JPH0443757B2 - - Google Patents
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- JPH0443757B2 JPH0443757B2 JP61139188A JP13918886A JPH0443757B2 JP H0443757 B2 JPH0443757 B2 JP H0443757B2 JP 61139188 A JP61139188 A JP 61139188A JP 13918886 A JP13918886 A JP 13918886A JP H0443757 B2 JPH0443757 B2 JP H0443757B2
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- clean room
- bellows
- arm
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンルーム内で作業を行なうロボ
ツトの蛇腹を用いた密封構造に関し、特にロボツ
トの腕の進退に伴う蛇腹内部圧力の調整構造に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a sealing structure using a bellows for a robot working in a clean room, and more particularly to a structure for adjusting the internal pressure of the bellows as the arm of the robot moves forward and backward.
（従来の技術と問題点）
近年、LSI等の回路素子の製造現場やその他の
精密製品の製造、組立現場にロボツトが導入され
ている。LSI等の回路素子の製造現場において
は、空中に浮遊する微細な塵埃類の影響さえ受
け、素子にこれらの塵埃が付着すると不良品にな
る。このため回路素子の製造現場は清浄雰囲気を
保持したクリーンルームとする必要があり、更に
その中で働く人も塵埃類を出さないように防塵用
の衣類等を着用して作業を行なう。従つてこうし
たクリーンルームで作動するロボツトにも塵埃や
油脂類が外部に放出されないよう工夫、改良がな
されなければならない。(Conventional Technology and Problems) In recent years, robots have been introduced to manufacturing sites for circuit elements such as LSIs, as well as manufacturing and assembly sites for other precision products. At the manufacturing site of LSI and other circuit elements, even minute dust particles floating in the air are affected, and if these dust particles adhere to the elements, the products will be defective. For this reason, the manufacturing site of circuit elements must be a clean room that maintains a clean atmosphere, and the people working there must also wear dust-proof clothing to avoid emitting dust. Therefore, robots operating in such clean rooms must be devised and improved to prevent dust and oil from being released to the outside.
依つて、本発明は斯る問題点の解決を図るべ
く、クリーンルーム用ロボツトの腕の進退運動に
際し、塵埃を含んだロボツト内の空気、或いは油
脂類を外部のクリーンルームに放出しないように
蛇腹で覆うと共に、蛇腹内部の大きな空気圧変動
による蛇腹の損傷を防止し、かつ腕の滑らかな進
退運動が可能となる構造のロボツトを提供せんと
するものである。 Therefore, in order to solve this problem, the present invention uses a bellows to cover the dust-containing air or oil inside the robot to prevent it from being released into the clean room outside when the arm of a clean room robot moves forward and backward. It is also an object of the present invention to provide a robot having a structure that prevents damage to the bellows due to large air pressure fluctuations inside the bellows and allows smooth forward and backward movement of the arm.
本発明は上述した発明目的に鑑みて、ロボツト
本体の頂部に設けられた上部ケーシングに対して
進退動作する進退腕を備え、クリーンルームにお
いて使用されるクリーンルーム用ロボツトにおい
て、
前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の外周部を密閉状態に囲繞する蛇腹と、
前記クリーンルームの外部と連通可能に前記ロ
ボツト本体に形成した開放口と、
前記ロボツト本体に予め設けた開放口と該ロボ
ツト本体の内部空間を介して連通されるように前
記進退腕の内部に形成された軸方向孔からなる空
気通路手段と、
前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の壁に貫通状に穿設され、前記軸方向孔と
前記蛇腹で囲繞された密閉領域とを連通させる径
方向孔とを、
具備し、前記蛇腹で囲繞された密閉領域が前記進
退腕の前記径方向孔、前記軸方向孔、前記ロボツ
ト本体の内部空間を介して前記開放口に常時、連
通され以て前記進退腕の進退動作に伴う前記蛇腹
内部の空気圧変動が防止されるようにしたクリー
ンルーム用ロボツト構造を提供する。
In view of the above-mentioned object of the invention, the present invention provides a clean room robot used in a clean room, which is provided with a reciprocating arm that moves forward and backward with respect to an upper casing provided at the top of a robot body, and includes: a robot for use in a clean room that is used in a clean room; A bellows that tightly surrounds the outer periphery of the protruding arm portion; an open port formed in the robot body so as to be able to communicate with the outside of the clean room; an open port previously provided in the robot body and an internal space of the robot body. an air passage means consisting of an axial hole formed inside the retractable arm so as to communicate through the retractable arm; a radial hole that communicates between the axial hole and the sealed area surrounded by the bellows, and the sealed area surrounded by the bellows communicates with the radial hole of the retractable arm, the axial hole, and the robot. To provide a robot structure for a clean room, which is always communicated with the opening port through the internal space of a main body to prevent air pressure fluctuations inside the bellows due to the forward and backward movements of the forward and backward arms.
本発明による上記手段によれば、ロボツトの進
退腕が進退運動する場合にロボツト内部の塵埃や
油脂類が放出されることはなく、しかも進退腕を
滑らかに駆動することが可能となる。
According to the above means according to the present invention, when the forward and backward arms of the robot move forward and backward, dust and oils and fats inside the robot are not released, and moreover, the forward and backward arms can be driven smoothly.
以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づい
て更に詳細に説明する。第１図はクリーンルーム
用ロボツトの一部破断の上面図、第２図は蛇腹の
取付構造図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見
たクリーンルーム用ロボツトの側面図である。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on embodiments shown in the accompanying drawings. FIG. 1 is a partially cutaway top view of the clean room robot, FIG. 2 is a view of the bellows attachment structure, and FIG. 3 is a side view of the clean room robot viewed from the direction of arrow A in FIG.
第３図を参照して本実施例におけるクリーンル
ーム用ロボツトの概略構造を説明する。このロボ
ツトは長手方向軸線回りに回転可能で、かつ上下
方向に摺動可能となつている。この上部には上部
ケーシング２２が固定されており、このケーシン
グ２２の先端部に固定された筒状体２４に保持さ
れ、水平方向Ｘに進退可能な進退腕８を有してい
る。この進退腕８が筒状体２４の外に突出した摺
動軸部分は蛇腹１０に覆われている。またこのロ
ボツトはロボツト内の空気を外部へ開放するため
の開放口３８を具備している。 The schematic structure of the clean room robot in this embodiment will be explained with reference to FIG. This robot is rotatable about its longitudinal axis and slidable in the vertical direction. An upper casing 22 is fixed to this upper part, and is held by a cylindrical body 24 fixed to the distal end of this casing 22, and has a reciprocating arm 8 that can move back and forth in the horizontal direction. The sliding shaft portion of the reciprocating arm 8 protruding outside the cylindrical body 24 is covered with a bellows 10. The robot also has an opening 38 for releasing the air inside the robot to the outside.
以上の構成によりこのクリーンルーム用ロボツ
トは上部ケーシング２２を軸４０の軸線回りに回
転すると共に上下方向に上昇、下降が可能であ
る。更に進退腕８が水平方向Ｘに進退可能な構成
となつている。 With the above configuration, this clean room robot can rotate the upper casing 22 around the axis of the shaft 40, and can also move up and down in the vertical direction. Further, the forward and backward arms 8 are configured to be able to move forward and backward in the horizontal direction X.
本発明によるロボツト構造を詳細に説明するた
めに第１図を参照すると、該クリーンルーム用ロ
ボツトはその前後方向Ｘに進退運動可能な進退腕
８を有している。この進退腕８はロボツトの上部
ケーシング２２の先端部に固定された筒状体２４
に保持されたボールスプラインナツト１４と係合
するスプライン軸１２を具備している。このスプ
ライン軸１２のスプラインナツト１４を経由して
クリーンルームに突出した部分は蛇腹１０により
囲繞されている。蛇腹１０の両端は夫々ボールス
プラインナツト１４の端面とスプライン軸１２の
端面カバー部材２６とに固定されており、後述の
取り付け構造により蛇腹内の空気を外部（クリー
ンルーム）に放出しない構造になつている。スプ
ライン軸１２とボールスプラインナツト１４との
摺動部にはグリースが塗られており、蛇腹１０は
このグリースがクリーンルーム内に蒸発すること
を防止すると共にロボツトの上部ケーシング２２
内の塵埃を含んだ空気がクリーンルームに放出さ
れることも防止している。更には、この蛇腹１０
はスプライン軸１２を保護する役目も果たしてい
る。 Referring to FIG. 1 for a detailed explanation of the robot structure according to the present invention, the clean room robot has a forward and backward arm 8 that can move forward and backward in the forward and backward direction. This reciprocating arm 8 is a cylindrical body 24 fixed to the tip of the upper casing 22 of the robot.
The spline shaft 12 is provided with a spline shaft 12 that engages with a ball spline nut 14 held in the shaft. A portion of the spline shaft 12 that protrudes into the clean room via the spline nut 14 is surrounded by a bellows 10. Both ends of the bellows 10 are fixed to the end face of the ball spline nut 14 and the end face cover member 26 of the spline shaft 12, respectively, and the mounting structure described below prevents air inside the bellows from being released to the outside (clean room). . The sliding part between the spline shaft 12 and the ball spline nut 14 is coated with grease, and the bellows 10 prevents this grease from evaporating into the clean room and also prevents the grease from evaporating into the upper casing 22 of the robot.
This also prevents the air containing dust from being released into the clean room. Furthermore, this bellows 10
also serves to protect the spline shaft 12.
上記の如く構成された進退腕８が駆動モータ
（図示せず）により駆動され、Ｘ方向に進退運動
を行なうと、蛇腹１０とスプライン軸１２外周と
により囲繞された空間内の空気が膨張、或いは圧
縮される。この膨張率、或いは圧縮率は大きく、
蛇腹の損傷の原因となると共に駆動モータに過大
な負荷が作用し、また進退腕８の滑らかな作動が
阻害される。以上の問題点を解決すべくスプライ
ン軸１２にはクリーンルームの外部からロボツト
内の空気を開放するためのロボツトの開放口３８
（第３図）と導通した空気通路を形成している。
スプライン軸１２の先端近くにスプライン軸１２
の径方向に設けた径方向孔１６と、スプライン軸
１２の軸方向全長に亘つて穿たれた軸方向孔１７
と、上部ケーシング内空間と、前記吸引口３８と
導通したロボツト本体孔２０とによつて空気通路
を形成している。従つて、進退腕８の進退運動に
際してロボツト内の塵埃、或いは油脂類を含んだ
空気がクリーンルームに放出されることはなく、
しかも圧縮空気は開放口３８を介して外部に開放
され、また進退腕８の前進運動に伴う負圧空気が
ロボツト本体内の大容量の空気により緩和される
ことにより進退腕８の滑らかな作動が可能とな
る。 When the forward and backward arm 8 configured as described above is driven by a drive motor (not shown) and moves forward and backward in the X direction, the air in the space surrounded by the bellows 10 and the outer periphery of the spline shaft 12 expands or Compressed. This expansion rate or compression rate is large,
This may cause damage to the bellows, an excessive load will be applied to the drive motor, and smooth operation of the reciprocating arm 8 will be inhibited. In order to solve the above problems, the spline shaft 12 has a robot opening 38 for releasing the air inside the robot from outside the clean room.
(Fig. 3) and forms an air passage that is electrically connected.
Spline shaft 12 near the tip of spline shaft 12
a radial hole 16 provided in the radial direction of the spline shaft 12 and an axial hole 17 bored over the entire axial length of the spline shaft 12.
An air passage is formed by the upper casing inner space and the robot body hole 20 which is in communication with the suction port 38. Therefore, when the advancing and retracting arm 8 moves back and forth, dust inside the robot or air containing oil and fats will not be released into the clean room.
Moreover, the compressed air is released to the outside through the opening 38, and the negative pressure air accompanying the forward motion of the arm 8 is relieved by the large volume of air inside the robot body, allowing the arm 8 to operate smoothly. It becomes possible.
一方、第２図を参照して蛇腹１０の取り付け構
造を簡単に説明する。蛇腹１０の端部は環状の鉄
板３０に接着されており、この蛇腹付き鉄板３０
は環状のガスケツト３２を介してボルト３４によ
り前述の端面カバー部材２６（及びボールスプラ
インナツト１４の端面）に固定されている。蛇腹
１０はこうした取り付け構造となつているためそ
の内部空間は外部（クリーンルーム）とは完全に
遮断されている。 On the other hand, the attachment structure of the bellows 10 will be briefly explained with reference to FIG. The end of the bellows 10 is glued to an annular iron plate 30, and this iron plate 30 with bellows
is fixed to the aforementioned end face cover member 26 (and the end face of the ball spline nut 14) by bolts 34 via an annular gasket 32. Since the bellows 10 has such a mounting structure, its internal space is completely isolated from the outside (clean room).
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、蛇腹を装備しているのでロボツトが腕を進退
させることによつてクリーンルームにそのロボツ
ト内部の空気を放出することはなく、しかも進退
腕の進退運動に際して蛇腹内部の空間が大きな圧
力変動を生ずることのないよう進退腕のクリーン
ルーム内部への突出腕部における蛇腹で囲繞され
た外周の密閉領域を、同突出腕に形成した径方向
孔、進退腕内の軸方向孔、ロボツト本体の内部空
間を経由した同ロボツト本体に形成した開放口へ
常時、連通させた空気の逃げ通路を有しているた
め蛇腹が損傷することがなく、更には駆動モータ
に過大な負荷を作用させることもなく、進退腕を
滑らかに駆動することの可能なクリーンルーム用
ロボツト構造を提供することが可能となる。
As is clear from the above explanation, according to the present invention, since the robot is equipped with a bellows, the air inside the robot is not released into the clean room by moving the robot's arm forward and backward, and moreover, the air inside the robot is not released into the clean room when the robot moves its arm forward and backward. In order to prevent large pressure fluctuations in the space inside the bellows during forward and backward movement, a radial hole formed in the projecting arm and a closed area on the outer periphery of the projecting arm into the clean room are surrounded by the bellows. The axial hole in the arm has an air escape path that is always in communication with the opening formed in the robot body via the internal space of the robot body, so the bellows will not be damaged and the drive It is possible to provide a clean room robot structure that can smoothly drive the forward and backward arms without applying an excessive load to the motor.
第１図はクリーンルーム用ロボツトの一部破断
の上面図、第２図は一部破断の蛇腹の取付構造
図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見たクリー
ンルーム用ロボツトの側面図。
８…進退腕、１０…蛇腹、１２…スプライン
軸、１４…ボールスプラインナツト、１６…径方
向孔、１７…軸方向孔、２０…ロボツト本体孔、
３０…鉄板、３２…ガスケツト、３８…開放口。
1 is a partially broken top view of the clean room robot, FIG. 2 is a partially broken view of the bellows attachment structure, and FIG. 3 is a side view of the clean room robot seen from the direction of arrow A in FIG. 8... Retractable arm, 10... Bellows, 12... Spline shaft, 14... Ball spline nut, 16... Radial hole, 17... Axial hole, 20... Robot body hole,
30... Iron plate, 32... Gasket, 38... Open port.
Claims (1)
ング２２，２４に対して進退動作する進退腕８を
備え、クリーンルームにおいて使用されるクリー
ンルーム用ロボツトにおいて、 前記進退腕８の前記クリーンルーム内に突出し
た腕部分の外周部を密閉状態に囲繞する蛇腹１０
と、 前記クリーンルームの外部と連通可能に前記ロ
ボツト本体に形成した開放口３８と、 前記ロボツト本体に予め設けた開放口３８と該
ロボツト本体の内部空間を介して連通されるよう
に前記進退腕８の内部に形成された軸方向孔１７
からなる空気通路手段と、 前記進退腕８の前記クリーンルーム内に突出し
た腕部分の壁に貫通状に穿設され、前記軸方向孔
１７と前記蛇腹１０で囲繞された密閉領域とを連
通させる径方向孔１６とを、 具備し、前記蛇腹８で囲繞された密閉領域が前記
進退腕８の前記径方向孔１６、前記軸方向孔１
７、前記ロボツト本体の内部空間を介して前記開
放口３８に常時、連通され以て前記進退腕の進退
動作に伴う前記蛇腹内部の空気圧変動が防止され
るようにしたことを特徴とするクリーンルーム用
ロボツト。[Scope of Claims] 1. A clean room robot used in a clean room, which is equipped with a reciprocating arm 8 that moves forward and backward relative to upper casings 22 and 24 provided at the top of a robot main body, wherein the reciprocating arm 8 moves in the clean room. A bellows 10 sealingly surrounds the outer periphery of the arm portion protruding from the
an opening 38 formed in the robot body so as to be able to communicate with the outside of the clean room; and the reciprocating arm 8 communicating with the opening 38 previously provided in the robot body through the internal space of the robot body. an axial hole 17 formed inside the
an air passage means formed of: a diameter that is perforated through the wall of the arm portion of the reciprocating arm 8 that protrudes into the clean room and communicates between the axial hole 17 and the sealed area surrounded by the bellows 10; A directional hole 16 is provided, and a sealed area surrounded by the bellows 8 includes the radial hole 16 of the reciprocating arm 8 and the axial hole 1.
7. For use in a clean room, the robot body is always communicated with the opening 38 through the internal space of the robot main body, thereby preventing fluctuations in air pressure inside the bellows due to the forward and backward movements of the forward and backward arms. Robot.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918886A JPS62297086A (en) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Robot structure for clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918886A JPS62297086A (en) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Robot structure for clean room |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297086A JPS62297086A (en) | 1987-12-24 |
| JPH0443757B2 true JPH0443757B2 (en) | 1992-07-17 |
Family
ID=15239604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13918886A Granted JPS62297086A (en) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Robot structure for clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297086A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1036794A1 (en) * | 2008-04-25 | 2009-10-27 | Asml Netherlands Bv | Robot for in-vacuum use. |
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| JPS5924292B2 (en) * | 1976-10-15 | 1984-06-08 | カヤバ工業株式会社 | Vehicle height adjustable shock absorber |
| JPS6133891A (en) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | Industrial robot |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5629353U (en) * | 1979-08-13 | 1981-03-19 | ||
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-
1986
- 1986-06-17 JP JP13918886A patent/JPS62297086A/en active Granted
Patent Citations (3)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62297086A (en) | 1987-12-24 |
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