JPH0440460A - 露光装置の検査方法 - Google Patents
露光装置の検査方法Info
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- JPH0440460A JPH0440460A JP2148373A JP14837390A JPH0440460A JP H0440460 A JPH0440460 A JP H0440460A JP 2148373 A JP2148373 A JP 2148373A JP 14837390 A JP14837390 A JP 14837390A JP H0440460 A JPH0440460 A JP H0440460A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 10
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 abstract description 9
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、例えばプリント配線板などの基板を露光する
露光装置の検査方法に関する。
露光装置の検査方法に関する。
(従来の技術)
従来から、例えば露光装置を用いてプリント配線基板を
製造することが知られている。この露光装置は、透光性
のあるアクリル板に投影パターンを有するパターンフィ
ルムを固定し、このパターンフィルム上に感光性のある
基板を固定し、アクリル板の下方から紫外線照射型のラ
ンプを発光させ、アクリル板及びパターンフィルムを介
して紫外光を基板に照射することによって基板にパター
ンフィルムの回路パターンを投影感光させるようになっ
ている。
製造することが知られている。この露光装置は、透光性
のあるアクリル板に投影パターンを有するパターンフィ
ルムを固定し、このパターンフィルム上に感光性のある
基板を固定し、アクリル板の下方から紫外線照射型のラ
ンプを発光させ、アクリル板及びパターンフィルムを介
して紫外光を基板に照射することによって基板にパター
ンフィルムの回路パターンを投影感光させるようになっ
ている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような露光装置では、事前にパター
ンフィルムの回路パターンに微小な塵埃が付着したり、
回路パターンが断線していることを検査して不良なパタ
ーンフィルムを排除しているが、露光工程中になんらか
の原因により検査後のパターンフィルム上に断線や塵埃
の付着が生ずる場合がある。
ンフィルムの回路パターンに微小な塵埃が付着したり、
回路パターンが断線していることを検査して不良なパタ
ーンフィルムを排除しているが、露光工程中になんらか
の原因により検査後のパターンフィルム上に断線や塵埃
の付着が生ずる場合がある。
そこで、露光装置により製造された基板をランダムにサ
ンプリングして露光された基板の検査を行なっているが
、露光後の化学的処理工程に略20分〜30分の時間を
要すると共に、基板に起因する断線現象であるのか、パ
ターンフィルムに起因する断線現象であるのかを定める
相当数の基板を露光する必要があるので、その間露光装
置の運転を停止しなければならないと共に、無駄な基板
が多数製造されるという問題があった。
ンプリングして露光された基板の検査を行なっているが
、露光後の化学的処理工程に略20分〜30分の時間を
要すると共に、基板に起因する断線現象であるのか、パ
ターンフィルムに起因する断線現象であるのかを定める
相当数の基板を露光する必要があるので、その間露光装
置の運転を停止しなければならないと共に、無駄な基板
が多数製造されるという問題があった。
(課題を解決するための手段)
本発明にかかる露光装置の検査方法は、かかる課題を解
消するべくなされたものであり、露光装置の運転効率を
向上させると共に、不良のない基板の製造効率を向上さ
せることを目的とする。
消するべくなされたものであり、露光装置の運転効率を
向上させると共に、不良のない基板の製造効率を向上さ
せることを目的とする。
かかる目的を達成するために、本発明にかかる露光装置
の検査方法は、 投影パターンを有すると共に透光性を有する投影部材の
一面側に、紫外線照射型の発光手段を臨ませるとともに
、前記投影部材の他面側に基板を配設し、前記発光手段
を発光させて前記基板に前記投影部材の投影パターンを
感光させる露光装置の検査方法において、 前記基板を前記投影部材の他面側に位置させる前に、前
記投影部材の他面側に紫外線に対して感光性のあるチェ
ックシートを配設し、前記発光手段を発光させて前記チ
ェックシートを露光させ、この露光済みのチェックシー
トの露光状態を検査して前記投影部材の投影パターンを
判定することを特徴とする。
の検査方法は、 投影パターンを有すると共に透光性を有する投影部材の
一面側に、紫外線照射型の発光手段を臨ませるとともに
、前記投影部材の他面側に基板を配設し、前記発光手段
を発光させて前記基板に前記投影部材の投影パターンを
感光させる露光装置の検査方法において、 前記基板を前記投影部材の他面側に位置させる前に、前
記投影部材の他面側に紫外線に対して感光性のあるチェ
ックシートを配設し、前記発光手段を発光させて前記チ
ェックシートを露光させ、この露光済みのチェックシー
トの露光状態を検査して前記投影部材の投影パターンを
判定することを特徴とする。
(作 用)
本発明にかかる露光装置の検査方法によれば、発光手段
の発光によりチェックシートが感光するので、チェック
シートの検査により投影部材の投影パターンを直ちに検
査が出来る。
の発光によりチェックシートが感光するので、チェック
シートの検査により投影部材の投影パターンを直ちに検
査が出来る。
(実施例)
以下、本発明の実施例にかかる露光装置の検査方法につ
いて図面を参照にしつつ説明する。
いて図面を参照にしつつ説明する。
第1図は本実施例にかかる露光装置を示したものであり
、1は露光装置、2は基板、3は投影部材としてのパタ
ーンフィルム、4は基板2を積層するプリアライメント
ユニット、5は基板2を搬送するトラバーサユニット、
6はパターンフィルム3に対する基板2の位置合わせを
行なうアライメントユニット、7はパターンフィルム3
を固定して基板2に投影パターンを露光するための露光
ユニット、8は露光済みの基板2を収納する収納ユニッ
トである。
、1は露光装置、2は基板、3は投影部材としてのパタ
ーンフィルム、4は基板2を積層するプリアライメント
ユニット、5は基板2を搬送するトラバーサユニット、
6はパターンフィルム3に対する基板2の位置合わせを
行なうアライメントユニット、7はパターンフィルム3
を固定して基板2に投影パターンを露光するための露光
ユニット、8は露光済みの基板2を収納する収納ユニッ
トである。
第2図、第3図に示すように、基板2には、バタンフィ
ルム3に位置合わせするための一対のターゲットマーク
2a、2aが設けられており、パターンフィルム3には
この一対のターゲットマーク2.a、2aを位置させる
ための基準指標としてのアライメントマーク3a、3a
が設けられている。
ルム3に位置合わせするための一対のターゲットマーク
2a、2aが設けられており、パターンフィルム3には
この一対のターゲットマーク2.a、2aを位置させる
ための基準指標としてのアライメントマーク3a、3a
が設けられている。
トラバーサユニット5は、プリアライメントユニット4
から基板2を枚葉毎に吸引して取出、アライメントユニ
ット6、露光ユニット7及び収納ユニット8側に向かっ
て往復動するように駆動され、吸着部本体9と、吸着ア
ーム部10.11を有している。トラバーサユニット5
は、駆動制御装置12によって水平方向並びに上下方向
に駆動制御される。トラバーサユニット5を水平方向並
びに上下方向に駆動する駆動機構は図示省略している。
から基板2を枚葉毎に吸引して取出、アライメントユニ
ット6、露光ユニット7及び収納ユニット8側に向かっ
て往復動するように駆動され、吸着部本体9と、吸着ア
ーム部10.11を有している。トラバーサユニット5
は、駆動制御装置12によって水平方向並びに上下方向
に駆動制御される。トラバーサユニット5を水平方向並
びに上下方向に駆動する駆動機構は図示省略している。
又、トラバーサユニット5の空気の吸引装置も同様に図
示を省略している。トラバーサユニット5の水平方向及
び上下方向の駆動並びに空気の吸引制御は駆動制御装置
12の制御に基づいて行なわれる。
示を省略している。トラバーサユニット5の水平方向及
び上下方向の駆動並びに空気の吸引制御は駆動制御装置
12の制御に基づいて行なわれる。
アライメントユニット6は、基板2の位置決めのための
テーブル13を有しており、このテーブル13の下方一
対のCCDカメラ14.14が配設され、テーブル13
にはパターンフィルム3のアライメントマーク3a 3
aを観察する開口部13a、 13aが形成されている
。テーブル13には、先ずパターンフィルム3が先ず搬
入されてアライメントマーク3a、3aが一対のCCD
カメラ14.14により観察される。一対のCCDカメ
ラIll 、 14には、アライメントマーク3a 、
3aの位置を観察して記憶する第1の記憶手段15と
、後述する基板2がテーブル13に搬送された時に基板
2のターゲットマーク2a、2aを記憶する第2の記憶
手段16とが接続されている。第1の記憶手段15と第
2の記憶手段16には、第1の演算手段17が接続され
ており、第1の演算手段17では、第1の記憶手段15
にて記憶されたアライメントマーク3a、3aの記憶デ
ータと、第2の記憶手段16にて記憶されているターゲ
ットマーク2a 、 2aの記憶データとを比較して、
アライメントマーク3a、3aに対するターゲットマー
ク2a2aの位置ずれ量をチーフル3を移動させるため
の第1の補正データとして算出する。第1の演算手段1
7には、チーフル13の支持ロッド13bをX、Y、
θ方向に駆動する駆動制御手段18が接続されており
、第1の演算手段17にて算出された第1の補正データ
は、この駆動制御手段18に送信されてテーブル13を
移動させる。
テーブル13を有しており、このテーブル13の下方一
対のCCDカメラ14.14が配設され、テーブル13
にはパターンフィルム3のアライメントマーク3a 3
aを観察する開口部13a、 13aが形成されている
。テーブル13には、先ずパターンフィルム3が先ず搬
入されてアライメントマーク3a、3aが一対のCCD
カメラ14.14により観察される。一対のCCDカメ
ラIll 、 14には、アライメントマーク3a 、
3aの位置を観察して記憶する第1の記憶手段15と
、後述する基板2がテーブル13に搬送された時に基板
2のターゲットマーク2a、2aを記憶する第2の記憶
手段16とが接続されている。第1の記憶手段15と第
2の記憶手段16には、第1の演算手段17が接続され
ており、第1の演算手段17では、第1の記憶手段15
にて記憶されたアライメントマーク3a、3aの記憶デ
ータと、第2の記憶手段16にて記憶されているターゲ
ットマーク2a 、 2aの記憶データとを比較して、
アライメントマーク3a、3aに対するターゲットマー
ク2a2aの位置ずれ量をチーフル3を移動させるため
の第1の補正データとして算出する。第1の演算手段1
7には、チーフル13の支持ロッド13bをX、Y、
θ方向に駆動する駆動制御手段18が接続されており
、第1の演算手段17にて算出された第1の補正データ
は、この駆動制御手段18に送信されてテーブル13を
移動させる。
露光ユニット7は、トラバーサユニット5によって搬送
されるパターンフィルム3を固定する透光性のあるアク
リル板19と、発光手段としての紫外線照射型の水銀ラ
ンプ20と、水銀ランプ20の光をアクリル板19側に
集光するミラー2】とを備えている。
されるパターンフィルム3を固定する透光性のあるアク
リル板19と、発光手段としての紫外線照射型の水銀ラ
ンプ20と、水銀ランプ20の光をアクリル板19側に
集光するミラー2】とを備えている。
水銀ランプ20から照射された紫外光は、アクリル板1
9及びパターンフィルム3を介して基板2に照射される
ようになっており、水銀ランプ20の発光により基板2
にパターンフィルム30投影パターンが投影される。
9及びパターンフィルム3を介して基板2に照射される
ようになっており、水銀ランプ20の発光により基板2
にパターンフィルム30投影パターンが投影される。
本実施例の露光装置1は次のような検査方法によって検
査する。
査する。
先ず、トラバーサユニット5により、プリアライメント
ユニット4からパターンフィルム3を取出してアライメ
ントユニット6のチーフル13上に搬送する。テーブル
13にパターンフィルム3を搬送したら、一対のCCD
カメラ14.14によりアライメントマーク3a、3a
が観察される。このアライメントマーク3a 3aの観
察データは第1の記憶手段15に記憶される。第1の記
憶手段15にアライメントマーク3a、3aの観察デー
タが記憶された後に、トラバーサユニット5がパターン
フィルム3を露光ユニット7のアクリル板19に搬送す
る。
ユニット4からパターンフィルム3を取出してアライメ
ントユニット6のチーフル13上に搬送する。テーブル
13にパターンフィルム3を搬送したら、一対のCCD
カメラ14.14によりアライメントマーク3a、3a
が観察される。このアライメントマーク3a 3aの観
察データは第1の記憶手段15に記憶される。第1の記
憶手段15にアライメントマーク3a、3aの観察デー
タが記憶された後に、トラバーサユニット5がパターン
フィルム3を露光ユニット7のアクリル板19に搬送す
る。
パターンフィルム3を搬出した復に、トラバーサユニッ
ト5によって直接露光ユニット7のアクリル板19上に
紫外線感光型のチェックシート22を搬入する。このチ
ェックシート22は、紫外線波長域に感度を有し、紫外
線の照射エネルギー量によって発色濃度が変化するもの
で、色変化は不可逆性のものとされ、再度の光照射によ
り紫外線量を積算出来るものである。アクリル板19上
にはパターンフィルム3の上にチェックシート22が箔
載された状態となる。この状態で水銀ランプ20を一時
的に発光させると、チェックシート22にパターンフィ
ルム3の投影パターンが投影され、チェックシート22
が感光される。水銀ランプ20の発光後、チェックシー
ト22を取出して図示しない回路検査装置若しくは拡大
レンズ光学系を用いてチェックシート22」二に感光さ
れた回路パターンを検査すると、パターンフィルム3の
投影パターンをチエツクできる。
ト5によって直接露光ユニット7のアクリル板19上に
紫外線感光型のチェックシート22を搬入する。このチ
ェックシート22は、紫外線波長域に感度を有し、紫外
線の照射エネルギー量によって発色濃度が変化するもの
で、色変化は不可逆性のものとされ、再度の光照射によ
り紫外線量を積算出来るものである。アクリル板19上
にはパターンフィルム3の上にチェックシート22が箔
載された状態となる。この状態で水銀ランプ20を一時
的に発光させると、チェックシート22にパターンフィ
ルム3の投影パターンが投影され、チェックシート22
が感光される。水銀ランプ20の発光後、チェックシー
ト22を取出して図示しない回路検査装置若しくは拡大
レンズ光学系を用いてチェックシート22」二に感光さ
れた回路パターンを検査すると、パターンフィルム3の
投影パターンをチエツクできる。
投影パターンのチエツクにおいて投影パターンに異常が
あれば、パターンフィルム3をアクリル板19から剥離
して新たなパターンフィルム3をアクリル板19上にセ
ットする。この新たなパターンフィルム3を再度前述の
如く検査して清浄なものであると判定できたら、トラバ
ーサユニット5を駆動させて基板2をテーブル13の上
に搬送する。テーブル13に基板2を搬送したら、CC
Dカメラ14.14により基板2のターゲットマーク2
a、2aを観察し、第2の記憶手段16によりこのター
ゲットマーク2a、2aの位置データを記憶して、第1
の演算手段17によりアライメントマーク3a、3aに
対するターゲットマーク2a2aの位置ずれ量を算出す
る。第1の演算手段17により算出されたx、 y、
θ方向のずれ量は第1の補正データとしてテーブル
13の駆動制御手段18に送信され、テーブル13は位
置ずれ相当量移動し、パターンフィルム3に対する基板
2のずれが解消される。
あれば、パターンフィルム3をアクリル板19から剥離
して新たなパターンフィルム3をアクリル板19上にセ
ットする。この新たなパターンフィルム3を再度前述の
如く検査して清浄なものであると判定できたら、トラバ
ーサユニット5を駆動させて基板2をテーブル13の上
に搬送する。テーブル13に基板2を搬送したら、CC
Dカメラ14.14により基板2のターゲットマーク2
a、2aを観察し、第2の記憶手段16によりこのター
ゲットマーク2a、2aの位置データを記憶して、第1
の演算手段17によりアライメントマーク3a、3aに
対するターゲットマーク2a2aの位置ずれ量を算出す
る。第1の演算手段17により算出されたx、 y、
θ方向のずれ量は第1の補正データとしてテーブル
13の駆動制御手段18に送信され、テーブル13は位
置ずれ相当量移動し、パターンフィルム3に対する基板
2のずれが解消される。
(発明の効果)
本発明にかかる露光装置の検査方法は、以上説明したよ
うに構成したので、基板を露光する前にチェックシート
に投影部材の投影パターンを露光し、露光済みのチェッ
クシートの投影パターンを検査するので、投影部材の検
査を迅速に行え、露光装置の効率的な運転を行なうこと
ができると共に、露光する基板の無駄を防止することが
出来る。
うに構成したので、基板を露光する前にチェックシート
に投影部材の投影パターンを露光し、露光済みのチェッ
クシートの投影パターンを検査するので、投影部材の検
査を迅速に行え、露光装置の効率的な運転を行なうこと
ができると共に、露光する基板の無駄を防止することが
出来る。
第1図は、本発明の実施例に用いる露光装置の概略的な
構成図である。 第2図は第1図の露光装置に用いるパターンフィルムの
説明図である。 第3図は第1図の露光装置により露光する基板の説明図
である。 1・・・露光装置、2・・・基板 3・・・パターンフィルム 5・・・トラバーサユニット 6・・・アライメントユニット 7・・・露光ユニット 13・・・テーブル、14・・・CCDカメラ19・・
・アクリル板 20・・・水銀ランプ 22・・・チェックシート
構成図である。 第2図は第1図の露光装置に用いるパターンフィルムの
説明図である。 第3図は第1図の露光装置により露光する基板の説明図
である。 1・・・露光装置、2・・・基板 3・・・パターンフィルム 5・・・トラバーサユニット 6・・・アライメントユニット 7・・・露光ユニット 13・・・テーブル、14・・・CCDカメラ19・・
・アクリル板 20・・・水銀ランプ 22・・・チェックシート
Claims (1)
- 投影パターンを有すると共に透光性を有する投影部材
の一面側に、紫外線照射型の発光手段を臨ませるととも
に、前記投影部材の他面側に基板を配設し、前記発光手
段を発光させて前記基板に前記投影部材の投影パターン
を感光させる露光装置の検査方法において、前記基板を
前記投影部材の他面側に位置させる前に、前記投影部材
の他面側に紫外線に対して感光性のあるチェックシート
を配設し、前記発光手段を発光させて前記チェックシー
トを露光させ、この露光済みのチェックシートの露光状
態を検査して前記投影部材の投影パターンを判定するこ
とを特徴とする露光装置の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2148373A JPH0440460A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 露光装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2148373A JPH0440460A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 露光装置の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0440460A true JPH0440460A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=15451312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2148373A Pending JPH0440460A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | 露光装置の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0440460A (ja) |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP2148373A patent/JPH0440460A/ja active Pending
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