JPH0440156B2 - - Google Patents
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
［発明の分野］
本発明は、砥粒が分散含有されてなる可撓性研
磨シートに関するものである。 上記の研磨シートは、種々の研磨工具基盤に貼
り合わせ取り付けて、被研磨材料の表面を研磨す
るために使用することができるものである。 ［発明の背景］ ポリエステル樹脂または紙などの基材の表面
に、研磨用の砥粒をポリウレタン樹脂などを結合
剤（バインダー）として塗布し付着させた可撓性
研磨シートは、知られている。このような研磨シ
ートは、曲率の小さい表面などの、通常の研磨材
では研磨の困難な形状を有する被研磨材料の研磨
に使用することを目的とするものであるが、その
基材または結合剤などの材質の機械的特性などの
不充分さのために、工業的な研磨工具として長時
間に亘つて使用した場合の引張強度、耐熱性、耐
摩耗性などにおいて不充分であつた。 一方、基材に砥粒を均一に分散含有させてなる
研削材料としては、ピロメリツト酸二無水物と芳
香族ジアミンとから得られた芳香族ポリイミド粉
体（砥粒結合剤）と、ダイヤモンドなどの砥粒と
の粉体混合物を、金型内に充填し、その充填物を
高温および高圧で成形して環状の砥粒成形体を製
造し、この砥粒成形体をホイール状の砥石基盤に
砥粒層として接合して製作した超硬合金用の研削
工具が、アメリカ特許第3385684号明細書、アメ
リカ特許第3650715号明細書などによつて、よく
知られている。 しかしながら、上記各明細書記載の芳香族ポリ
イミドを用いる粉末成形法では、砥粒成形体をシ
ート状に加工することも可能ではあるが、該シー
ト状体は実質的に剛体であつて、可撓性のある研
磨シートにはならない。 ［発明の目的］ 本発明は、砥粒が、芳香族ポリイミド中に均一
に分散されており、かつ、優れた耐久性および耐
摩耗性を有する、可撓性研磨シートを提供するこ
とを目的とする。 ［発明の要旨］ 本発明は、平均粒子径が0.1〜60μｍの砥粒が、
0.5〜50容量％の配合割合で、芳香族テトラカル
ボン酸成分と芳香族ジアミン成分とから得られた
芳香族ポリイミド塗膜中に、均一に分散されてい
る、厚さ５〜200μｍの可撓性研磨シートにある。 ［発明の詳細な記述］ 本発明の研磨シートは、特定の平均粒子径を有
する砥粒が、耐熱性の芳香族ポリイミド塗膜中
に、均一に分散して内蔵されていて、厚さが５〜
200μｍ、好ましくは20〜150μｍである可撓性薄
膜（フイルム状体、シート状体のいずれも含む）
からなる研磨シートである。 本発明の研磨シートに使用できる砥粒として
は、平均粒子径が0.1〜60μｍ、好ましくは0.5〜
40μｍ程度である研磨または研削用の砥粒であれ
ばよく、例えば、天然または人造ダイヤモンド、
立方晶窒化ホウ素などからなる上記平均粒子径の
砥粒を挙げることができる。 上記の砥粒は、その全表面を無機質の物質で被
覆されている砥粒であつてもよい。 本発明の研磨シートの塗膜形成に使用できる芳
香族ポリイミドの例としては、ピロメリツト酸ま
たはその酸二無水物を主として含有する芳香族テ
トラカルボン酸成分と、芳香族ジアミン成分とか
ら、両成分の等モルを重合およびイミド化して得
られた、耐熱性の芳香族ポリイミドである。 上記のピロメリツト酸またはその酸二無水物を
主として含有する芳香族テトラカルボン酸成分と
しては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物
と、他の芳香族テトラカルボン酸類またはその酸
二無水物との混合物であつてもよい。 上述のピロメリツト酸またはその酸二無水物と
混合して使用することができる芳香族テトラカル
ボン酸成分としては、２，３，3′，4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、３，3′，４，4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、３，3′，４，4′−ベンゾフ
エノンテトラカルボン酸、２，２−ビス（３，４
−ジカルボキシフエニル）プロパン、ビス（３，
４−ジカルボキシフエニル）メタン、ビス（３，
４−ジカルボキシフエニル）エーテル、ビス
（３，４−ジカルボキシフエニル）ホスフインな
ど、またはこれらの酸二無水物を好適に挙げるこ
とができる。なお、これらのピロメリツト酸系以
外の芳香族テトラカルボン酸成分を単独で使用す
ることも可能である。 上述の芳香族ジアミン成分としては、４，4′−
ジアミノジフエニルエーテル、３，4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル、４，4′−ジアミノジフエニ
ルチオエーテル、４，4′−ジアミノジフエニルス
ルホン、４，4′−ジアミノベンゾフエノン、４，
4′−ジアミノジフエニルメタン、２，２−ビス
（４−アミノフエニル）プロパン、ｏ−、ｍ−ま
たはｐ−フエニレンジアミンなどを好適に挙げる
ことができる。 本発明に使用できる芳香族ポリイミドの例とし
ては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物を50
モル％以上、好ましくは60モル％以上、さらに好
ましくは80〜100モル％含有する芳香族テトラカ
ルボン酸成分と、４，4′−ジアミノジフエニルエ
ーテルを50モル％以上、好ましくは60モル％以
上、さらに好ましくは80〜100モル％含有する芳
香族ジアミン成分とから得られた高分子量の芳香
族ポリイミドを挙げることができる。 上述の芳香族ポリイミドは、対数粘度（測定温
度：50℃、濃度：0.5ｇ／100ml溶媒、溶媒：ｐ−
クロルフエノール）が、0.1〜７、特に0.3〜５で
あることが好ましい。 本発明において、上述の芳香族ポリイミドは、
試料を10℃／分で昇温した場合に試料の５重量％
が加熱減量するまでの温度で示される耐熱性が
450℃以上、特に500℃以上であるものが好まし
く、また、湿度50％および温度50℃の環境状態に
保持して到達する吸湿率で示される平衡吸湿率が
2.0％以下、特に1.5％以下であるものが、研磨シ
ートに成形された後の耐久性において好ましい。 本発明の研磨シートは、上述の芳香族ポリイミ
ド中に、上述の砥粒を0.5〜50容量％、好ましく
は２〜30容量％の割合で含有していることが、優
れた研磨性能（研磨除去量、研削比など）を得る
ために特に好適である。 本発明の研磨シートにおいては、上記の砥粒お
よび芳香族ポリイミドの他に、例えば、グラフア
イト、SiO2、SiC、Al2O3、Fe2O3、Cu、Snなど
からなる充填材が一種類または二種類以上配合さ
れていてもよい。上記の充填材は、平均粒子径が
0.1〜100μｍ、特に0.5〜50μｍの粉体であること
が望ましい。 本発明の研磨シートは、例えば、上述の砥粒が
均一に分散している芳香族ポリアミツク酸（芳香
族ポリイミド前駆体）溶液を製膜用ドープ液とし
て液状薄膜を形成し、該液状薄膜を乾燥固化させ
て固化膜（塗膜）を形成すると共に芳香族ポリア
ミツク酸をイミド化し、さらに必要であれば加熱
処理することによつて、製造することができる。 上述の、砥粒が均一に分散している芳香族ポリ
アミツク酸は、 有機極性溶媒中に上述の砥粒を均一に分散させ
た後、その分散液に上述の芳香族テトラカルボン
酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶解
させ、両成分を重合させる方法；あるいは、 有機極性溶媒中に、上述の芳香族テトラカルボ
ン酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶
解させ、両成分を重合させてポリアミツク酸溶液
とした後、該ポリアミツク酸に上述の砥粒を添加
し高速で撹拌する方法、によつて調製することが
できる。 上記の有機極性溶媒として、例えば、Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトア
ミドなどのアミド系溶媒、フエノール、クレゾー
ル、ハロゲン化フエノールなどのフエノール系溶
媒などを挙げることができる。 上記のポリアミツク酸溶液の調製において生成
する芳香族ポリアミツク酸は、その対数粘度（測
定温度：30℃、濃度：0.5ｇ／100ml溶媒、溶媒：
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）が0.1〜７、特
に0.3〜５であること、その溶液中のポリアミツ
ク酸のポリマー濃度が３〜50重量％、特に５〜30
重量％であること、さらにその溶液の回転粘度
（25℃）が、１〜50000ポイズであることが、本発
明における液状薄膜の成形性のために好ましい。 上記の砥粒が均一に分散しているポリアミツク
酸溶液から液状薄膜を形成するには、該ポリアミ
ツク酸溶液を、約５〜120℃の製膜温度で、適当
な平滑な基材（ガラス基板、金属ドラム、金属ベ
ルトなど）上に流延して、均一な厚さ（約20〜
1000μｍ）の液状薄膜を形成する溶液流延法など
の公知の製膜法によつて、断続的又は連続的に製
膜を行なうことができる。 本発明の研磨シートは、耐折強度が500〜50000
回、特に800〜30000回であることが実用上好まし
い。 本発明の研磨シートは、ベルト状に加工して異
径品の自由曲面の仕上加工を行なう、ベークライ
ト、プラスチツクなどの基材に取り付けて各種材
料のホーニング加工を行なうなどの用途に、好適
に用いることができる。 ［発明の効果］ 本発明の研磨シートは、砥粒が芳香族ポリイミ
ド中に均一に分散している一体型研磨シートであ
るので、曲率の小さな表面を有する被研磨材など
の研磨に適した可撓性を有する。 さらに、本発明の研磨シートは、砥粒に対する
強い保持力を有し、かつ、引張強度、耐熱性、耐
湿性、耐薬品性についても優れているので、工業
用の研磨工具として充分な耐摩耗性および耐久性
を有する。 特に本発明の研磨シートは、上記の範囲の優れ
た耐折強度を有するので、任意の形態で繰り返し
長期間使用でき、実用上有利である。 次に本発明の実施例および比較例を示す。 ［実施例 １］ （芳香族ポリアミツク酸溶液の調製） 内容積500mlの円筒型重合槽に、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアセトアミド240ｇを入れて撹拌しながら、
平均粒子径5μｍのダイヤモンド粉末20.0ｇを添加
し、そのまま、約30分間撹拌を続けて、砥粒の分
散液を調製した。 続いて、上記砥粒分散液に、４，4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル28.72ｇを添加し30℃で30分
間撹拌して溶解した後、さらにピロメリツト酸二
無水物28.15ｇを徐々に添加し30℃で２時間撹拌
して溶解すると共に、上記の両成分を重合反応さ
せた。 最後に、上記重合液に、ピロメリツト酸二無水
物3.13ｇを徐々に添加し30℃で３時間撹拌して、
芳香族ポリアミツク酸を生成させ、砥粒が均一に
分散している芳香族ポリアミツク酸溶液を調製し
た。 上記芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー濃
度が20重量％であり、その溶液の回転粘度（30
℃）が1500ポイズであつた。 （製膜） 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用して、ガラス板上にアプリケー
ターを用いてハンドコート法（溶液流延法）によ
り、均一な厚さの液状薄膜を形成した。 次いで、約120℃の熱風を供給して上記液状薄
膜から溶液を一部除去して、約30重量％の溶媒が
残存している固化膜を形成した。 そして、この固化膜をガラス板から剥離して、
ピンテンターで把持して加熱炉内に配置し、上記
固化膜を約300〜450℃の熱風で加熱して溶媒の除
去を行なうと共に、ポリマーのイミド化を完全に
行なつた。 上述の方法により、芳香族ポリイミド塗膜フイ
ルム中に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量％（12.9
容量％）の割合で均一に分散している、厚さ90μ
ｍの可撓性研磨シートを製造した。 上記研磨シートを用いて、φ60mm×φ30mm×20
mmの窒化ケイ素材に対して、周速度15ｍ／分、往
復速度３ｍ／分の条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第１〜３図に示す。 また、上記研磨シートについて、引張強度、耐
折強度、熱減量（耐熱性）および平衡吸湿率の測
定を行つた。その結果を第１表に示す。 ［比較例 １］ 実施例１で使用した研磨シートと同一容量比で
ダイヤモンド砥粒を含むウレタン樹脂をポリエス
テル基材に塗布して製造した研磨シートを用い
て、実施例１と同一条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第１〜３図に示す。 ［比較例 ２］ 比較例１のダイヤモンド砥粒を炭化ケイ素砥粒
に替えた研磨シートを用いた外は、比較例１と同
一条件でホーニング加工を行ない、耐久性および
耐摩耗性について試験した。その結果を添付した
図面の第１〜３図に示す。 ［実施例 ２］ （芳香族ポリアミツク酸溶液の調製） 内容積１の円筒型重合槽に、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミド480ｇを入れて、４，4′−ジアミノジフ
エニルエーテル57.44ｇを添加し30℃で30分間撹
拌して溶解した。 次いで上記溶液に、ピロメリツト酸二無水物
56.30ｇを徐々に添加し30℃で２時間撹拌して溶
解すると共に、４，4′−ジアミノジフエニルエー
テルとピロメリツト酸二無水物とを重合させ、該
重合液にさらに、ピロメリツト酸二無水物6.26ｇ
を徐々に添加し30℃で３時間撹拌して芳香族ポリ
アミツク酸を生成させた。 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー
濃度が20重量％であり、回転粘度（30℃）が400
ポイズであつた。 上記溶液に、ダイヤモンド粉末（平均粒子径
5μｍ）40ｇを添加し、高速撹拌（5000rpm）を２
時間行なうことにより、砥粒が均一に分散してい
る芳香族ポリアミツク酸溶液を調製した。 （製膜） 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用したほかは実施例１と同様にし
て製膜を行い、芳香族ポリイミド塗膜フイルム中
に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量％（12.9容量
％）の割合で均一に分散している、厚さ80μｍの
研磨シートを製造した。 上記研磨シートについて、引張強度、耐折強
度、熱減量（耐熱性）および平衡吸湿率の測定を
行つた。その結果を第１表に示す。
磨シートに関するものである。 上記の研磨シートは、種々の研磨工具基盤に貼
り合わせ取り付けて、被研磨材料の表面を研磨す
るために使用することができるものである。 ［発明の背景］ ポリエステル樹脂または紙などの基材の表面
に、研磨用の砥粒をポリウレタン樹脂などを結合
剤（バインダー）として塗布し付着させた可撓性
研磨シートは、知られている。このような研磨シ
ートは、曲率の小さい表面などの、通常の研磨材
では研磨の困難な形状を有する被研磨材料の研磨
に使用することを目的とするものであるが、その
基材または結合剤などの材質の機械的特性などの
不充分さのために、工業的な研磨工具として長時
間に亘つて使用した場合の引張強度、耐熱性、耐
摩耗性などにおいて不充分であつた。 一方、基材に砥粒を均一に分散含有させてなる
研削材料としては、ピロメリツト酸二無水物と芳
香族ジアミンとから得られた芳香族ポリイミド粉
体（砥粒結合剤）と、ダイヤモンドなどの砥粒と
の粉体混合物を、金型内に充填し、その充填物を
高温および高圧で成形して環状の砥粒成形体を製
造し、この砥粒成形体をホイール状の砥石基盤に
砥粒層として接合して製作した超硬合金用の研削
工具が、アメリカ特許第3385684号明細書、アメ
リカ特許第3650715号明細書などによつて、よく
知られている。 しかしながら、上記各明細書記載の芳香族ポリ
イミドを用いる粉末成形法では、砥粒成形体をシ
ート状に加工することも可能ではあるが、該シー
ト状体は実質的に剛体であつて、可撓性のある研
磨シートにはならない。 ［発明の目的］ 本発明は、砥粒が、芳香族ポリイミド中に均一
に分散されており、かつ、優れた耐久性および耐
摩耗性を有する、可撓性研磨シートを提供するこ
とを目的とする。 ［発明の要旨］ 本発明は、平均粒子径が0.1〜60μｍの砥粒が、
0.5〜50容量％の配合割合で、芳香族テトラカル
ボン酸成分と芳香族ジアミン成分とから得られた
芳香族ポリイミド塗膜中に、均一に分散されてい
る、厚さ５〜200μｍの可撓性研磨シートにある。 ［発明の詳細な記述］ 本発明の研磨シートは、特定の平均粒子径を有
する砥粒が、耐熱性の芳香族ポリイミド塗膜中
に、均一に分散して内蔵されていて、厚さが５〜
200μｍ、好ましくは20〜150μｍである可撓性薄
膜（フイルム状体、シート状体のいずれも含む）
からなる研磨シートである。 本発明の研磨シートに使用できる砥粒として
は、平均粒子径が0.1〜60μｍ、好ましくは0.5〜
40μｍ程度である研磨または研削用の砥粒であれ
ばよく、例えば、天然または人造ダイヤモンド、
立方晶窒化ホウ素などからなる上記平均粒子径の
砥粒を挙げることができる。 上記の砥粒は、その全表面を無機質の物質で被
覆されている砥粒であつてもよい。 本発明の研磨シートの塗膜形成に使用できる芳
香族ポリイミドの例としては、ピロメリツト酸ま
たはその酸二無水物を主として含有する芳香族テ
トラカルボン酸成分と、芳香族ジアミン成分とか
ら、両成分の等モルを重合およびイミド化して得
られた、耐熱性の芳香族ポリイミドである。 上記のピロメリツト酸またはその酸二無水物を
主として含有する芳香族テトラカルボン酸成分と
しては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物
と、他の芳香族テトラカルボン酸類またはその酸
二無水物との混合物であつてもよい。 上述のピロメリツト酸またはその酸二無水物と
混合して使用することができる芳香族テトラカル
ボン酸成分としては、２，３，3′，4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、３，3′，４，4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、３，3′，４，4′−ベンゾフ
エノンテトラカルボン酸、２，２−ビス（３，４
−ジカルボキシフエニル）プロパン、ビス（３，
４−ジカルボキシフエニル）メタン、ビス（３，
４−ジカルボキシフエニル）エーテル、ビス
（３，４−ジカルボキシフエニル）ホスフインな
ど、またはこれらの酸二無水物を好適に挙げるこ
とができる。なお、これらのピロメリツト酸系以
外の芳香族テトラカルボン酸成分を単独で使用す
ることも可能である。 上述の芳香族ジアミン成分としては、４，4′−
ジアミノジフエニルエーテル、３，4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル、４，4′−ジアミノジフエニ
ルチオエーテル、４，4′−ジアミノジフエニルス
ルホン、４，4′−ジアミノベンゾフエノン、４，
4′−ジアミノジフエニルメタン、２，２−ビス
（４−アミノフエニル）プロパン、ｏ−、ｍ−ま
たはｐ−フエニレンジアミンなどを好適に挙げる
ことができる。 本発明に使用できる芳香族ポリイミドの例とし
ては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物を50
モル％以上、好ましくは60モル％以上、さらに好
ましくは80〜100モル％含有する芳香族テトラカ
ルボン酸成分と、４，4′−ジアミノジフエニルエ
ーテルを50モル％以上、好ましくは60モル％以
上、さらに好ましくは80〜100モル％含有する芳
香族ジアミン成分とから得られた高分子量の芳香
族ポリイミドを挙げることができる。 上述の芳香族ポリイミドは、対数粘度（測定温
度：50℃、濃度：0.5ｇ／100ml溶媒、溶媒：ｐ−
クロルフエノール）が、0.1〜７、特に0.3〜５で
あることが好ましい。 本発明において、上述の芳香族ポリイミドは、
試料を10℃／分で昇温した場合に試料の５重量％
が加熱減量するまでの温度で示される耐熱性が
450℃以上、特に500℃以上であるものが好まし
く、また、湿度50％および温度50℃の環境状態に
保持して到達する吸湿率で示される平衡吸湿率が
2.0％以下、特に1.5％以下であるものが、研磨シ
ートに成形された後の耐久性において好ましい。 本発明の研磨シートは、上述の芳香族ポリイミ
ド中に、上述の砥粒を0.5〜50容量％、好ましく
は２〜30容量％の割合で含有していることが、優
れた研磨性能（研磨除去量、研削比など）を得る
ために特に好適である。 本発明の研磨シートにおいては、上記の砥粒お
よび芳香族ポリイミドの他に、例えば、グラフア
イト、SiO2、SiC、Al2O3、Fe2O3、Cu、Snなど
からなる充填材が一種類または二種類以上配合さ
れていてもよい。上記の充填材は、平均粒子径が
0.1〜100μｍ、特に0.5〜50μｍの粉体であること
が望ましい。 本発明の研磨シートは、例えば、上述の砥粒が
均一に分散している芳香族ポリアミツク酸（芳香
族ポリイミド前駆体）溶液を製膜用ドープ液とし
て液状薄膜を形成し、該液状薄膜を乾燥固化させ
て固化膜（塗膜）を形成すると共に芳香族ポリア
ミツク酸をイミド化し、さらに必要であれば加熱
処理することによつて、製造することができる。 上述の、砥粒が均一に分散している芳香族ポリ
アミツク酸は、 有機極性溶媒中に上述の砥粒を均一に分散させ
た後、その分散液に上述の芳香族テトラカルボン
酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶解
させ、両成分を重合させる方法；あるいは、 有機極性溶媒中に、上述の芳香族テトラカルボ
ン酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶
解させ、両成分を重合させてポリアミツク酸溶液
とした後、該ポリアミツク酸に上述の砥粒を添加
し高速で撹拌する方法、によつて調製することが
できる。 上記の有機極性溶媒として、例えば、Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトア
ミドなどのアミド系溶媒、フエノール、クレゾー
ル、ハロゲン化フエノールなどのフエノール系溶
媒などを挙げることができる。 上記のポリアミツク酸溶液の調製において生成
する芳香族ポリアミツク酸は、その対数粘度（測
定温度：30℃、濃度：0.5ｇ／100ml溶媒、溶媒：
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）が0.1〜７、特
に0.3〜５であること、その溶液中のポリアミツ
ク酸のポリマー濃度が３〜50重量％、特に５〜30
重量％であること、さらにその溶液の回転粘度
（25℃）が、１〜50000ポイズであることが、本発
明における液状薄膜の成形性のために好ましい。 上記の砥粒が均一に分散しているポリアミツク
酸溶液から液状薄膜を形成するには、該ポリアミ
ツク酸溶液を、約５〜120℃の製膜温度で、適当
な平滑な基材（ガラス基板、金属ドラム、金属ベ
ルトなど）上に流延して、均一な厚さ（約20〜
1000μｍ）の液状薄膜を形成する溶液流延法など
の公知の製膜法によつて、断続的又は連続的に製
膜を行なうことができる。 本発明の研磨シートは、耐折強度が500〜50000
回、特に800〜30000回であることが実用上好まし
い。 本発明の研磨シートは、ベルト状に加工して異
径品の自由曲面の仕上加工を行なう、ベークライ
ト、プラスチツクなどの基材に取り付けて各種材
料のホーニング加工を行なうなどの用途に、好適
に用いることができる。 ［発明の効果］ 本発明の研磨シートは、砥粒が芳香族ポリイミ
ド中に均一に分散している一体型研磨シートであ
るので、曲率の小さな表面を有する被研磨材など
の研磨に適した可撓性を有する。 さらに、本発明の研磨シートは、砥粒に対する
強い保持力を有し、かつ、引張強度、耐熱性、耐
湿性、耐薬品性についても優れているので、工業
用の研磨工具として充分な耐摩耗性および耐久性
を有する。 特に本発明の研磨シートは、上記の範囲の優れ
た耐折強度を有するので、任意の形態で繰り返し
長期間使用でき、実用上有利である。 次に本発明の実施例および比較例を示す。 ［実施例 １］ （芳香族ポリアミツク酸溶液の調製） 内容積500mlの円筒型重合槽に、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアセトアミド240ｇを入れて撹拌しながら、
平均粒子径5μｍのダイヤモンド粉末20.0ｇを添加
し、そのまま、約30分間撹拌を続けて、砥粒の分
散液を調製した。 続いて、上記砥粒分散液に、４，4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル28.72ｇを添加し30℃で30分
間撹拌して溶解した後、さらにピロメリツト酸二
無水物28.15ｇを徐々に添加し30℃で２時間撹拌
して溶解すると共に、上記の両成分を重合反応さ
せた。 最後に、上記重合液に、ピロメリツト酸二無水
物3.13ｇを徐々に添加し30℃で３時間撹拌して、
芳香族ポリアミツク酸を生成させ、砥粒が均一に
分散している芳香族ポリアミツク酸溶液を調製し
た。 上記芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー濃
度が20重量％であり、その溶液の回転粘度（30
℃）が1500ポイズであつた。 （製膜） 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用して、ガラス板上にアプリケー
ターを用いてハンドコート法（溶液流延法）によ
り、均一な厚さの液状薄膜を形成した。 次いで、約120℃の熱風を供給して上記液状薄
膜から溶液を一部除去して、約30重量％の溶媒が
残存している固化膜を形成した。 そして、この固化膜をガラス板から剥離して、
ピンテンターで把持して加熱炉内に配置し、上記
固化膜を約300〜450℃の熱風で加熱して溶媒の除
去を行なうと共に、ポリマーのイミド化を完全に
行なつた。 上述の方法により、芳香族ポリイミド塗膜フイ
ルム中に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量％（12.9
容量％）の割合で均一に分散している、厚さ90μ
ｍの可撓性研磨シートを製造した。 上記研磨シートを用いて、φ60mm×φ30mm×20
mmの窒化ケイ素材に対して、周速度15ｍ／分、往
復速度３ｍ／分の条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第１〜３図に示す。 また、上記研磨シートについて、引張強度、耐
折強度、熱減量（耐熱性）および平衡吸湿率の測
定を行つた。その結果を第１表に示す。 ［比較例 １］ 実施例１で使用した研磨シートと同一容量比で
ダイヤモンド砥粒を含むウレタン樹脂をポリエス
テル基材に塗布して製造した研磨シートを用い
て、実施例１と同一条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第１〜３図に示す。 ［比較例 ２］ 比較例１のダイヤモンド砥粒を炭化ケイ素砥粒
に替えた研磨シートを用いた外は、比較例１と同
一条件でホーニング加工を行ない、耐久性および
耐摩耗性について試験した。その結果を添付した
図面の第１〜３図に示す。 ［実施例 ２］ （芳香族ポリアミツク酸溶液の調製） 内容積１の円筒型重合槽に、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミド480ｇを入れて、４，4′−ジアミノジフ
エニルエーテル57.44ｇを添加し30℃で30分間撹
拌して溶解した。 次いで上記溶液に、ピロメリツト酸二無水物
56.30ｇを徐々に添加し30℃で２時間撹拌して溶
解すると共に、４，4′−ジアミノジフエニルエー
テルとピロメリツト酸二無水物とを重合させ、該
重合液にさらに、ピロメリツト酸二無水物6.26ｇ
を徐々に添加し30℃で３時間撹拌して芳香族ポリ
アミツク酸を生成させた。 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー
濃度が20重量％であり、回転粘度（30℃）が400
ポイズであつた。 上記溶液に、ダイヤモンド粉末（平均粒子径
5μｍ）40ｇを添加し、高速撹拌（5000rpm）を２
時間行なうことにより、砥粒が均一に分散してい
る芳香族ポリアミツク酸溶液を調製した。 （製膜） 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用したほかは実施例１と同様にし
て製膜を行い、芳香族ポリイミド塗膜フイルム中
に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量％（12.9容量
％）の割合で均一に分散している、厚さ80μｍの
研磨シートを製造した。 上記研磨シートについて、引張強度、耐折強
度、熱減量（耐熱性）および平衡吸湿率の測定を
行つた。その結果を第１表に示す。
【表】
［耐久性および耐摩耗性の評価］
添付図面の第１図は、研磨時間と累積研磨除去
量との関係を、実施例１および比較例１〜２の研
磨シートについて、比較したものである。比較例
１〜２の塗布型研磨シートは、研磨時間が長くな
るに従い研磨除去量が低下しているのに対して、
実施例１の研磨シートは一定の研磨除去量を維持
しており、優れた耐久性を有することが明らかで
ある。 第２図は、研磨時間と仕上がり面精度との関係
を、実施例１および比較例１〜２の研磨シートに
ついて、比較したものである。比較例１〜２の研
磨シートは、研磨初期に仕上がり面精度がいつた
ん粗くなつた後、細かくなつており、これは研磨
能力が減退していることを示している。一方、実
施例１の研磨シートは、仕上がり面精度を一定に
維持しており、恒量的な研磨を行なつていること
がわかる。 第１図および第２図から、本発明の研磨シート
は優れた耐久性を有することが明らかである。 第３図は、研磨時間と研削比との関係を、実施
例１および比較例１〜２の研磨シートについて、
比較したものである。研削比は、研磨材料自身の
摩耗量に対する被研磨材料の被研磨量（被研磨材
料の被研磨量／研磨材料の自己摩耗量）で表わさ
れる量である。 本発明の研磨シートは少ない自己摩耗量で多量
の研磨を行なつており、比較例の二者に比較して
優れた耐摩耗性を有することが明らかである。
量との関係を、実施例１および比較例１〜２の研
磨シートについて、比較したものである。比較例
１〜２の塗布型研磨シートは、研磨時間が長くな
るに従い研磨除去量が低下しているのに対して、
実施例１の研磨シートは一定の研磨除去量を維持
しており、優れた耐久性を有することが明らかで
ある。 第２図は、研磨時間と仕上がり面精度との関係
を、実施例１および比較例１〜２の研磨シートに
ついて、比較したものである。比較例１〜２の研
磨シートは、研磨初期に仕上がり面精度がいつた
ん粗くなつた後、細かくなつており、これは研磨
能力が減退していることを示している。一方、実
施例１の研磨シートは、仕上がり面精度を一定に
維持しており、恒量的な研磨を行なつていること
がわかる。 第１図および第２図から、本発明の研磨シート
は優れた耐久性を有することが明らかである。 第３図は、研磨時間と研削比との関係を、実施
例１および比較例１〜２の研磨シートについて、
比較したものである。研削比は、研磨材料自身の
摩耗量に対する被研磨材料の被研磨量（被研磨材
料の被研磨量／研磨材料の自己摩耗量）で表わさ
れる量である。 本発明の研磨シートは少ない自己摩耗量で多量
の研磨を行なつており、比較例の二者に比較して
優れた耐摩耗性を有することが明らかである。
第１図は、実施例１および比較例１〜２の研磨
シートを用いてホーニング加工を行なつた場合の
研磨時間と累積研磨除去量との関係を示すもので
ある。第２図は、実施例１および比較例１〜２の
研磨シートを用いてホーニング加工を行なつた場
合の研磨時間と仕上がり面精度との関係を示すも
のである。第３図は、実施例１および比較例１〜
２の研磨シートを用いてホーニング加工を行なつ
た場合の研磨時間と研削比との関係を示すもので
ある。
シートを用いてホーニング加工を行なつた場合の
研磨時間と累積研磨除去量との関係を示すもので
ある。第２図は、実施例１および比較例１〜２の
研磨シートを用いてホーニング加工を行なつた場
合の研磨時間と仕上がり面精度との関係を示すも
のである。第３図は、実施例１および比較例１〜
２の研磨シートを用いてホーニング加工を行なつ
た場合の研磨時間と研削比との関係を示すもので
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 平均粒子径が0.1〜60μｍの砥粒が、0.5〜50
容量％の配合割合で、芳香族テトラカルボン酸成
分と芳香族ジアミン成分とから得られた芳香族ポ
リイミド塗膜中に均一に分散されている、厚さ５
〜200μｍの可撓性研磨シート。 ２ 芳香族テトラカルボン酸成分が、ピロメリツ
ト酸またはその酸二無水物を50〜100％含有する
請求項第１項記載の研磨シート。 ３ 砥粒が、天然または人造ダイヤモンドあるい
は立方晶窒化ホウ素からなる請求項第１項記載の
研磨シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7276587A JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7276587A JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63237872A JPS63237872A (ja) | 1988-10-04 |
| JPH0440156B2 true JPH0440156B2 (ja) | 1992-07-01 |
Family
ID=13498793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7276587A Granted JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63237872A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641110B2 (ja) * | 1990-01-22 | 1994-06-01 | ソマール株式会社 | 研磨フィルムの製造方法 |
| JP2676650B2 (ja) * | 1990-11-02 | 1997-11-17 | 宇部興産株式会社 | 研磨シートおよびその製法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6257876A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-13 | Ube Ind Ltd | 耐熱性樹脂結合砥石およびその製法 |
-
1987
- 1987-03-26 JP JP7276587A patent/JPS63237872A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6257876A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-13 | Ube Ind Ltd | 耐熱性樹脂結合砥石およびその製法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63237872A (ja) | 1988-10-04 |
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