JPH0440460A - 露光装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばプリント配線板などの基板を露光する
露光装置の検査方法に関する。

（従来の技術） 従来から、例えば露光装置を用いてプリント配線基板を
製造することが知られている。この露光装置は、透光性
のあるアクリル板に投影パターンを有するパターンフィ
ルムを固定し、このパターンフィルム上に感光性のある
基板を固定し、アクリル板の下方から紫外線照射型のラ
ンプを発光させ、アクリル板及びパターンフィルムを介
して紫外光を基板に照射することによって基板にパター
ンフィルムの回路パターンを投影感光させるようになっ
ている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このような露光装置では、事前にパター
ンフィルムの回路パターンに微小な塵埃が付着したり、
回路パターンが断線していることを検査して不良なパタ
ーンフィルムを排除しているが、露光工程中になんらか
の原因により検査後のパターンフィルム上に断線や塵埃
の付着が生ずる場合がある。

そこで、露光装置により製造された基板をランダムにサ
ンプリングして露光された基板の検査を行なっているが
、露光後の化学的処理工程に略２０分〜３０分の時間を
要すると共に、基板に起因する断線現象であるのか、パ
ターンフィルムに起因する断線現象であるのかを定める
相当数の基板を露光する必要があるので、その間露光装
置の運転を停止しなければならないと共に、無駄な基板
が多数製造されるという問題があった。

（課題を解決するための手段） 本発明にかかる露光装置の検査方法は、かかる課題を解
消するべくなされたものであり、露光装置の運転効率を
向上させると共に、不良のない基板の製造効率を向上さ
せることを目的とする。

かかる目的を達成するために、本発明にかかる露光装置
の検査方法は、 投影パターンを有すると共に透光性を有する投影部材の
一面側に、紫外線照射型の発光手段を臨ませるとともに
、前記投影部材の他面側に基板を配設し、前記発光手段
を発光させて前記基板に前記投影部材の投影パターンを
感光させる露光装置の検査方法において、 前記基板を前記投影部材の他面側に位置させる前に、前
記投影部材の他面側に紫外線に対して感光性のあるチェ
ックシートを配設し、前記発光手段を発光させて前記チ
ェックシートを露光させ、この露光済みのチェックシー
トの露光状態を検査して前記投影部材の投影パターンを
判定することを特徴とする。

（作　用） 本発明にかかる露光装置の検査方法によれば、発光手段
の発光によりチェックシートが感光するので、チェック
シートの検査により投影部材の投影パターンを直ちに検
査が出来る。

（実施例） 以下、本発明の実施例にかかる露光装置の検査方法につ
いて図面を参照にしつつ説明する。

第１図は本実施例にかかる露光装置を示したものであり
、１は露光装置、２は基板、３は投影部材としてのパタ
ーンフィルム、４は基板２を積層するプリアライメント
ユニット、５は基板２を搬送するトラバーサユニット、
６はパターンフィルム３に対する基板２の位置合わせを
行なうアライメントユニット、７はパターンフィルム３
を固定して基板２に投影パターンを露光するための露光
ユニット、８は露光済みの基板２を収納する収納ユニッ
トである。

第２図、第３図に示すように、基板２には、バタンフィ
ルム３に位置合わせするための一対のターゲットマーク
２ａ、２ａが設けられており、パターンフィルム３には
この一対のターゲットマーク２．ａ、２ａを位置させる
ための基準指標としてのアライメントマーク３ａ、３ａ
が設けられている。

トラバーサユニット５は、プリアライメントユニット４
から基板２を枚葉毎に吸引して取出、アライメントユニ
ット６、露光ユニット７及び収納ユニット８側に向かっ
て往復動するように駆動され、吸着部本体９と、吸着ア
ーム部１０．１１を有している。トラバーサユニット５
は、駆動制御装置１２によって水平方向並びに上下方向
に駆動制御される。トラバーサユニット５を水平方向並
びに上下方向に駆動する駆動機構は図示省略している。

又、トラバーサユニット５の空気の吸引装置も同様に図
示を省略している。トラバーサユニット５の水平方向及
び上下方向の駆動並びに空気の吸引制御は駆動制御装置
１２の制御に基づいて行なわれる。

アライメントユニット６は、基板２の位置決めのための
テーブル１３を有しており、このテーブル１３の下方一
対のＣＣＤカメラ１４．１４が配設され、テーブル１３
にはパターンフィルム３のアライメントマーク３ａ　３
ａを観察する開口部１３ａ、　１３ａが形成されている
。テーブル１３には、先ずパターンフィルム３が先ず搬
入されてアライメントマーク３ａ、３ａが一対のＣＣＤ
カメラ１４．１４により観察される。一対のＣＣＤカメ
ラＩｌｌ　、　１４には、アライメントマーク３ａ　、
　３ａの位置を観察して記憶する第１の記憶手段１５と
、後述する基板２がテーブル１３に搬送された時に基板
２のターゲットマーク２ａ、２ａを記憶する第２の記憶
手段１６とが接続されている。第１の記憶手段１５と第
２の記憶手段１６には、第１の演算手段１７が接続され
ており、第１の演算手段１７では、第１の記憶手段１５
にて記憶されたアライメントマーク３ａ、３ａの記憶デ
ータと、第２の記憶手段１６にて記憶されているターゲ
ットマーク２ａ　、　２ａの記憶データとを比較して、
アライメントマーク３ａ、３ａに対するターゲットマー
ク２ａ２ａの位置ずれ量をチーフル３を移動させるため
の第１の補正データとして算出する。第１の演算手段１
７には、チーフル１３の支持ロッド１３ｂをＸ、Ｙ、　
　θ方向に駆動する駆動制御手段１８が接続されており
、第１の演算手段１７にて算出された第１の補正データ
は、この駆動制御手段１８に送信されてテーブル１３を
移動させる。

露光ユニット７は、トラバーサユニット５によって搬送
されるパターンフィルム３を固定する透光性のあるアク
リル板１９と、発光手段としての紫外線照射型の水銀ラ
ンプ２０と、水銀ランプ２０の光をアクリル板１９側に
集光するミラー２】とを備えている。

水銀ランプ２０から照射された紫外光は、アクリル板１
９及びパターンフィルム３を介して基板２に照射される
ようになっており、水銀ランプ２０の発光により基板２
にパターンフィルム３０投影パターンが投影される。

本実施例の露光装置１は次のような検査方法によって検
査する。

先ず、トラバーサユニット５により、プリアライメント
ユニット４からパターンフィルム３を取出してアライメ
ントユニット６のチーフル１３上に搬送する。テーブル
１３にパターンフィルム３を搬送したら、一対のＣＣＤ
カメラ１４．１４によりアライメントマーク３ａ、３ａ
が観察される。このアライメントマーク３ａ　３ａの観
察データは第１の記憶手段１５に記憶される。第１の記
憶手段１５にアライメントマーク３ａ、３ａの観察デー
タが記憶された後に、トラバーサユニット５がパターン
フィルム３を露光ユニット７のアクリル板１９に搬送す
る。

パターンフィルム３を搬出した復に、トラバーサユニッ
ト５によって直接露光ユニット７のアクリル板１９上に
紫外線感光型のチェックシート２２を搬入する。このチ
ェックシート２２は、紫外線波長域に感度を有し、紫外
線の照射エネルギー量によって発色濃度が変化するもの
で、色変化は不可逆性のものとされ、再度の光照射によ
り紫外線量を積算出来るものである。アクリル板１９上
にはパターンフィルム３の上にチェックシート２２が箔
載された状態となる。この状態で水銀ランプ２０を一時
的に発光させると、チェックシート２２にパターンフィ
ルム３の投影パターンが投影され、チェックシート２２
が感光される。水銀ランプ２０の発光後、チェックシー
ト２２を取出して図示しない回路検査装置若しくは拡大
レンズ光学系を用いてチェックシート２２」二に感光さ
れた回路パターンを検査すると、パターンフィルム３の
投影パターンをチエツクできる。

投影パターンのチエツクにおいて投影パターンに異常が
あれば、パターンフィルム３をアクリル板１９から剥離
して新たなパターンフィルム３をアクリル板１９上にセ
ットする。この新たなパターンフィルム３を再度前述の
如く検査して清浄なものであると判定できたら、トラバ
ーサユニット５を駆動させて基板２をテーブル１３の上
に搬送する。テーブル１３に基板２を搬送したら、ＣＣ
Ｄカメラ１４．１４により基板２のターゲットマーク２
ａ、２ａを観察し、第２の記憶手段１６によりこのター
ゲットマーク２ａ、２ａの位置データを記憶して、第１
の演算手段１７によりアライメントマーク３ａ、３ａに
対するターゲットマーク２ａ２ａの位置ずれ量を算出す
る。第１の演算手段１７により算出されたｘ、　　ｙ、
　　θ方向のずれ量は第１の補正データとしてテーブル
１３の駆動制御手段１８に送信され、テーブル１３は位
置ずれ相当量移動し、パターンフィルム３に対する基板
２のずれが解消される。

（発明の効果） 本発明にかかる露光装置の検査方法は、以上説明したよ
うに構成したので、基板を露光する前にチェックシート
に投影部材の投影パターンを露光し、露光済みのチェッ
クシートの投影パターンを検査するので、投影部材の検
査を迅速に行え、露光装置の効率的な運転を行なうこと
ができると共に、露光する基板の無駄を防止することが
出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例に用いる露光装置の概略的な
構成図である。 第２図は第１図の露光装置に用いるパターンフィルムの
説明図である。 第３図は第１図の露光装置により露光する基板の説明図
である。 １・・・露光装置、２・・・基板 ３・・・パターンフィルム ５・・・トラバーサユニット ６・・・アライメントユニット ７・・・露光ユニット １３・・・テーブル、１４・・・ＣＣＤカメラ１９・・
・アクリル板 ２０・・・水銀ランプ ２２・・・チェックシート

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　投影パターンを有すると共に透光性を有する投影部材
   の一面側に、紫外線照射型の発光手段を臨ませるととも
   に、前記投影部材の他面側に基板を配設し、前記発光手
   段を発光させて前記基板に前記投影部材の投影パターン
   を感光させる露光装置の検査方法において、前記基板を
   前記投影部材の他面側に位置させる前に、前記投影部材
   の他面側に紫外線に対して感光性のあるチェックシート
   を配設し、前記発光手段を発光させて前記チェックシー
   トを露光させ、この露光済みのチェックシートの露光状
   態を検査して前記投影部材の投影パターンを判定するこ
   とを特徴とする露光装置の検査方法。