JPH0453917A - 試料ステージ - Google Patents
試料ステージInfo
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- JPH0453917A JPH0453917A JP2162619A JP16261990A JPH0453917A JP H0453917 A JPH0453917 A JP H0453917A JP 2162619 A JP2162619 A JP 2162619A JP 16261990 A JP16261990 A JP 16261990A JP H0453917 A JPH0453917 A JP H0453917A
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- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims 1
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- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学顕微鏡や電子顕微鏡で使用する任意方向
に傾斜可能な傾斜ステージに関する。
に傾斜可能な傾斜ステージに関する。
従来、任意方向に傾斜可能な試料ステージは、特開昭5
5−93114号公報に記載のように、上面に凹状の球
面をもつ本体と、下面が球面と同一の曲率半径を持つ凸
状の球面をもつ可動載物台とで構成し、それぞれの球面
の球心が一致するように設置されており、可動載物台の
周辺部を指で動かすことにより、任意の傾きに設定する
ことができるようになっていた。
5−93114号公報に記載のように、上面に凹状の球
面をもつ本体と、下面が球面と同一の曲率半径を持つ凸
状の球面をもつ可動載物台とで構成し、それぞれの球面
の球心が一致するように設置されており、可動載物台の
周辺部を指で動かすことにより、任意の傾きに設定する
ことができるようになっていた。
この形式の試料ステージは、傾斜する可動載物台が剛性
の高い球面案内で支持されているため、外部からの振動
に対して強いという特徴をもっている。従って、電子顕
微鏡のように高倍率でM察するための試料ステージに適
している。
の高い球面案内で支持されているため、外部からの振動
に対して強いという特徴をもっている。従って、電子顕
微鏡のように高倍率でM察するための試料ステージに適
している。
上記従来技術では、可動載物台の傾斜は指で行っており
、精密な傾斜位置決めが困難であるという問題があった
。また、電子顕微鏡のように、真空中にステージを設置
する必要がある場合、可動載物台を動かすことは不可能
である。
、精密な傾斜位置決めが困難であるという問題があった
。また、電子顕微鏡のように、真空中にステージを設置
する必要がある場合、可動載物台を動かすことは不可能
である。
本発明の目的は、球面案内を有する任意方向に傾斜可能
な試料ステージにおいて、精密な傾斜位置決めが行える
駆動手段と傾斜角度検出センサをもつ試料ステージを提
供することにある。
な試料ステージにおいて、精密な傾斜位置決めが行える
駆動手段と傾斜角度検出センサをもつ試料ステージを提
供することにある。
上記目的を達成するために、傾斜ステージ上面外周の近
傍に、傾斜ステージの球面の曲率中心を通るX軸とY軸
に交わるように設置してY軸回りにのみ自由度をもつア
ームを設け、アームのX軸上にY傾斜アクチュエータと
傾斜角度検出センサを設け、傾斜ステージをY軸方向に
傾斜させると共に、Y軸上にベースに固定されたX傾斜
アクチュエータと傾斜角度検出センサを設け、アームを
介して傾斜ステージをX軸方向に傾斜させるようにした
。
傍に、傾斜ステージの球面の曲率中心を通るX軸とY軸
に交わるように設置してY軸回りにのみ自由度をもつア
ームを設け、アームのX軸上にY傾斜アクチュエータと
傾斜角度検出センサを設け、傾斜ステージをY軸方向に
傾斜させると共に、Y軸上にベースに固定されたX傾斜
アクチュエータと傾斜角度検出センサを設け、アームを
介して傾斜ステージをX軸方向に傾斜させるようにした
。
また、別の手段として、傾斜ステージ上面外縁部に90
°間隔で二個の球面軸受を設け、各球面軸受に密接に接
続した二本のロッドを独立にZ方向に駆動する駆動手段
と、移動量を検出するセンサを設けることにより、傾斜
ステージを任意な方向に傾斜させるようにした。
°間隔で二個の球面軸受を設け、各球面軸受に密接に接
続した二本のロッドを独立にZ方向に駆動する駆動手段
と、移動量を検出するセンサを設けることにより、傾斜
ステージを任意な方向に傾斜させるようにした。
さらに、別の手段として、傾斜ステージの球面底部に球
面軸受を設け、この球面軸受に密接に接続したロッドを
XY力方向駆動するXYステージと移動量検出センサを
設けることにより、傾斜ステージを任意な方向に傾斜さ
せるようにした。
面軸受を設け、この球面軸受に密接に接続したロッドを
XY力方向駆動するXYステージと移動量検出センサを
設けることにより、傾斜ステージを任意な方向に傾斜さ
せるようにした。
また、試料の全面を観察するために、傾斜ステージ上面
に試料走査用のXYステージを設置したものである。
に試料走査用のXYステージを設置したものである。
傾斜ステージの凸状の球面の曲率中心を通るX軸と同軸
上に設けられアームに固定されたY傾斜アクチュエータ
は、傾斜ステージとYM駆動軸接続されており、Y傾斜
アクチュエータを動作させることにより傾斜ステージは
ベースに設けられた凹状の球面案内に沿ってY軸方向に
傾斜する。
上に設けられアームに固定されたY傾斜アクチュエータ
は、傾斜ステージとYM駆動軸接続されており、Y傾斜
アクチュエータを動作させることにより傾斜ステージは
ベースに設けられた凹状の球面案内に沿ってY軸方向に
傾斜する。
方、傾斜ステージの凸状の球面の曲率中心を通るY軸と
同軸上に設けられベースに固定されたX傾斜アクチュエ
ータは、アームとX駆動軸で接続さ九でおり、X傾斜ア
クチュエータを動作させることにより、アームはY軸回
りに回転する。アームと傾斜ステージはY傾斜アクチュ
エータとY駆動軸で連結されており、アームが回転する
と傾斜ステージはベースに設けられた凹状の球面案内面
に沿ってX軸方向に傾斜する。すなわち、傾斜ステージ
はY傾斜アクチュエータによるY軸方向の傾斜と、X傾
斜アクチュエータによるX軸方向の傾斜とを合成した方
向に傾斜することになる。従って、Y傾斜アクチュエー
タとX傾斜アクチュエータを独立に動作させることによ
り、傾斜ステージを任意の方向に傾斜させることができ
る。また。
同軸上に設けられベースに固定されたX傾斜アクチュエ
ータは、アームとX駆動軸で接続さ九でおり、X傾斜ア
クチュエータを動作させることにより、アームはY軸回
りに回転する。アームと傾斜ステージはY傾斜アクチュ
エータとY駆動軸で連結されており、アームが回転する
と傾斜ステージはベースに設けられた凹状の球面案内面
に沿ってX軸方向に傾斜する。すなわち、傾斜ステージ
はY傾斜アクチュエータによるY軸方向の傾斜と、X傾
斜アクチュエータによるX軸方向の傾斜とを合成した方
向に傾斜することになる。従って、Y傾斜アクチュエー
タとX傾斜アクチュエータを独立に動作させることによ
り、傾斜ステージを任意の方向に傾斜させることができ
る。また。
X駆動軸とY駆動軸には、それぞれ、傾斜角度横比セン
サが取り付けられており、傾斜角度検出センサからの信
号でX傾斜アクチュエータとY軸傾斜アクチュエータを
制御することにより、傾斜ステージの任意な方向への精
密な傾斜位置決めが実現できる。傾斜ステージの座標系
を第9図に示すように定義すると、X軸方向とY軸方向
の傾斜角度と、傾斜ステージの合成された傾斜角度と傾
斜方向は1次のように表せる。
サが取り付けられており、傾斜角度検出センサからの信
号でX傾斜アクチュエータとY軸傾斜アクチュエータを
制御することにより、傾斜ステージの任意な方向への精
密な傾斜位置決めが実現できる。傾斜ステージの座標系
を第9図に示すように定義すると、X軸方向とY軸方向
の傾斜角度と、傾斜ステージの合成された傾斜角度と傾
斜方向は1次のように表せる。
θx = jan−’ (tanθX cosφ)
−=(1)θy = tan−’ (tan
θX sinφ) ・・・(2)ここで、θ
x:X軸方向の傾斜角度 θy:Y軸方向の傾斜角度 θ :傾斜ステージの傾斜角度 φ :傾斜ステージの傾斜方向 従って、設定すべきθとφを与えることにより、上式に
よりθXとθyを算出し、この値を目標値としてX傾斜
アクチュエータとY傾斜アクチュエータを制御すること
により精密な傾斜位置決めを実現できる。
−=(1)θy = tan−’ (tan
θX sinφ) ・・・(2)ここで、θ
x:X軸方向の傾斜角度 θy:Y軸方向の傾斜角度 θ :傾斜ステージの傾斜角度 φ :傾斜ステージの傾斜方向 従って、設定すべきθとφを与えることにより、上式に
よりθXとθyを算出し、この値を目標値としてX傾斜
アクチュエータとY傾斜アクチュエータを制御すること
により精密な傾斜位置決めを実現できる。
また、傾斜ステージの外縁部に90°間隔て設けた二個
の球面軸受に密接に接続された二本のロンドをスライダ
により2方向に駆動することにより、傾斜ステージを任
意な方向へ傾斜させることができる。ロンドはZ軸と直
交する方向に設けた直動案内手段で支持されているので
、傾斜ステージに取り付けた球面軸受の動きに追従でき
るようになっている。ロンドのZ方向の移動量と傾斜ス
テージの傾斜角度との関係は、次式の通りである。
の球面軸受に密接に接続された二本のロンドをスライダ
により2方向に駆動することにより、傾斜ステージを任
意な方向へ傾斜させることができる。ロンドはZ軸と直
交する方向に設けた直動案内手段で支持されているので
、傾斜ステージに取り付けた球面軸受の動きに追従でき
るようになっている。ロンドのZ方向の移動量と傾斜ス
テージの傾斜角度との関係は、次式の通りである。
h=rXsinθ =−(3)
ここで、h:ロンド(スライダ)のZ方向の移動量 r:傾斜ステージの球心から球面軸受 の球心までの距離 θ:傾斜ステージの傾斜角度 (]) 、 (2)式で算出したθX、θyを上式に代
入してそれぞれの方向のスライダの移動量を求め、スラ
イダの移動量を制御することにより精密な傾斜位置決め
が行える。
ここで、h:ロンド(スライダ)のZ方向の移動量 r:傾斜ステージの球心から球面軸受 の球心までの距離 θ:傾斜ステージの傾斜角度 (]) 、 (2)式で算出したθX、θyを上式に代
入してそれぞれの方向のスライダの移動量を求め、スラ
イダの移動量を制御することにより精密な傾斜位置決め
が行える。
傾斜ステージの上面に試料を保持する試料ホルダを備え
たXYステージを設け、試料上面を傾斜ステージの球面
の球心と一致させることにより、試料全体の観察が可能
になると共に、傾斜させたときに観察像が視野から逃げ
ることがない。
たXYステージを設け、試料上面を傾斜ステージの球面
の球心と一致させることにより、試料全体の観察が可能
になると共に、傾斜させたときに観察像が視野から逃げ
ることがない。
以下1本発明の第1の実施例を第1図、第2図。
第3図を用いて説明する。第1図は本実施例を示す平面
図、第2図は第1図の■−■断面図、第3図は第1図の
m−m断面図である。傾斜ステージ1の下面は凸状の球
面1aになっており、上面1bには試料台13をもって
いる。ベース2の上面には傾斜ステージ1の凸状の球面
1aと同一の曲率をもつ凹状の球面案内2aが設けられ
ており傾斜ステージ1の凸状の球面1aを回動自在に支
持している。試料台13の観察点○は球面1aの曲率中
心とが一致するようになっている。凸状の球面1aと凹
状の球面案内2aとの間は潤滑剤12がある。潤滑剤1
2には、オイル、グリース。
図、第2図は第1図の■−■断面図、第3図は第1図の
m−m断面図である。傾斜ステージ1の下面は凸状の球
面1aになっており、上面1bには試料台13をもって
いる。ベース2の上面には傾斜ステージ1の凸状の球面
1aと同一の曲率をもつ凹状の球面案内2aが設けられ
ており傾斜ステージ1の凸状の球面1aを回動自在に支
持している。試料台13の観察点○は球面1aの曲率中
心とが一致するようになっている。凸状の球面1aと凹
状の球面案内2aとの間は潤滑剤12がある。潤滑剤1
2には、オイル、グリース。
固体潤滑剤などを使用すれば良い。電子顕微鏡の試料ス
テージのように真空中で使用する場合には、二硫化モリ
ブデンに代表される固体潤滑剤や四ふつ化エチレン樹脂
に代表される高分子材料、または、低蒸気圧のオイルや
グリースを使用条件に合わせて選択すれば良い。傾斜ス
テージ1の上面1b近傍の外周を取り囲み、かつ、傾斜
ステージ1の凸状の球面1aの曲率中心を通るX軸とY
軸とに交わるようにアーム3が設置されている。アーム
3にはX軸と同軸上に配置したX傾斜アクチュエータ4
が固定されている。X傾斜アクチュエータ4と傾斜ステ
ージ1は傾斜角度検出センサ6を取り付けたY駆動軸5
で接続されている。Y駆動軸5はアーム3に設けた軸受
7で同軸自在に支持されている。一方、Y軸と同軸上に
はX傾斜アクチュエータ8があり、固定治具11により
ベース2に固定されている。X傾斜アクチュエータ8と
アーム3は傾斜角度検出センサ10を取り付けたX駆動
軸9で接続されている。本実施例で使用する傾斜アクチ
ュエータ4,8には、サーボモータやステッピングモー
タなどの回転アクチュエータを使用すれば良い。また、
電子顕微鏡の試料ステージのように磁場を嫌う場合は、
ピエゾ素子を利用した超音波モータの使用が好ましい。
テージのように真空中で使用する場合には、二硫化モリ
ブデンに代表される固体潤滑剤や四ふつ化エチレン樹脂
に代表される高分子材料、または、低蒸気圧のオイルや
グリースを使用条件に合わせて選択すれば良い。傾斜ス
テージ1の上面1b近傍の外周を取り囲み、かつ、傾斜
ステージ1の凸状の球面1aの曲率中心を通るX軸とY
軸とに交わるようにアーム3が設置されている。アーム
3にはX軸と同軸上に配置したX傾斜アクチュエータ4
が固定されている。X傾斜アクチュエータ4と傾斜ステ
ージ1は傾斜角度検出センサ6を取り付けたY駆動軸5
で接続されている。Y駆動軸5はアーム3に設けた軸受
7で同軸自在に支持されている。一方、Y軸と同軸上に
はX傾斜アクチュエータ8があり、固定治具11により
ベース2に固定されている。X傾斜アクチュエータ8と
アーム3は傾斜角度検出センサ10を取り付けたX駆動
軸9で接続されている。本実施例で使用する傾斜アクチ
ュエータ4,8には、サーボモータやステッピングモー
タなどの回転アクチュエータを使用すれば良い。また、
電子顕微鏡の試料ステージのように磁場を嫌う場合は、
ピエゾ素子を利用した超音波モータの使用が好ましい。
このように構成することにより、X傾斜アクチュエータ
4を動作させると、Y駆動軸5に接続された傾斜ステー
ジ1をベース2の凹状の球面案内2aを案内面として、
図中破線で示すようにY軸方向に傾斜させることができ
る。また、X傾斜アクチュエータ8が動作させると、X
駆動軸9に接続されたアーム3がY軸回りに回転する。
4を動作させると、Y駆動軸5に接続された傾斜ステー
ジ1をベース2の凹状の球面案内2aを案内面として、
図中破線で示すようにY軸方向に傾斜させることができ
る。また、X傾斜アクチュエータ8が動作させると、X
駆動軸9に接続されたアーム3がY軸回りに回転する。
この回転はアーム3に固定されたY傾斜アクチュエータ
とY駆動軸を介して傾斜ステージ1に伝達され。
とY駆動軸を介して傾斜ステージ1に伝達され。
傾斜ステージ1をベース2の凹状の球面案内2aを案内
面として図中二点鎖線で示すようにX軸方向に傾斜させ
ることができる。また、それぞれの方向の傾斜角度は、
傾斜角度検出センサ(ロータリエンコーダ、ポテンショ
メータなど)6,9により測定できる。従って、(1)
、 (2)式を使用して各方向の傾斜角度を求め、こ
の値を目標値としてX傾斜アクチュエータ4とX傾斜ア
クチュエータ8を制御することにより、傾斜ステージ1
を任意に設定した傾斜方向、傾斜角度に正確に位置決め
することができる。
面として図中二点鎖線で示すようにX軸方向に傾斜させ
ることができる。また、それぞれの方向の傾斜角度は、
傾斜角度検出センサ(ロータリエンコーダ、ポテンショ
メータなど)6,9により測定できる。従って、(1)
、 (2)式を使用して各方向の傾斜角度を求め、こ
の値を目標値としてX傾斜アクチュエータ4とX傾斜ア
クチュエータ8を制御することにより、傾斜ステージ1
を任意に設定した傾斜方向、傾斜角度に正確に位置決め
することができる。
本発明の第二の実施例の平面図を第4図に、第4図の■
−■断面を第5図に示す。傾斜ステージ1の上面1bの
外縁部には傾斜ステージ1のX軸とY軸に交わる位置に
90°間隔で二個の球面軸受14が設けられている。各
球面軸受14の外側にはZ軸方向の直進案内手段16と
駆動手段17と移動量を検出するセンサ18とを備えた
スライダ15があり、このスライダ15にはブロック1
9が軸受23により回転自在に支持されている。
−■断面を第5図に示す。傾斜ステージ1の上面1bの
外縁部には傾斜ステージ1のX軸とY軸に交わる位置に
90°間隔で二個の球面軸受14が設けられている。各
球面軸受14の外側にはZ軸方向の直進案内手段16と
駆動手段17と移動量を検出するセンサ18とを備えた
スライダ15があり、このスライダ15にはブロック1
9が軸受23により回転自在に支持されている。
このブロックに16にはZ軸と直交する方向にロッド2
1が設けられており、直動案内手段20によって球面軸
受14と同一の高さになるように支持されている。ばね
22はロッド21を球面軸受14の方向に押しつけてい
るため、ロッド21の一端は球面軸受14に密接に接続
されている。
1が設けられており、直動案内手段20によって球面軸
受14と同一の高さになるように支持されている。ばね
22はロッド21を球面軸受14の方向に押しつけてい
るため、ロッド21の一端は球面軸受14に密接に接続
されている。
以上の構成にすることにより、例えば、X軸方向に位置
するスライダ15を駆動手段(本実施例ではボールねし
)17により直進案内手段15に沿ってZ方向に駆動す
ることにより、傾斜ステージ1はブロック19.ロッド
21を介して駆動され、ベース2の凹状の球面案内部2
aに案内されて図中二点鎖線で示すように、X軸方向に
傾斜する。同様に、Y軸方向のスライダ15を駆動する
ことにより、傾斜ステージ1をY軸方向に傾斜させるこ
とができる。従って、傾斜ステージ1を任意の方向に傾
斜させるためには、目標とする傾斜方向φと傾斜角度θ
から、(1) 、 (2)式を用いてX方向とY方向の
傾斜角度(θX、θy)を求め、(3)式から得られる
スライダ15の移動量を目標値にスライダを制御すれば
よい。
するスライダ15を駆動手段(本実施例ではボールねし
)17により直進案内手段15に沿ってZ方向に駆動す
ることにより、傾斜ステージ1はブロック19.ロッド
21を介して駆動され、ベース2の凹状の球面案内部2
aに案内されて図中二点鎖線で示すように、X軸方向に
傾斜する。同様に、Y軸方向のスライダ15を駆動する
ことにより、傾斜ステージ1をY軸方向に傾斜させるこ
とができる。従って、傾斜ステージ1を任意の方向に傾
斜させるためには、目標とする傾斜方向φと傾斜角度θ
から、(1) 、 (2)式を用いてX方向とY方向の
傾斜角度(θX、θy)を求め、(3)式から得られる
スライダ15の移動量を目標値にスライダを制御すれば
よい。
本実施例によれば、90°間隔で設置した二組の2方向
駆動手段を設けることにより、傾斜ステージ1を任意に
設定した傾斜方向、傾斜角度に正確に位置決めすること
が可能となる。
駆動手段を設けることにより、傾斜ステージ1を任意に
設定した傾斜方向、傾斜角度に正確に位置決めすること
が可能となる。
本発明の第三の実施例を第6図により説明する。
ベース2の底部には開口部29が設けられている。
傾斜ステージ1の凸状の球面1aの底部には球面軸受2
4が設けられており、この球面軸受24には直動案内手
段27によりZ方向に支持されたロッド25がばね26
により密接に接続されている。
4が設けられており、この球面軸受24には直動案内手
段27によりZ方向に支持されたロッド25がばね26
により密接に接続されている。
ベース2の底部の開口部29の空間には直動案内手段2
7を備えたXYステージ28が設置されている。また、
XYステージ28には各方向の移動量を検出するセンサ
30が取り付けられている。
7を備えたXYステージ28が設置されている。また、
XYステージ28には各方向の移動量を検出するセンサ
30が取り付けられている。
以上の構成にすることにより、例えば、XYステージ2
8を図中の二点鎖線で示すように動かすことにより、ロ
ッド25を介して傾斜ステージlが二点鎖線で示すよう
に傾斜する。XYステージ28は、X方向とY方向に独
立に動作可能であり、かつ、XYステージ28にはセン
サ30が取り付けられている。従って、第二の実施例と
同様、傾斜ステージ1の傾斜方向2傾斜角度を設定し、
(1) 、 (2)式を用いてX方向とY方向の傾斜角
度を求め、(3)式からXYステージ28の各方向の移
動量を求め、XYステージ28を制御することにより傾
斜ステージ1の正確な傾斜位置決めを行うことが可能で
ある。
8を図中の二点鎖線で示すように動かすことにより、ロ
ッド25を介して傾斜ステージlが二点鎖線で示すよう
に傾斜する。XYステージ28は、X方向とY方向に独
立に動作可能であり、かつ、XYステージ28にはセン
サ30が取り付けられている。従って、第二の実施例と
同様、傾斜ステージ1の傾斜方向2傾斜角度を設定し、
(1) 、 (2)式を用いてX方向とY方向の傾斜角
度を求め、(3)式からXYステージ28の各方向の移
動量を求め、XYステージ28を制御することにより傾
斜ステージ1の正確な傾斜位置決めを行うことが可能で
ある。
第四の実施例の平面図を第7図に、第7図の■−■断面
を第8図に示す。本実施例において、傾斜ステージlの
駆動は第一の実施例と同一に示しであるが、これは第二
、第三の実施例であってもなんら問題はない。傾斜ステ
ージ1の上面1bには、XYステージ30が設置されて
いる。XYステージ3oの上部のXステージ31aには
試料ホルダ33があり、試料34の上面が傾斜ステージ
1の凸状の球面1aの球心Oと一致するように試料34
を保持している。XYステージ31は、X方向駆動手段
35とY方向駆動手段36をもっている。また、図には
示していないが、XYステージはXY力方向位置横比セ
ンサ(例えばリニアスケール)をもっていることは勿論
である。
を第8図に示す。本実施例において、傾斜ステージlの
駆動は第一の実施例と同一に示しであるが、これは第二
、第三の実施例であってもなんら問題はない。傾斜ステ
ージ1の上面1bには、XYステージ30が設置されて
いる。XYステージ3oの上部のXステージ31aには
試料ホルダ33があり、試料34の上面が傾斜ステージ
1の凸状の球面1aの球心Oと一致するように試料34
を保持している。XYステージ31は、X方向駆動手段
35とY方向駆動手段36をもっている。また、図には
示していないが、XYステージはXY力方向位置横比セ
ンサ(例えばリニアスケール)をもっていることは勿論
である。
以上のように構成することにより、試料34の全面に渡
り任意の位置における傾斜観察が可能となる。例えば、
本実施例の試料ステージを走査型電子顕微鏡の試料室に
設置し、試料34として半導体ウェハをIIIすること
により、半導体ウェハに加工した回路(配線、コンタク
トホールなど)の任意の方向からの外観検査を容易に行
うことができる。なお、この場合、本実施例の試料ステ
ージの構成部材は、すべて非磁性体で構成する必要があ
る。
り任意の位置における傾斜観察が可能となる。例えば、
本実施例の試料ステージを走査型電子顕微鏡の試料室に
設置し、試料34として半導体ウェハをIIIすること
により、半導体ウェハに加工した回路(配線、コンタク
トホールなど)の任意の方向からの外観検査を容易に行
うことができる。なお、この場合、本実施例の試料ステ
ージの構成部材は、すべて非磁性体で構成する必要があ
る。
本発明によれば、傾斜ステージをX方向とY方向を独立
に駆動する駆動手段と変位量検出センサを設けることに
より、傾斜ステージを任意の方向に正確に傾斜位置決め
することができる。また、駆動手段は、外部からの信号
で制御できるため、真空チャンバ内のように隔離された
状態でも正確な傾斜位置決めができる。
に駆動する駆動手段と変位量検出センサを設けることに
より、傾斜ステージを任意の方向に正確に傾斜位置決め
することができる。また、駆動手段は、外部からの信号
で制御できるため、真空チャンバ内のように隔離された
状態でも正確な傾斜位置決めができる。
第1図は本発明の第一の実施例の平面図、第2図は第1
図の■−■矢視断面図、第3図は第1図の[1−I[[
矢視断面図、第4図は本発明の第二の実施例の平面図、
第5図は第4図の■−■矢視断面図、第6図は1本発明
の第三の実施例を示す縦断面図、第7図は本発明の第四
の実施例の平面図、第8図は第4図の■−■矢視断面図
、第9図は本発明の傾斜ステージの座標を示す図である
。 1・・傾斜ステージ、2・・・ベース、3・・・アーム
、4Y傾斜アクチユエータ、5・・・Y駆動軸、6゜1
0・・・回転角度検出センサ、8・・X傾斜アクチュエ
ータ、9・・X駆動軸、13 試料台、14゜24・・
・球面軸受、15・・・スライダ、21.250ツト、
20.27・・・直動案内、28・・XYステ凧10 Y軸 2B 第 図
図の■−■矢視断面図、第3図は第1図の[1−I[[
矢視断面図、第4図は本発明の第二の実施例の平面図、
第5図は第4図の■−■矢視断面図、第6図は1本発明
の第三の実施例を示す縦断面図、第7図は本発明の第四
の実施例の平面図、第8図は第4図の■−■矢視断面図
、第9図は本発明の傾斜ステージの座標を示す図である
。 1・・傾斜ステージ、2・・・ベース、3・・・アーム
、4Y傾斜アクチユエータ、5・・・Y駆動軸、6゜1
0・・・回転角度検出センサ、8・・X傾斜アクチュエ
ータ、9・・X駆動軸、13 試料台、14゜24・・
・球面軸受、15・・・スライダ、21.250ツト、
20.27・・・直動案内、28・・XYステ凧10 Y軸 2B 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、下面に凸状の球面を有し、上面に試料を載置する手
段を有する半球状の傾斜ステージと、上面に前記傾斜ス
テージの前記凸状の球面と同一の曲率をもち潤滑手段を
備えた凹状の球面案内を設け、前記傾斜ステージの前記
凸状の球面を回動自在に支持するベースとを含む試料ス
テージにおいて、 前記傾斜ステージ上面外周の近傍に位置し、前記傾斜ス
テージの凸状の球面の曲率中心を通るX軸とY軸に交わ
るように設置され、前記Y軸回りにのみ自由度をもつア
ームと、前記X軸と同軸上に位置し前記アームに固定さ
れたY傾斜アクチュエータと、前記Y傾斜アクチュエー
タと前記傾斜ステージとを接続し傾斜角度検出センサが
取り付けられたY駆動軸と、前記Y軸と同軸上に設けら
れた前記ベースに固定されたX傾斜アクチュエータと、
前記X傾斜アクチュエータと前記アームとを接続し前記
傾斜角度検出センサが取り付けられたX軸駆動とを設け
たことを特徴とする試料ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2162619A JPH0453917A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 試料ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2162619A JPH0453917A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 試料ステージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0453917A true JPH0453917A (ja) | 1992-02-21 |
Family
ID=15758054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2162619A Pending JPH0453917A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 試料ステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0453917A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2819593A1 (fr) * | 2001-01-16 | 2002-07-19 | Centre Nat Etd Spatiales | Support d'echantillon pour microscope et microscope le comportant |
JP2006293180A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Takai Seiki:Kk | 試料載置ステージ |
JP2011021962A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 測定装置 |
US7911670B2 (en) * | 2005-11-09 | 2011-03-22 | Innopsys | Fluorescence-based scanning imaging device |
JP2014074459A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Precise Gauges Co Ltd | 回転機構 |
JP2017053493A (ja) * | 2016-12-01 | 2017-03-16 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
JP6156564B1 (ja) * | 2016-09-28 | 2017-07-05 | 株式会社メイショーテクノ | 試料設置台 |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP2162619A patent/JPH0453917A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2819593A1 (fr) * | 2001-01-16 | 2002-07-19 | Centre Nat Etd Spatiales | Support d'echantillon pour microscope et microscope le comportant |
JP2006293180A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Takai Seiki:Kk | 試料載置ステージ |
US7911670B2 (en) * | 2005-11-09 | 2011-03-22 | Innopsys | Fluorescence-based scanning imaging device |
JP2011021962A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 測定装置 |
JP2014074459A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Precise Gauges Co Ltd | 回転機構 |
JP6156564B1 (ja) * | 2016-09-28 | 2017-07-05 | 株式会社メイショーテクノ | 試料設置台 |
JP2017053493A (ja) * | 2016-12-01 | 2017-03-16 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
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