JPH0446168Y2 - - Google Patents
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- JPH0446168Y2 JPH0446168Y2 JP1986014884U JP1488486U JPH0446168Y2 JP H0446168 Y2 JPH0446168 Y2 JP H0446168Y2 JP 1986014884 U JP1986014884 U JP 1986014884U JP 1488486 U JP1488486 U JP 1488486U JP H0446168 Y2 JPH0446168 Y2 JP H0446168Y2
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- Japan
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- shaft
- contact
- leaf spring
- holder
- workpiece
- Prior art date
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Links
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は検出器、特に、比較的薄物で例えば四
角形のワーク端面に接触針を接触させて同ワーク
の外形サイズを測定する場合に用いられる検出器
に関する。
角形のワーク端面に接触針を接触させて同ワーク
の外形サイズを測定する場合に用いられる検出器
に関する。
近年の検出器は、加工機、測定機等に組み込ん
でワークの外形サイズを測定する時に、それら機
械の仕様から高精度(高応答性)で小型であり、
しかも再現性のあるものが求められている。
でワークの外形サイズを測定する時に、それら機
械の仕様から高精度(高応答性)で小型であり、
しかも再現性のあるものが求められている。
例えば、ワークの外形に検出器の接触針を接触
させて、ワークの外形サイズを所要の±1μm以
内に測定したい場合、いかに前記機械の制御部
(測定回路)、ワーク搭載テーブル他機械的精度を
作つてもこの検出器の性能いかんにより測定精度
は左右される。このため、おのずから機械の性能
が決定される。
させて、ワークの外形サイズを所要の±1μm以
内に測定したい場合、いかに前記機械の制御部
(測定回路)、ワーク搭載テーブル他機械的精度を
作つてもこの検出器の性能いかんにより測定精度
は左右される。このため、おのずから機械の性能
が決定される。
さらに、ワークに直接接触針を接触させるた
め、被対象ワークに傷を付けないことが望まれ、
かつワークが薄物でもその端面に接触子を接触で
きる小型の検出器が求められている。
め、被対象ワークに傷を付けないことが望まれ、
かつワークが薄物でもその端面に接触子を接触で
きる小型の検出器が求められている。
従来の検出器は、第5図に示すようなものであ
り、断面図示したガイド1と、このガイド1内を
図中でA←→B方向に動くスライダ2とこのスラ
イダ2に取付けた接触針3と、この接触針3の反
対側で前記スライダ2に取付けたセンサカム4
と、このセンサカム4によつて信号がON/OFF
する一般的市販品のフオトセンサ5(フオトトラ
ンジスタとLEDから構成のセンサ)とを含んで
構成されている。
り、断面図示したガイド1と、このガイド1内を
図中でA←→B方向に動くスライダ2とこのスラ
イダ2に取付けた接触針3と、この接触針3の反
対側で前記スライダ2に取付けたセンサカム4
と、このセンサカム4によつて信号がON/OFF
する一般的市販品のフオトセンサ5(フオトトラ
ンジスタとLEDから構成のセンサ)とを含んで
構成されている。
この検出器をX−Yテーブル6に乗せたワーク
7の四辺に配置しX−Yテーブル6を図中のC←
→D方向(X軸方向)、およびE←→F方向(Y
軸方向)に駆動して各々の接触針3をワーク7の
端面に接触させ、接触針3がワーク7に接触して
スライダ2が動き、センサカム4でフオトセンサ
5を遮断した信号を制御部(省略)に各々取り出
し、演算してワークの外形サイズを求めていた。
7の四辺に配置しX−Yテーブル6を図中のC←
→D方向(X軸方向)、およびE←→F方向(Y
軸方向)に駆動して各々の接触針3をワーク7の
端面に接触させ、接触針3がワーク7に接触して
スライダ2が動き、センサカム4でフオトセンサ
5を遮断した信号を制御部(省略)に各々取り出
し、演算してワークの外形サイズを求めていた。
または、敢て取り上げる従来の検出器として特
開昭59−136609、実開昭59−87605の様に鋼球を
先端に取付けた接触子をZ軸方向、あるいはX−
Y軸方向にシヤフトと同軸になつて動ける様に
種々工夫を施して構成し、例えばワーク側を電気
的に(−)側に、接触子側を(+)側にして両者
が接触した時に電気的な導通により、これを制御
部に取り込み、前記Z軸、X−Y軸方向の移動量
から演算処理してワークの外形サイズを求めてい
た。
開昭59−136609、実開昭59−87605の様に鋼球を
先端に取付けた接触子をZ軸方向、あるいはX−
Y軸方向にシヤフトと同軸になつて動ける様に
種々工夫を施して構成し、例えばワーク側を電気
的に(−)側に、接触子側を(+)側にして両者
が接触した時に電気的な導通により、これを制御
部に取り込み、前記Z軸、X−Y軸方向の移動量
から演算処理してワークの外形サイズを求めてい
た。
上述した従来の検出器は、センサカム4でフオ
トセンサ5を遮断してフオトセンサ5の機能によ
り、制御部の信号処理で位置データを演算してい
ることから、フオトセンサ5の応答精度に検出精
度が左右され、概して市販品のフオトセンサで
は、例えば応差50〜100μmであるためワークを
高精度、例えば±1μm以内に測定できなかつた。
さらに、ガイド1およびスライダ2の設計、製作
も接触針がワークに接触した時、高感度に動作す
る必要性から必然的に高精度でかつ低摩擦の構造
体となり費用がかかるという欠点があつた。
トセンサ5を遮断してフオトセンサ5の機能によ
り、制御部の信号処理で位置データを演算してい
ることから、フオトセンサ5の応答精度に検出精
度が左右され、概して市販品のフオトセンサで
は、例えば応差50〜100μmであるためワークを
高精度、例えば±1μm以内に測定できなかつた。
さらに、ガイド1およびスライダ2の設計、製作
も接触針がワークに接触した時、高感度に動作す
る必要性から必然的に高精度でかつ低摩擦の構造
体となり費用がかかるという欠点があつた。
また、敢て取り上げた従来の特開昭59−
136609、実開昭59−87605では、接触子だけでな
く工作機械、測定機械(一般的な例では市販の三
次元測定機)の主軸に取付けて使用するため構造
が複雑であるとか、検出器自体にスイツチングを
内蔵していないためワークと接触子が接触したの
をただ電気的に取り出すのみで、制御部が複雑に
なるとか、最大の支障であるワークが絶縁物には
使用できないという欠点があつた。
136609、実開昭59−87605では、接触子だけでな
く工作機械、測定機械(一般的な例では市販の三
次元測定機)の主軸に取付けて使用するため構造
が複雑であるとか、検出器自体にスイツチングを
内蔵していないためワークと接触子が接触したの
をただ電気的に取り出すのみで、制御部が複雑に
なるとか、最大の支障であるワークが絶縁物には
使用できないという欠点があつた。
本考案の検出器は、2枚の同板厚の板ばねと、
相対向する表面方向から各々前記板ばねの厚さよ
りは大きく各々の向かい合う端面部から面取りし
た2本のシヤフト−1、シヤフト−2とで前記板
ばねを前記シヤフト−1、シヤフト−2の面取り
した部分に溶接ないしリベツト止めで接続して一
体とし、前記シヤフト−1の前記板ばねを固定し
た反対側の端面部に中間から所定の角度で曲げる
か、または直線形状の細径の接触針を溶接し、か
つ前記シヤフト−2の前記板ばねを固定した反対
側でシヤフト−2の中央部にピン穴を設けたプロ
ーブと、中間軸にあり前記シヤフト−1とシヤフ
ト−2および板ばねを収納できる径で設けた長穴
−1、長穴−2を有し、かつ外周端面から前記長
穴−2までに到達するスリツトと、このスリツト
に直角でかつ前記シヤフト−2に平行で前記スリ
ツトまで到達する切り溝と、前記ピン穴に設けた
ピンと前記シヤフト−2を固定する、すなわち前
記プローブを固定するねじを設けたホルダーと、
前記シヤフト−1の中央部の位置で、前記板ばね
に直角ですなわちシヤフト−1に直角方向から前
記長穴−1まで到達する位置で前記ホルダに設け
たブツシユの内部に機械的接点を有し前記接触針
に被測定物が接触した時の外力により前記機械的
接点を接触させるための接触子を先端に構成した
スイツチと、このスイツチの接触子の反対方向か
ら水平位置でかつ先端を前記シヤフト−1に接触
する前記ホルダに設けた調整ねじとを含んで構成
される。
相対向する表面方向から各々前記板ばねの厚さよ
りは大きく各々の向かい合う端面部から面取りし
た2本のシヤフト−1、シヤフト−2とで前記板
ばねを前記シヤフト−1、シヤフト−2の面取り
した部分に溶接ないしリベツト止めで接続して一
体とし、前記シヤフト−1の前記板ばねを固定し
た反対側の端面部に中間から所定の角度で曲げる
か、または直線形状の細径の接触針を溶接し、か
つ前記シヤフト−2の前記板ばねを固定した反対
側でシヤフト−2の中央部にピン穴を設けたプロ
ーブと、中間軸にあり前記シヤフト−1とシヤフ
ト−2および板ばねを収納できる径で設けた長穴
−1、長穴−2を有し、かつ外周端面から前記長
穴−2までに到達するスリツトと、このスリツト
に直角でかつ前記シヤフト−2に平行で前記スリ
ツトまで到達する切り溝と、前記ピン穴に設けた
ピンと前記シヤフト−2を固定する、すなわち前
記プローブを固定するねじを設けたホルダーと、
前記シヤフト−1の中央部の位置で、前記板ばね
に直角ですなわちシヤフト−1に直角方向から前
記長穴−1まで到達する位置で前記ホルダに設け
たブツシユの内部に機械的接点を有し前記接触針
に被測定物が接触した時の外力により前記機械的
接点を接触させるための接触子を先端に構成した
スイツチと、このスイツチの接触子の反対方向か
ら水平位置でかつ先端を前記シヤフト−1に接触
する前記ホルダに設けた調整ねじとを含んで構成
される。
次に、本考案の一実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第1図は、本考案の一実施例を示す斜視図であ
り、第2図は第1図のX−X′矢視断面図である。
り、第2図は第1図のX−X′矢視断面図である。
円柱形のホルダー8には、フランジ9を長手方
向のほぼ中間位置に構成し、このフランジ9に取
付穴10を複数個設けてある。前記フランジ9の
上部近傍には、ホルダー8の中心軸と垂直に外周
面からスリツト11を設け、かつ中心軸と同軸で
長穴−1 12を前記フランジ9の下部端面側よ
り設け、さらに同様に同ホルダー8の上部端面側
からは長穴−2 13を設けてある。そして、前
記長穴−1 12内に長穴−1 12の直径より
は細いシヤフト−1 14を設け、前記長穴−2
13内にはこの直径よりは細いシヤフト−2
15を設け、各々の相対する端面側の2面を平行
に面取りして、そこに板ばね16の面を向き合わ
せて平行に、例えばロー付け溶接、リベツト止め
等で固定して一体とし、これをプローブ17とし
ている。
向のほぼ中間位置に構成し、このフランジ9に取
付穴10を複数個設けてある。前記フランジ9の
上部近傍には、ホルダー8の中心軸と垂直に外周
面からスリツト11を設け、かつ中心軸と同軸で
長穴−1 12を前記フランジ9の下部端面側よ
り設け、さらに同様に同ホルダー8の上部端面側
からは長穴−2 13を設けてある。そして、前
記長穴−1 12内に長穴−1 12の直径より
は細いシヤフト−1 14を設け、前記長穴−2
13内にはこの直径よりは細いシヤフト−2
15を設け、各々の相対する端面側の2面を平行
に面取りして、そこに板ばね16の面を向き合わ
せて平行に、例えばロー付け溶接、リベツト止め
等で固定して一体とし、これをプローブ17とし
ている。
さらに、前記シヤフト−2 15には、ピン穴
18が前記スリツト11の上部に位置するように
設けてあり、ここに前記ホルダー8の外周端面か
ら挿入したピン19が入る。そして、前記スリツ
ト11の上部近傍で前記シヤフト−2 15を締
めつけ同図でプローブ17が落下しない様にする
ねじ20があり、このねじ20が入るねじ穴21
が前記スリツト11に直角にホルダー8端面から
設けた切り溝22部にある。これが第2図の断面
図で理解を容易にしている。一方、前記ホルダー
8の外周面側からは、前記シヤフト−1 14の
ほぼセンターに位置する様に、めねじを有するブ
ツシユ23と、このブツシユ23のめねじに設け
た前記シヤフト−1 14に先端の接触子24を
接触すると共に、内部に機械的接点を有するスイ
ツチ25を設ける。このスイツチ25は、ホルダ
ー8の端面にナツト26で固定する。このスイツ
チ25は市販品のもの応答精度±1μmの優れた
性能を有している。すなわち、接触子24を1μ
m軸方向に変化させれば、内蔵した機械的接点
(省略)が入り電気信号として取り出せる。
18が前記スリツト11の上部に位置するように
設けてあり、ここに前記ホルダー8の外周端面か
ら挿入したピン19が入る。そして、前記スリツ
ト11の上部近傍で前記シヤフト−2 15を締
めつけ同図でプローブ17が落下しない様にする
ねじ20があり、このねじ20が入るねじ穴21
が前記スリツト11に直角にホルダー8端面から
設けた切り溝22部にある。これが第2図の断面
図で理解を容易にしている。一方、前記ホルダー
8の外周面側からは、前記シヤフト−1 14の
ほぼセンターに位置する様に、めねじを有するブ
ツシユ23と、このブツシユ23のめねじに設け
た前記シヤフト−1 14に先端の接触子24を
接触すると共に、内部に機械的接点を有するスイ
ツチ25を設ける。このスイツチ25は、ホルダ
ー8の端面にナツト26で固定する。このスイツ
チ25は市販品のもの応答精度±1μmの優れた
性能を有している。すなわち、接触子24を1μ
m軸方向に変化させれば、内蔵した機械的接点
(省略)が入り電気信号として取り出せる。
また、前記シヤフト−1 14の下部端面に
は、ワークに接触する接触針27が軸方向に溶接
してあり、今回の実施例では中間部からL字状に
曲げてある。これはL字状に曲げなくてもよい。
そして接触子24に水平方向でかつ前記ホルダー
8の反対側外周面から前記シヤフト−1 14を
接触子24にすきまなく接触させておく調整ねじ
28を設ける。この調整ねじ28は、接触針27
を検出物体に接触させた時に、ただちに前記シヤ
フト−1 14が前記スイツチ25の接触子24
を押すようにするために設けてあり、スイツチ2
5の状態が変化(電気的ON/OFFの状態変化)
しない限度にしておく。前記した板ばね16を2
枚設けた理由は、板ばね16を2枚設けることに
より「平行板ばね」となり、接触針27が検出物
体に接触した時に、前記シヤフト−1 14が接
触子24をまったく軸方向に押し、接触子24を
損傷させないためである。
は、ワークに接触する接触針27が軸方向に溶接
してあり、今回の実施例では中間部からL字状に
曲げてある。これはL字状に曲げなくてもよい。
そして接触子24に水平方向でかつ前記ホルダー
8の反対側外周面から前記シヤフト−1 14を
接触子24にすきまなく接触させておく調整ねじ
28を設ける。この調整ねじ28は、接触針27
を検出物体に接触させた時に、ただちに前記シヤ
フト−1 14が前記スイツチ25の接触子24
を押すようにするために設けてあり、スイツチ2
5の状態が変化(電気的ON/OFFの状態変化)
しない限度にしておく。前記した板ばね16を2
枚設けた理由は、板ばね16を2枚設けることに
より「平行板ばね」となり、接触針27が検出物
体に接触した時に、前記シヤフト−1 14が接
触子24をまったく軸方向に押し、接触子24を
損傷させないためである。
第3図は、本考案の検出器を用いて実際にワー
クの外形サイズを測定する時の一実施例を示す。
クの外形サイズを測定する時の一実施例を示す。
ワーク30は、パルスモータ31,32により
ボールねじ33,34を回転してX−Y移動する
X−Yテーブル35上に乗せて位置決め(省略)
してある。前記パルスモータ31,32は、それ
ぞれ制御部36(詳細省略)に配線してある。前
記X−Yテーブル35の上部には、ベース37が
水平状態に設けてあり、これはエアーシリンダ3
8により同図で上下動(イ←→ロ方向)する。前
記ベース37には、ワーク30の外形サイズより
は大きな間隔で本考案の検出器39をワーク30
の4辺に接触針27を接触する様に構成してあ
る。前記検出器39は、各々を制御部36に配線
してある。第4図は、第3図の側面図であり、第
3図で説明した構成の配置関係が理解できる図で
ある。
ボールねじ33,34を回転してX−Y移動する
X−Yテーブル35上に乗せて位置決め(省略)
してある。前記パルスモータ31,32は、それ
ぞれ制御部36(詳細省略)に配線してある。前
記X−Yテーブル35の上部には、ベース37が
水平状態に設けてあり、これはエアーシリンダ3
8により同図で上下動(イ←→ロ方向)する。前
記ベース37には、ワーク30の外形サイズより
は大きな間隔で本考案の検出器39をワーク30
の4辺に接触針27を接触する様に構成してあ
る。前記検出器39は、各々を制御部36に配線
してある。第4図は、第3図の側面図であり、第
3図で説明した構成の配置関係が理解できる図で
ある。
次に一実施例の動作について説明する。第3図
において制御部36の信号によりパルスモータ3
1,32を動作してX−Yテーブル35を原点復
帰(図示省略)した後、オペレータがワーク30
をセツトする。次に、エアーシリンダ38を働か
せてベース37を図中の下側イ方向に下降する。
この状態が第4図である。そして、制御部36に
よりX軸方向のパルスモータ31を動作させて、
図中のハ方向にX−Yテーブル35を動作させ
る。すると、第4図で図示した左側の検出器39
の接触針27にワーク30の左端面が接触するの
で、シヤフト−1 14を介して接触子24を押
すことによりスイツチ25の機械的接点がONす
る。これを制御部36で原点からの移動量とスイ
ツチ25のON状態を記憶した後、今後は二方向
にX−Yテーブル35を動作させる。そうすれ
ば、今後は右側の検出器39の接触針27が同様
にしてワーク30の右端面に接触して、前記同様
の処理をする。この結果、前記した左右の検出器
39の間隔は予じめわかつているので、制御部3
6の演算処理によつてワーク30のX軸方向の寸
法を求められる。同様にしてY軸方向(ホ←→ヘ
方向)の寸法を求める。測定後、ロ方向にベース
37をエアーシリンダ38で上昇させる。
において制御部36の信号によりパルスモータ3
1,32を動作してX−Yテーブル35を原点復
帰(図示省略)した後、オペレータがワーク30
をセツトする。次に、エアーシリンダ38を働か
せてベース37を図中の下側イ方向に下降する。
この状態が第4図である。そして、制御部36に
よりX軸方向のパルスモータ31を動作させて、
図中のハ方向にX−Yテーブル35を動作させ
る。すると、第4図で図示した左側の検出器39
の接触針27にワーク30の左端面が接触するの
で、シヤフト−1 14を介して接触子24を押
すことによりスイツチ25の機械的接点がONす
る。これを制御部36で原点からの移動量とスイ
ツチ25のON状態を記憶した後、今後は二方向
にX−Yテーブル35を動作させる。そうすれ
ば、今後は右側の検出器39の接触針27が同様
にしてワーク30の右端面に接触して、前記同様
の処理をする。この結果、前記した左右の検出器
39の間隔は予じめわかつているので、制御部3
6の演算処理によつてワーク30のX軸方向の寸
法を求められる。同様にしてY軸方向(ホ←→ヘ
方向)の寸法を求める。測定後、ロ方向にベース
37をエアーシリンダ38で上昇させる。
ここで、検出器39をいかに高応答性あるもの
にしても、X−Yテーブル35の精度が悪いとワ
ーク30を高精度例えば±1μmで測定できない
のは云うまでもない。
にしても、X−Yテーブル35の精度が悪いとワ
ーク30を高精度例えば±1μmで測定できない
のは云うまでもない。
本考案の検出器は、以上説明したようにワーク
端面に接触する接触針でワーク端面に傷をつける
ことなく、しかも市販品のスイツチの特性を十分
活かして、例えば要求測定精度の応差2μmの高
精度測定に使用でき、かつ構造が簡単で取扱いが
容易であり、しかも製造コストが安く、被検出物
体の材質は電気的に導体でも絶縁体でもどちらで
も使用できる等々の効果を得られる。
端面に接触する接触針でワーク端面に傷をつける
ことなく、しかも市販品のスイツチの特性を十分
活かして、例えば要求測定精度の応差2μmの高
精度測定に使用でき、かつ構造が簡単で取扱いが
容易であり、しかも製造コストが安く、被検出物
体の材質は電気的に導体でも絶縁体でもどちらで
も使用できる等々の効果を得られる。
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図は第1図に示すX−X′断面図、第3図は第1
図、第2図に示した本考案の検出器を用いたワー
ク外形サイズ測定の一使用例を示す構成図、第4
図は第3図の側面図、第5図は従来の一例を示す
側面図である。 1……ガイド、2……スライダ、3……接触
針、4……センサカム、5……フオトセンサ、6
……X−Yテーブル、7……ワーク、8……ホル
ダー、9……フランジ、10……取付穴、11…
…スリツト、12……長穴−1、13……長穴−
2、14……シヤフト−1、15……シヤフト−
2、16……板ばね、17……プローブ、18…
…ピン穴、19……ピン、20……ねじ、21…
…ねじ穴、22……切り溝、23……ブツシユ、
24……接触子、25……スイツチ、26……ナ
ツト、27……接触針、28……調整ねじ、30
……ワーク、31……パルスモータ、32……パ
ルスモータ、33……ボールネジ、34……ボー
ルネジ、35……X−Yテーブル、36……制御
部、37……ベース、38……エアーシリンダ、
39……検出器。
図は第1図に示すX−X′断面図、第3図は第1
図、第2図に示した本考案の検出器を用いたワー
ク外形サイズ測定の一使用例を示す構成図、第4
図は第3図の側面図、第5図は従来の一例を示す
側面図である。 1……ガイド、2……スライダ、3……接触
針、4……センサカム、5……フオトセンサ、6
……X−Yテーブル、7……ワーク、8……ホル
ダー、9……フランジ、10……取付穴、11…
…スリツト、12……長穴−1、13……長穴−
2、14……シヤフト−1、15……シヤフト−
2、16……板ばね、17……プローブ、18…
…ピン穴、19……ピン、20……ねじ、21…
…ねじ穴、22……切り溝、23……ブツシユ、
24……接触子、25……スイツチ、26……ナ
ツト、27……接触針、28……調整ねじ、30
……ワーク、31……パルスモータ、32……パ
ルスモータ、33……ボールネジ、34……ボー
ルネジ、35……X−Yテーブル、36……制御
部、37……ベース、38……エアーシリンダ、
39……検出器。
Claims (1)
- 2枚の同板厚の板ばねと、相対向する表面方向
から各々前記板ばねの厚さよりは大きく各々の向
かい合う端面部から面取りした2本のシヤフト−
1、シヤフト−2とで前記板ばねを前記シヤフト
−1、シヤフト−2の面取りした部分に溶接ない
しリベツト止めで接続して一体とし、前記シヤフ
ト−1の前記板ばねを固定した反対側の端面部に
中間から所定の角度で曲げるか、または直線形状
の細径の接触針を溶接し、かつ前記シヤフト−2
の前記板ばねを固定した反対側でシヤフト−2の
中央部にピン穴を設けたプローブと、中心軸にあ
り前記シヤフト−1とシヤフト−2および板ばね
を収納できる径で設けた長穴−1、長穴−2を有
し、かつ外周端面から前記長穴−2までに到達す
るスリツトと、このスリツトに直角でかつ前記シ
ヤフト−2に平行で前記スリツトまで到達する切
り溝と、前記ピン穴に設けたピンと前記シヤフト
−2を固定する、すなわち前記プローブを固定す
るねじを設けたホルダーと、前記シヤフト−1の
中央部の位置で、前記板ばねに直角ですなわちシ
ヤフト−1に垂直方向から前記長穴−1まで到達
する位置で前記ホルダに設けたブツシユの内部に
機械的接点を有し前記接触針に被測定物が接触し
た時の外力により前記機械的接点を接触させるた
めの接触子を先端に構成したスイツチと、このス
イツチの接触子の反対方向から水平位置でかつ先
端を前記シヤフト−1に接触する前記ホルダに設
けた調整ねじとを含むことを特徴とする検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986014884U JPH0446168Y2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986014884U JPH0446168Y2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62126712U JPS62126712U (ja) | 1987-08-11 |
JPH0446168Y2 true JPH0446168Y2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=30805291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986014884U Expired JPH0446168Y2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0446168Y2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5344051A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-20 | Bendix Corp | Probe for sensing substance position |
JPS5750605A (en) * | 1980-07-25 | 1982-03-25 | Finike Italiana Marposs | Linear dimensions inspection gauge head for mechanical parts |
JPS5888604A (ja) * | 1981-11-21 | 1983-05-26 | Toyoda Mach Works Ltd | トレ−サヘツド |
JPS59136609A (ja) * | 1983-01-26 | 1984-08-06 | Sony Magnescale Inc | 位置検出用測定子 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5987605U (ja) * | 1982-12-06 | 1984-06-13 | 株式会社ニコン | 接触式プロ−ブ装置 |
-
1986
- 1986-02-03 JP JP1986014884U patent/JPH0446168Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5344051A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-20 | Bendix Corp | Probe for sensing substance position |
JPS5750605A (en) * | 1980-07-25 | 1982-03-25 | Finike Italiana Marposs | Linear dimensions inspection gauge head for mechanical parts |
JPS5888604A (ja) * | 1981-11-21 | 1983-05-26 | Toyoda Mach Works Ltd | トレ−サヘツド |
JPS59136609A (ja) * | 1983-01-26 | 1984-08-06 | Sony Magnescale Inc | 位置検出用測定子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62126712U (ja) | 1987-08-11 |
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