JPS62130191A - Dustproof device of robot for clean room - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分骨さ 本発明は、作業用ロボットに関するものであり、塵埃は
おろか空気すら清浄に保つ必要のある例えば半導体工場
の如きクリーンルームで用いるロボ、トに関するもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Applications> The present invention relates to a working robot, and relates to a robot used in a clean room such as a semiconductor factory, where not only dust but also air must be kept clean. It is something.

〈従来の技術〉 クリーンルーム用のロボットは、通常ポンプ等によりロ
ボット内部を負圧にして機械汚染されているロボット内
部の空気が外部に流れることを防いでいる。<Prior Art> Clean room robots usually use a pump or the like to create a negative pressure inside the robot to prevent mechanically contaminated air inside the robot from flowing outside.

従来のクリーンルームで用いる昇降動作ロボットは、例
えば第２図に示す如く昇降運動を行なう上部１はカバー
１′で被覆し、基部２はカバー２′で被覆し、昇降軸部
３はその軸の伸長状態にジャバラ４をセットすることに
より被發する。そしてロボット全体な外界から被覆し、
該カバ一体の一部、例えば基部２′とポン１２間に吸引
パイプを接続して、ロボット内部の体積減少量を隙間か
らクリーンルーム内に吹き出すことがないように吸引１
アＬｓス一石１アＭ　、Ｉ／、−１−／７’％　壱ｐＺ
　　Ｌ−１→ＰＡＩＮよぜ宮在するが、ロボットのカバ
ー内へ外気が常時流入する状態に維持して、カバー内の
ロボットの埃等が外部に出ないようにしている。In a conventional lifting robot used in a clean room, for example, as shown in FIG. It is exposed by setting the bellows 4 in the state. Then, the entire robot is shielded from the outside world,
A suction pipe is connected between a part of the cover, for example, the base 2' and the pump 12, to prevent the reduced volume inside the robot from being blown out into the clean room through the gap.
A Ls one stone 1 A M, I/, -1-/7'% 1 pZ
L-1→PAIN Although there is a problem, outside air is always allowed to flow into the robot cover to prevent dust from the robot inside the cover from coming out.

〈発明が解決しようとする問題点〉 昇降動作するロボットに於て、上部１が下降運動する時
にはカバー内体積が減少するので、若し高速下降の瞬間
はポンプｇ＆ダ「量を越した体積変化を生じてロボット
内部の汚れた空気をカバー隙間から外部に瞬間的に吹き
出している。また蛇腹は布を合成樹脂等で非通気性に加
工した物であり、蛇腹の屈伸運動により蛇腹自体から埃
や噴気等、作業上好ましくないものを発生する。またク
リーンルーム作業場は上方から下方へ空気を層流にして
いるのであるが、蛇腹の急激な屈伸運動が空気流を乱す
好ましくない現象も派生している。<Problem to be solved by the invention> In a robot that moves up and down, when the upper part 1 moves downward, the volume inside the cover decreases, so at the moment of high-speed descent, the volume change exceeding the amount of pump G & D occurs. This causes the dirty air inside the robot to be instantly blown out from the cover gap to the outside.Also, the bellows is made of fabric treated with synthetic resin to make it non-breathable, and the bending and stretching movement of the bellows releases dust from the bellows itself. In addition, clean room workplaces create a laminar flow of air from above to below, but the sudden bending and stretching movements of the bellows can also cause undesirable effects such as disturbing the air flow. There is.

く問題点を解決するための手段さ 本発明は伸縮する昇降軸部に於て内側カバーとして蛇腹
を適用し、蛇腹カバーの外側を更に外カバーでおおい、
ロボットの上部カバー、基部カバー及び蛇腹カバーで形
成される内部を吸引パイプにより吸引すると共に、蛇腹
と外側カバーとで形成されるスペースを第２吸グ１パイ
プで吸り１して前述の如き従来装置の有していた問題点
を解決するものである。The present invention employs a bellows as an inner cover in an extensible lifting shaft, and further covers the outside of the bellows cover with an outer cover.
The interior formed by the upper cover, base cover, and bellows cover of the robot is sucked by a suction pipe, and the space formed by the bellows and outer cover is sucked by a second suction pipe 1. This solves the problems that the device had.

く作用〉 昇降軸部のカバーを蛇腹と外側カバーとの２層としたの
で、ａボ、トの急速下降動によるカバー圧となって′、
蛇腹から内部空気が漏れるが、蛇腹外側の小スペースも
第２吸引パイプで負圧になっているので、究極的にロボ
ット内部の空気は外側の作業環境下に流出することはな
い。またロボ。Since the cover of the lifting shaft is made of two layers, the bellows and the outer cover, the cover pressure due to the rapid downward movement of a and g is
Internal air leaks from the bellows, but since the small space outside the bellows is also under negative pressure with the second suction pipe, the air inside the robot ultimately does not leak into the outside working environment. Robo again.

トの上下運動によって蛇腹の素材自体から生ずるちり等
も外側の作業環境下に放散されることがない。Dust generated from the material of the bellows itself due to the vertical movement of the bellows is not scattered into the outside working environment.

〈実施例〉 第１図に於て、１はロボットの上部であり、基部２に対
して伸縮軸部３を介して上下動及び回動可能に支承され
ている。１′は上部カバーであり、駆動部や関節部等を
空密的被覆してごみちりを放散しないようにしている。<Embodiment> In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an upper part of the robot, which is supported by a base 2 via a telescopic shaft part 3 so as to be vertically movable and rotatable. Reference numeral 1' denotes an upper cover, which air-tightly covers the drive section, joints, etc. to prevent dust from dispersing.

２はロボット基部であって動力源はじめ種々の機械要素
を含んでおり、カバー２′により空密的に被覆されてい
る。３は昇降軸部でありジャバラ４によって略空密的に
カバーされている。５はジャバラを更に略空密的に被覆
した外カバーである。６は口金６′によって基部カバー
２′に連通した吸引パイプであり、７は口金７′によっ
て外側カバー５の基部固定片に連通した第２吸引パイプ
である。図から吸引バイブロと第２吸引バイブ７とは共
に１つのポンプＰに接続しているが、別々の吸引手段に
接続しても良い。図示してないが、作業腕が種々の必要
操作を行なう為に上部カバー１から突出して設けられて
いる。Reference numeral 2 denotes a robot base, which includes various mechanical elements including a power source, and is airtightly covered by a cover 2'. Reference numeral 3 denotes an elevating shaft portion, which is covered by a bellows 4 in a substantially air-tight manner. 5 is an outer cover that further covers the bellows in a substantially airtight manner. 6 is a suction pipe that communicates with the base cover 2' through a base 6', and 7 is a second suction pipe that communicates with the base fixing piece of the outer cover 5 through a base 7'. Although the drawing shows that both the suction vibro and the second suction vibrator 7 are connected to one pump P, they may be connected to separate suction means. Although not shown, a working arm is provided to protrude from the upper cover 1 in order to perform various necessary operations.

蛇腹４はナイロン布に合成樹脂を塗布したナイロンター
ポリンの円筒であり、ロボットの最伸長状胛で昇降軸部
にセ、トシた。同じく外カバー５もロボットの最伸長状
態でも、基部カバー１′に取付けた外側筒が基部カバー
２′に取付けた内側筒に＠ｒｈ秤礒（屈スト＾ｌ−Ｑ／
％Ｍ個控し由矩杭し講９豐滑に摺動する関係に形成した
。The bellows 4 is a cylinder made of nylon tarpaulin made of nylon cloth coated with synthetic resin, and is attached to the lifting shaft by the robot's most extended arm. Similarly, even when the outer cover 5 is in the most extended state of the robot, the outer cylinder attached to the base cover 1' is attached to the inner cylinder attached to the base cover 2'.
%M rectangular piles were formed so that they could slide smoothly.

運転時には、吸引バイブロ及び第２吸引パイプ７が常時
内部空気を吸引しており、蛇腹内側は負圧に維持され、
カバーの隙間から外側空気が内側に吸引される状態にあ
る。又蛇腹４と外側カバー５との間の空間は小さいスペ
ースであるが蛇腹向よりも強く吸ぢＴしており、外側カ
バー５の両筒間の隙間Ｇから外気を吸引している。ロボ
ットの作業腕が下方に移動する場合はロボット上部１は
下降し、この場合昇降軸部が短かくなり、結局蛇腹内の
体積が減少するが、若し体積減少が吸引ダクト６の吸引
量を上まわる間は蛇腹内は正圧になり、内部空気の流出
量の大部分は外側カバー５内へ吹き出す。外側カバー５
内はかなりの負正に吸ＷＩＬでいるのでロボット内部の
汚染空気が例え蛇腹の外側に流出しても、又蛇腹の屈伸
作用によって蛇腹本体から埃や噴気が放散しても、クリ
ーンリームの作業雰囲気中に流出することは避けられる
。During operation, the suction vibro and the second suction pipe 7 constantly suck internal air, and the inside of the bellows is maintained at negative pressure.
Air from the outside is sucked inward through the gap in the cover. Although the space between the bellows 4 and the outer cover 5 is a small space, it sucks in air more strongly than in the direction of the bellows, and outside air is sucked through the gap G between the two cylinders of the outer cover 5. When the working arm of the robot moves downward, the upper part 1 of the robot lowers, and in this case, the lifting shaft becomes shorter, and the volume inside the bellows eventually decreases. While the bellows rotates upward, a positive pressure is created inside the bellows, and most of the internal air is blown out into the outer cover 5. Outer cover 5
Since the inside of the robot has a strong negative and positive suction WIL, even if the contaminated air inside the robot leaks out to the outside of the bellows, or even if dust or fumes are released from the bellows body due to the bending action of the bellows, clean ream work will not be possible. Spillage into the atmosphere is avoided.

〈発明の効果〉 蛇腹内部と蛇腹外部とに分割してロボ、ト内部空気を吸
引するので大容量の蛇腹内部は強く吸引する必要がなく
、強く吸引する外側カバーと蛇腹との間の体積は少ない
ので省エネルギー効果が達成出来た。蛇腹自体の可撓性
のため、ロボット内部の体積の急速減少時にも圧力衝撃
を和らげることが出来た。蛇腹の屈伸作用と振動作用と
により派生する埃や空気乱流も、外側カバーにより作業
雰囲気に悪影響を及ばずことが防止された。<Effects of the invention> Since the air inside the robot and the robot is divided into the inside of the bellows and the outside of the bellows, there is no need to strongly suck the inside of the large-capacity bellows, and the volume between the outer cover and the bellows, which is strongly sucked, is Because the amount is small, energy saving effect can be achieved. Due to the flexibility of the bellows itself, it was possible to soften the pressure shock even when the volume inside the robot rapidly decreased. The outer cover prevents dust and air turbulence caused by the bending/stretching action and vibration action of the bellows from adversely affecting the working atmosphere.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、本発明装置の略示正面図。 第２図は、従来装置の略示正面図。 １；上部、１′；上部カバー、２；基部、２′；基部カ
バー、３；昇降軸部、４；蛇腹、５；外カバー、６；吸
引ダクト、７；第２吸引ダクト、Ｇ；外カバー隙間、Ｐ
；ポンプ。 第１図 １・・・上部　　　　　　２・・・基部３・・・昇降軸
部　　　　　４１２．ジャ２．。 ５・・・外カバー　　　　　　６・・・吸引パイプ７・
・・第２吸引パイプ １′ 第２図FIG. 1 is a schematic front view of the device of the present invention. FIG. 2 is a schematic front view of a conventional device. 1; Upper part, 1'; Upper cover, 2; Base part, 2'; Base cover, 3; Lifting shaft part, 4; Bellows, 5; Outer cover, 6; Suction duct, 7; Second suction duct, G; Outside Cover gap, P
;pump. Fig. 1 1... Upper part 2... Base part 3... Lifting shaft part 412. Ja2. . 5... Outer cover 6... Suction pipe 7.
...Second suction pipe 1' Fig. 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、作業用ロボットの上部（１）に上部カバー（１′）
を、基部（２）に基部カバー（２′）を、昇降軸部（３
）に蛇腹（４）を施してロボット全体を略空密状態にカ
バーし、昇降軸部（３）の蛇腹（４）の外側に少許空間
を介して更に外カバーを配設し、蛇腹内側に連通する空
間を吸引ダクト（６）で、且つ外側カバー（５）と蛇腹
（４）間の空間を第２吸引ダクト（７）で吸引すること
を特徴としたクリーンルーム用ロボットの防塵装置。 ２、蛇腹内側に連通するロボット内部を負圧に吸引し、
蛇腹（４）と外カバー（５）間の空間を該ロボット内部
より一層負圧に吸引する特許請求の範囲第４項に記載の
装置。 ３、吸引ダクト（６）の吸引能力がロボット内部体積の
急速減少量と均合っている特許請求の範囲第１項に記載
の装置。[Claims] 1. An upper cover (1') on the upper part (1) of the working robot.
, attach the base cover (2') to the base (2), and attach the lifting shaft (3) to the base (2).
) is provided with a bellows (4) to cover the entire robot in an almost air-tight state, and an outer cover is further placed outside the bellows (4) of the lifting shaft (3) with a small space between the bellows (4) and the inside of the bellows. A dustproof device for a clean room robot, characterized in that a communicating space is suctioned by a suction duct (6), and a space between an outer cover (5) and a bellows (4) is suctioned by a second suction duct (7). 2. Suction the inside of the robot, which communicates with the inside of the bellows, to negative pressure,
5. The device according to claim 4, which sucks the space between the bellows (4) and the outer cover (5) to a more negative pressure than the inside of the robot. 3. The device according to claim 1, wherein the suction capacity of the suction duct (6) is balanced with the rapid reduction of the internal volume of the robot.