身も塗布型媒体に
比べて剛性が高く１回転によって振動しやすい。また、
負圧パッドも記録媒体の振動を抑える空気膜の緩衝効果
が低く、記録媒体と接触することがある。

［発明が解決しようとする課題］塗布型媒体負圧パッドは非磁性金属等で形成され、バイ
ンダーを含む塗布型媒体には適するが。

金属薄膜型媒体に使用すると接触時に記録面を傷つけた
り、摺動により発生する磨耗粉が耐久性を損なうという
問題点がある。

耐磨耗性が大きく、金属薄膜型媒体と摺動させても高い
耐久性を示す材料として酸化ジルコニウム系セラミック
スがあるが、高硬度１強靭性で複雑な形状の加工が難し
く、材料コストや加工コストの問題で使用が困難であっ
た。

本発明は、高密度記録用金属薄膜型媒体に使用して高耐
−久性を示し、しかも低コストなフレキシブル磁気ディ
スク用負圧パッドおよ、びその製造方法を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するために本発明の負圧パッドにおいて
は、基板部分を加工が容易な非磁性材料で形成し、記録
媒体と対向する負圧発生部を酸化ジルコニウム系複合セ
ラミックスで構成する。

本発明の好ましい実施態様においては、負圧発生部１を
構成する酸化ジルコニウム系複合セラミックスは、３０
〜７３重量％の酸化ジルコニウム（Ｚ　ｒ　０２　）と
残部酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ、）を含み、酸化ジル
コニウムは２〜１７モル％の酸化イツトリウム（Ｙ２０
３　）　、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化マグネシウ
ム（ＭｇＯ）の少なくとも１種または２種以上で置−換
されたものを用いる。

また本発明によれば、アルミニウムや真鍮、非磁性フェ
ライト等の非磁性材料基板に磁気ヘッドを貫通させる穴
部を設け、空気流の逃げ部に相当する溝加工を施した酸
化ジルコニウム系複合セラミックスの薄板と、該非磁性
材料基板を接合してブロックを形成し、該酸化ジルコニ
ウム系複合セラミックス薄板に負圧発生部に相当する大
小２つのＣ型パターンを加工してブロックを個々に切断
。

成形することにより上記負圧パッドの製造方法が得られ
る。

［作用］本発明による負圧パッドでは、記録媒体と接触する恐れ
のある負圧発生部を高硬度１強靭性の酸化ジルコニウム
系複合セラミックスとすることで。

磨耗粉の発生を抑えて耐久性が確保できる。また。

パッド体積の大部分を安価で加工しやすい非磁性材料と
し、酸化ジルコニウム系複合セラミックスは薄板として
用いるため、材料コスト、加工コストの低減が図れる。

［実施例］以下２本発明の実施例について図面を参考にして説明す
る。第１図は本発明による負圧パッドを示す斜視図であ
る。酸化ジルコニウム系複合セラミックスからなる負圧
発生部１１は、非磁性材料からなる基板１２上にガラス
接合されている。負圧発生部１１は空気流逃げ部１３を
有する２個の同心的に配置されたリング１１−１．１１
−２により構成されている。

負圧発生部１１を構成する酸化ジルコニウム系複合セラ
ミックスは、３０〜７３重量％の酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ□）と残部酸化アルミニウム（Ａｇ２０３）を含み
２酸化ジルコニウムは２〜１７モル％の酸化イツトリウ
ム（Ｙ２０　Ｂ　）　、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸
化マグネシウム（ＭｇＯ）の少なくとも１種または２種
以上で置換されたものを用いる。基板１２の材質は、酸
化ジルコニウム系複合セラミックスとのガラス接合を考
慮して非磁性フェライトを使用したが、ろう付けや樹脂
接着等の適当な接合方法によるならば、アルミニウムや
真鍮等を用いてもよい。２’　ＦＤＤでは負圧発生部の
寸法は磁気ヘッドの荷重や記録媒体、パッドの大きさに
よっても異なるが、負圧パッド径Φ４〜８　ｍｍで溝幅
約５００μ■、深さ３０〜５０μｍ程度である。そして
基板１２の中心部には磁気ヘッド貫通用穴部１４が形成
されている。

次に上記構造の本発明による負圧パッドの製造工程につ
いて説明する。

まず第３図に示すように酸化ジルコニウム系複合セラミ
ックス板３１に、空気流の逃げ部に相当する溝３２を加
工する。次に第４図に示すように非磁性材料基板４１に
磁気ヘッドを貫通させる穴部４２を加工する。アルミニ
ウム、真鍮等ならば機械加工が容易だか、非磁性フェラ
イトの場合は焼成前にプレス成形しておくとよい。そし
て酸化ジルコニウム系複合セラミックス薄板３１と非磁
性材料基板４２を、軟化点５００〜６００℃程度のガラ
スを用いて接合し、第５図のようなブロックを形成する
。その後、第６図のように負圧発生部１１を加工する。

ここでは超音波加工機を用いたが、フッ酸等によるエツ
チングも可能である。

図中破線に従って切断し、第７図のようなチップを得、
四すみを成形して第１図に示す負圧パッドを得る。必要
ならばこの後、　　＃１００００程度の研摩シートで記
録媒体対向面の仕上げを行なう。

尚１本実施例では負圧発生部をへ角形としたが。

実際の使用にあたって支障がなければ特に形状を限定す
るものではない１例えば四角形ならば、最終工程の成形
加工も省略することができるし、第２図に断面を示すよ
うに円形でもよい。酸化ジルコニウム系複合セラミック
ス部分以外の材料や接合方法は適宜定めればよいし、磁
気ヘッド用穴部も組み合わされる磁気ヘッドに応じて定
めることができる。要するに本発明は、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変形して実施することができる。

［発明の効果］以上述べたごとく本発明によれば、高密度記録用金属薄
膜媒体に使用しても高い耐久性を示し。

しかも低コストなフレキシブル磁気ディスク用負圧パッ
ド及びその製造方法の提供が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す負圧パッドの斜視図、第
２図は本発明の他の実施例である負圧パッドの構造を示
す断面斜視図、第３図以下は本発明による製造工程の実
施例を説明するもので、酸化ジルコニウム系複合セラミ
ックス薄板の加工状態を示す斜視図、第４図は同じく磁
気ヘッドを貫通させる穴部を設けた非磁性材料基板加工
状態を示す斜視図、第５図は同じく、第３図の薄板と第
４図の基板を接合したブロックの加工状態を示す斜視図
、第６図は第５図のブロックに負圧発生部を加工した状
態を示す斜視図、第７図は第６図のブロックを図中破線
に従って切断した小片を示す斜視図、第８図および第９
図は従来のパッド方式の構成を示す概略図である。１１・・・負圧発生部、１２・・・非磁性基板、１３・
・・空気流逃げ部、１４・・・・磁気ヘッド貫通用穴部
、３１・・・酸化ジルコニウム系複合セラミックス薄板
。８３．９２・・・磁気ヘッド、８２・・・記録媒体。第１図

Claims

【特許請求の範囲】１、基板部分を加工が容易な非磁性材料で形成し、記録
媒体と対向する負圧発生部を酸化ジルコニウム系複合セ
ラミックスで形成することを特徴とするフレキシブル磁
気ディスク用負圧パッド。２、前記酸化ジルコニウム系複合セラミックスは、３０
〜７３重量％の酸化ジルコニウム（ＺｒＯ＿２）と残部
酸化アルミニウム（Ａｌ＿２Ｏ＿３）を含み、前記酸化
ジルコニウムは２〜１７モル％の酸化イットリウム（Ｙ
＿２Ｏ＿３）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、及び酸化マ
グネシウム（ＭｇＯ）の少なくとも１種または２種以上
で置換された酸化ジルコニウム系複合セラミックスを用
いることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載の
フレキシブル磁気ディスク用負圧パッド。３、非磁性材料基板に、磁気ヘッドを貫通させる穴部を
加工する工程と、酸化ジルコニウム系複合セラミックス
の薄板に空気流の逃げ部に相当する溝加工を施す工程と
、前記非磁性材料基板及び酸化ジルコニウム系複合セラ
ミックス薄板を接合してブロックを形成する工程と、前
記酸化ジルコニウム系複合セラミックス薄板に負圧発生
部に相当する大小２つのＣ型パターンを形成する工程と
、ブロックを個々に切断して成形することにより負圧パ
ッドを形成する工程とを含むフレキシブル磁気ディスク
用負圧パッドの製造方法。