JPH0465847A - 金属突起物の形成方法および治具 - Google Patents
金属突起物の形成方法および治具Info
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- JPH0465847A JPH0465847A JP2178854A JP17885490A JPH0465847A JP H0465847 A JPH0465847 A JP H0465847A JP 2178854 A JP2178854 A JP 2178854A JP 17885490 A JP17885490 A JP 17885490A JP H0465847 A JPH0465847 A JP H0465847A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、金属突起物の形成方法に関し、特に半導体素
子実装用の金属突起物の形成方法に関する。
子実装用の金属突起物の形成方法に関する。
近年、LSIなどの半導体製品は各種の民生用機器、産
業用機器などその応用分野はますます拡大してきた。こ
れらの機器は、その利用分野拡大のため低価格化ととも
にボータフル化が進められている。従って、半導体製品
においてもこれらの要求に対応するため、パッケージン
グや機器への組み込み工程の低価格化や軽量化、薄型化
、小型化といった高密度実装か要求されている。
業用機器などその応用分野はますます拡大してきた。こ
れらの機器は、その利用分野拡大のため低価格化ととも
にボータフル化が進められている。従って、半導体製品
においてもこれらの要求に対応するため、パッケージン
グや機器への組み込み工程の低価格化や軽量化、薄型化
、小型化といった高密度実装か要求されている。
一般に、半導体素子の高密度実装に適した方法としては
TAB方式が知られており、実用化の拡大がはかられて
きた。TAB方式の半導体素子と実装用配線基板間の接
続には、半導体素子の電極配置に合わせてパターン化さ
れたAuまたはSnメツキをしたCuからなる金属リー
ドと金属リード保存用ポリイミド膜とを貼り合わせした
構成のフィルムキャリヤを用いる。ここで、半導体素子
のAI電極と金属リード間の接合を行うには接合部を凸
にする必要があり、AI電極部または金属リード上にバ
ンプと呼ばれる金属突起物が設けられる。この金属突起
物を介したAI電極と金属リードとの接合には通常熱圧
着法が用いられている。
TAB方式が知られており、実用化の拡大がはかられて
きた。TAB方式の半導体素子と実装用配線基板間の接
続には、半導体素子の電極配置に合わせてパターン化さ
れたAuまたはSnメツキをしたCuからなる金属リー
ドと金属リード保存用ポリイミド膜とを貼り合わせした
構成のフィルムキャリヤを用いる。ここで、半導体素子
のAI電極と金属リード間の接合を行うには接合部を凸
にする必要があり、AI電極部または金属リード上にバ
ンプと呼ばれる金属突起物が設けられる。この金属突起
物を介したAI電極と金属リードとの接合には通常熱圧
着法が用いられている。
従来の金属突起物の形成方法としては、いわゆるメツキ
バンプ法か広く用いられてきた。第3図は一般的なメツ
キバンプの形成工程を示す。まず、半導体素子20上に
Ti、Crなとの接着層25、Cu、Ptなとの拡散防
止層26をスパッタで積層形成する(第3図(a))。
バンプ法か広く用いられてきた。第3図は一般的なメツ
キバンプの形成工程を示す。まず、半導体素子20上に
Ti、Crなとの接着層25、Cu、Ptなとの拡散防
止層26をスパッタで積層形成する(第3図(a))。
図中、22はA1層、23は保護層、24はシリコン基
板を示す。次いで、A1電極部21以外を被うレジスト
層27をリソクラフイ形成した後、電極部21にAuメ
ツキ層28を約30μm形成する(第3図(b))。そ
の後、レジスト層27を除去した後、AI電極部21を
覆うレジスト層で保護してAI電極部21以外の拡散防
止層26、接着層25をエツチング除去する(第3図(
C))。以上のような工程を踏みAI電極上にメ・ンキ
により金属突起物が形成される。
板を示す。次いで、A1電極部21以外を被うレジスト
層27をリソクラフイ形成した後、電極部21にAuメ
ツキ層28を約30μm形成する(第3図(b))。そ
の後、レジスト層27を除去した後、AI電極部21を
覆うレジスト層で保護してAI電極部21以外の拡散防
止層26、接着層25をエツチング除去する(第3図(
C))。以上のような工程を踏みAI電極上にメ・ンキ
により金属突起物が形成される。
メツキバンプ法以外では、第4図の工程図に示すAuワ
イヤのボールボンディングの技術を用いるボールバンプ
法が注目され、開発が進んでいる。まず、キャピラリ3
0下に出たAuワイヤ31の先端を電気トーチ32を用
いて放電溶融させAuホール33を形成する(第4図(
a))。
イヤのボールボンディングの技術を用いるボールバンプ
法が注目され、開発が進んでいる。まず、キャピラリ3
0下に出たAuワイヤ31の先端を電気トーチ32を用
いて放電溶融させAuホール33を形成する(第4図(
a))。
次いで、Auボール33をAI電極21にキャピラリ3
0で超音゛波接合しな後(第4図(b))、キャピラリ
30、Auワイヤ31を引き上げてAuホール33のネ
ック部からAuワイヤ31を引きちぎりボール部34の
みをA1電極21上に残す(第3図(C))。この方法
は、湿式1法がなく工程が簡略で、電極上に1点ずつ形
成するため少量多品種に適している。
0で超音゛波接合しな後(第4図(b))、キャピラリ
30、Auワイヤ31を引き上げてAuホール33のネ
ック部からAuワイヤ31を引きちぎりボール部34の
みをA1電極21上に残す(第3図(C))。この方法
は、湿式1法がなく工程が簡略で、電極上に1点ずつ形
成するため少量多品種に適している。
他に、TABフィルム側に金属突起物を形成できるとし
て転写バンプ法も有力視されている。この方法は、AI
電極に対応した導体開口部を持つメツキ用基板に電気メ
ツキによりAuの突起物を形成した後、TABの金属リ
ードと重ね合わせて加熱加圧してAu突起物をメツキ用
基板からTABの金属リード上に転写するものである。
て転写バンプ法も有力視されている。この方法は、AI
電極に対応した導体開口部を持つメツキ用基板に電気メ
ツキによりAuの突起物を形成した後、TABの金属リ
ードと重ね合わせて加熱加圧してAu突起物をメツキ用
基板からTABの金属リード上に転写するものである。
上述した従来の金属突起物の形成方法は、下記のような
欠点をもっている。すなわち、メツキバンプ法は、工程
が複雑であり厚いメツキ膜を付けるため資材費や工数が
かかること、大きい設備投資が必要であること、素子歩
留の低下の原因となることなど形成コストが高いという
欠点がある。
欠点をもっている。すなわち、メツキバンプ法は、工程
が複雑であり厚いメツキ膜を付けるため資材費や工数が
かかること、大きい設備投資が必要であること、素子歩
留の低下の原因となることなど形成コストが高いという
欠点がある。
ホールハンプ法の場合は、湿式1程がないという利点か
あるものの、Auホールの大きさのバラツキやワイヤを
引きちぎったあとの高さのバラツキかあり、また、Au
ボールを用いるため電極ピッチは100μm程度が限界
でありそれ以下の微細接合は困難であるとされている。
あるものの、Auホールの大きさのバラツキやワイヤを
引きちぎったあとの高さのバラツキかあり、また、Au
ボールを用いるため電極ピッチは100μm程度が限界
でありそれ以下の微細接合は困難であるとされている。
さらに、TABフィルム接合時だけでなく、バンプ形成
時にも電極部に機械的ストレスをかけるので接合部の信
頼性が問題となっている。転写バンプ法は、メツキ用基
板へメツキを行うのでメツキバンプ法に比ベチップ歩留
への影響がないが、工程の複雑さは解消出来ない上に、
Au突起物を不具合なくTABフィルム上に転写するに
はメツキ用基板の形成、メツキ工程などの高度の管理と
ノウハウが必要で〔課題を解決するための手段〕 本発明の金属突起物の形成方法は、板状または線状の金
属材料からプレス加工法により所定形状の金属小片を形
成する工程と金属小片を金属リードまたは基板上電極に
接合する工程とを含んで構成される。ここで、金属小片
の金属リードまたは基板上電極への接合はプレス加工用
のポンチを用いて行うことができる。
時にも電極部に機械的ストレスをかけるので接合部の信
頼性が問題となっている。転写バンプ法は、メツキ用基
板へメツキを行うのでメツキバンプ法に比ベチップ歩留
への影響がないが、工程の複雑さは解消出来ない上に、
Au突起物を不具合なくTABフィルム上に転写するに
はメツキ用基板の形成、メツキ工程などの高度の管理と
ノウハウが必要で〔課題を解決するための手段〕 本発明の金属突起物の形成方法は、板状または線状の金
属材料からプレス加工法により所定形状の金属小片を形
成する工程と金属小片を金属リードまたは基板上電極に
接合する工程とを含んで構成される。ここで、金属小片
の金属リードまたは基板上電極への接合はプレス加工用
のポンチを用いて行うことができる。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示す工程図である。まず
、TABフィルム5の金属リード6を加熱ステージ4上
に設置し、リボン状の金属材料3を送り込んだポンチ1
、ダイス2を有するプレス加工治具をポンチ軸が金属リ
ード6の先端部に来るように位置合わせする(第1図(
a))。次に、ポンチ1に矢印Aの方向の所定の圧力を
加えて下降させ金属材料3を打ち抜いて金属小片を形成
すると共に、連続してポンチ1を下降させ、金属小片を
金属リード6上に圧着し、金属リード6の金属突起物8
を形成する(第1図(b))。プレス治具を取り除けば
1個目の金属突起物8の形成工程が完了する〈第1図(
C))。このようにして、順次TABのリード上にAu
小片を圧着していき半導体素子の一連のAl電極に対応
した金属突起物形成を行うことかできる。
、TABフィルム5の金属リード6を加熱ステージ4上
に設置し、リボン状の金属材料3を送り込んだポンチ1
、ダイス2を有するプレス加工治具をポンチ軸が金属リ
ード6の先端部に来るように位置合わせする(第1図(
a))。次に、ポンチ1に矢印Aの方向の所定の圧力を
加えて下降させ金属材料3を打ち抜いて金属小片を形成
すると共に、連続してポンチ1を下降させ、金属小片を
金属リード6上に圧着し、金属リード6の金属突起物8
を形成する(第1図(b))。プレス治具を取り除けば
1個目の金属突起物8の形成工程が完了する〈第1図(
C))。このようにして、順次TABのリード上にAu
小片を圧着していき半導体素子の一連のAl電極に対応
した金属突起物形成を行うことかできる。
なお、ダイス2の穴部10の加工は精密放電加工で形成
できる。ポンチ1は研削加工により作ることか出来る。
できる。ポンチ1は研削加工により作ることか出来る。
ポンチ1の先端部分の径の小さい部分の長さ11は、曲
げ応力に耐えるよう径12の約10倍までにするほうか
よい。ダイス2、ポンチ1の材料にはハイス鋼、超硬合
金、ダイス鋼などが適している。
げ応力に耐えるよう径12の約10倍までにするほうか
よい。ダイス2、ポンチ1の材料にはハイス鋼、超硬合
金、ダイス鋼などが適している。
本実施例の方法で、金属材料3を厚さ40μmのAuリ
ボンとし、先端面が平坦な直径50μmのポンチを用い
て、リードピッチ100μmのTABフィルムのAuメ
ツキリードへ圧着を行った。このとき、Auリボンの打
ち抜きは130g以上のポンチ加圧で行うことができた
。Auは柔らかく伸び易い性質があるので、ポンチ・ダ
イス間の軸ずれやクリアランスが大きいとき、打ち抜い
たAu小片は形状の歪やポンチ側外周部のパリが特に大
きくなるので好ましくない。クリアランス8%以下、軸
ずれ2μm以下では良好な形状のAu小片か形成できた
。
ボンとし、先端面が平坦な直径50μmのポンチを用い
て、リードピッチ100μmのTABフィルムのAuメ
ツキリードへ圧着を行った。このとき、Auリボンの打
ち抜きは130g以上のポンチ加圧で行うことができた
。Auは柔らかく伸び易い性質があるので、ポンチ・ダ
イス間の軸ずれやクリアランスが大きいとき、打ち抜い
たAu小片は形状の歪やポンチ側外周部のパリが特に大
きくなるので好ましくない。クリアランス8%以下、軸
ずれ2μm以下では良好な形状のAu小片か形成できた
。
ステージ4の加熱温度の170’Cのとき、リードへの
圧着は、ポンチ圧力40gでも強度は小さいながら可能
であった。一方十分な接合強度を得るには120g以上
のポンチの加圧力が必要であった。リードとの接合強度
は、その後の半導体素子のAl電極と熱圧着工程で強化
されるので取扱中に外れない程度であれば良い。ポンチ
1の加圧力は、打ち抜き後小さくし低加圧でAu小片を
リードに押し付けるのが望ましい。なお、予めAu突起
物の接合力を大きくしたいときは、一定圧力で打ち抜き
、リードへの接合を行えば良い。
圧着は、ポンチ圧力40gでも強度は小さいながら可能
であった。一方十分な接合強度を得るには120g以上
のポンチの加圧力が必要であった。リードとの接合強度
は、その後の半導体素子のAl電極と熱圧着工程で強化
されるので取扱中に外れない程度であれば良い。ポンチ
1の加圧力は、打ち抜き後小さくし低加圧でAu小片を
リードに押し付けるのが望ましい。なお、予めAu突起
物の接合力を大きくしたいときは、一定圧力で打ち抜き
、リードへの接合を行えば良い。
ただしこの場合、プレス時にAuがポンチ、ダイス間に
押し出されるのでポンチ側外周部のパリは多少高くなる
。
押し出されるのでポンチ側外周部のパリは多少高くなる
。
第2図は、本実施例を用いて形成しなAu突起物の形状
を説明する断面図である。リードへのAu接合時のポン
チ圧力を40gとし、ダイス2の下面をリード面に接触
させて形成したAu突起物8は、第2図(a)に示すよ
うに、数μm高さの薄いパリ13があるものの、全体と
しては円筒形の良好な形で形成できた。このときの突起
物8の形状はバラツキがなく、中央部高さは30〜35
μmと安定していた。ダイス下面とリード面との間隔1
5が大きいときは、第2図(b)のようにAu突起物8
は押しつぶされ上面14が凹形になる。この場合、半導
体素子のAl電極との圧着の際に電極中央部に圧力がか
かりにくく接合強度が低下する。突起物の上面が凹形に
なるのを防ぐためにダイス2・リード6間は接触させる
か、打ち抜き小片の高さより低めに設定しAuがつぶれ
難くする必要がある。本実施例により形成した良好な形
状のAu突起物が形成され・たり−ドと半導体素子のA
l電極と熱圧着接合したところ良好な接合性を確認でき
た。
を説明する断面図である。リードへのAu接合時のポン
チ圧力を40gとし、ダイス2の下面をリード面に接触
させて形成したAu突起物8は、第2図(a)に示すよ
うに、数μm高さの薄いパリ13があるものの、全体と
しては円筒形の良好な形で形成できた。このときの突起
物8の形状はバラツキがなく、中央部高さは30〜35
μmと安定していた。ダイス下面とリード面との間隔1
5が大きいときは、第2図(b)のようにAu突起物8
は押しつぶされ上面14が凹形になる。この場合、半導
体素子のAl電極との圧着の際に電極中央部に圧力がか
かりにくく接合強度が低下する。突起物の上面が凹形に
なるのを防ぐためにダイス2・リード6間は接触させる
か、打ち抜き小片の高さより低めに設定しAuがつぶれ
難くする必要がある。本実施例により形成した良好な形
状のAu突起物が形成され・たり−ドと半導体素子のA
l電極と熱圧着接合したところ良好な接合性を確認でき
た。
以上の様に、本発明の方法により金属リード上に金属突
起物を簡便に形成できる。形成した金属突起物の形状、
高さは金属材料の厚さとポンチ先端形状で制御できるの
で精度が良好であり、その後の半導体素子電極との接合
の信頼性も高い。本発明は、Auホールを作るボールバ
ンプ法と異なり、ポンチ径を小さくすることにより10
0μm以下の狭ピツチリードを持つTABにも対応でき
る。
起物を簡便に形成できる。形成した金属突起物の形状、
高さは金属材料の厚さとポンチ先端形状で制御できるの
で精度が良好であり、その後の半導体素子電極との接合
の信頼性も高い。本発明は、Auホールを作るボールバ
ンプ法と異なり、ポンチ径を小さくすることにより10
0μm以下の狭ピツチリードを持つTABにも対応でき
る。
第1図に示す実施例では、金属材料にはりホン状のもの
を用いたがワイヤなどの線状金属材料を用いてもよい。
を用いたがワイヤなどの線状金属材料を用いてもよい。
リード等への金属小片の接合は、金属小片の打ち抜き加
工用ポンチを用いて行ったが、打ち抜き加工後、ガイド
機構などを用いて金属小片を送り専用治具でリード等へ
圧着してもよい 本発明の金属突起物の材料としては、プレス加工法を用
いるので種々の材料選択が可能である。
工用ポンチを用いて行ったが、打ち抜き加工後、ガイド
機構などを用いて金属小片を送り専用治具でリード等へ
圧着してもよい 本発明の金属突起物の材料としては、プレス加工法を用
いるので種々の材料選択が可能である。
半導体素子の電極と金属リードとの接続に適用するとき
は、主成分がAu−Ag、A I 、Cu、In、各種
ハンダ合金などを用いることかできる。
は、主成分がAu−Ag、A I 、Cu、In、各種
ハンダ合金などを用いることかできる。
安価な材料を使うことにより低コスト化をはかることが
できる。
できる。
第1図に示す実施例では、金属突起物をTABフィルム
の金属リード上に形成する場合を説明したか、本発明の
方法は、他の金属リード、半導体素子のAI電極、配線
基板の電極などへの金属突起物の形成など広範囲の実装
方式に適用できる。
の金属リード上に形成する場合を説明したか、本発明の
方法は、他の金属リード、半導体素子のAI電極、配線
基板の電極などへの金属突起物の形成など広範囲の実装
方式に適用できる。
本発明の金属突起物の形成方法は、湿式1程かなく、1
つのプレス機で金属小片の形成とり−トまたは基板電極
上への接合を行うことが出来るので、工程が簡略であり
、資材費や設備投資か少なくて済むなどの低コストの金
属突起物の形成ができる利点がある。また、金属突起物
の形状や高さは金属材料の厚みとポンチ先端形状で制御
できるので、精度の高い金属突起物の形成ができ、接合
を高信頼イヒできるとともに狭ピツチ接合にも対応でき
る利点がある。更に、実装の構成に応じて金属材料を選
択でき、低コスト化、高信頼化構造を実現できるという
利点もある。
つのプレス機で金属小片の形成とり−トまたは基板電極
上への接合を行うことが出来るので、工程が簡略であり
、資材費や設備投資か少なくて済むなどの低コストの金
属突起物の形成ができる利点がある。また、金属突起物
の形状や高さは金属材料の厚みとポンチ先端形状で制御
できるので、精度の高い金属突起物の形成ができ、接合
を高信頼イヒできるとともに狭ピツチ接合にも対応でき
る利点がある。更に、実装の構成に応じて金属材料を選
択でき、低コスト化、高信頼化構造を実現できるという
利点もある。
第1図<a)〜(c)は、本発明の一実施例を工程順に
示す断面図、第2図は第1図に示す実施例を用いて形成
した金属突起物の断面形状を説明する断面図、第3図(
a)〜(c)は従来のメツキバンプ法による金属突起物
の形成方法を工程順に示す断面図、第4図(a)〜(c
)は従来のボールパン7法による金属突起物の形成方法
を工程順に示す断面図である。 1・・・ポンチ、2・・・ダイス、3・・・金属材料、
4・・・ステージ、5・・・TABフィルム、6・・・
金属リード、7・・・ポリイミド膜、8・・・金属突起
物、9・・・打ち抜き残り部、10・・・ダイス穴部、
11・・・ポンチ長さ、12・・・ポンチ径、13・・
・パリ、14・・・金属突起物上面、15・・・ダイス
・金属リード間距離、20・・・半導体素子、21・・
・AI電極部、22・・・A1層、23・・・保護層、
24・・・シリコン基板、2゛5・・・接着層、26・
・・拡散防止層、27・・・レジスト層、28・・・A
uメツキ層、3o・・・キャピラリ、31・・・Auワ
イヤ、32・・・電気トーチ、33・・・Auボール、
34・・・Auボール部。
示す断面図、第2図は第1図に示す実施例を用いて形成
した金属突起物の断面形状を説明する断面図、第3図(
a)〜(c)は従来のメツキバンプ法による金属突起物
の形成方法を工程順に示す断面図、第4図(a)〜(c
)は従来のボールパン7法による金属突起物の形成方法
を工程順に示す断面図である。 1・・・ポンチ、2・・・ダイス、3・・・金属材料、
4・・・ステージ、5・・・TABフィルム、6・・・
金属リード、7・・・ポリイミド膜、8・・・金属突起
物、9・・・打ち抜き残り部、10・・・ダイス穴部、
11・・・ポンチ長さ、12・・・ポンチ径、13・・
・パリ、14・・・金属突起物上面、15・・・ダイス
・金属リード間距離、20・・・半導体素子、21・・
・AI電極部、22・・・A1層、23・・・保護層、
24・・・シリコン基板、2゛5・・・接着層、26・
・・拡散防止層、27・・・レジスト層、28・・・A
uメツキ層、3o・・・キャピラリ、31・・・Auワ
イヤ、32・・・電気トーチ、33・・・Auボール、
34・・・Auボール部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、板状または線状の金属材料をポンチとダイスを用
いたプレス加工法により打ち抜いて所定形状の金属小片
を形成する工程と、前記金属小片を金属リードまたは基
板上電極に接合する工程とを含むことを特徴とする金属
突起物の形成方法。 2、ダイスと協働して板状または線状の金属材料を打
ち抜いて金属小片を形成したポンチの移動を続けて前記
金属小片を前記ダイスの下に位置決めされた金属リード
または基板上電極に圧着する請求項1記載の金属突起物
の形成方法。 3、金属材料の主成分が金、銀、アルミニウム−銅、
インシジウム、ハンダ合金の中から選ばれた1つである
請求項1または2記載の金属突起物の形成方法。 4、金属リードまたは基板上電極はTAB方式のフィ
ルムキャリヤの金属リードまたは半導体素子の電極であ
る請求項1、2または3記載の金属突起物の形成方法。 5、ステージと、このステージの上側に設けられたダ
イスと、このダイスと協働して板状または線状の金属材
料を打ち抜いて所定形状の金属小片を形成した後にこの
金属小片を前記ステージに載置された金属リードまたは
基板上電極に圧着するポンチとを含むことを特徴とする
金属突起物の形成治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2178854A JPH0671034B2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 金属突起物の形成方法および治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2178854A JPH0671034B2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 金属突起物の形成方法および治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0465847A true JPH0465847A (ja) | 1992-03-02 |
JPH0671034B2 JPH0671034B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=16055841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2178854A Expired - Lifetime JPH0671034B2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 金属突起物の形成方法および治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0671034B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04117439U (ja) * | 1991-04-05 | 1992-10-21 | 関西日本電気株式会社 | バンプ電極形成装置 |
JPH07201861A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Nec Corp | バンプ形成装置および微小バンプの形成方法 |
US5573170A (en) * | 1993-12-14 | 1996-11-12 | Nec Corporation | Bump forming apparatus |
US9595404B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-03-14 | General Electric Company | Electrical switching apparatus including an adjustable damper assembly |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP2178854A patent/JPH0671034B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04117439U (ja) * | 1991-04-05 | 1992-10-21 | 関西日本電気株式会社 | バンプ電極形成装置 |
US5573170A (en) * | 1993-12-14 | 1996-11-12 | Nec Corporation | Bump forming apparatus |
JPH07201861A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Nec Corp | バンプ形成装置および微小バンプの形成方法 |
US9595404B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-03-14 | General Electric Company | Electrical switching apparatus including an adjustable damper assembly |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0671034B2 (ja) | 1994-09-07 |
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