JPH0455718A - 回転数検出器 - Google Patents

回転数検出器

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JPH0455718A
JPH0455718A JP16742390A JP16742390A JPH0455718A JP H0455718 A JPH0455718 A JP H0455718A JP 16742390 A JP16742390 A JP 16742390A JP 16742390 A JP16742390 A JP 16742390A JP H0455718 A JPH0455718 A JP H0455718A
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JP
Japan
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magnetic field
magnetic
chip
hall element
hall
Prior art date
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Pending
Application number
JP16742390A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruo Shirahata
白幡 春雄
Yoshiaki Kudo
工藤 良昭
Motoshi Momoi
桃井 元士
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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Publication of JPH0455718A publication Critical patent/JPH0455718A/ja
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、磁気バブル素子を用いた回転数検出器に関す
るものである。更に詳述すると、実願昭62−1269
91号(以下、先願と記す)に記載された回転数検出器
に用いられるホール素子を配置する手段の改良に関する
ものである。
〈従来の技術〉 磁気バブルを用いた回転数検出器については、本願出願
人が特願昭61−81901号(先行例1と記す)と、
特願昭62−212208号(先行例2と記す)などで
出願し、その原理は広く知られている。
第6図と第8図は磁気バブルを用いた回転数検出器の動
作原理を示す図である。
同図において、磁気バブルチップ1は、磁気バブルを発
生する材料で構成される。磁気バブルは、2枚1組のバ
イアス磁石2から適当な強さの垂直磁界(バイアス磁界
)が加えられると、GGG  (ガドリニウム−ガリウ
ム−ガーネット)上に数μmエピタキシャル成長させた
垂直磁化膜の中に筒状の形で発生する。バイアス磁石2
は、垂直な一定の磁界を磁気バブルチップ1へ与え、バ
ブル状の磁区を保持する作用を有するものである。
磁気バブルチップ1には、1ifllのパーマロイで構
成された多数個の転送素子33が、ループ状に形成され
ており(第8図参照)、外部から面内回転磁界ベクトル
Hr(磁気バブルチップ1に平行な回転磁界ベクトル:
第6図参照)が加えられると、磁気バブル35a、35
b、35c、・・・は、この転送素子ループ上を転送さ
れる。
第6図に示す回転磁界ベクトルHrは、リング磁石5に
よって与えられる。リング磁石5は、第6図のように複
数の極が着磁された永久磁石である。
このリング磁石5は、図示しない回転シャフトに取付け
られており、この回転シャフトが回転すると、リング磁
石5も回転する。従って、第6図に示す磁界ベクトルH
rも回転するので、磁気バブルチップ1に面内回転磁界
が加えられる。
磁気バブルチップ1の転送素子ループ上に存在する磁気
バブル35a、35b、・・・は、1転送素子7′1磁
界回転で転送される。第6図の例では、リング磁石5が
8極にW磁されているので、回転シャフトが1回転する
と、磁気バブルは転送素子の4個分を移動する。
転送素子ループ上に設けられる磁気バブルは、先行例2
に記載されているような「メモリホイールの原理」に基
づく特殊ビットパターンに配列されている。この特殊ビ
ットパターンとは、全ビットパターンの成る位置から切
出したある決まった数の連続するビットパターンが他の
どの位置から切出した同じビット数のパターンとも同じ
にならないと言う特徴を持ったパターンである。従って
、成る位置から連続する数ビットのパターンを読み出す
ことで、そのループの転送シフト量(回転シャフトの累
積回転数)を知ることができる。
通常、回転シャフトの回転が停止した際に、累積回転数
の読出し動作が行われる。この読出し動作は、読出しコ
イル3,4と、転送素子ループに設けた磁気バブル検出
器36で行われる。累積回転数を読出す場合、読出しコ
イル3,4には、図示しない電気回路から位相が906
異なる交流電流が加えられるので、回転磁界が発生する
。従って、この回転磁界により、転送素子ループ上の磁
気バブルを強−1的に数ビット分転送させて、磁気バブ
ル検出器36の所を通過させる。磁気バブル検出器36
は、読出しコイルより加えられた回転磁界に同期して、
通過する磁気バブルの有無を検出し、磁気バブルが有り
の時は1を、無しの時は、0を出力する。
ここで、累積回転数を読出すために、読出しコイル3,
4から回転磁界を磁気バブルチップ1へ加えると、磁気
バブルチップ1には、現在、静止しているリング磁石5
からの静止磁界と、読出しコイルからの回転磁界が重畳
して加えられる。
方、磁気バブルは、所定の磁界強度範囲を越える(また
は下回る)磁界が加えられると、磁気バブルチップ上で
消失したり、複製したりする。そうなると、上記特殊ビ
ットパターンが破壊され1回転数を測定できなくなる。
そこで、実願昭62−126991号の「回転数検出器
」では、読出しコイル3,4から回転磁界を発生させて
いる期間、静止しているリング磁石から磁気バブルチッ
プへ加えられる静止磁界をキャンセルするように工夫し
ている。このキャンセルの動作は、磁気バブルチップ1
へ加えられる静止磁界を2つのホール素子で測定し、こ
の測定磁界に基づきそれを打ち消す値の磁界を読出しコ
イル3.4から新たに発生させるようにしている。
第9図に従来IAwIにおけるリング磁石5と、磁気バ
ブルチップ1と、リング磁石の磁界を測定するX、Yホ
ール素子6.7の位!!関係を示す。磁気バブルチップ
1はプレート20で支持され、X。
Yホール素子6,7は、プリント板23上に取付けられ
ている。第9図のように従来装置では、磁気バブルチッ
プ1へ加えられるリング磁石5からの磁界を、リング磁
石5を挾んで反対側に配置したホール素子6.7で測定
し、この測定磁界に基づいて、磁気バブルチップ1へ加
えられる磁界をキャンセルしていた。
説明を加えると、Xホール素子7により磁気バブルチッ
プ1へ加えられる磁界ベクトルHrのX軸成分を測定し
、Yホール素子6によりY軸成分を測定している。そし
て、このX軸成分の磁界をキャンセルする磁界を読出し
コイル3から発生させ、Y軸成分の磁界をキャンセルす
る磁界を読出しコイル4から発生させるようにしている
〈発明が解決しようとする課題〉 以上のような従来の回転数検出器には次の課題がある。
磁気バブルチップ1と、X、Yホール素子へ加えられる
リング磁石5からの磁界ベクトルHr(第6図参照)は
、リング磁石5の回転とともに回転するので、この磁界
ベクトルHrのX軸成分と、Y軸成分は、位相特性を持
つ。従来装f(第9図)では、X、Yホール素子6.7
と、磁気バブルチップ1とは、リング磁石5を挾んで反
対側にある。そして、X、Yホール素子6,7で測定し
たX軸磁界成分と、X軸磁界成分が、磁気バブルチップ
1でのX軸磁界成分、X軸磁界成分と見做しているので
(疑似的)、キャンセルを正確に行うためには、磁気バ
ブルチップ1における磁界の位相と、X、Yホール素子
の磁界の位相を正確に合わせる必要がある。
従来、この位相合わせの調整は、プリント板23を左右
どちらかへ優かに回転シフトさせる(ブレト20は固定
)ことで行っていた。しかし、リング磁石5に着磁むら
があるとキャンセルを正確に行うことができない。それ
は、リング磁石5が成る角度で静止している時に、この
位相合わせの調整を行っても、リング磁石が回転して別
の角度で静止した場合、着磁むらのため前に調整した位
相と異なってくるからである。
また、リング磁石5の回転中心と、リング磁石の物理的
中心とが不一致であると、回転磁界に偏心が生じ、この
場合も正確にキャンセルすることができない。
このため従来装置では、磁気バブルチップ1とX、Yホ
ール素子の位相合わせに多大な調整時間がかかることと
、リング磁石5の均一な着磁とリング磁石の正確な芯出
しが不可欠であること、の問題があった。
本発明の目的は、磁気バブルチップ1とX、Yホール素
子の位相合わせが不要であり、かつリング磁石5の均一
な着磁とリング磁石の正確な芯出しが不要である回転数
検出器を提供することである。
〈課題を解決するための手段〉 本発明は、上記課題を解決するために 第1の発明は、 複数個の磁気バブルがピットパターンを形成するように
設けられた磁気バブルチップと、この磁気バブルチップ
へ垂直な磁界を加えるバイアス磁石(2)と、 回転シャフトに取付けられ、磁気バブルチップへ平行な
磁界を加えるリング状永久磁石(5)と、回転シャフト
の累積回転数を読出す際に、回転磁界を磁気バブルチッ
プへ加える読出しコイルと、リング状永久磁石の法線に
対し、ホールチップが直角に配置されたYホール素子と
、ホールチップが平行に配置されたXホール素子と、l
i1!気バブルチップと、Xホール素子と、Yホール素
子とを前記リング状永久磁石の同一法線上に配置する支
持体(8)と、 を備えるようにしたものである。
第2の発明は、 第1の発明の構成に加えて、ホールチップ(12)がバ
イアス磁石が発生する磁界に対して平行となる角度でY
ホール素子を前記支持体に取付けるようにしたものであ
る。
〈作用〉 第1の発明では、支持体の作用により、磁気バブルチッ
プと、Xホール素子と、Yホール素子とは、リング状永
久磁石の同一法線上に配置される。
従って、磁気バブルチップにおける磁界と、X。
Yホール素子における磁界とは疑似的な同一でなく完全
同一の位相となるので、磁気バブルチップ1とX、Yホ
ール素子の位相合わせが不要であり、かつリング磁石5
の均一な着磁とリング磁石の正確な芯出しも不要となる
第2の発明では、Yホール素子は、そのホールチップ1
2がバイアス磁石2が発生する磁界に対して平行となる
ように支持体に取付けられているので、バイアス磁界に
対してその検出感度は、極めて小さい。従って、バイア
ス磁界の強度が温度係数により変動しても、その影響を
受けない。
〈実施例ン 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
11図は本発明に係る回転数検出器の要部断面図、第2
図は第1図の平面図、第3図は第1図における磁力線を
示した図、第4図は本発明に係る回転数検出器の要部構
成例を示す図、第5図はYホール素子周辺の磁界を説明
する図である。
第1図と第2図を参照して第1の発明から説明する。第
1図は、第6図装置を縦に切った断面図に相当する図で
あり、第2図はこの平面図である。
第1の発明が、従来装置!(第9図)と異なる点は、磁
気バブルチップ1と、Xホール素子7と、Yホール素子
6とをリング磁石5の同一法11L1(第2図参照)上
に配置する支持体8を備えた点である。
なお、この支持体8は、第1図に示す如く、この他にバ
イアス磁石2と読出しコイル3.4を近接して支持する
ようにしている。
そして、第2図に示す如く、Yホール素子6は、リング
磁石5の法線L1に対し、ホールチップ12(第7図で
後述する)が直角となるような角度で配置され、Xホー
ル素子7は、ホールチップ12が法線[1に対し平行と
なる角度で配置される。ここで、法線L1の方向をY軸
、法1IL1と直角の方向をX軸とすると、Yホール素
子6は、YI[異成分を測定し、Xホール素子7は、X
軸磁界成分を測定することになる。その理由を第7図を
用いて説明する。
第7図は、ホール素子の感度方向を説明する図である。
ホール素子は、第7図のような外観例をしており、モー
ルド11の中に板状のホールチップ12が設けられてい
る。そして、このホールチップ12と直角な方向D1の
磁界に対しては、最も感度が大きく、逆にホールチップ
12と平行な方向02の磁界に対しては、最も感度が小
さい(磁界の検出をしない)。従って、Yホール素子6
は、Y軸磁界成分を測定し、Xホール素子7は、X軸磁
界成分を測定することになる。
なお、X、Yホール素子7.6は、磁気バブルチップ1
へ加えられるリング磁石5の磁界強度を測定するための
ものであるから、支持体8の作用により、磁気バブルチ
ップ2へ近接して配置される。
このように第1の発明では、磁気バブルチップ1と、X
ホール素子7と、Yホール素子6とは、リング磁石5の
同一法111L1上に配置される。従って、磁気バブル
チップ1における磁界と、X、Yホール素子7,6にお
ける磁界とは、同一方向の同一磁力線に関するものなの
で同一位相となる。
一方、従来装置(第9図)は、磁気バブルチップ1を通
過する磁力線とは、異なる方向に向かう興なる磁力線を
ホール素子で測定したことになる。
これに対して、本発明におけるX、Yホール素子で測定
する磁界は、磁気バブルチップ1へ加えられる磁界その
ものを測定することになる。ただし、磁気バブルチップ
1と、X、Yホール素子7゜6とは、第1図、第2図の
如く同一地点でないため、厳密に言えば、優か・な磁界
誤差は存在するが、従来例(第9図)と比較すれば、本
発明は、×。
Yホール素子で磁気バブルチップ1の磁界そのものを測
定していると言ってよい。
従って、X、Yホール素子の位相合わせは不要であり、
かつリング磁石5の均一なW磁とリング磁石の正確な芯
出しも不要である。
なお、ホール素子をバイアス磁石の上下に配置した理由
は、XYYホール素子共にリング磁石に近付け、ホール
素子の測定磁界による出力信号を大きくするためである
第2の発明は、第1の発明の1部を改良したものである
これを第3図を参照して説明する。第3図は、第1図に
おいて発生している磁力線を示したものである(なお、
読出しコイル3.4と磁気バブルチップ1の図示は省略
)。
第3図より、LRはリング磁石5から発生する静止磁界
の磁力線の例であり、1Bはバイアス磁石2から発生す
る磁力線の例である。
ここでXホール素子7は、第2図に示す平面図(実線)
から分るように、バイアス磁石2の中央部(対象軸上の
位置)に設ることができるので、第3図に示す磁力線L
B  (バイアス磁界)は、Yホール素子7のホールチ
ップ12に対して平行となる。従って、Xホール素子7
の測定磁界は、バイアス磁石2により影響されない。
一方、Yホール素子6は、第3図の磁力線LBで示すよ
うな角度(ホールチップ12に対し直角成分を持った角
度)でバイアス磁石2からの磁界を常に受けているので
、この磁界に対して成る感度で出力する。即ら、Yホー
ル素子6は、測定しようとしているリング磁石5からの
磁界に、バイアス磁石2からの磁界を重畳して出力して
いる。しかし、このバイアス磁石2からの磁界は、一定
であり、あたかもオフセットとして作用するため、Yホ
ール素子6の出力信号を増幅するアンプで電気的にキャ
ンセルすることができ、通常の動作において問題はない
しかし、バイアス磁石2には、02%/℃程度の温度係
数があり、温度が変化するとバイアス磁石2からYホー
ル素子へ加えられる磁界も変化する。従って、前2アン
プにおいて電気的にキャンセルした値と異なってくるた
め、温度で変化した分については、キャンセルすること
ができず誤差となる。
第4図は、第3図と対応する図であり(リング磁石5の
図示は省略)、第1の発明(第3図)と異なる点は、Y
ホール素子の取付は角度θである。
即ち、第3図はバイアス磁石2の面に対し、θ−00の
角度(即ち、バイアス磁石2に対して直角)でYホール
素子6を取付けていたが、第2の発明では、第4図と第
5図で説明するように、Yホール素子6のホールチップ
12が、バイアス磁界に対して平行となる角度θで支持
体8に取付けられる。
第4図に示す角度θについて、第5図を参照しながら説
明する。第5図の如くバイアス磁石2には、N極からS
極へ向かう磁力線L8が走っているので、第5図の21
点にYホール素子を配置すると、角度θでバイアス磁界
強度H8を受ける。
そこで第5図に示す、P1点でのX軸方向の磁界成分H
oと、バイアス磁界強度Heを例えば磁気測定器で測定
する。なお、バイアス磁界強度Heは、P1点において
磁気測定器で測定した最大値である。その結果、第5図
より θ−arc sin  (Ho /HB )     
  (1)で求めることができる。
(1)式で示す角度θとなるように、第4図の如く、Y
ホール素子6を支持体8に取付けると、ホールチップ1
2は、バイアス磁石2が発生する磁界(LB )に対し
て平行となる。従って、Yホール素子6の検出感度は、
バイアス磁界に対して極めて小さい。従って、バイアス
磁界の強度が温度係数により変動しても、その影響を受
けない。
〈本発明の効果〉 以上述べたように、第1の発明によれば、磁気バブルチ
ップ1とX、Yホール素子の位相合わせが不要であり、
かつリング磁石5の均一な着磁とリング磁石の正確な芯
出しが不要である。また、磁気バブルチップとX、Yホ
ール素子が1つの構造体になっているため、振動や衝撃
が加わった場合でも、互いの一関係に変動は生ぜず、常
に正確な磁界キャンセルを行うことができる。
また、第2の発明では、第1の発明で得られる効果の他
にバイアス磁界の強度が温度係数により変動しても、そ
の影響を受けない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る回転数検出器の要部断面図、第2
図は第1図の平面図、第3図は第1図における磁力線を
示した図、第4図は本発明に係る回転数検出器の要部構
成例を示す図、第5図はYホール素子周辺の磁界を説明
する図である。第6図と第8図は磁気バブルを利用した
回転数検出器の原理図、第7図はホール素子の構成を示
す図、第9図は従来例を説明する図である。 1・・・磁気バブルチップ、2・・・バイアス磁石、3
゜4・・・読出しコイル、5・・・リング磁石、6・・
・Yホ−ル素子、 7・・・Xホール素子、 12・・・ホールチップ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数個の磁気バブルがビットパターンを形成する
    ように設けられた磁気バブルチップと、この磁気バブル
    チップへ垂直な磁界を加えるバイアス磁石(2)と、 回転シャフトに取付けられ、磁気バブルチップへ平行な
    磁界を加えるリング状永久磁石(5)と、回転シャフト
    の累積回転数を読出す際に、回転磁界を磁気バブルチッ
    プへ加える読出しコイルと、リング状永久磁石の法線に
    対し、ホールチップが直角に配置されたYホール素子と
    、ホールチップが平行に配置されたXホール素子と、 磁気バブルチップと、Xホール素子と、Yホール素子と
    を前記リング状永久磁石の同一法線上に配置する支持体
    (8)と、 を備えた回転数検出器。
  2. (2)ホールチップ(12)がバイアス磁石が発生する
    磁界に対して平行となる角度でYホール素子を前記支持
    体に取付けた請求項(1)記載の回転数検出器。
JP16742390A 1990-06-26 1990-06-26 回転数検出器 Pending JPH0455718A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007148992A (ja) * 2005-11-30 2007-06-14 Casio Comput Co Ltd 電子機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007148992A (ja) * 2005-11-30 2007-06-14 Casio Comput Co Ltd 電子機器

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