JPH0443821Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、端子接続構造に係り、特に回路試験
装置において、高い周波数の信号を伝達すること
ができ、且つデジタル信号とアナログ信号とが併
存する場合に両信号系間の干渉を排除することが
できる端子接続構造に係る。

〔従来技術及びその問題点〕

半導体試験装置などの回路試験装置において、
測定器と被測定物とを接続する場合、多数の端子
を接続する複合プローブが必要である。

従来では、第３図に示すものが一般に使用され
ていた。即ち、プローブ装置３１は、絶縁体から
成るハウジング３２と該ハウジングに保持された
コンパクトプローブ３３とを備えている。ところ
が、プローブ装置３１では、周波数の高いアナロ
グ信号や、繰り返しレートの高い矩形波、あるい
は立ち上がりの速いパルス信号等のデジタル信号
を伝達する場合、コンパクトプローブ３１がイン
ダクタンスとして働き、また入出力回路とのイン
ピーダンスの不整合による反射波が生ずるため、
波形歪みが大きいしいう欠点があつた。また、上
記の従来例においては、通常２本一対のコンタク
トプローブを用いて信号を伝達していので、それ
だけ多くのコンタクトプローブが必要であるため
高コストになり、ハウジングが大型化するという
欠点があつた。

信号線の同軸構造の要求に対しては、第４図に
示すような、同軸コンタクトプローブ４１が知ら
れている。即ち、同軸コンタクトプローブ４１
は、最も外側の筒状体４２に出入自在に収容され
突出方向に付勢されるプランジヤとして、ピン４
３と、筒状体４４との２つを備えたものである。
ピン４３と筒状体４２及び４４とは、互いに絶縁
され、それぞれ同軸線の中心導体、外部導体とし
て働く。しかし、同軸コンタクトプローブ４１
は、構造が比較的複雑であるため製造コストが高
いという欠点があつた。

上記した従来技術に対して、本願と同一の出願
人の出願に係る実願昭61−11294に開示されたプ
ローブ装置のように、即ち第５図に示すプローブ
装置５１のように、ハウジングリング５２を金属
から形成し、該ハウジングリングに設けた複数の
穴内に誘電体５３を介してコンタクトプローブ５
４を装着し、ハウジングリング５２をコンタクト
プローブ５４に対する共通のグラウンドとして用
いる方法が考えられる。測定器及び被測定回路の
グランドとハウジングリング５２とは、金属製の
弾性部材等によつて接続する。これによれば、ハ
ウジングリング５２とコンタクトプローブ５４と
の間に同軸構造が形成されるので、特性インピー
ダンスを測定器の入出力インピーダンスと容易に
一致させることができ、周波数の高い信号を正確
に伝達することができる。しかも、コンタクトプ
ローブの使用数を減少させることができ、構造が
簡単なので極めて安価に製造することができる。

ところが、プローブ装置５１において、デジタ
ル信号とアナログ信号とが共存する場合に、問題
が生ずる。周知の如く、アナログ信号は、デジタ
ル信号と比較して、伝達の精度が要求される。

例えば、被測定回路に対して、デジタル信号を
入力し、該被測定回路から出力されるアナログ信
号を測定する場合、プローブ装置５１を用いる
と、ハウジング５２において、共通インピーダン
スを生じる。ハウジング５２は、わずかな抵抗を
有するので、該ハウジング５２を流れる電流によ
つて、電位が生じ、この影響により信号の干渉が
起きる。

デジタル信号のみの伝達であれば通常は問題が
起きることは少ないが、特に高精度の測定が要求
されるアナログ信号伝送の場合には、プローブ装
置５１を使用して測定を行うのは不可能となる。

これに対して、導電性ハウジングを絶縁体によ
つて絶縁された複数の部分に分割する方法も考え
られる。しかし、導電性ハウジングの加工コスト
がかかり、また多分割するには加工が難しく、現
実の実施は極めて困難であつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案は、上記した従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであつて、その目的とする
ところは、複数の円筒状の穴を備えた導電性ハウ
ジングと、該穴の中に絶縁体を介して保持された
中心導体とから成り、グランドを共通とする同軸
線路を形成することによつて、構成を簡易化しな
がら、インピーダンスマツチングを行い、高周波
特性を良好にすることである。

また本考案の主たる目的は、前記信号通路をデ
ジタル信号の伝送路とし、穴の中に絶縁体を介し
て保持された筒状体を導電性ハウジングから浮遊
したグランドとし、更にその中に絶縁体を介して
中心導体を保持して第２の同軸線路を形成し、ア
ナログ信号の伝達路とすることにより、デジタ
ル・アナログの両信号が併存する場合の両信号系
間の干渉を排除することである。

また他の目的は、導電性ハウジングから浮遊し
らグランドを、導電性ハウジングの備えた複数の
穴の中に選択的に設けることにより、アナログ信
号の接続端子の位置を任意に定めることを可能に
することである。

〔問題点を解決するための手段〕

要するに本考案は、複数の円筒状の穴を備えた
導電性ハウジングと前記穴内に誘電体を介して保
持された中心導体とから成る同軸線路を第１の信
号通路とし、前記穴内に誘電体を介して保持され
た筒状導体と該筒状導体に誘電体を介して保持さ
れた中心導体とから成る同軸線路を第２の信号通
路とすることを特徴とするものである。

〔本考案の実施例〕

以下、本考案を図面に示す、実施例に基づいて
説明する。第１図に示すように、本考案に係る端
子接続構造１は、複数の円筒状の穴１１を有する
導電性ハウジングの一例たる金属リング２を備え
ている。穴１１内には誘電体（絶縁体）１２を介
して中心導体３が保持されており、金属リング２
と中心導体３とからなる同軸線路が第１の信号通
路８を形成する。

また、複数の穴１１の一部のものには誘電体
（絶縁体）１３を介して筒状導体４が保持され、
さらに筒状導体４内には誘電体（絶縁体）１５を
介して中心導体６が保持されている。このような
構成により、中心導体６と筒状導体４とからなる
同軸線路が第２の信号通路９を形成する。

被測定回路２１に対してデジタル信号を入力
し、該入力に対応して被測定回路２１が出力する
アナログ信号を測定する場合、第１図に示すよう
に接続する。即ち、デジタル信号源２２及び被測
定回路２１のデジタル側入力端子は、各々その一
端２２ａ，２１ａが中心導体３を介して接続さ
れ、他端２２ｂ，２１ｂは共に金属リング２に接
地される。一方、被測定回路２１のアナログ側出
力端子とアナログ測定器２３とは、各々その一端
２１ｃ，２３ｃが中心導体６を介して、他端２１
ｄ，２３ｄが筒状導体４を介して接続される。

なお、通常中心導体３，６には、コンタクトプ
ローブを使用する。一方、導電性ハウジング２に
対する接地、及び筒状導体４に対する接続には、
導電性の弾性部材、例えばシールドガスケツトと
して市販されている金属ばね部材、或いはコンタ
クトプローブ等を使用することができる。

また、筒状導体４に対する電気的接続にコンタ
クトプローブを使用する場合には、筒状導体４に
埋設、固着等の方法によつて取り付けてもよく、
筒状導体４に当接すべく配置してもよい。

本考案は、上記のように構成されており、以
下、その作用について説明する。

デジタル信号源２２から発生したデジタル信号
は、中心導体３を介して被測定回路２１の端子２
１ａに入力され、金属リング２に接地される。こ
のとき、金属リング２は当然若干の抵抗分を有す
るので、デジタル信号による電流によつて金属リ
ング２には電位が発生する。

したがつて、中心導体３と金属リング２とを含
む信号通路８は、金属リング２が共通インピーダ
ンスとなつているので、互いに干渉をおよびぼ
す。しかし、デジタル信号の場合には、比較的雑
音による影響を受けにくいので、他のデジタル信
号通路がこの干渉を受けても測定への影響は少な
い。ところが仮に、デジタル信号入力に対応して
被測定回路から出力されたアナログ信号の伝達
に、同様の信号通路８を用いると、クロストーク
の影響が直接測定結果にあらわれる。

本考案によれば、アナログ信号は金属リング２
のグランドから絶縁された同軸構造の第２の信号
通路９で伝達されるので、デジタル信号によるア
ナログ信号に対する干渉が排除される。

上記のような測定のアプリケーシヨンにおいて
は、アナログ信号の接続端子数よりもデジタル信
号の接続端子数の方が多い場合が大部分である。
従つて、必要なアナログ信号の端子数だけ信号通
路９を穴１１に設けることができるようにすれば
よい。

なお、上記実施例において、金属リング２を共
通のグランドとする第１の信号通路８は、デジタ
ル信号を伝達し、金属リング２から浮遊した第２
の信号通路９はアナログ信号を伝達するものとし
て説明したが、これに限定されるものではない。
つまり、伝達の精度か要求されない信号、即ち共
通インピーダンスによる相互干渉の影響が問題に
ならない程度の信号と、該信号に比較して高精度
の伝達が要求される信号若しくは該信号による干
渉を受け易い信号とが併存する場合に、適用し得
るものである。

さらに、上記実施例において、筒状導体４は絶
縁体１３によつて穴１１内に保持され、中心導体
６は絶縁体１５によつて筒状導体４内に保持され
ているものとして説明したが、中心導体６は必ず
しも誘電体１５によつて機械的に保持される必要
はなく、たとえば、誘電体に空気を用い、他に適
当な支持構造を設けてもよい。また、筒状導体
は、本明細書に記載された作用・効果を奏する範
囲において、種々の形成が考えられることは言う
までもない。

〔効果」 本考案は、上記のように構成され作用するもの
であるから、複数の円筒状の穴を備えた導電性ハ
ウジングと、該穴の中に絶縁体を介して保持され
た中心導体とから成り、グランドを共通とする同
軸線路が形成されているので、構成が簡易化され
コスト低下が可能となり、且つインピーダンスマ
ツチングが行われ、高周波特性が良好になるとい
う効果が得られる。

また本考案の主たる効果として、導電性ハウジ
ングを共通のグランドとする信号通路をデジタル
信号の伝送路とし、穴の中に絶縁体を介して保持
された筒状体を導電性ハウジングから浮遊したグ
ランドとし、更にその中に絶縁体を介して中心導
体を保持して第２の同軸線路を形成し、アナログ
信号の伝達路としているので、デジタル、アナロ
グの信号が併存する場合の両信号系間の干渉を排
除することができる効果が得られる。

また、導電性ハウジングから浮遊したグランド
を、導電性ハウジングの備えた複数の穴の中に設
けているので、アナログ信号の接続端子の位置が
任意に選択できると言う効果がえられる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案の実施例に係り、第
１図は本考案の要部斜視図、第２図は本考案の要
部断面図及び電気回路図、第３図及び第４図は従
来例に係り、第３図はプローブ装置の斜視図、第
４図は同軸コンタクトプローブの側面図、第５図
は本願と同一出願人の考案に係るプローブ装置の
要部斜視図である。 １……端子接続構造、２……導電性ハウジング
の一例たる金属リング、３，４……中心導体、６
……筒状導体、８……第１の信号通路、９……第
２の信号通路、１１……穴、１２，１３，１５…
…絶縁体（誘電体）、である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数の円筒状の穴を備えた導電性ハウジングと
   前記穴内に誘電体を介して保持された中心導体と
   から成る同軸線路を第１の信号通路とし、前記穴
   内に誘電体を介して保持された筒状導体と該筒状
   導体内に誘電体を介して保持された中心導体とか
   ら成る同軸線路を第２の信号通路とすることを特
   徴とする端子接続構造。