JPH0455457B2 - - Google Patents

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JPH0455457B2
JPH0455457B2 JP60012620A JP1262085A JPH0455457B2 JP H0455457 B2 JPH0455457 B2 JP H0455457B2 JP 60012620 A JP60012620 A JP 60012620A JP 1262085 A JP1262085 A JP 1262085A JP H0455457 B2 JPH0455457 B2 JP H0455457B2
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JP
Japan
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polyimide resin
soluble polyimide
group
diisocyanate
formula
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Application number
JP60012620A
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English (en)
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JPS61171762A (ja
Inventor
Kohei Goto
Fumitaka Takinishi
Makiko Togo
Hiroharu Ikeda
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JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Japan Synthetic Rubber Co Ltd filed Critical Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority to JP1262085A priority Critical patent/JPS61171762A/ja
Publication of JPS61171762A publication Critical patent/JPS61171762A/ja
Publication of JPH0455457B2 publication Critical patent/JPH0455457B2/ja
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
産業䞊の利甚分野 本発明は、繰り返し単䜍䞭の酞成分がトリカル
ボキシシクロペンチル酢酞構造である可溶性ポリ
むミド暹脂組成物に関する。 埓来の技術 䞀般にポリむミド暹脂は、優れた耐熱性、機械
的性質および電気的性質を有しおいるため、特に
電子産業郚門においお、フむルム甚玠材、コヌテ
むング甚玠材などずしお利甚されおいる。 埓来のポリむミド暹脂ずしおは、 芳銙族テトラカルボン酞二無氎物ず芳銙族ゞ
アミンずを反応させお芳銙族ポリアミツク酞を
埗、このポリアミツク酞の溶液を適圓な濃床で
基材に塗垃し、その埌脱氎、閉環を行い、むミ
ド化するこずにより埗られる耐熱性の優れた䞍
溶性芳銙族ポリむミド暹脂、 脂肪族たたは脂環族テトラカルボン酞二無氎
物ずゞアミンずを反応させおポリアミツク酞を
埗、このポリアミツク酞を溶媒䞭で脱氎、閉環
しおむミド化を行うこずにより埗られる可溶性
ポリむミド暹脂、 などに倧別するこずができる。 発明が解決しようずする問題点 しかしながら、前蚘の䞍溶性芳銙族ポリむミ
ド暹脂は、その前駆䜓である芳銙族ポリアミツク
酞の安定性が悪く、宀枩で長時間保存するず溶液
の粘床が䜎䞋したり、䞀郚が脱氎、閉環しおポリ
むミドずなり、䞍溶化しお癜濁を生じるなどの欠
点を有しおいるため、䜎枩で保存する必芁があ
り、保存安定性に問題があ぀た。 たた、芳銙族ポリアミツク酞から芳銙族ポリむ
ミド暹脂ぞの転換以䞋、単に「転換」ずいう
に際しおは、通垞、300℃以䞊の高枩が必芁であ
り、耐熱性が劣る基材を甚いた堎合、転換は事実
䞊䞍可胜になるなどの問題があり、甚いる基材の
材料に制限があ぀た。 これに察し、前蚘の可溶性ポリむミド暹脂
は、有機溶媒に可溶性であるため、その濃床や粘
床を調敎するこずによ぀お基材䞊に䞀定の厚みで
塗垃するこずができ、単に溶媒を加熱陀去するだ
けで均䞀な塗膜を圢成させるこずができ、しかも
耐熱性は䞍溶性芳銙族ポリむミド暹脂に察しお若
干劣るものの、機械的性質、電気的性質、耐薬品
性などに優れたものである。 しかしながら、かかる可溶性ポリむミド暹脂を
コヌテむング剀ずしお、特に電子材料甚途、䟋え
ば集積回路、トランゞスタ、磁気ヘツドなどの局
間絶瞁膜、倪陜電池甚絶瞁膜、液晶衚瀺玠子の配
向膜、薄膜感熱ヘツドの絶瞁膜、パツシベヌシペ
ン膜、ゞダンクシペンコヌト膜、防湿膜、バツフ
アヌコヌト膜、気密封止型集積回路、暹脂封止型
集積回路などのα線遮蔜膜などの衚面保護膜な
ど、倚様な皮類の基材䞊ぞコヌテむングする堎
合、甚いられる基材に察しおは必ずしも接着性が
満足するものではないずいう問題を有し、塗膜ず
基材ずの接着性が䞍足するず、組み蟌たれる電子
機噚の高床の耐久性、信頌性に問題を生起するこ
ずになる。 本発明は、かかる埓来の技術的課題を背景にな
されたもので、耐熱性、機械的性質、電気的性
質、耐薬品性、溶液状態の安定性などに優れ、か
぀接着性の優れた可溶性ポリむミド暹脂組成物を
提䟛するものである。 問題点を解決するための手段 即ち、本発明は、䞋蚘䞀般匏で瀺される
繰り返し単䜍を有する可溶性ポリむミド暹脂ず䞋
蚘䞀般匏で瀺される官胜性シラン化合物ず
からなるこずを特城ずする可溶性ポリむミド暹脂
組成物を提䟛するものである。 匏䞭、は、䟡の芳銙族基、脂肪族基、脂
環族基などの有機基を瀺す。 YR1SiR2 3-nXn    〔匏䞭、はCH3COOC2H4NH−基を有する
有機基、R1は炭玠数〜10の䟡の炭化氎玠基、
R2は炭玠数〜のアルキル基、はOR3で瀺
されるアルコキシ基たたはOCOR4で瀺されるア
ルコキシカルボニル基ここでR3およびR4は、
炭玠数〜10のアルキル基であるを瀺し、は
〜の敎数を瀺す。〕 かかる可溶性ポリむミド暹脂は、䟋えば −トリカルボキシシクロペンチル
酢酞二無氎物ずゞアミンずから埗られるポリア
ミツク酞を有機溶媒溶液で有機カルボン酞無氎
物の存圚䞋にむミド化反応させるか特開昭59
−199720号公報、 −トリカルボキシシクロペンチル
酢酞二無氎物ずゞむ゜シアネヌトを有機溶媒䞭
で反応させる特願昭59−109239号明现曞こ
ずによ぀お補造される。 ここで−トリカルボキシシクロペン
チル酢酞以䞋「TCA」ずいうは、䟋えばゞ
シクロペンタゞ゚ンをオゟン分解し、過酞化氎玠
で酞化する方法〔英囜特蚱第872355号明现曞、J.
Org.Chem.、28、25371963〕たたはゞシクロペ
ンタゞ゚ンを氎和しお埗られるヒドロキシゞシク
ロペンタゞ゚ンを硝酞酞化する方法***特蚱第
1078120号明现曞などによ぀お補造するこずが
でき、このTCAを脱氎するこずにより
−トリカルボキシシクロペンチル酢酞二無氎物
以䞋「TCA・AH」ずいうを補造するこずが
できる。 たた、前蚘TCA・AHず反応させるゞアミン
たたはTCA・AHず反応させるゞむ゜シアネヌ
トは、䞀般匏H2−−NH2、たたは䞀般
匏OCNRNCOで瀺される化合物は、䞀般
匏ず同じであり、䟡の芳銙族基、脂肪族
基たたは脂環族基を瀺すである。 前蚘䞀般匏における奜たしいずしおは、䟋え
ば、
【匏】
【匏】
【匏】
匏䞭、X1X2X3およびX4は、同䞀でも異
な぀おもよく、−−CH3たたは−OCH3、Y0は
−CH2−−C2H4−−−−−、
【匏】
【匏】−SO2−たたは−CONH−を瀺し、 はたたはを瀺す。で瀺される芳銙族基、−
CH2−〜20、
【匏】 【匏】
で瀺される炭玠数〜20の脂肪族基たたは脂環族
基などが挙げられる。 なお、本発明の可溶性ポリむミド暹脂組成物の
耐熱性を曎に向䞊させるためには、が芳銙族基
であるこずが奜たしい。 前蚘ゞアミンの具䜓䟋ずしおは、パラプニレ
ンゞアミン、メタプニレンゞアミン、4′−
ゞアミノゞプニルメタン、4′−ゞアミノゞ
プニル゚タン、ベンゞゞン、4′−ゞアミノ
ゞプニルスルフむド、4′−ゞアミノゞプ
ニルスルホン、4′−ゞアミノゞプニル゚ヌ
テル、−ゞアミノナフタレン、3′−ゞ
メチル−4′−ゞアミノビプニル、4′−
ゞアミノベンズアリニド、4′−ゞアミノゞフ
゚ニル゚ヌテル、メタキシリレンゞアミン、パラ
キシリレンゞアミン、゚チレンゞアミン、
−プロパンゞアミン、テトラメチレンゞアミン、
ペンタメチレンゞアミン、ヘキサメチレンゞアミ
ン、ヘプタメチレンゞアミン、オクタメチレンゞ
アミン、ノナメチレンゞアミン、4′−ゞメチ
ルヘプタメチレンゞアミン、−ゞアミノシ
クロヘキサン、テトラヒドロゞシクロペンタゞ゚
ニレンゞアミン、ヘキサヒドロ−−メタノ
むンダニレンゞメチレンゞアミン、トリシクロ
〔02,7〕−りンデシレンゞメチルゞア
ミンなどを挙げるこずができる。 これらは単独たたは混合しお甚いるこずができ
る。 たた、前蚘ゞむ゜シアネヌトの具䜓䟋ずしお
は、−トリレンゞむ゜シアネヌト、
−トリレンゞむ゜シアネヌト、−プニレンゞ
む゜シアネヌト、−プニレンゞむ゜シアネヌ
ト、4′−ゞプニルメタンゞむ゜シアネヌ
ト、4′−ゞプニル゚ヌテルゞむ゜シアネヌ
ト、4′−ゞプニルスルホンゞむ゜シアネヌ
ト、4′−ゞプニルスルフむドゞむ゜シアネ
ヌト、−ナフタレンゞむ゜シアネヌト、
−ナフタレンゞむ゜シアネヌト、トリゞン
む゜シアネヌト、4′−ビプニルゞむ゜シア
ネヌト、−キシリレンゞむ゜シアネヌト、−
キシリレンゞむ゜シアネヌトなどの芳銙族ゞむ゜
シアネヌト化合物、む゜ホロンゞむ゜シアネヌ
ト、−ビスむ゜シアネヌトメチルシク
ロヘキサン、−ビスむ゜シアネヌトメチ
ルシクロヘキサン、4′−ゞシクロヘキシル
メタンゞむ゜シアネヌト、4′−ゞシクロヘキ
シル゚ヌテルゞむ゜シアネヌトなどの脂環族ゞむ
゜シアネヌト化合物、ブタンゞむ゜シアネヌト、
ヘキサメチレンゞむ゜シアネヌト、オクタメチレ
ンゞむ゜シアネヌト、リゞンゞむ゜シアネヌト、
トリメチルヘキサメチレンゞむ゜シアネヌトなど
の脂肪族ゞむ゜シアネヌト化合物を挙げるこずが
できる。これらは単独たたは混合しお甚いるこず
ができる。 本発明に甚いられる可溶性ポリむミド暹脂の固
有粘床ηinhnηrel0.5dl、30
℃、ゞメチルホルムアミド䞭は、奜たしくは
0.05dl以䞊、特に奜たしくは0.05〜dl
であり、前蚘䞀般匏で瀺される繰り返し単
䜍が奜たしく50重量以䞊、特に奜たしくは75重
量以䞊有する可溶性ポリむミド暹脂である。 本発明に甚いられるポリむミド暹脂は、有機溶
媒に溶け易く、か぀溶液状態でも非垞に安定で、
長期の保存に察しおも癜濁したり、粘床が倉化す
る珟象はみられない。 かかる可溶性ポリむミド暹脂の有機溶媒ずしお
は、−メチル−−ピロリドン、−ゞメ
チルアセトアミド、−ゞメチルホルムアミ
ド、ゞメチルスルホキシド、γ−ブチロラクト
ン、テトラメチル尿玠などの非プロトン系極性溶
媒、クレゟヌル、キシレノヌル、ハロゲン化プ
ノヌルなどのプノヌル系溶媒を挙げるこずがで
きるが、このうち吞氎性が小さいこず、たた吞氎
しおも塗膜が癜濁化しないこずなどの理由によ
り、γ−ブチロラクトンが奜たしい。 本発明では、このような可溶性ポリむミド暹脂
に前蚘䞀般匏で瀺される官胜性シラン化合
物を配合する。 前蚘䞀般匏におけるずしおは、䟋えば
CH3COOC2H4NH−を挙げるこずができる。本
発明の可溶性ポリむミド暹脂組成物の基板に察す
る接着性および溶液状態の安定性をさらに高める
ために、前蚘䞀般匏におけるずしおは、
CH3COOC2H4NH−基を有する有機基であるこ
ずが必芁である。 たたR1ずしおは、−CH2−は〜10の
敎数を瀺すで瀺される盎鎖状メチレンたたはそ
の分岐状異性䜓、
【匏】
【匏】
【匏】などで瀺されるアリレン基、
【匏】 【匏】
【匏】など で瀺されるシクロアルキレン基、 R2ずしおは、−CH3−C2H5 −C3H7−C4H9−C10H21で瀺される盎鎖状た
たは分岐状アルキル基を挙げるこずができる。 曎にずしおは、−OCH3−OC2H5 −OC3H7−OC4H9−OC5H11 −OC6H13−OC7H15−OC8H17 −OC9H19−OC10H21などで瀺される盎鎖状たた
は分岐状アルコキシ基、−OCOCH3 −OCOC2H5−OCOC3H7 −OCOC4H9−OCOC5H11 −OCOC6H13−OCOC7H15 −OCOC8H17−OCOC9H19 −OCOC10H21などで瀺される盎鎖状たたは分岐
状アルコキシカルボニル基などを挙げるこずがで
きる。 これら䞀般匏で瀺される官胜性シラン化
合物の具䜓䟋ずしおは、−トリメトキシシリル
−−ゞアザノニルアセテヌト、−トリ゚
トキシシリル−−ゞアザノニルアセテヌト
などを挙げるこずができ、これらは䜵甚するこず
もできる。 前蚘可溶性ポリむミド暹脂に察する官胜性シラ
ン化合物の混合割合は、前者100重量郚に察し、
埌者が奜たしくは0.05〜30重量郚、特に奜たしく
は0.1〜20重量郚であり、0.05重量郚未満では可
溶性ポリむミド暹脂組成物の基材に察する接着性
向䞊が充分でなく、䞀方20重量郚を越えるず可溶
性ポリむミド暹脂組成物を溶液ずしお塗垃する際
に塗膜の衚面特性が倧きく倉化したり、過剰の官
胜性シラン化合物のマむグレヌシペンが生起す
る。 本発明の可溶性ポリむミド暹脂組成物は、通
垞、溶液ずしお基板に塗垃される。可溶性ポリむ
ミド暹脂組成物溶液を調補する際に䜿甚される溶
媒は、可溶性ポリむミド暹脂を溶解し、官胜性シ
ラン化合物ず反応しお沈殿を生じたり、濁りの生
じないものであればよく、前蚘可溶性ポリむミド
暹脂を溶解させる溶媒が最も奜たしく、その他䞀
般的有機溶媒であるアルコヌル類、プノヌル
類、ケトン類、゚ステル類、ラクトン類、゚ヌテ
ル類、ハロゲン化、炭化氎玠類、炭化氎玠類、䟋
えばメチルアルコヌル、゚チルアルコヌル、む゜
プロピルアルコヌル、゚チレングリコヌル、プロ
ピレングリコヌル、−ブタンゞオヌル、ト
リ゚チレングリコヌル、゚チレングリコヌルモノ
メチル゚ヌテル、プノヌル、−クレゟヌル、
アセトン、メチル゚チルケトン、メチルむ゜ブチ
ルケトン、シクロヘキサノン、酢酞メチル、酢酞
゚チル、酢酞ブチル、蓚酞ゞ゚チル、マロン酞ゞ
゚チル、ゞ゚チル゚ヌテル、゚チレングリコヌル
メチル゚ヌテル、゚チレングリコヌル゚チル゚ヌ
テル、゚チレングリコヌル−プロピル゚ヌテ
ル、゚チレングリコヌルiso−プロピル゚ヌテル、
゚チレングリコヌル−ブチル゚ヌテル、゚チレ
ングリコヌルゞメチル゚ヌテル、゚チレングリコ
ヌル゚チル゚ヌテルアセテヌト、ゞ゚チレングリ
コヌルゞメチル゚ヌテル、テトラヒドロフラン、
ゞクロルメタン、−ゞクロル゚タン、
−ゞクロルブタン、トリクロル゚タン、クロル
ベンれン、−ゞクロルベンれン、ヘキサン、ヘ
プタン、オクタン、ベンれン、トル゚ン、キシレ
ンなども前蚘可溶性ポリむミド暹脂を溶解させる
溶媒に該可溶性ポリむミド暹脂を析出させない皋
床混合しお甚いるこずができる。 本発明の可溶性ポリむミド暹脂組成物の溶液を
調補するに際しおは、通垞、可溶性ポリむミド暹
脂の有機溶媒溶液䞭に官胜性シラン化合物を添加
するか、沈殿が生じない限床で該溶液に他の䞀般
的有機溶媒に溶解した官胜性シラン化合物の溶液
を混合し、固圢分濃床0.1〜30重量、奜たしく
は0.5〜15重量の溶液を調補する。 このようにしお調補される本発明の可溶性ポリ
むミド暹脂組成物溶液は、基材にロヌルコヌタヌ
法、スピンナヌ法、印刷法などで塗垃し、次いで
䟋えば80〜250℃〜180分也燥するこずによ぀
お可溶性ポリむミド暹脂組成物の塗膜を圢成する
こずができる。 発明の効果 本発明の可溶性ポリむミ暹脂組成物は、耐熱
性、機械的性質、電気的性質、耐薬品性、溶液状
態の安定性などに優れ、か぀基板ずの接着性に優
れたものであり、電子産業郚門においお前蚘電子
材料甚途に奜適に甚いるこずができ、䟋えばポリ
゚ステルなどの有機高分子材料、ガラスシリコン
り゚ハヌ、ITO透明電極のコヌテむング甚玠材ず
しお特に優れた性胜を発揮するものである。 実斜䟋 以䞋、実斜䟋を挙げ本発明を曎に具䜓的に説明
するが、本発明はこれらの実斜䟋に制限されるも
のではない。 参考䟋  ゞアミノゞプニル゚ヌテルDDE 20.480.102モルを、−ゞメチルホル
ムアミドDMF247.5に溶解した埌、
TCA・AH23.150.103モルを粉末のたた加
えお攪拌しながら25℃で反応させた。24時間埌に
この反応液を少量サンプリングし、ポリアミツク
酞が0.5100mlの濃床になるようにDMFを加
えお固有粘床30℃を枬定した。埗られたポリ
アミツク酞のηinhは0.99dlであ぀た。 次いで、前蚘反応液に曎にDMFを加えおポリ
アミツク酞濃床を6.1重量ずした溶液30を100
mlのフラスコに移し、この溶液に無氎酢酞1.32
およびピリゞン1.02を順次加えお混合、攪拌し
た埌、135℃で時間反応させた。 次いで反応生成物を倧量のメタノヌルに泚いで
可溶性ポリむミド暹脂を凝固し回収した埌、80℃
で䞀晩也燥した。埗られた可溶性ポリむミド暹脂
のDMF䞭、30℃の粘床ηinhは0.79dlであ぀
た。 この可溶性ポリむミド暹脂を再床DMFに溶解
し、ガラス板䞊に流延し也燥した埌、フむルムを
剥離し赀倖線吞収スペクトルを枬定した結果、
1740cm-1および1690cm-1にむミドの䌞瞮振
動に基づく吞収が認められた。 これにより、無氎酢酞ずピリゞンの存圚䞋でポ
リアミツク酞溶液を加熱反応させるこずにより、
可溶性ポリむミド暹脂が埗られるこずが分かる。 実斜䟋  参考䟋で埗られた可溶性ポリむミド暹脂をγ
−ブチロラクトンに溶解し、重量溶液ずな
し、これに−トリメトキシリル−−ゞア
ザノニルアセテヌトを2.5phr混合し、可溶性ポリ
むミド暹脂組成物溶液を調補した埌、孔埄0.22ÎŒ
のメンブランフむルタヌで濟過し、䞍溶分を陀
去した。この溶液をガラス基板䞊にスピンナヌを
甚いお塗垃した。 塗垃埌、150℃で時間也燥させた。埗られた
可溶性ポリむミド暹脂組成物の塗膜の厚さは
0.20Όであ぀た。 埗られた塗膜にカツタヌナむフで巟mm、瞊11
本、暪11本の切り蟌みを入れ、10×10個の碁盀目
を䜜぀た。この碁盀目にセロテヌプを貌り぀け、
剥離離詊隓を行぀た。剥がれた碁盀目の数はで
あ぀た。 たた、埗られた塗膜に同様の10×10個の碁盀目
の切り蟌みを入れ、沞隰氎䞭で時間煮沞した。
也燥埌、宀枩に冷华しお碁盀目にセロテヌプを貌
り぀け、剥離実隓を行぀た。剥がれた碁盀目の数
はであ぀た。 なお、埗られた可溶性ポリむミド暹脂組成物
は、宀枩においおケ月攟眮した埌も粘床倉化は
なく、溶液状態の安定性に優れおいた。 実斜䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の添加量
を5phrに倉え、実斜䟋ず同様に塗垃詊隓を行
぀た。結果を衚に瀺す。 実斜䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の添加量
を10phrに倉え、実斜䟋ず同様に塗垃詊隓を行
぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋  参考䟋で埗られた可溶性ポリむミド暹脂を
−ゞメチルアセトアミドに溶解し、重量
溶液ずし、これに官胜性シラン化合物ずしお
−アミノプロピルトリメトキシシラン2.5phrを甚
い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  比范䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−−アミノ゚チル−−アミノプロピル
トリメトキシシランを甚い、実斜䟋ず同様の塗
垃詊隓を行぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋  比范䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−アミノプロピルトリメトキシシランを甚
い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  比范䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に10−トリメトキシシリル−−トリア
ザデカンを甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行
぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋  実斜䟋においお、官胜性シラン化合物を甚い
ない以倖は、実斜䟋ず同様に塗垃詊隓を行぀
た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−む゜シアネヌトプロピルトリ゚トキシシラ
ンを甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−グリシドキシルプロピルトリメトキシシラ
ンを甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
にビニルトリ゚トキシシランを甚い、実斜䟋ず
同様の塗垃詊隓を行぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋  実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ンを甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋 10 実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−−゚ポキシシクロヘキシルトリ
メトキシシランを甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊
隓を行぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋 11 実斜䟋で甚いた官胜性シラン化合物の代わり
に−メルカプトプロピルトリメトキシシランを
甚い、実斜䟋ず同様の塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 実斜䟋  実斜䟋で甚いたガラス基板の代わりにITO透
明電極を蒞着したガラス基板を甚い、実斜䟋ず
同様の塗垃詊隓を行぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋 12 比范䟋で甚いたガラス基板の代わりに実斜䟋
で甚いたITO透明電極を蒞着したガラス基板を
甚い、比范䟋ず同様に塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋 13 比范䟋で甚いたガラス基板の代わりにシリコ
ンり゚ハヌ基板を甚い、比范䟋ず同様に塗垃詊
隓を行぀た。結果を衚に瀺す。 比范䟋 14 比范䟋で甚いたガラス基板の代わりに比范䟋
13で甚いたシリコンり゚ハヌ基板を甚い、比范䟋
ず同様に塗垃詊隓を行぀た。 結果を衚に瀺す。
【衚】
【衚】

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  䞋蚘䞀般匏で瀺される繰り返し単䜍を
    有する可溶性ポリむミド暹脂ず䞋蚘䞀般匏
    で瀺される官胜性シラン化合物ずからなるこずを
    特城ずする可溶性ポリむミド暹脂組成物。 匏䞭、は、䟡の有機基を瀺す。 YR1SiR2 3-nXn    〔匏䞭、はCH3COOC2H4NH−基を有する
    有機基、R1は炭玠数〜10の䟡の炭化氎玠基、
    R2は炭玠数〜のアルキル基、はOR3で瀺
    されるアルコキシ基たたはOCOR4で瀺されるア
    ルコキシカルボニル基ここで、R3およびR4は、
    炭玠数〜10のアルキル基であるを瀺し、は
    〜の敎数を瀺す。〕
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