JPH0460636U - - Google Patents

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JPH0460636U
JPH0460636U JP10261290U JP10261290U JPH0460636U JP H0460636 U JPH0460636 U JP H0460636U JP 10261290 U JP10261290 U JP 10261290U JP 10261290 U JP10261290 U JP 10261290U JP H0460636 U JPH0460636 U JP H0460636U
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  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Special Conveying (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る位置整合装置の一実施例
を示す平面図、第２図は第１図中の−線矢視
縦断面図、第３図は第１図中の−線矢視側面
図、第４図は従来例を示す平面図、第５図は基板
搬送装置の側面図である。 １……基板搬送手段、２……基板支持具、１０
……位置整合装置、１１……プツシヤー、１２…
…基板当接具、１３……当接具支持ベース、１８
……昇降台、２２……ストツパー、２５……昇降
駆動手段、２６……昇降操作ロツド、３０……進
退駆動手段、３１……コロ、３２……カム、１６
，２８……付勢手段、Ｗ……基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板搬送手段の基板支持具の両側に対向配置さ
    れ、基板当接具と当接具支持ベースとから成る一
    対のプツシヤーと、各プツシヤーを対面水平方向
    へ進退自在に搭載した一対の昇降台と、各プツシ
    ヤーを昇降台を介して基板支持具の高さに位置す
    る上昇位置と基板支持具の下方に位置する下降位
    置に昇降させる昇降駆動手段と、各プツシヤーの
    基板当接具を上昇位置で基板支持具に向けて進退
    させる進退駆動手段とを具備して成り、基板支持
    具で支持した基板を一対のプツシヤーでその対面
    方向へ位置整合するように構成した基板の位置整
    合装置において、 昇降駆動手段は、昇降ストロークより長い余剰
    ストロークを有する昇降操作ロツドと、上昇位置
    で昇降台の上昇を規制するストツパーを備え、 プツシヤーの進退駆動手段は、昇降操作ロツド
    の上端部に設けられたコロと、コロに係合し当接
    具支持ブースに固定されたカムと、プツシヤーを
    後退側へ直接又は間接的に付勢する付勢手段を具
    備して成り、昇降操作ロツドの余剰ストレークで
    コロを上昇させて基板当接具の支持ベースを進退
    させるように構成したことを特徴とする基板の位
    置整合装置。
JP10261290U 1990-09-29 1990-09-29 基板の位置整合装置 Expired - Fee Related JPH0751229Y2 (ja)

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JPH0460636U true JPH0460636U (ja) 1992-05-25
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007073646A (ja) * 2005-09-05 2007-03-22 Tokyo Electron Ltd 基板位置合わせ装置および基板収容ユニット
WO2013046552A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 川崎重工業株式会社 搬送システム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007073646A (ja) * 2005-09-05 2007-03-22 Tokyo Electron Ltd 基板位置合わせ装置および基板収容ユニット
JP4642610B2 (ja) * 2005-09-05 2011-03-02 東京エレクトロン株式会社 基板位置合わせ装置および基板収容ユニット
WO2013046552A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 川崎重工業株式会社 搬送システム

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