JPH0440156B2 - - Google Patents
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
[発明の分野]
本発明は、砥粒が分散含有されてなる可撓性研
磨シートに関するものである。 上記の研磨シートは、種々の研磨工具基盤に貼
り合わせ取り付けて、被研磨材料の表面を研磨す
るために使用することができるものである。 [発明の背景] ポリエステル樹脂または紙などの基材の表面
に、研磨用の砥粒をポリウレタン樹脂などを結合
剤(バインダー)として塗布し付着させた可撓性
研磨シートは、知られている。このような研磨シ
ートは、曲率の小さい表面などの、通常の研磨材
では研磨の困難な形状を有する被研磨材料の研磨
に使用することを目的とするものであるが、その
基材または結合剤などの材質の機械的特性などの
不充分さのために、工業的な研磨工具として長時
間に亘つて使用した場合の引張強度、耐熱性、耐
摩耗性などにおいて不充分であつた。 一方、基材に砥粒を均一に分散含有させてなる
研削材料としては、ピロメリツト酸二無水物と芳
香族ジアミンとから得られた芳香族ポリイミド粉
体(砥粒結合剤)と、ダイヤモンドなどの砥粒と
の粉体混合物を、金型内に充填し、その充填物を
高温および高圧で成形して環状の砥粒成形体を製
造し、この砥粒成形体をホイール状の砥石基盤に
砥粒層として接合して製作した超硬合金用の研削
工具が、アメリカ特許第3385684号明細書、アメ
リカ特許第3650715号明細書などによつて、よく
知られている。 しかしながら、上記各明細書記載の芳香族ポリ
イミドを用いる粉末成形法では、砥粒成形体をシ
ート状に加工することも可能ではあるが、該シー
ト状体は実質的に剛体であつて、可撓性のある研
磨シートにはならない。 [発明の目的] 本発明は、砥粒が、芳香族ポリイミド中に均一
に分散されており、かつ、優れた耐久性および耐
摩耗性を有する、可撓性研磨シートを提供するこ
とを目的とする。 [発明の要旨] 本発明は、平均粒子径が0.1〜60μmの砥粒が、
0.5〜50容量%の配合割合で、芳香族テトラカル
ボン酸成分と芳香族ジアミン成分とから得られた
芳香族ポリイミド塗膜中に、均一に分散されてい
る、厚さ5〜200μmの可撓性研磨シートにある。 [発明の詳細な記述] 本発明の研磨シートは、特定の平均粒子径を有
する砥粒が、耐熱性の芳香族ポリイミド塗膜中
に、均一に分散して内蔵されていて、厚さが5〜
200μm、好ましくは20〜150μmである可撓性薄
膜(フイルム状体、シート状体のいずれも含む)
からなる研磨シートである。 本発明の研磨シートに使用できる砥粒として
は、平均粒子径が0.1〜60μm、好ましくは0.5〜
40μm程度である研磨または研削用の砥粒であれ
ばよく、例えば、天然または人造ダイヤモンド、
立方晶窒化ホウ素などからなる上記平均粒子径の
砥粒を挙げることができる。 上記の砥粒は、その全表面を無機質の物質で被
覆されている砥粒であつてもよい。 本発明の研磨シートの塗膜形成に使用できる芳
香族ポリイミドの例としては、ピロメリツト酸ま
たはその酸二無水物を主として含有する芳香族テ
トラカルボン酸成分と、芳香族ジアミン成分とか
ら、両成分の等モルを重合およびイミド化して得
られた、耐熱性の芳香族ポリイミドである。 上記のピロメリツト酸またはその酸二無水物を
主として含有する芳香族テトラカルボン酸成分と
しては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物
と、他の芳香族テトラカルボン酸類またはその酸
二無水物との混合物であつてもよい。 上述のピロメリツト酸またはその酸二無水物と
混合して使用することができる芳香族テトラカル
ボン酸成分としては、2,3,3′,4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフ
エノンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4
−ジカルボキシフエニル)プロパン、ビス(3,
4−ジカルボキシフエニル)メタン、ビス(3,
4−ジカルボキシフエニル)エーテル、ビス
(3,4−ジカルボキシフエニル)ホスフインな
ど、またはこれらの酸二無水物を好適に挙げるこ
とができる。なお、これらのピロメリツト酸系以
外の芳香族テトラカルボン酸成分を単独で使用す
ることも可能である。 上述の芳香族ジアミン成分としては、4,4′−
ジアミノジフエニルエーテル、3,4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル、4,4′−ジアミノジフエニ
ルチオエーテル、4,4′−ジアミノジフエニルス
ルホン、4,4′−ジアミノベンゾフエノン、4,
4′−ジアミノジフエニルメタン、2,2−ビス
(4−アミノフエニル)プロパン、o−、m−ま
たはp−フエニレンジアミンなどを好適に挙げる
ことができる。 本発明に使用できる芳香族ポリイミドの例とし
ては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物を50
モル%以上、好ましくは60モル%以上、さらに好
ましくは80〜100モル%含有する芳香族テトラカ
ルボン酸成分と、4,4′−ジアミノジフエニルエ
ーテルを50モル%以上、好ましくは60モル%以
上、さらに好ましくは80〜100モル%含有する芳
香族ジアミン成分とから得られた高分子量の芳香
族ポリイミドを挙げることができる。 上述の芳香族ポリイミドは、対数粘度(測定温
度:50℃、濃度:0.5g/100ml溶媒、溶媒:p−
クロルフエノール)が、0.1〜7、特に0.3〜5で
あることが好ましい。 本発明において、上述の芳香族ポリイミドは、
試料を10℃/分で昇温した場合に試料の5重量%
が加熱減量するまでの温度で示される耐熱性が
450℃以上、特に500℃以上であるものが好まし
く、また、湿度50%および温度50℃の環境状態に
保持して到達する吸湿率で示される平衡吸湿率が
2.0%以下、特に1.5%以下であるものが、研磨シ
ートに成形された後の耐久性において好ましい。 本発明の研磨シートは、上述の芳香族ポリイミ
ド中に、上述の砥粒を0.5〜50容量%、好ましく
は2〜30容量%の割合で含有していることが、優
れた研磨性能(研磨除去量、研削比など)を得る
ために特に好適である。 本発明の研磨シートにおいては、上記の砥粒お
よび芳香族ポリイミドの他に、例えば、グラフア
イト、SiO2、SiC、Al2O3、Fe2O3、Cu、Snなど
からなる充填材が一種類または二種類以上配合さ
れていてもよい。上記の充填材は、平均粒子径が
0.1〜100μm、特に0.5〜50μmの粉体であること
が望ましい。 本発明の研磨シートは、例えば、上述の砥粒が
均一に分散している芳香族ポリアミツク酸(芳香
族ポリイミド前駆体)溶液を製膜用ドープ液とし
て液状薄膜を形成し、該液状薄膜を乾燥固化させ
て固化膜(塗膜)を形成すると共に芳香族ポリア
ミツク酸をイミド化し、さらに必要であれば加熱
処理することによつて、製造することができる。 上述の、砥粒が均一に分散している芳香族ポリ
アミツク酸は、 有機極性溶媒中に上述の砥粒を均一に分散させ
た後、その分散液に上述の芳香族テトラカルボン
酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶解
させ、両成分を重合させる方法;あるいは、 有機極性溶媒中に、上述の芳香族テトラカルボ
ン酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶
解させ、両成分を重合させてポリアミツク酸溶液
とした後、該ポリアミツク酸に上述の砥粒を添加
し高速で撹拌する方法、によつて調製することが
できる。 上記の有機極性溶媒として、例えば、N−メチ
ル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルアミ
ド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトア
ミドなどのアミド系溶媒、フエノール、クレゾー
ル、ハロゲン化フエノールなどのフエノール系溶
媒などを挙げることができる。 上記のポリアミツク酸溶液の調製において生成
する芳香族ポリアミツク酸は、その対数粘度(測
定温度:30℃、濃度:0.5g/100ml溶媒、溶媒:
N,N−ジメチルアセトアミド)が0.1〜7、特
に0.3〜5であること、その溶液中のポリアミツ
ク酸のポリマー濃度が3〜50重量%、特に5〜30
重量%であること、さらにその溶液の回転粘度
(25℃)が、1〜50000ポイズであることが、本発
明における液状薄膜の成形性のために好ましい。 上記の砥粒が均一に分散しているポリアミツク
酸溶液から液状薄膜を形成するには、該ポリアミ
ツク酸溶液を、約5〜120℃の製膜温度で、適当
な平滑な基材(ガラス基板、金属ドラム、金属ベ
ルトなど)上に流延して、均一な厚さ(約20〜
1000μm)の液状薄膜を形成する溶液流延法など
の公知の製膜法によつて、断続的又は連続的に製
膜を行なうことができる。 本発明の研磨シートは、耐折強度が500〜50000
回、特に800〜30000回であることが実用上好まし
い。 本発明の研磨シートは、ベルト状に加工して異
径品の自由曲面の仕上加工を行なう、ベークライ
ト、プラスチツクなどの基材に取り付けて各種材
料のホーニング加工を行なうなどの用途に、好適
に用いることができる。 [発明の効果] 本発明の研磨シートは、砥粒が芳香族ポリイミ
ド中に均一に分散している一体型研磨シートであ
るので、曲率の小さな表面を有する被研磨材など
の研磨に適した可撓性を有する。 さらに、本発明の研磨シートは、砥粒に対する
強い保持力を有し、かつ、引張強度、耐熱性、耐
湿性、耐薬品性についても優れているので、工業
用の研磨工具として充分な耐摩耗性および耐久性
を有する。 特に本発明の研磨シートは、上記の範囲の優れ
た耐折強度を有するので、任意の形態で繰り返し
長期間使用でき、実用上有利である。 次に本発明の実施例および比較例を示す。 [実施例 1] (芳香族ポリアミツク酸溶液の調製) 内容積500mlの円筒型重合槽に、N,N−ジメ
チルアセトアミド240gを入れて撹拌しながら、
平均粒子径5μmのダイヤモンド粉末20.0gを添加
し、そのまま、約30分間撹拌を続けて、砥粒の分
散液を調製した。 続いて、上記砥粒分散液に、4,4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル28.72gを添加し30℃で30分
間撹拌して溶解した後、さらにピロメリツト酸二
無水物28.15gを徐々に添加し30℃で2時間撹拌
して溶解すると共に、上記の両成分を重合反応さ
せた。 最後に、上記重合液に、ピロメリツト酸二無水
物3.13gを徐々に添加し30℃で3時間撹拌して、
芳香族ポリアミツク酸を生成させ、砥粒が均一に
分散している芳香族ポリアミツク酸溶液を調製し
た。 上記芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー濃
度が20重量%であり、その溶液の回転粘度(30
℃)が1500ポイズであつた。 (製膜) 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用して、ガラス板上にアプリケー
ターを用いてハンドコート法(溶液流延法)によ
り、均一な厚さの液状薄膜を形成した。 次いで、約120℃の熱風を供給して上記液状薄
膜から溶液を一部除去して、約30重量%の溶媒が
残存している固化膜を形成した。 そして、この固化膜をガラス板から剥離して、
ピンテンターで把持して加熱炉内に配置し、上記
固化膜を約300〜450℃の熱風で加熱して溶媒の除
去を行なうと共に、ポリマーのイミド化を完全に
行なつた。 上述の方法により、芳香族ポリイミド塗膜フイ
ルム中に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量%(12.9
容量%)の割合で均一に分散している、厚さ90μ
mの可撓性研磨シートを製造した。 上記研磨シートを用いて、φ60mm×φ30mm×20
mmの窒化ケイ素材に対して、周速度15m/分、往
復速度3m/分の条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第1〜3図に示す。 また、上記研磨シートについて、引張強度、耐
折強度、熱減量(耐熱性)および平衡吸湿率の測
定を行つた。その結果を第1表に示す。 [比較例 1] 実施例1で使用した研磨シートと同一容量比で
ダイヤモンド砥粒を含むウレタン樹脂をポリエス
テル基材に塗布して製造した研磨シートを用い
て、実施例1と同一条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第1〜3図に示す。 [比較例 2] 比較例1のダイヤモンド砥粒を炭化ケイ素砥粒
に替えた研磨シートを用いた外は、比較例1と同
一条件でホーニング加工を行ない、耐久性および
耐摩耗性について試験した。その結果を添付した
図面の第1〜3図に示す。 [実施例 2] (芳香族ポリアミツク酸溶液の調製) 内容積1の円筒型重合槽に、N,N−ジメチ
ルアミド480gを入れて、4,4′−ジアミノジフ
エニルエーテル57.44gを添加し30℃で30分間撹
拌して溶解した。 次いで上記溶液に、ピロメリツト酸二無水物
56.30gを徐々に添加し30℃で2時間撹拌して溶
解すると共に、4,4′−ジアミノジフエニルエー
テルとピロメリツト酸二無水物とを重合させ、該
重合液にさらに、ピロメリツト酸二無水物6.26g
を徐々に添加し30℃で3時間撹拌して芳香族ポリ
アミツク酸を生成させた。 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー
濃度が20重量%であり、回転粘度(30℃)が400
ポイズであつた。 上記溶液に、ダイヤモンド粉末(平均粒子径
5μm)40gを添加し、高速撹拌(5000rpm)を2
時間行なうことにより、砥粒が均一に分散してい
る芳香族ポリアミツク酸溶液を調製した。 (製膜) 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用したほかは実施例1と同様にし
て製膜を行い、芳香族ポリイミド塗膜フイルム中
に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量%(12.9容量
%)の割合で均一に分散している、厚さ80μmの
研磨シートを製造した。 上記研磨シートについて、引張強度、耐折強
度、熱減量(耐熱性)および平衡吸湿率の測定を
行つた。その結果を第1表に示す。
磨シートに関するものである。 上記の研磨シートは、種々の研磨工具基盤に貼
り合わせ取り付けて、被研磨材料の表面を研磨す
るために使用することができるものである。 [発明の背景] ポリエステル樹脂または紙などの基材の表面
に、研磨用の砥粒をポリウレタン樹脂などを結合
剤(バインダー)として塗布し付着させた可撓性
研磨シートは、知られている。このような研磨シ
ートは、曲率の小さい表面などの、通常の研磨材
では研磨の困難な形状を有する被研磨材料の研磨
に使用することを目的とするものであるが、その
基材または結合剤などの材質の機械的特性などの
不充分さのために、工業的な研磨工具として長時
間に亘つて使用した場合の引張強度、耐熱性、耐
摩耗性などにおいて不充分であつた。 一方、基材に砥粒を均一に分散含有させてなる
研削材料としては、ピロメリツト酸二無水物と芳
香族ジアミンとから得られた芳香族ポリイミド粉
体(砥粒結合剤)と、ダイヤモンドなどの砥粒と
の粉体混合物を、金型内に充填し、その充填物を
高温および高圧で成形して環状の砥粒成形体を製
造し、この砥粒成形体をホイール状の砥石基盤に
砥粒層として接合して製作した超硬合金用の研削
工具が、アメリカ特許第3385684号明細書、アメ
リカ特許第3650715号明細書などによつて、よく
知られている。 しかしながら、上記各明細書記載の芳香族ポリ
イミドを用いる粉末成形法では、砥粒成形体をシ
ート状に加工することも可能ではあるが、該シー
ト状体は実質的に剛体であつて、可撓性のある研
磨シートにはならない。 [発明の目的] 本発明は、砥粒が、芳香族ポリイミド中に均一
に分散されており、かつ、優れた耐久性および耐
摩耗性を有する、可撓性研磨シートを提供するこ
とを目的とする。 [発明の要旨] 本発明は、平均粒子径が0.1〜60μmの砥粒が、
0.5〜50容量%の配合割合で、芳香族テトラカル
ボン酸成分と芳香族ジアミン成分とから得られた
芳香族ポリイミド塗膜中に、均一に分散されてい
る、厚さ5〜200μmの可撓性研磨シートにある。 [発明の詳細な記述] 本発明の研磨シートは、特定の平均粒子径を有
する砥粒が、耐熱性の芳香族ポリイミド塗膜中
に、均一に分散して内蔵されていて、厚さが5〜
200μm、好ましくは20〜150μmである可撓性薄
膜(フイルム状体、シート状体のいずれも含む)
からなる研磨シートである。 本発明の研磨シートに使用できる砥粒として
は、平均粒子径が0.1〜60μm、好ましくは0.5〜
40μm程度である研磨または研削用の砥粒であれ
ばよく、例えば、天然または人造ダイヤモンド、
立方晶窒化ホウ素などからなる上記平均粒子径の
砥粒を挙げることができる。 上記の砥粒は、その全表面を無機質の物質で被
覆されている砥粒であつてもよい。 本発明の研磨シートの塗膜形成に使用できる芳
香族ポリイミドの例としては、ピロメリツト酸ま
たはその酸二無水物を主として含有する芳香族テ
トラカルボン酸成分と、芳香族ジアミン成分とか
ら、両成分の等モルを重合およびイミド化して得
られた、耐熱性の芳香族ポリイミドである。 上記のピロメリツト酸またはその酸二無水物を
主として含有する芳香族テトラカルボン酸成分と
しては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物
と、他の芳香族テトラカルボン酸類またはその酸
二無水物との混合物であつてもよい。 上述のピロメリツト酸またはその酸二無水物と
混合して使用することができる芳香族テトラカル
ボン酸成分としては、2,3,3′,4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ビフエニ
ルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフ
エノンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4
−ジカルボキシフエニル)プロパン、ビス(3,
4−ジカルボキシフエニル)メタン、ビス(3,
4−ジカルボキシフエニル)エーテル、ビス
(3,4−ジカルボキシフエニル)ホスフインな
ど、またはこれらの酸二無水物を好適に挙げるこ
とができる。なお、これらのピロメリツト酸系以
外の芳香族テトラカルボン酸成分を単独で使用す
ることも可能である。 上述の芳香族ジアミン成分としては、4,4′−
ジアミノジフエニルエーテル、3,4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル、4,4′−ジアミノジフエニ
ルチオエーテル、4,4′−ジアミノジフエニルス
ルホン、4,4′−ジアミノベンゾフエノン、4,
4′−ジアミノジフエニルメタン、2,2−ビス
(4−アミノフエニル)プロパン、o−、m−ま
たはp−フエニレンジアミンなどを好適に挙げる
ことができる。 本発明に使用できる芳香族ポリイミドの例とし
ては、ピロメリツト酸またはその酸二無水物を50
モル%以上、好ましくは60モル%以上、さらに好
ましくは80〜100モル%含有する芳香族テトラカ
ルボン酸成分と、4,4′−ジアミノジフエニルエ
ーテルを50モル%以上、好ましくは60モル%以
上、さらに好ましくは80〜100モル%含有する芳
香族ジアミン成分とから得られた高分子量の芳香
族ポリイミドを挙げることができる。 上述の芳香族ポリイミドは、対数粘度(測定温
度:50℃、濃度:0.5g/100ml溶媒、溶媒:p−
クロルフエノール)が、0.1〜7、特に0.3〜5で
あることが好ましい。 本発明において、上述の芳香族ポリイミドは、
試料を10℃/分で昇温した場合に試料の5重量%
が加熱減量するまでの温度で示される耐熱性が
450℃以上、特に500℃以上であるものが好まし
く、また、湿度50%および温度50℃の環境状態に
保持して到達する吸湿率で示される平衡吸湿率が
2.0%以下、特に1.5%以下であるものが、研磨シ
ートに成形された後の耐久性において好ましい。 本発明の研磨シートは、上述の芳香族ポリイミ
ド中に、上述の砥粒を0.5〜50容量%、好ましく
は2〜30容量%の割合で含有していることが、優
れた研磨性能(研磨除去量、研削比など)を得る
ために特に好適である。 本発明の研磨シートにおいては、上記の砥粒お
よび芳香族ポリイミドの他に、例えば、グラフア
イト、SiO2、SiC、Al2O3、Fe2O3、Cu、Snなど
からなる充填材が一種類または二種類以上配合さ
れていてもよい。上記の充填材は、平均粒子径が
0.1〜100μm、特に0.5〜50μmの粉体であること
が望ましい。 本発明の研磨シートは、例えば、上述の砥粒が
均一に分散している芳香族ポリアミツク酸(芳香
族ポリイミド前駆体)溶液を製膜用ドープ液とし
て液状薄膜を形成し、該液状薄膜を乾燥固化させ
て固化膜(塗膜)を形成すると共に芳香族ポリア
ミツク酸をイミド化し、さらに必要であれば加熱
処理することによつて、製造することができる。 上述の、砥粒が均一に分散している芳香族ポリ
アミツク酸は、 有機極性溶媒中に上述の砥粒を均一に分散させ
た後、その分散液に上述の芳香族テトラカルボン
酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶解
させ、両成分を重合させる方法;あるいは、 有機極性溶媒中に、上述の芳香族テトラカルボ
ン酸成分および芳香族ジアミン成分を添加して溶
解させ、両成分を重合させてポリアミツク酸溶液
とした後、該ポリアミツク酸に上述の砥粒を添加
し高速で撹拌する方法、によつて調製することが
できる。 上記の有機極性溶媒として、例えば、N−メチ
ル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルアミ
ド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトア
ミドなどのアミド系溶媒、フエノール、クレゾー
ル、ハロゲン化フエノールなどのフエノール系溶
媒などを挙げることができる。 上記のポリアミツク酸溶液の調製において生成
する芳香族ポリアミツク酸は、その対数粘度(測
定温度:30℃、濃度:0.5g/100ml溶媒、溶媒:
N,N−ジメチルアセトアミド)が0.1〜7、特
に0.3〜5であること、その溶液中のポリアミツ
ク酸のポリマー濃度が3〜50重量%、特に5〜30
重量%であること、さらにその溶液の回転粘度
(25℃)が、1〜50000ポイズであることが、本発
明における液状薄膜の成形性のために好ましい。 上記の砥粒が均一に分散しているポリアミツク
酸溶液から液状薄膜を形成するには、該ポリアミ
ツク酸溶液を、約5〜120℃の製膜温度で、適当
な平滑な基材(ガラス基板、金属ドラム、金属ベ
ルトなど)上に流延して、均一な厚さ(約20〜
1000μm)の液状薄膜を形成する溶液流延法など
の公知の製膜法によつて、断続的又は連続的に製
膜を行なうことができる。 本発明の研磨シートは、耐折強度が500〜50000
回、特に800〜30000回であることが実用上好まし
い。 本発明の研磨シートは、ベルト状に加工して異
径品の自由曲面の仕上加工を行なう、ベークライ
ト、プラスチツクなどの基材に取り付けて各種材
料のホーニング加工を行なうなどの用途に、好適
に用いることができる。 [発明の効果] 本発明の研磨シートは、砥粒が芳香族ポリイミ
ド中に均一に分散している一体型研磨シートであ
るので、曲率の小さな表面を有する被研磨材など
の研磨に適した可撓性を有する。 さらに、本発明の研磨シートは、砥粒に対する
強い保持力を有し、かつ、引張強度、耐熱性、耐
湿性、耐薬品性についても優れているので、工業
用の研磨工具として充分な耐摩耗性および耐久性
を有する。 特に本発明の研磨シートは、上記の範囲の優れ
た耐折強度を有するので、任意の形態で繰り返し
長期間使用でき、実用上有利である。 次に本発明の実施例および比較例を示す。 [実施例 1] (芳香族ポリアミツク酸溶液の調製) 内容積500mlの円筒型重合槽に、N,N−ジメ
チルアセトアミド240gを入れて撹拌しながら、
平均粒子径5μmのダイヤモンド粉末20.0gを添加
し、そのまま、約30分間撹拌を続けて、砥粒の分
散液を調製した。 続いて、上記砥粒分散液に、4,4′−ジアミノ
ジフエニルエーテル28.72gを添加し30℃で30分
間撹拌して溶解した後、さらにピロメリツト酸二
無水物28.15gを徐々に添加し30℃で2時間撹拌
して溶解すると共に、上記の両成分を重合反応さ
せた。 最後に、上記重合液に、ピロメリツト酸二無水
物3.13gを徐々に添加し30℃で3時間撹拌して、
芳香族ポリアミツク酸を生成させ、砥粒が均一に
分散している芳香族ポリアミツク酸溶液を調製し
た。 上記芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー濃
度が20重量%であり、その溶液の回転粘度(30
℃)が1500ポイズであつた。 (製膜) 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用して、ガラス板上にアプリケー
ターを用いてハンドコート法(溶液流延法)によ
り、均一な厚さの液状薄膜を形成した。 次いで、約120℃の熱風を供給して上記液状薄
膜から溶液を一部除去して、約30重量%の溶媒が
残存している固化膜を形成した。 そして、この固化膜をガラス板から剥離して、
ピンテンターで把持して加熱炉内に配置し、上記
固化膜を約300〜450℃の熱風で加熱して溶媒の除
去を行なうと共に、ポリマーのイミド化を完全に
行なつた。 上述の方法により、芳香族ポリイミド塗膜フイ
ルム中に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量%(12.9
容量%)の割合で均一に分散している、厚さ90μ
mの可撓性研磨シートを製造した。 上記研磨シートを用いて、φ60mm×φ30mm×20
mmの窒化ケイ素材に対して、周速度15m/分、往
復速度3m/分の条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第1〜3図に示す。 また、上記研磨シートについて、引張強度、耐
折強度、熱減量(耐熱性)および平衡吸湿率の測
定を行つた。その結果を第1表に示す。 [比較例 1] 実施例1で使用した研磨シートと同一容量比で
ダイヤモンド砥粒を含むウレタン樹脂をポリエス
テル基材に塗布して製造した研磨シートを用い
て、実施例1と同一条件でホーニング加工を行な
い、耐久性および耐摩耗性について試験した。そ
の結果を添付した図面の第1〜3図に示す。 [比較例 2] 比較例1のダイヤモンド砥粒を炭化ケイ素砥粒
に替えた研磨シートを用いた外は、比較例1と同
一条件でホーニング加工を行ない、耐久性および
耐摩耗性について試験した。その結果を添付した
図面の第1〜3図に示す。 [実施例 2] (芳香族ポリアミツク酸溶液の調製) 内容積1の円筒型重合槽に、N,N−ジメチ
ルアミド480gを入れて、4,4′−ジアミノジフ
エニルエーテル57.44gを添加し30℃で30分間撹
拌して溶解した。 次いで上記溶液に、ピロメリツト酸二無水物
56.30gを徐々に添加し30℃で2時間撹拌して溶
解すると共に、4,4′−ジアミノジフエニルエー
テルとピロメリツト酸二無水物とを重合させ、該
重合液にさらに、ピロメリツト酸二無水物6.26g
を徐々に添加し30℃で3時間撹拌して芳香族ポリ
アミツク酸を生成させた。 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液は、ポリマー
濃度が20重量%であり、回転粘度(30℃)が400
ポイズであつた。 上記溶液に、ダイヤモンド粉末(平均粒子径
5μm)40gを添加し、高速撹拌(5000rpm)を2
時間行なうことにより、砥粒が均一に分散してい
る芳香族ポリアミツク酸溶液を調製した。 (製膜) 上記の芳香族ポリアミツク酸溶液を製膜用のド
ープ液として使用したほかは実施例1と同様にし
て製膜を行い、芳香族ポリイミド塗膜フイルム中
に、ダイヤモンド砥粒が26.7重量%(12.9容量
%)の割合で均一に分散している、厚さ80μmの
研磨シートを製造した。 上記研磨シートについて、引張強度、耐折強
度、熱減量(耐熱性)および平衡吸湿率の測定を
行つた。その結果を第1表に示す。
【表】
[耐久性および耐摩耗性の評価]
添付図面の第1図は、研磨時間と累積研磨除去
量との関係を、実施例1および比較例1〜2の研
磨シートについて、比較したものである。比較例
1〜2の塗布型研磨シートは、研磨時間が長くな
るに従い研磨除去量が低下しているのに対して、
実施例1の研磨シートは一定の研磨除去量を維持
しており、優れた耐久性を有することが明らかで
ある。 第2図は、研磨時間と仕上がり面精度との関係
を、実施例1および比較例1〜2の研磨シートに
ついて、比較したものである。比較例1〜2の研
磨シートは、研磨初期に仕上がり面精度がいつた
ん粗くなつた後、細かくなつており、これは研磨
能力が減退していることを示している。一方、実
施例1の研磨シートは、仕上がり面精度を一定に
維持しており、恒量的な研磨を行なつていること
がわかる。 第1図および第2図から、本発明の研磨シート
は優れた耐久性を有することが明らかである。 第3図は、研磨時間と研削比との関係を、実施
例1および比較例1〜2の研磨シートについて、
比較したものである。研削比は、研磨材料自身の
摩耗量に対する被研磨材料の被研磨量(被研磨材
料の被研磨量/研磨材料の自己摩耗量)で表わさ
れる量である。 本発明の研磨シートは少ない自己摩耗量で多量
の研磨を行なつており、比較例の二者に比較して
優れた耐摩耗性を有することが明らかである。
量との関係を、実施例1および比較例1〜2の研
磨シートについて、比較したものである。比較例
1〜2の塗布型研磨シートは、研磨時間が長くな
るに従い研磨除去量が低下しているのに対して、
実施例1の研磨シートは一定の研磨除去量を維持
しており、優れた耐久性を有することが明らかで
ある。 第2図は、研磨時間と仕上がり面精度との関係
を、実施例1および比較例1〜2の研磨シートに
ついて、比較したものである。比較例1〜2の研
磨シートは、研磨初期に仕上がり面精度がいつた
ん粗くなつた後、細かくなつており、これは研磨
能力が減退していることを示している。一方、実
施例1の研磨シートは、仕上がり面精度を一定に
維持しており、恒量的な研磨を行なつていること
がわかる。 第1図および第2図から、本発明の研磨シート
は優れた耐久性を有することが明らかである。 第3図は、研磨時間と研削比との関係を、実施
例1および比較例1〜2の研磨シートについて、
比較したものである。研削比は、研磨材料自身の
摩耗量に対する被研磨材料の被研磨量(被研磨材
料の被研磨量/研磨材料の自己摩耗量)で表わさ
れる量である。 本発明の研磨シートは少ない自己摩耗量で多量
の研磨を行なつており、比較例の二者に比較して
優れた耐摩耗性を有することが明らかである。
第1図は、実施例1および比較例1〜2の研磨
シートを用いてホーニング加工を行なつた場合の
研磨時間と累積研磨除去量との関係を示すもので
ある。第2図は、実施例1および比較例1〜2の
研磨シートを用いてホーニング加工を行なつた場
合の研磨時間と仕上がり面精度との関係を示すも
のである。第3図は、実施例1および比較例1〜
2の研磨シートを用いてホーニング加工を行なつ
た場合の研磨時間と研削比との関係を示すもので
ある。
シートを用いてホーニング加工を行なつた場合の
研磨時間と累積研磨除去量との関係を示すもので
ある。第2図は、実施例1および比較例1〜2の
研磨シートを用いてホーニング加工を行なつた場
合の研磨時間と仕上がり面精度との関係を示すも
のである。第3図は、実施例1および比較例1〜
2の研磨シートを用いてホーニング加工を行なつ
た場合の研磨時間と研削比との関係を示すもので
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 平均粒子径が0.1〜60μmの砥粒が、0.5〜50
容量%の配合割合で、芳香族テトラカルボン酸成
分と芳香族ジアミン成分とから得られた芳香族ポ
リイミド塗膜中に均一に分散されている、厚さ5
〜200μmの可撓性研磨シート。 2 芳香族テトラカルボン酸成分が、ピロメリツ
ト酸またはその酸二無水物を50〜100%含有する
請求項第1項記載の研磨シート。 3 砥粒が、天然または人造ダイヤモンドあるい
は立方晶窒化ホウ素からなる請求項第1項記載の
研磨シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7276587A JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7276587A JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63237872A JPS63237872A (ja) | 1988-10-04 |
JPH0440156B2 true JPH0440156B2 (ja) | 1992-07-01 |
Family
ID=13498793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7276587A Granted JPS63237872A (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 研磨シ−ト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63237872A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641110B2 (ja) * | 1990-01-22 | 1994-06-01 | ソマール株式会社 | 研磨フィルムの製造方法 |
JP2676650B2 (ja) * | 1990-11-02 | 1997-11-17 | 宇部興産株式会社 | 研磨シートおよびその製法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6257876A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-13 | Ube Ind Ltd | 耐熱性樹脂結合砥石およびその製法 |
-
1987
- 1987-03-26 JP JP7276587A patent/JPS63237872A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6257876A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-13 | Ube Ind Ltd | 耐熱性樹脂結合砥石およびその製法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63237872A (ja) | 1988-10-04 |
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