JPH0461387A - 磁気センサと磁気ロータリエンコーダ - Google Patents
磁気センサと磁気ロータリエンコーダInfo
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- JPH0461387A JPH0461387A JP2173392A JP17339290A JPH0461387A JP H0461387 A JPH0461387 A JP H0461387A JP 2173392 A JP2173392 A JP 2173392A JP 17339290 A JP17339290 A JP 17339290A JP H0461387 A JPH0461387 A JP H0461387A
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は従来の倍の出力電圧が得られると共に回転方向
による中点電圧の変動が無い、ロータリエンコーダのZ
相検出に用いて好適な磁気センサに関する。
による中点電圧の変動が無い、ロータリエンコーダのZ
相検出に用いて好適な磁気センサに関する。
(ロ)従来の技術
磁気ロータリエンコーダは、第5図に示す如く歯車等の
磁性体材料から成る回転体(1)に磁気センサ(2)を
近接配置し、回転体(1)が発生する磁界の変化を磁気
センサ(2)が電気信号に変換することにより、回転体
(1)の回転速度と角度、および位置の割り出しを行う
ものであり、各種情報機器やNC工作機械等に広く応用
されている。
磁性体材料から成る回転体(1)に磁気センサ(2)を
近接配置し、回転体(1)が発生する磁界の変化を磁気
センサ(2)が電気信号に変換することにより、回転体
(1)の回転速度と角度、および位置の割り出しを行う
ものであり、各種情報機器やNC工作機械等に広く応用
されている。
前記磁気センサ(2)は、InSb 、 In−N15
h、またはInAs等の磁気抵抗効果を有する半導体薄
膜から成り、ロータリエンコーダ用の磁気センサ(2)
としては、回転体(1)の回転速度と回転方向を検出す
るための第1の磁気センサ(3)と、回転体(1)の回
転数をカウントする第2の磁気センサ(4)とを組み合
わせた2チツプ構成のものが用いられる。
h、またはInAs等の磁気抵抗効果を有する半導体薄
膜から成り、ロータリエンコーダ用の磁気センサ(2)
としては、回転体(1)の回転速度と回転方向を検出す
るための第1の磁気センサ(3)と、回転体(1)の回
転数をカウントする第2の磁気センサ(4)とを組み合
わせた2チツプ構成のものが用いられる。
前記第1の磁気センサ(3)は、回転体(1)のうち全
周に一定間隔λで歯と谷が設けられた部分に近接配置さ
れ、前記歯と谷の周期λに対応して互いに位相が90度
ずれた信号A相、B相を出力するように構成されている
(第6図)、また、前記第2の磁気センサ(4)は、回
転体(1)のうち全周に1箇所だけ凹凸が設けられた部
分に近接配置され、回転体(1)が1回転する毎に1回
の信号、2相を出力するように構成されている(第6図
)、そして、前記A、B、および2相の信号をコンパレ
ータ等で波形整形することにより矩形波出力信男を得、
これらの信号から前述した如く回転体(1)の回転速度
や位置を割り出すようになっている。
周に一定間隔λで歯と谷が設けられた部分に近接配置さ
れ、前記歯と谷の周期λに対応して互いに位相が90度
ずれた信号A相、B相を出力するように構成されている
(第6図)、また、前記第2の磁気センサ(4)は、回
転体(1)のうち全周に1箇所だけ凹凸が設けられた部
分に近接配置され、回転体(1)が1回転する毎に1回
の信号、2相を出力するように構成されている(第6図
)、そして、前記A、B、および2相の信号をコンパレ
ータ等で波形整形することにより矩形波出力信男を得、
これらの信号から前述した如く回転体(1)の回転速度
や位置を割り出すようになっている。
ところで、磁気センサ(2)の出力電圧は大きい方がノ
イズ等に強い、そのため、A相とB層相の第1の磁気セ
ンサ(3)は差動型で構成され、第6図に示す如く信号
A、Bと同時に逆相の信号A。
イズ等に強い、そのため、A相とB層相の第1の磁気セ
ンサ(3)は差動型で構成され、第6図に示す如く信号
A、Bと同時に逆相の信号A。
Bを得、これらの差をとることにより倍の出力電圧を得
ている。従って、第1の磁気センサク3)のチップ表面
には第7図に示す如く総計8個の磁気抵抗素子(5)が
設けられ、これらを配線で接続することにより差動接続
を行っている。また、A相、B相が検出する歯車は一定
ビツチλで連続するので、磁気抵抗素子(5)は位置関
係さえ合致すればどの凹凸を検出しても良く、従って8
個の磁気抵抗素子(5)は全て横一列に並べていた。尚
、1個の磁気抵抗素子(5)は矩形パターンを有するの
では無く、折れ曲った蛇行パターンを有する6一方、2
相に関しては従来は差動型にすること無く、片側のみの
出力で構成していたので、総計2個の磁気抵抗素子(5
)を有していた(第7図)。
ている。従って、第1の磁気センサク3)のチップ表面
には第7図に示す如く総計8個の磁気抵抗素子(5)が
設けられ、これらを配線で接続することにより差動接続
を行っている。また、A相、B相が検出する歯車は一定
ビツチλで連続するので、磁気抵抗素子(5)は位置関
係さえ合致すればどの凹凸を検出しても良く、従って8
個の磁気抵抗素子(5)は全て横一列に並べていた。尚
、1個の磁気抵抗素子(5)は矩形パターンを有するの
では無く、折れ曲った蛇行パターンを有する6一方、2
相に関しては従来は差動型にすること無く、片側のみの
出力で構成していたので、総計2個の磁気抵抗素子(5
)を有していた(第7図)。
しかしながら、装置の高精度化に伴って2相の出力電圧
も大きくしたいというユーザ要求が高まった。そこで本
願発明者は、2相検出にも差動接続を用いることとして
第8図に示すパターンを提案した。
も大きくしたいというユーザ要求が高まった。そこで本
願発明者は、2相検出にも差動接続を用いることとして
第8図に示すパターンを提案した。
即ち、磁気抵抗素子RA、RBの中点から2相出力を、
磁気抵抗素子RC、Rゎの中点から2相出力を得、2相
のVcc側の磁気抵抗素子RAと2相のGND側の磁気
抵抗素子Rゎを一直線状に配したものである。磁気抵抗
素子RAとRnを一直線にするのは、2相用の凹凸が1
個しかないという制約があるからで、断点はA相、B相
のように凹凸が連続してどこの凹凸を検出しても良いの
とは事情が異る。
磁気抵抗素子RC、Rゎの中点から2相出力を得、2相
のVcc側の磁気抵抗素子RAと2相のGND側の磁気
抵抗素子Rゎを一直線状に配したものである。磁気抵抗
素子RAとRnを一直線にするのは、2相用の凹凸が1
個しかないという制約があるからで、断点はA相、B相
のように凹凸が連続してどこの凹凸を検出しても良いの
とは事情が異る。
上記構成によれば、磁気抵抗素子(5)が差動接続され
るので、第9図に示すように互いに逆相の2相と2相出
力が得られこれらの差をとることによって倍の大きさの
出力電圧が得られる。
るので、第9図に示すように互いに逆相の2相と2相出
力が得られこれらの差をとることによって倍の大きさの
出力電圧が得られる。
(ハ)発明が解決しようとする課題
しかしながら、第8図の構成では回転体(1)の回転方
向の違い(cw、ccw)によって出力波形が異るとい
う不具合が発生した。即ぢ、回転方向CWで第9図の出
力波形が得られたとすると、反対方向CCWでは第10
図に示すように波形が歪み、振幅の大きな波と小さな波
とが組み合わさった波形になってしまうのである。この
原因については今だ明確な解答が得られていないが、恐
らくはV ccとGNDのどちらかに接続された磁気抵
抗素子(5)が先に磁界の変化を受けるかによって中点
電位が変動するためと考えられる。即ち、第8図のパタ
ーンは回転方向CCWの時に、Z層側はGNDに接続さ
れたRBが先に磁界変化を受けるのに対して2相側はV
CCに接続されたRoが先というように、組み合わせ
が反対になるのである。
向の違い(cw、ccw)によって出力波形が異るとい
う不具合が発生した。即ぢ、回転方向CWで第9図の出
力波形が得られたとすると、反対方向CCWでは第10
図に示すように波形が歪み、振幅の大きな波と小さな波
とが組み合わさった波形になってしまうのである。この
原因については今だ明確な解答が得られていないが、恐
らくはV ccとGNDのどちらかに接続された磁気抵
抗素子(5)が先に磁界の変化を受けるかによって中点
電位が変動するためと考えられる。即ち、第8図のパタ
ーンは回転方向CCWの時に、Z層側はGNDに接続さ
れたRBが先に磁界変化を受けるのに対して2相側はV
CCに接続されたRoが先というように、組み合わせ
が反対になるのである。
このように第8図の構成は回転方向によって出力波形が
異るので、波形整形等の手段が煩雑になる欠点を有する
。
異るので、波形整形等の手段が煩雑になる欠点を有する
。
(ニ)課題を解決するための手段
本発明は上記従来の欠点に鑑み成されたもので、直列接
続した磁気抵抗素子RA、R3の中点から2相出力を、
同じく直列接続した磁気抵抗素子RC、Rr、の中点か
らZ相出力を得るようにこれらを差動接続すると共に、 接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RAと、電源
電位VCeに接続される磁気抵抗素子Rf。
続した磁気抵抗素子RA、R3の中点から2相出力を、
同じく直列接続した磁気抵抗素子RC、Rr、の中点か
らZ相出力を得るようにこれらを差動接続すると共に、 接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RAと、電源
電位VCeに接続される磁気抵抗素子Rf。
とを−直線状に並べ、
[源電位V。に接続される磁気抵抗素子RBを前記磁気
抵抗素子RAと平行となるように一方の側へ配置し、 且つ接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RCを前
記磁気抵抗素子RAが配置された側とは反対の側へ配置
することにより、回転方向による出力波形の変化が無い
磁気センサとこれを用いた磁気ロークリエンコーダを提
供するものである。
抵抗素子RAと平行となるように一方の側へ配置し、 且つ接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RCを前
記磁気抵抗素子RAが配置された側とは反対の側へ配置
することにより、回転方向による出力波形の変化が無い
磁気センサとこれを用いた磁気ロークリエンコーダを提
供するものである。
(*)作用
本発明によれば、磁気抵抗素子RBとRCが互いに反対
側へ配置されるので、先に磁界変化を受ける磁気抵抗素
子(17)に印加される電圧がZ相直列回路、2相直列
回路共に同じ組み合わせとなり、且つ回転方向が逆にな
ってもこの関係は変らない。従って、回転方向による中
点電圧の変動が無く一定した出力波形が得られる。
側へ配置されるので、先に磁界変化を受ける磁気抵抗素
子(17)に印加される電圧がZ相直列回路、2相直列
回路共に同じ組み合わせとなり、且つ回転方向が逆にな
ってもこの関係は変らない。従って、回転方向による中
点電圧の変動が無く一定した出力波形が得られる。
(へ)実施例
以下に本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
明する。
第1図は本発明による磁気センサを示す斜視図である。
この磁気センサは、直列接続された磁気抵抗素子RA、
Riと、同じく直列接続された磁気抵抗素子RB+RD
とから成り、前記磁気抵抗素子RA、RBの接続中点か
ら出力信号2を、前記磁気抵抗素子RC、RDの接続中
点から出力信号2を取り出し、夫々の直列回路の両端に
電源電位V ccと接地電位GNDを印加したものであ
る。
Riと、同じく直列接続された磁気抵抗素子RB+RD
とから成り、前記磁気抵抗素子RA、RBの接続中点か
ら出力信号2を、前記磁気抵抗素子RC、RDの接続中
点から出力信号2を取り出し、夫々の直列回路の両端に
電源電位V ccと接地電位GNDを印加したものであ
る。
4個の磁気抵抗素子RA”’ RDの配置は、先ずZ層
側の接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RAに対
し、2相側の反対の電位つまりt源電位Vccに接続さ
れる磁気抵抗素子RDを一直線状に並べ、次いで2相側
のもう一方の磁気抵抗素子RBを磁気抵抗素子RAとは
検出すべき回転体(11)の溝(12)の幅λと同じ距
離だけ離れた位置に磁気抵抗素子RAと平行となるよう
に配置し、さらにZ層側のもう一方の磁気抵抗素子RC
を前記磁気抵抗素子RBが配置された側とは反対の側に
前記入だけ離して磁気抵抗素子RDと平行に配設する。
側の接地電位GNDに接続される磁気抵抗素子RAに対
し、2相側の反対の電位つまりt源電位Vccに接続さ
れる磁気抵抗素子RDを一直線状に並べ、次いで2相側
のもう一方の磁気抵抗素子RBを磁気抵抗素子RAとは
検出すべき回転体(11)の溝(12)の幅λと同じ距
離だけ離れた位置に磁気抵抗素子RAと平行となるよう
に配置し、さらにZ層側のもう一方の磁気抵抗素子RC
を前記磁気抵抗素子RBが配置された側とは反対の側に
前記入だけ離して磁気抵抗素子RDと平行に配設する。
このようにZ層側とZ層側とで反対の電位が印加され乙
磁気抵抗素子を一直線に並べることにJす、回転体(1
1)が発生ずる単発(連続していないということ)の磁
界変化を検知し、且つ2相側の出力電圧が最大のときに
2側の出力電圧を最小に」ることができる。但し、磁気
抵抗素子RBとRBを互いに反対側・\配置したことに
よって、位相は180゛ずれる。尚、L配接地電位GN
Dと電源電位■。との関係を反転しても差支えない。
磁気抵抗素子を一直線に並べることにJす、回転体(1
1)が発生ずる単発(連続していないということ)の磁
界変化を検知し、且つ2相側の出力電圧が最大のときに
2側の出力電圧を最小に」ることができる。但し、磁気
抵抗素子RBとRBを互いに反対側・\配置したことに
よって、位相は180゛ずれる。尚、L配接地電位GN
Dと電源電位■。との関係を反転しても差支えない。
このように接続した磁気センサの出力波形を第2図Aに
示す、第1図において回転体〈11)がCCW方向に回
転し、溝(12)が磁気センサに接近したと4−る。溝
(12)は先ず磁気抵抗素子RCに達して磁界変化をゲ
え、磁気抵抗素子RCの抵抗値を変化させる。対をなす
磁気抵抗素子Rゎはまだ溝〈12)に達していないので
、中点電圧2は減少する。
示す、第1図において回転体〈11)がCCW方向に回
転し、溝(12)が磁気センサに接近したと4−る。溝
(12)は先ず磁気抵抗素子RCに達して磁界変化をゲ
え、磁気抵抗素子RCの抵抗値を変化させる。対をなす
磁気抵抗素子Rゎはまだ溝〈12)に達していないので
、中点電圧2は減少する。
回転体(11)の移動が進むと、磁気抵抗素子RBが溝
(12)からはずれ、替って磁気抵抗素子RAとRDが
溝(12)に達する。磁気抵抗素子RI、はV CC側
に接続された素子なので、中点電圧Zは今度は増大し、
逆に中点電圧2は減少する。そして、磁気抵抗素子RA
とRDが溝(12)からはずれ、最後の磁気抵抗素T−
RT1が溝(12)に達すると、中点電圧2は中点出力
で安定し、中点電圧2は増大する。このようにして位相
が180°ずれた出力信号Z、Zが得られる。
(12)からはずれ、替って磁気抵抗素子RAとRDが
溝(12)に達する。磁気抵抗素子RI、はV CC側
に接続された素子なので、中点電圧Zは今度は増大し、
逆に中点電圧2は減少する。そして、磁気抵抗素子RA
とRDが溝(12)からはずれ、最後の磁気抵抗素T−
RT1が溝(12)に達すると、中点電圧2は中点出力
で安定し、中点電圧2は増大する。このようにして位相
が180°ずれた出力信号Z、Zが得られる。
前記出力信号2.=2の差信号を第2図Bに示す、2相
と2相とが互いに逆相になった時、つまり磁気抵抗素子
RAとRBが共に%1(12)と対向した時に倍の出力
電圧が得られるようになっている。
と2相とが互いに逆相になった時、つまり磁気抵抗素子
RAとRBが共に%1(12)と対向した時に倍の出力
電圧が得られるようになっている。
そして、前記差信号をコンパレータ等で波形整形するこ
とにより、第2図Cに示す矩形波出力信号を得る。
とにより、第2図Cに示す矩形波出力信号を得る。
−1:記本願の磁気センサの配置は、磁気抵抗素子Rお
とRCを互いに反対の側へ配置し、たことによって、磁
界変化が必ず同じ側の磁気抵抗素子に先に加わるように
なっている。即ち、回転方向CCWの時にZ層側ではG
ND側に接続された磁気抵抗素子RAが、Z層側でも同
じ<GND側に接続された磁気抵抗素子RCが先に磁界
変化を受ける。
とRCを互いに反対の側へ配置し、たことによって、磁
界変化が必ず同じ側の磁気抵抗素子に先に加わるように
なっている。即ち、回転方向CCWの時にZ層側ではG
ND側に接続された磁気抵抗素子RAが、Z層側でも同
じ<GND側に接続された磁気抵抗素子RCが先に磁界
変化を受ける。
この関係は反対の回転方向CWにおいても固定電位の関
係が異るだけで変りがなく、今度はVCC側に接続され
た磁気抵抗素子RBとRBが先に変化を受けるという関
係になる。従って、回転方向CWとCCWとで出力波形
が歪むことが無く、安定した出力波形が得られる。
係が異るだけで変りがなく、今度はVCC側に接続され
た磁気抵抗素子RBとRBが先に変化を受けるという関
係になる。従って、回転方向CWとCCWとで出力波形
が歪むことが無く、安定した出力波形が得られる。
第3図にロータリエンコーダの概略図を示した。回転体
(11)は鉄等の磁性体材料から成り、全周に一定ビッ
グで連続する歯と谷が設けられた歯車の如き第1の回転
体(13)と、第1の回転体(13)に同一軸↓−に設
けられて一体化し、全周に1箇所だり溝(12)を設け
た第2の回転体〈14)とから成り、これに近接して磁
気センサ(15)が固定される。磁気センサ(15)内
には第1の回転体(13〉と対向する位置に第1の磁気
センサが、第2の回転体〈14〉と対向す−る位置に第
2の磁気センサが同一平面となるように収納され、それ
らの後方には両者に磁気バイアスを与える永久磁石が配
置されて全体が一体化モールドされている。
(11)は鉄等の磁性体材料から成り、全周に一定ビッ
グで連続する歯と谷が設けられた歯車の如き第1の回転
体(13)と、第1の回転体(13)に同一軸↓−に設
けられて一体化し、全周に1箇所だり溝(12)を設け
た第2の回転体〈14)とから成り、これに近接して磁
気センサ(15)が固定される。磁気センサ(15)内
には第1の回転体(13〉と対向する位置に第1の磁気
センサが、第2の回転体〈14〉と対向す−る位置に第
2の磁気センサが同一平面となるように収納され、それ
らの後方には両者に磁気バイアスを与える永久磁石が配
置されて全体が一体化モールドされている。
前記第1と第2の磁気センサは、フェライト等の磁性体
基板上にIn−5b等の薄膜パターンがエポキシ系接着
剤にて接着されて成り、前記第1と第2の磁気センサは
2デツプ構成を採る。第4図に示す如く第1の磁気セン
サ<16)は、総計8個の磁気抵抗素子(17)が配置
され、第1の回転体(13)の歯車と同じピッチだけ離
れた磁気抵抗素子(17)の中点からA相出力を、A相
と位相が90@ずれるようにしてB相を、A相およびB
相の逆相出力A相、B相が得られるように夫々の磁気抵
抗素子(17)を接続し、全て並列配置した。このよう
に配置できるのは、第1の回転体(13〉が一定ピツチ
で連続する凹凸を有し、位置関係さえ合致していればど
の歯を検知してもかまわないからである。
基板上にIn−5b等の薄膜パターンがエポキシ系接着
剤にて接着されて成り、前記第1と第2の磁気センサは
2デツプ構成を採る。第4図に示す如く第1の磁気セン
サ<16)は、総計8個の磁気抵抗素子(17)が配置
され、第1の回転体(13)の歯車と同じピッチだけ離
れた磁気抵抗素子(17)の中点からA相出力を、A相
と位相が90@ずれるようにしてB相を、A相およびB
相の逆相出力A相、B相が得られるように夫々の磁気抵
抗素子(17)を接続し、全て並列配置した。このよう
に配置できるのは、第1の回転体(13〉が一定ピツチ
で連続する凹凸を有し、位置関係さえ合致していればど
の歯を検知してもかまわないからである。
方、第2の磁気センサ(18)にはみ無抵抗素子(17
)が第1図の如きパターンで配置される。尚、磁気抵抗
素子(17)は矩形形状で示しであるが実際には一定線
幅の半導体薄膜が一定間隔で多数回折り曲げられて延在
するパターンを有する。
)が第1図の如きパターンで配置される。尚、磁気抵抗
素子(17)は矩形形状で示しであるが実際には一定線
幅の半導体薄膜が一定間隔で多数回折り曲げられて延在
するパターンを有する。
(ト)発明の効果
以−トに説明した通り、本発明によれば位相が180″
ずれた信号Z相、2相の差信号をとることによって従来
の倍の出力振幅が得られる利点を有する。また、磁気抵
抗素子RBとRoを反対側にずらして配置したことによ
って、磁界変化が■cc(I!IとGND側のどちらに
先に印加されるかという関係が2相と2相とで同一であ
るので、正方向CW、反対方向CCWで出力波形が同し
磁気セン9−を提供できる。
ずれた信号Z相、2相の差信号をとることによって従来
の倍の出力振幅が得られる利点を有する。また、磁気抵
抗素子RBとRoを反対側にずらして配置したことによ
って、磁界変化が■cc(I!IとGND側のどちらに
先に印加されるかという関係が2相と2相とで同一であ
るので、正方向CW、反対方向CCWで出力波形が同し
磁気セン9−を提供できる。
従って斯る磁気センサを一体化することにより、A、B
、Z相全てにおいて大きな出力振幅を出力できる磁気セ
ンザク15)を提供でき、ロータリエンコーダとして組
立てることにより、出力信号の波形整形回路を簡単な回
路で構成できるという利点をも有Vる。
、Z相全てにおいて大きな出力振幅を出力できる磁気セ
ンザク15)を提供でき、ロータリエンコーダとして組
立てることにより、出力信号の波形整形回路を簡単な回
路で構成できるという利点をも有Vる。
第1図は本発明の磁気センサを示す斜視図、第2図A乃
至第2図Cはその出力波形を示す波形図、第3図は本発
明のロークリエンコーダを示す側面図、第4図は本発明
の磁気センサを示す平面図、第5図はロータリュン′−
1−ダを示す側面図、第6図はその出力波形を示す波形
図、第7図は従来の磁気センサを示す平面図、第8図は
思案された磁気センナを示凄平面図、第9図は回転方向
CW時の出力波形を示す波形図、第10図は回転方向C
CWl15の出力波形を示す波形図である。
至第2図Cはその出力波形を示す波形図、第3図は本発
明のロークリエンコーダを示す側面図、第4図は本発明
の磁気センサを示す平面図、第5図はロータリュン′−
1−ダを示す側面図、第6図はその出力波形を示す波形
図、第7図は従来の磁気センサを示す平面図、第8図は
思案された磁気センナを示凄平面図、第9図は回転方向
CW時の出力波形を示す波形図、第10図は回転方向C
CWl15の出力波形を示す波形図である。
Claims (6)
- (1)直列接続されて対をなし、その中点から一方の出
力信号を取り出す磁気抵抗素子R_A、R_Bと、 同じく直列接続されて対をなし、その中点から他方の出
力信号を取り出す磁気抵抗素子R_C、R_Dを具備す
る磁気センサにおいて、 固定電位の一方に接続される磁気抵抗素子R_Aと、前
記固定電位の他方に接続される磁気抵抗素子R_Dとを
実質的に一直線状に配置し、 前記磁気抵抗素子R_Bを前記磁気抵抗素子R_Aと実
質的に平行に且つ一方の側へ配置し、 前記磁気抵抗素子R_Cを前記磁気抵抗素子R_Dと実
質的に平行に且つ前記磁気抵抗素子R_Bが配置された
側とは反対の側に配置したことを特徴とする磁気センサ
。 - (2)前記磁気抵抗素子はInSb、In−NiSb、
またはInAsであることを特徴とする請求項第1項に
記載の磁気センサ。 - (3)前記他方の信号は一方の信号に対して位相が18
0゜ずれていることを特徴とする請求項第1項に記載の
磁気センサ。 - (4)角速度検出用の第1の磁気センサと回転数検出用
の第2の磁気センサを一体化した磁気センサにおいて、 前記第2の磁気センサは、直列接続されて対をなし、そ
の中点から一方の出力信号を取り出す磁気抵抗素子R_
A、R_Bと、 同じく直列接続されて対をなし、その中点から他方の出
力信号を取り出す磁気抵抗素子R_C、R_Dを備え、 固定電位の一方に接続される磁気抵抗素子R_Aと、前
記固定電位の他方に接続される磁気抵抗素子R_Dとを
実質的に一直線状に配置し、 前記磁気抵抗素子R_Bを前記磁気抵抗素子R_Aと実
質的に平行に且つ一方の側へ配置し、 前記磁気抵抗素子R_Cを前記磁気抵抗素子R_Dと実
質的に平行に且つ前記磁気抵抗素子R_Bが配置された
側とは反対の側に配置したパターンを有することを特徴
とする磁気センサ。 - (5)その周囲に角速度検出用と回転数検出用の磁界変
化を発生させる手段を備えた回転体と、前記回転体の角
速度検出用の磁界変化によって抵抗値が変化する複数の
磁気抵抗素子から成る第1の磁気センサと、 前記回転体の回転数検出用の磁界変化によって抵抗値が
変化する複数の磁気抵抗素子から成る第2の磁気センサ
とを具備する磁気ロータリエンコーダにおいて、 前記第2の磁気センサは、直列接続されて対をなし、そ
の中点から一方の出力信号を取り出す磁気抵抗素子R_
A、R_Bと、 同じく直列接続されて対をなし、その中点から他方の出
力信号を取り出す磁気抵抗素子R_C、R_Dを備え、 固定電位の一方に接続される磁気抵抗素子R_Aと、前
記固定電位の他方に接続される磁気抵抗素子R_Dとを
実質的に一直線状に配置し、 前記磁気抵抗素子R_Bを前記磁気抵抗素子R_Aと実
質的に平行に且つ一方の側へ配置し、 前記磁気抵抗素子R_Cを前記磁気抵抗素子R_Dと実
質的に平行に且つ前記磁気抵抗素子R_Bが配置された
側とは反対の側に配置したパターンを有することを特徴
とする磁気ロータリエンコーダ。 - (6)前記磁界変化の発生手段は歯車の歯と谷によるも
のであることを特徴とする請求項第3項に記載の磁気ロ
ータリエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2173392A JP2562718B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 磁気センサと磁気ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2173392A JP2562718B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 磁気センサと磁気ロータリエンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0461387A true JPH0461387A (ja) | 1992-02-27 |
JP2562718B2 JP2562718B2 (ja) | 1996-12-11 |
Family
ID=15959556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2173392A Expired - Lifetime JP2562718B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 磁気センサと磁気ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2562718B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241491A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Hitachi Ltd | 3次元計測装置 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2173392A patent/JP2562718B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241491A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Hitachi Ltd | 3次元計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2562718B2 (ja) | 1996-12-11 |
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