JPH0445850Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、分割用の細溝あるいはケガキ線等
が所定のパターンで形成された例えばセラミツク
等の基板を、そのパターンを境にして分割する基
板の分割方法に関するものである。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] This invention divides a substrate made of ceramic, etc., on which thin dividing grooves or marking lines are formed in a predetermined pattern, using the pattern as a boundary. The present invention relates to a method for dividing a substrate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、例えばハイブリツドIC等の半導体装置
において、絶縁性能または高周波性能等の要求か
らセラミツク基板が採用されるものがある。この
基板を形成するには、一般にバツチ処理されるこ
とが多く、このため第５図に示すように基板１ａ
の素材となるセラミツク製のシート成形体１（以
下、この成形体１も基板と称する）に細溝あるい
はケガキ線からなる分割線２を設け、この分割線
に沿つて回路パターン等の加工後に多くの基板１
ａに分割することにより行なわれる。この基板１
の周囲は輸送中に端部の一部が外部からの力によ
つて欠落する可能性もあるので、余分な部分とし
て用意されている。 In recent years, ceramic substrates have been adopted in some semiconductor devices such as hybrid ICs due to requirements for insulation performance or high frequency performance. To form this substrate, generally batch processing is often performed, and therefore, as shown in FIG.
A parting line 2 consisting of a thin groove or a marking line is provided on a ceramic sheet molded body 1 (hereinafter, this molded body 1 is also referred to as a substrate), which is the raw material of board 1
This is done by dividing into a. This board 1
Since there is a possibility that part of the end portion may be lost due to external force during transportation, an extra portion is provided around the area.

〔考案が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention attempts to solve]

しかしながら基板を分割するためには分割線付
近に押圧部材を押付け、その力で分割している
が、押圧力のかかりかたが何等かの原因によつて
不均一になると、分割線以外の部分で割れ易く、
歩留りが悪いという問題を有していた。 However, in order to divide the board, a pressing member is pressed near the parting line and the force is used to divide the board, but if the pressing force becomes uneven for some reason, parts other than the parting line may be divided. It breaks easily,
The problem was that the yield was poor.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

このような問題を解決するためにこの考案は、
ベルトにレベル面の異なる移送面を作る部材と、
膨張可能な筒体の両開口部を筒体内に設けた伸縮
自在な軸によつて結合した側板によつて塞いで軟
質バツグを形成し、その軟質バツグをベルトの移
送面境界付近に押圧する押圧部材を設けたもので
ある。 In order to solve such problems, this idea is
a member that creates transfer surfaces with different level surfaces on the belt;
Pressing to form a soft bag by closing both openings of the inflatable cylinder with side plates connected by a telescoping shaft provided in the cylinder, and pressing the soft bag near the boundary of the conveying surface of the belt. It is equipped with members.

〔作用〕[Effect]

基板が移送面境界付近で軟質バツグに押圧さ
れ、強度の弱い分割線部分に力が集中し、そこを
境として分割される。また両側板が軸を介して一
体に回転する。 The substrate is pressed against the soft bag near the boundary of the transfer surface, and the force is concentrated at the parting line where the strength is weak, and the board is divided using that as the boundary. Also, both side plates rotate together through the shaft.

〔実施例〕〔Example〕

第１図はこの装置の外観を示す斜視図であり、
１０はベルトでありその上に乗せられた基板を移
送するようになつている。１１はバツクアツプベ
ルトであり、これらのベルトは第２図に示すよう
な位置関係になつている。１２はベルト１０の下
方においてそのベルトを上側に押し上げ、膨出部
を作ることによつて、ベルト１０にレベルの異な
る移送面を作る部材であり、この例では受ローラ
を用いている。受ローラ１２はベルト１０の移送
方向と直角に交差し、ベルト１０が移送されるこ
とによつて摩擦によつて回転するようになつてい
る。１３は受ローラ１２によつて作り出される異
なる移送面の境界付近にベルト１０の移送方向と
直角に交差し、かつ中に流体（この例ではエア）
が充填され、全体として筒状で回転可能な軟質バ
ツグである。なおこの筒状部分は後述するが、内
部および外部の圧力によつて自在に変形するよう
になつている。 FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of this device.
Reference numeral 10 denotes a belt, which is adapted to transport the substrate placed on the belt. Reference numeral 11 denotes a backup belt, and these belts are arranged in a positional relationship as shown in FIG. Reference numeral 12 denotes a member located below the belt 10 that pushes the belt upward and creates a bulge to create a transfer surface of different levels on the belt 10, and in this example, a receiving roller is used. The receiving roller 12 intersects at right angles to the direction in which the belt 10 is transported, and rotates due to friction as the belt 10 is transported. 13 intersects at right angles to the conveying direction of the belt 10 near the boundary between different conveying surfaces created by the receiving roller 12, and contains a fluid (air in this example).
It is a rotatable soft bag that is cylindrical as a whole. As will be described later, this cylindrical portion is designed to be freely deformed by internal and external pressure.

１４ａ，１４ｂは軟質バツグ１３の横方向位置
を規制する保持ローラであり、図示しない軸受に
支持され、軟質バツグ１３が回転することによつ
て回転するようになつている。１５は軟質バツグ
１３の上下方向を規制する押えローラであり、そ
の押圧力は支点１６ａを中心に回動するアーム１
６に与える力をダイヤル１７で調節し、変えられ
るようになつている。１８ａ〜１８ｄはバツクア
ツプベルト１１に張力を与える受ローラであり、
その張力は受ローラ１８ｄの軸に取付けられたレ
バー１９によつて与えられている。そのレバー１
９は支点１９ａを中心に回動するようになつてお
り、その回動力は図示しないスプリングの弾力に
よつて与えられている。２０はバツクアツプベル
ト１１のベルト１０側の面を清掃するブラシであ
る。２１ａ〜２１ｄはベルト１０を内面から支え
る受ローラであり、そのうち例えば受ローラ２１
ａは図示しないモータによつて回転駆動されるよ
うになつている。２２は軟質バツグ１３より手前
に設けられ、基板１の前縁部および後縁部を検出
するセンサである。 Reference numerals 14a and 14b are holding rollers for regulating the lateral position of the soft bag 13, which are supported by bearings (not shown) and are configured to rotate as the soft bag 13 rotates. Reference numeral 15 denotes a presser roller that regulates the vertical direction of the soft bag 13, and its pressing force is applied to the arm 1 that rotates around the fulcrum 16a.
The force applied to 6 can be adjusted and changed using a dial 17. 18a to 18d are receiving rollers that apply tension to the backup belt 11;
The tension is applied by a lever 19 attached to the shaft of the receiving roller 18d. That lever 1
9 is adapted to rotate around a fulcrum 19a, and its rotational force is provided by the elasticity of a spring (not shown). 20 is a brush for cleaning the surface of the backup belt 11 on the belt 10 side. 21a to 21d are receiving rollers that support the belt 10 from the inside, among which, for example, receiving roller 21
A is rotatably driven by a motor (not shown). A sensor 22 is provided in front of the soft bag 13 and detects the front edge and rear edge of the substrate 1.

なお、ブラシ２０、各ローラ、センサ２２は図
示しない手段によつて筐体に取付けられている。
また、ダイヤル１７を大きくまわすことによつて
アーム１６が上昇し、軟質バツグ１３から離れる
ようになつており、このため押えローラ１５およ
び軟質バツグ１３の清掃が容易なように構成され
ている。 Note that the brush 20, each roller, and the sensor 22 are attached to the housing by means not shown.
Further, by turning the dial 17 by a large amount, the arm 16 is raised and separated from the soft bag 13, so that the pressing roller 15 and the soft bag 13 can be easily cleaned.

第３図は軟質バツグ１３の断面図であり、例え
ば布製で膨張可能な筒状体１３ａの両開口部が側
板２５，２６で塞がれるとともに、その側板は筒
状体１３ａの中に設けられた軸２７，２８に、ネ
ジ１３ｂ，１３ｃによつて固定されている。軸２
８は軸２７に設けた凹部２７ａに挿入され、相互
に摺動自在となつているとともに、その左端より
エアを注入するためのガイド穴２８ａが穿設さ
れ、ガイド穴２８ａの先端部は直角に曲り、軸２
８の側面に達している。２９はエア注入パイプで
あり、筐体側に設けた図示しないポンプからエア
が注入されるようになつている。また、３０は回
転支持部であり、この部分は回転せず、軸２８だ
けが回転するが、エア注入パイプ２９からのエア
はガイド穴２８ａに伝わるようになつている。 FIG. 3 is a sectional view of the soft bag 13, in which both openings of an inflatable cylindrical body 13a made of cloth, for example, are closed with side plates 25 and 26, and the side plates are provided inside the cylindrical body 13a. It is fixed to the shafts 27, 28 with screws 13b, 13c. axis 2
8 is inserted into a recess 27a provided in the shaft 27 so that they can slide against each other, and a guide hole 28a for injecting air from the left end is bored, and the tip of the guide hole 28a is formed at a right angle. bend, axis 2
It has reached the 8th aspect. Reference numeral 29 denotes an air injection pipe, into which air is injected from a pump (not shown) provided on the housing side. Moreover, 30 is a rotation support part, which does not rotate and only the shaft 28 rotates, but air from the air injection pipe 29 is transmitted to the guide hole 28a.

このように構成された装置の動作は次の通りで
ある。ベルト１０に乗せられた基板１は矢印の方
向に移送され、やがてベルト１０とバツクアツプ
ベルト１１によつて挾まれ、第４図に示すように
受ローラ１２と軟質バツグ１３によつて押圧され
る。軟質バツグ１３は変形しながらバツクアツプ
ベルト１１を介して基板１を押圧し、ベルト１０
は受ローラ１２によつて膨出部が作られ、その部
分の移送面は他の部分とレベルが異なつているの
で、基板２３は先端部にかかる力が他の部分より
大きくなる。しかしこの力は基板１に分割線が設
けられていなければ、基板に破砕が生じない値に
選ばれている。ところが、基板１には分割線が設
けられているので、その部分は機械的強度が弱く
なつている。このため基板１は分割線の部分で圧
力に耐えられなくなり、第４図に示すように分割
線の部分で破砕され、分割された小さな基板１ａ
ができる。このとき、バツクアツプベルト１１が
無くても基板１が割れることについては同様であ
るが、軟質バツグだけで割ると割れた後の基板１
ａが整然と整列せずに、重なつてしまうことがあ
り、このような状態になると角が欠けたり、後工
程の作業性が悪くなるなどの問題がある。 The operation of the device configured in this way is as follows. The substrate 1 placed on the belt 10 is transferred in the direction of the arrow, and is eventually sandwiched between the belt 10 and the backup belt 11, and is pressed by the receiving roller 12 and the soft bag 13 as shown in FIG. . The soft bag 13 presses the substrate 1 through the backup belt 11 while deforming, and the belt 10
A bulging portion is created by the receiving roller 12, and the transfer surface in that portion is at a different level from other portions, so that the force applied to the tip of the substrate 23 is greater than that in other portions. However, this force is selected to a value that will not cause the substrate to break unless the substrate 1 is provided with a dividing line. However, since the substrate 1 is provided with a dividing line, the mechanical strength of that part is weakened. As a result, the substrate 1 cannot withstand the pressure at the parting line, and as shown in FIG.
I can do it. At this time, the substrate 1 may be broken even without the backup belt 11, but if the substrate is broken only with the soft bag, the broken substrate 1 will be broken.
A may not be arranged in an orderly manner and may overlap, and in such a state, there are problems such as corners being chipped and workability in subsequent processes becoming poor.

一方、基板を割ると、分割線の部分で割れて
も、細かな破砕屑が軟質バツグに付着する。この
ため、軟質バツグをブラシ等で清掃する必要があ
るが、軟質バツグ１３の径はあまり大きくないの
で、清掃した後の屑を集めるのが難かしい。とこ
ろが、バツクアツプベルト１１を用いれば、それ
に付着した屑は軟質バツグ１３から離れた個所に
設けられたブラシ２０によつて簡単にかつ確実に
集めることができる。 On the other hand, when the substrate is broken, even if it breaks along the parting line, fine fragments adhere to the soft bag. Therefore, it is necessary to clean the soft bag with a brush or the like, but since the diameter of the soft bag 13 is not very large, it is difficult to collect the debris after cleaning. However, if the backup belt 11 is used, the debris adhering to it can be easily and reliably collected by the brush 20 provided at a location away from the soft bag 13.

従来は剛体によつて剛体である基板を割つてい
たので、治具の押圧位置によつて均等でない力が
基板にかかり、分割線以外の部分で割れてしまう
ことがあつたが、軟質バツグ１３を用いることに
よつて押圧力が基板に均等にかかり、機械的に弱
い分割線を境にして割れるようになつた。また、
バツクアツプベルト１１を用いていることから、
基板にかかる力は更に均等に近くなり、このため
より確実に正確に割れ、歩留りも良くなつた。 Conventionally, a rigid board was split using a rigid body, which resulted in uneven force being applied to the board depending on the pressing position of the jig, resulting in cracking at areas other than the parting line. By using No. 13, the pressing force was evenly applied to the substrate, and it became possible to break the substrate at the mechanically weak parting line. Also,
Since the backup belt 11 is used,
The force applied to the substrate is now more evenly distributed, resulting in more reliable and accurate cracking and higher yields.

軟質バツグ１３は内部に注入されるエアによつ
て膨張し、しかも変形するので長さ変化が発生
し、軸位置を筐体に対して固定的な位置関係に置
くことができない。このため、回転自在な状態で
筐体に取付けるのでなく、保持ローラ１４ａ，１
４ｂおよび押えローラ１５によつてベルト１０に
押圧し、バツクアツプベルト１１との摩擦力によ
つて回転するようにしている。このように構成す
ることによつて、軟質バツグ１３の長さ変化が生
じても全く支障なく回転できる。 The soft bag 13 is expanded and deformed by the air injected into the inside, so that the length changes, and the shaft position cannot be set in a fixed positional relationship with respect to the casing. For this reason, the holding rollers 14a and 1 are not attached to the housing in a freely rotatable state.
4b and the presser roller 15 to press against the belt 10, and rotate by the frictional force with the backup belt 11. With this configuration, even if the length of the soft bag 13 changes, it can be rotated without any problem.

ところが、軟質バツグ１３が変形するため側板
２５，２６を接続する軸がないと軟質バツグ１３
全体が一体として回転しなくなり、また、剛体の
軸を設けると軟質バツグ１３の側面が不合理な膨
らみ方をする。このため、軸２７，２８を摺動自
在にし、長さ変化を自在にして側面の不合理な膨
らみを防止している。 However, since the soft bag 13 deforms, if there is no shaft connecting the side plates 25 and 26, the soft bag 13 will deform.
The entire body does not rotate as a unit, and if a rigid shaft is provided, the sides of the soft bag 13 will bulge out in an unreasonable manner. For this reason, the shafts 27 and 28 are made slidable and their lengths can be changed freely to prevent unreasonable bulges on the sides.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

以上説明したようにこの考案は、基板を送るベ
ルトにレベルの異なる部分を設け、その部分に膨
張可能な筒体の両開口部を側板で塞ぐとともに両
側板間を接続しかつ伸縮自在な軸を設けた軟質バ
ツグを押付けるようにしたので、基板を確実にか
つ正確に分割することができるという効果を有す
る。 As explained above, this idea provides a belt for transporting substrates with sections at different levels, and in these sections, both openings of the inflatable cylinder are closed with side plates, and a telescopic shaft is installed that connects the two side plates. Since the provided soft bags are pressed against each other, there is an effect that the substrate can be divided reliably and accurately.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は第１図の要部を示す斜視図、第３図は軟質
バツグの断面図、第４図は基板の分割される状態
を示す図、第５図は基板と分割線の関係を示す斜
視図である。 １０……ベルト、１１……バツクアツプベル
ト、１２……受ローラ、１３……軟質バツグ、２
０……ブラシ、２２……センサ、２５，２６……
側板、２９……エア注入パイプ、１３ａ……筒状
体、５１……リトリガラブルモノマルチバイブレ
ータ、５２……カウンタ、５３……パルス発生
器、５４……比較器、５５……基準器。 Fig. 1 is a perspective view showing an embodiment of this invention, Fig. 2 is a perspective view showing the main parts of Fig. 1, Fig. 3 is a sectional view of the soft bag, and Fig. 4 is a state in which the board is divided. FIG. 5 is a perspective view showing the relationship between the substrate and the dividing line. 10... Belt, 11... Backup belt, 12... Receiving roller, 13... Soft bag, 2
0... Brush, 22... Sensor, 25, 26...
Side plate, 29... Air injection pipe, 13a... Cylindrical body, 51... Retriggerable mono multivibrator, 52... Counter, 53... Pulse generator, 54... Comparator, 55... Reference device.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 所定パターンの細溝あるいはケガキ線が少なく
とも一方の面に形成された基板を移送するベルト
と、 ベルトの下方においてベルトにレベルの異なる
移送面を作る部材と、 ベルトの異なる移送面の境界付近上方にベルト
の移送面と交差する状態で設けられかつ中に流体
が充填され、全体として筒状で回転可能な軟質バ
ツグと、 軟質バツグを移送面の境界付近に押圧する押圧
部材とを備え、 軟質バツグは伸縮可能な筒状体と、筒状体の両
開口部を塞ぐ側板と、筒状体内に設けられ側板相
互間を接続する伸縮自在な軸とから構成され、 基板が軟質バツグの下を通過するとき軟質バツ
グの圧力によつて前記パターンを境にして基板の
分割を行なうことを特徴とする基板の分割装置。[Claims for Utility Model Registration] A belt for transporting a substrate having a predetermined pattern of thin grooves or marking lines formed on at least one surface; a member for creating transport surfaces of different levels on the belt below the belt; A rotatable soft bag which is cylindrical as a whole and is filled with fluid and is provided above the boundary between different conveyance surfaces so as to intersect with the conveyance surface of the belt, and the soft bag is pressed to the vicinity of the boundary between the conveyance surfaces. The soft bag is composed of an extensible cylindrical body, a side plate that closes both openings of the cylindrical body, and an extensible shaft that is provided inside the cylindrical body and connects the side plates, A substrate dividing apparatus characterized in that when the substrate passes under the soft bag, the substrate is divided using the pattern as a boundary by the pressure of the soft bag.