JPH04372849A - Measuring sensor of concentration of solute in water solution - Google Patents
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Landscapes
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】この発明は、例えば硫酸溶液中の
水蒸気圧を測定検出することによって、この溶液の濃度
を測定させる水溶液中の溶質濃度測定センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensor for measuring the concentration of a solute in an aqueous solution, for example, by measuring and detecting the water vapor pressure in a sulfuric acid solution.
【０００２】0002
【従来の技術】溶液中の水蒸気圧を検出することによっ
て、この溶液の濃度を測定するようにした濃度センサと
しては、例えば特開平１−２５０７４７号公報に示され
るように、感湿センサを多孔性膜で被覆して構成したも
のが知られている。この濃度センサは水溶液中に直接浸
漬することによって使用されるもので、多孔性膜に形成
された孔を介して拡散される水蒸気の分圧を、感湿セン
サによって測定することで、水溶液中の溶質の濃度を検
出するようにしている。2. Description of the Related Art As a concentration sensor that measures the concentration of a solution by detecting the water vapor pressure in the solution, for example, as shown in Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-250747, a moisture-sensitive sensor is used with a porous hole. A structure coated with a synthetic film is known. This concentration sensor is used by being directly immersed in an aqueous solution, and by measuring the partial pressure of water vapor diffused through pores formed in a porous membrane using a moisture-sensitive sensor, It is designed to detect the concentration of solute.
【０００３】この様な濃度センサを構成する感湿センサ
は感湿膜を備え、この感湿膜部分に溶液から水蒸気を分
離して供給する水蒸気透過膜（多孔性膜）を含み構成さ
れ、感湿センサに対しては電気的な測定信号を出力する
リード線が接続し、このリード線の接続された感湿セン
サの全体を保護ケースによって被覆するようにしている
。[0003] A humidity sensor constituting such a concentration sensor has a humidity sensitive membrane, and this humidity sensitive membrane part includes a water vapor permeable membrane (porous membrane) for separating and supplying water vapor from a solution. A lead wire for outputting an electrical measurement signal is connected to the humidity sensor, and the entire humidity sensor to which this lead wire is connected is covered with a protective case.
【０００４】図１０は従来の感湿センサ５０を示してい
るもので、感湿センサ５０はセラミックによって構成さ
れた基板５１上に、櫛の歯状にした電極５２１ および
空気中の水分によって抵抗値が変化する性質を有する感
湿膜５２を形成することによって構成される。この基板
５１上には電極５２１ に電気的に接続されるリード取
出し用端子５３を形成し、この端子５３にリード線５４
を半田５５によって接続する。FIG. 10 shows a conventional humidity sensor 50. The humidity sensor 50 has a ceramic substrate 51, a comb-shaped electrode 521, and a resistance value determined by the moisture in the air. It is constructed by forming a moisture sensitive film 52 having a property that changes. A lead extraction terminal 53 electrically connected to the electrode 521 is formed on this substrate 51, and a lead wire 54 is connected to this terminal 53.
are connected by solder 55.
【０００５】この感湿センサ５０は保護ケース内に収納
し、被検溶液中に浸漬するものであるが、この保護ケー
スの一部分を、水蒸気透過膜で構成し、被検溶液中の水
蒸気圧が検出されるようにする。This humidity sensor 50 is housed in a protective case and immersed in a test solution. A part of the protective case is constructed of a water vapor permeable membrane, so that the water vapor pressure in the test solution is Make it discoverable.
【０００６】この様な感湿センサ５０では、リード線５
４を接続するための半田５５に突起状物が形成され、こ
の突起状物によって感湿センサ５０の厚さを薄くするこ
とが困難となる。また、感湿センサ５０のセンサ外部の
水蒸気圧変化に対する応答性を良くするためには、水蒸
気透過膜の面積を大きくする必要があり、このため半田
５５の突起状物が水蒸気透過膜に接触する状態となると
、この水蒸気透過膜に傷を付けるようになり、被検溶液
がこの感湿センサ５０部に侵入し、この溶液の濃度測定
が行えなくなることがある。In such a humidity sensor 50, the lead wire 5
A protrusion is formed on the solder 55 for connecting the moisture sensor 4, and this protrusion makes it difficult to reduce the thickness of the humidity sensor 50. Furthermore, in order to improve the responsiveness of the humidity sensor 50 to changes in water vapor pressure outside the sensor, it is necessary to increase the area of the water vapor permeable membrane, so that the protrusions of the solder 55 come into contact with the water vapor permeable membrane. If this occurs, the water vapor permeable membrane may be damaged, and the sample solution may enter the moisture sensor 50, making it impossible to measure the concentration of the solution.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記のよう
な点に鑑みなされたもので、特に感湿膜に接続される端
子部と導出リードとの接続部分を改善し、半田付けによ
る突起状物が形成されないようにして、全体の膜厚を確
実に薄型化して構成できるようにすると共に、水蒸気透
過膜となる多孔性非透水性膜に傷が付けられないように
して、信頼性が充分に得られるようにした水溶液中の溶
質濃度測定センサを提供しようとするものである。[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to improve the connection part between the terminal part connected to the moisture sensitive membrane and the lead-out lead, and to reduce the protrusion shape by soldering. In addition to ensuring that the overall membrane thickness is reduced by preventing the formation of particles, the porous non-water permeable membrane that becomes the water vapor permeable membrane is prevented from being scratched, ensuring sufficient reliability. The present invention aims to provide a sensor for measuring solute concentration in an aqueous solution that can be obtained in the following manner.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明に係る水溶液中
の溶質濃度測定センサは、感湿膜を形成した基板に、こ
の感湿膜に接続されるリード取出し電極を形成すると共
に、電極部に対向して測定センサリードの平板状被覆接
続部を対向設定し、前記リード取出し電極に半田付け接
続されるようにしている。[Means for Solving the Problems] A sensor for measuring solute concentration in an aqueous solution according to the present invention includes a substrate on which a moisture-sensitive film is formed, a lead extraction electrode connected to the moisture-sensitive film, and an electrode portion. The flat plate-shaped covered connection portions of the measurement sensor leads are set to face each other and are connected to the lead extraction electrodes by soldering.
【０００９】[0009]
【作用】この発明に係る溶質濃度測定センサにあっては
、感湿膜の形成された基板に対して、測定センサリード
が対面設定され、感湿膜に接続されるリード取出し電極
部分がこのセンサリードの平板状被覆接続部によって覆
われ、この接続部が基板上のリード取出し電極との間を
半田によって結合されるようにしても、この半田部は接
続部によってカバーされ、この濃度測定センサの厚さが
容易に薄く構成することができる。また、半田の突起状
物が突出しないものであるため、感湿膜部を覆うように
設定される水蒸気透過膜に傷が付けられることがなく、
信頼性が確実に確保されるようになる。[Operation] In the solute concentration measurement sensor according to the present invention, the measurement sensor lead is set to face the substrate on which the humidity sensitive film is formed, and the lead extraction electrode portion connected to the humidity sensitive film is connected to the sensor. Even if the lead is covered by a plate-shaped covering connection part and this connection part is connected to the lead extraction electrode on the board by solder, the solder part is covered by the connection part and the concentration measuring sensor is The thickness can be easily reduced. In addition, since the solder protrusions do not protrude, the water vapor permeable membrane that is set to cover the moisture sensitive membrane will not be damaged.
Reliability will be ensured.
【００１０】0010
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。図１は水溶液中の溶質濃度を測定するセンサ
の断面構造を示すもので、測定センサ本体とされる感湿
センサ１１はセラミックによって構成された基板１２上
に、感湿膜１３を印刷等の手法によって塗布形成して構
成される。１３１ は感湿膜１３に接触して設定される
電極である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the cross-sectional structure of a sensor that measures the solute concentration in an aqueous solution. It is formed by coating. 131 is an electrode set in contact with the moisture sensitive membrane 13.
【００１１】図２の（Ａ）はこの感湿センサ１１部を取
出して示した平面図で、基板１２上には感湿膜１３と共
に、基板１２の１つの辺部分に近接した位置にリード取
出し電極１４１および１４２ が導電体膜によって形成
されている。この電極１４１ および１４２ は、感湿
膜１３の電極１３１ に配線１５１ および１５２ を
介して接続され、空気中の水分と反応して変化する感湿
膜１３の抵抗値に対応した電気的信号が出力される。FIG. 2A is a plan view showing the humidity sensor 11 taken out.A lead extraction is provided on the substrate 12 along with the moisture sensitive film 13 at a position close to one side of the substrate 12. Electrodes 141 and 142 are formed of a conductive film. These electrodes 141 and 142 are connected to the electrode 131 of the humidity sensitive membrane 13 via wiring 151 and 152, and an electrical signal corresponding to the resistance value of the humidity sensitive membrane 13 that changes in response to moisture in the air is output. be done.
【００１２】フレキシブル配線基板１６は、感湿センサ
１１の基板１２に対向して設定される。この配線基板１
６は測定センサリードとされるもので、図２の（Ｂ）で
示すように銅箔によって構成された配線層１６１ およ
び１６２ を樹脂膜によって挟み込んで構成した、極く
一般に知られた構造である。[0012] The flexible wiring board 16 is set opposite to the board 12 of the humidity sensor 11. This wiring board 1
Reference numeral 6 denotes a measurement sensor lead, and as shown in FIG. 2(B), it has a very generally known structure in which wiring layers 161 and 162 made of copper foil are sandwiched between resin films. .
【００１３】フレキシブル配線基板１６は、リード取出
し電極１４１ および１４２ に対面して樹脂膜を剥離
して内部の銅箔配線部を露出した平板状被覆接続部を備
え、この接続部で接続用電極１６３ および１６４ が
形成される。The flexible wiring board 16 is provided with a flat plate-shaped covered connection part facing the lead extraction electrodes 141 and 142 and having the resin film peeled off to expose the internal copper foil wiring part. and 164 are formed.
【００１４】このフレキシブル配線基板１６は、感湿セ
ンサ１１の基板１２の面に対面して設定され、その接続
用電極１６３ および１６４が、基板１２上のリード取
出し電極１４１ および１４２ にそれぞれ対面され、
その相互間は半田１７によって一体的に結合する。The flexible wiring board 16 is set to face the surface of the board 12 of the humidity sensor 11, and its connection electrodes 163 and 164 face the lead extraction electrodes 141 and 142 on the board 12, respectively.
They are integrally bonded to each other by solder 17.
【００１５】この様にフレキシブル配線基板１６が接続
された感湿センサ１１は、全体を保護ケース１８中に収
納し、被検溶液中に浸漬した場合、この溶液が感湿セン
サ１１に直接接触されないようにしている。The moisture sensor 11 to which the flexible wiring board 16 is connected in this manner is housed entirely in the protective case 18, and when immersed in a test solution, this solution does not come into direct contact with the moisture sensor 11. That's what I do.
【００１６】測定センサ本体収納手段とされる保護ケー
ス１８は、感湿センサ１１の特に感湿膜１３に対面する
位置に開口形成した窓を備え、この窓部は多孔性非透水
性膜で構成した水蒸気透過膜１９で塞ぐ。The protective case 18, which serves as a storage means for the measurement sensor body, has a window formed at a position facing the moisture-sensitive sensor 11, particularly the moisture-sensitive membrane 13, and this window portion is made of a porous, water-impermeable membrane. It is closed with a water vapor permeable membrane 19.
【００１７】この様に構成された濃度センサは、リード
取り出し電極１４１ 、１４２ とフレキシブル配線基
板１６の接続用電極１６３ 、１６４ とが半田１７に
よって接続されるが、この半田１７部分は基板１２とフ
レキシブル配線基板１６との間に挟まれて形成される。In the concentration sensor configured in this manner, the lead extraction electrodes 141 , 142 and the connecting electrodes 163 , 164 of the flexible wiring board 16 are connected by solder 17 , and the solder 17 portion is connected to the flexible wiring board 12 . It is formed sandwiched between the wiring board 16 and the wiring board 16.
【００１８】したがって、この電極相互を接続する半田
１７に突起状物が形成されることがなく、またこの半田
１７が保護ケース１８の特に水蒸気透過膜１９に接触さ
れることがない。このため、この濃度センサ全体の厚さ
を容易に薄型に構成できると共に、半田１７によって水
蒸気透過膜１９に傷をつけるようになる虞がない。Therefore, no protrusions are formed on the solder 17 that connects the electrodes, and the solder 17 does not come into contact with the water vapor permeable membrane 19 of the protective case 18. Therefore, the overall thickness of this concentration sensor can be easily made thin, and there is no possibility that the water vapor permeable membrane 19 will be damaged by the solder 17.
【００１９】この濃度センサが被検溶液中に浸漬された
場合、保護ケース１８の窓部に形成された水蒸気透過膜
１９で溶液が遮断され、水蒸気成分のみがこの透過膜１
９を通過して感湿膜１３に作用される。When this concentration sensor is immersed in the test solution, the solution is blocked by the water vapor permeable membrane 19 formed in the window of the protective case 18, and only the water vapor component passes through the permeable membrane 1.
9 and is applied to the moisture sensitive membrane 13.
【００２０】被検溶液が硫酸であると場合、濃度センサ
を硫酸中に浸漬したときに、硫酸に含まれる水蒸気のみ
が感湿センサ１１に拡散されるようにする必要がある。
このため、この濃度センサにあっては感湿センサ１１が
ポリプロピレン等によって構成された保護ケース１８内
に収納されるようにすると共に、保護ケース１８の一部
が多孔性膜による水蒸気透過膜１９で構成されている。When the test solution is sulfuric acid, it is necessary to ensure that only the water vapor contained in the sulfuric acid is diffused into the humidity sensor 11 when the concentration sensor is immersed in the sulfuric acid. Therefore, in this concentration sensor, the humidity sensor 11 is housed in a protective case 18 made of polypropylene or the like, and a part of the protective case 18 is made of a water vapor permeable membrane 19 made of a porous membrane. It is configured.
【００２１】この水蒸気透過膜１９は、例えば０．０１
〜０．５μｍの多数の孔を形成して薄膜でなり、水蒸気
透過膜１９によって水分が遮断されると共に水蒸気成分
のみが透過される性質を有する。This water vapor permeable membrane 19 has a water vapor permeability of, for example, 0.01
It is made of a thin film with a large number of pores of ~0.5 μm, and has the property of blocking moisture and allowing only water vapor components to permeate through the water vapor permeable membrane 19.
【００２２】この場合、この水蒸気透過膜１９を構成す
る材料は、耐硫酸性のポリプロピレンやテフロン系の樹
脂が選択されもので、特に硫酸の濃度変化に対して応答
性を良くするために、例えば厚さ１００μｍ等の非常に
薄い膜によって構成される。In this case, the material constituting the water vapor permeable membrane 19 is selected from sulfuric acid-resistant polypropylene or Teflon resin. It is composed of a very thin film such as 100 μm thick.
【００２３】上記実施例においては、フレキシブル配線
基板１６を、感湿センサ１１のリード取り出し電極１４
１ 、１４２ 部を覆う位置まで延長形成した。しかし
、図３に示すようにフレキシブル配線基板１６を基板１
２の全体を覆うように大きくしてもよい。In the above embodiment, the flexible wiring board 16 is connected to the lead extraction electrode 14 of the humidity sensor 11.
It was extended to a position covering 1,142 parts. However, as shown in FIG.
It may be enlarged to cover the entire part 2.
【００２４】この場合、フレキシブル配線基板１６に対
して、基板１２上の感湿膜１３の形成領域に対応して窓
２０を開口形成し、水蒸気透過膜１９を通過した水蒸気
が感湿膜１３に効果的に作用させられるようにする。In this case, a window 20 is formed in the flexible wiring board 16 corresponding to the area where the moisture-sensitive film 13 is formed on the board 12, so that the water vapor that has passed through the water vapor permeable film 19 reaches the humidity-sensitive film 13. Make it work effectively.
【００２５】図４は図３で示した感湿センサ１１を用い
て構成される濃度センサの断面構造を示すもので、フレ
キシブル配線基板１６の窓２０部に対応して保護ケース
１８に窓を開口形成し、この窓部分に水蒸気透過膜１９
を取り付ける。その他、前実施例と同一部分は同一符号
を付してその説明を省略する。FIG. 4 shows a cross-sectional structure of a concentration sensor constructed using the humidity sensor 11 shown in FIG. A water vapor permeable membrane 19 is formed on this window portion.
Attach. Other parts that are the same as those in the previous embodiment are given the same reference numerals and their explanations will be omitted.
【００２６】この様にフレキシブル配線基板１６によっ
て、感湿センサ１１の基板１２部の全面を覆うようにす
れば、基板１２の角部のバリ等によって水蒸気透過膜１
９に傷を付けることが確実に阻止され、信頼性がさらに
向上される。By covering the entire surface of the substrate 12 of the humidity sensor 11 with the flexible wiring board 16 in this way, burrs on the corners of the substrate 12 can cause the water vapor permeable film 1
9 is reliably prevented from being damaged, and reliability is further improved.
【００２７】図５はさらに他の実施例の感湿センサ１１
を示すもので、この実施例においてはフレキシブル配線
基板１６を図３の実施例よりさらに大きく構成し、基板
１２の裏面までも覆うように構成する。したがって、基
板１２の裏面の角部で裏面の水蒸気透過膜１９を傷付け
ることをさらに確実に防止できる。FIG. 5 shows a humidity sensor 11 of still another embodiment.
In this embodiment, the flexible wiring board 16 is configured to be larger than the embodiment shown in FIG. 3, and is configured to cover even the back surface of the board 12. Therefore, it is possible to more reliably prevent the water vapor permeable membrane 19 on the back surface from being damaged by the corners of the back surface of the substrate 12.
【００２８】この濃度センサにおいては、基板１２に形
成されたリード取出し電極１４１ 、１４２部に対応し
て、フレキシブル配線基板１６の銅箔配線層１６１ 、
１６２ を露出させて接続用電極１６３ 、１６４ を
形成し、この両者を対設した状態で半田付けするように
した。したがって、この導出リード部を構成する場合の
作業性が向上される。In this concentration sensor, the copper foil wiring layers 161 and 142 of the flexible wiring board 16 correspond to the lead extraction electrodes 141 and 142 formed on the board 12, respectively.
162 was exposed to form connection electrodes 163 and 164, and the two were soldered while facing each other. Therefore, the workability in constructing this lead-out lead portion is improved.
【００２９】これは、従来のリード線の半田付け作業の
各電極部に対する半田付け時における場合のようにリー
ド線の位置決めが不要であり、例えば基板１２上の電極
１４１ 、１４２ に対して迎え半田処理を施し、熱板
上でのリフローによる半田付け作業が可能とされる。This eliminates the need for positioning the lead wires, unlike when soldering each electrode part in the conventional lead wire soldering work. After processing, it is possible to perform reflow soldering on a hot plate.
【００３０】実施例で示した感湿センサは、上記説明の
ようにして導出電極部の半田接続処理が行われるが、基
板１２上の電極１４１ 、１４２ とフレキシブル配線
基板１６に形成される接続用電極部１６３ 、１６４
のそれぞれの大きさは、特に同一の大きさである必要は
ない。In the humidity sensor shown in the embodiment, the lead-out electrode portion is soldered and connected as described above, but the connection process formed on the electrodes 141 and 142 on the substrate 12 and the flexible wiring board 16 is Electrode parts 163, 164
The sizes of each do not need to be particularly the same.
【００３１】例えば、図６で示すようにフレキシブル配
線基板１６の配線層１６１ 、１６２ の延長上に形成
される接続用電極１６３ 、１６４ が、基板１２に形
成されるリード取出し電極１４１ 、１４２ それぞれ
より大きく構成されるようにしてもよく、また図７で示
すようにその逆の大きさの関係としてもよい。For example, as shown in FIG. 6, the connection electrodes 163 and 164 formed on the extensions of the wiring layers 161 and 162 of the flexible wiring board 16 are connected to the lead extraction electrodes 141 and 142 formed on the board 12, respectively. It may be configured to have a large size, or may have the opposite size relationship as shown in FIG.
【００３２】この様に構成される硫酸濃度センサが、例
えば比重センサとしてバッテリに実装される場合、濃度
センサがバッテリの電槽と電極との間に実装されるよう
にすることが要求され、比重センサを充分に薄型に構成
することが必要である。しかし、比重センサはフレキシ
ブル配線基板１６を用いて信号導出部が構成されるよう
にすることにより、半田付け部の盛上がりが防止され、
例えば厚さ約２ｍｍとすることが可能となる。When the sulfuric acid concentration sensor configured in this manner is mounted on a battery as a specific gravity sensor, for example, the concentration sensor is required to be mounted between the battery case and the electrode, and the specific gravity It is necessary to construct the sensor to be sufficiently thin. However, by configuring the signal deriving part of the specific gravity sensor using the flexible wiring board 16, swelling of the soldered part can be prevented.
For example, the thickness can be approximately 2 mm.
【００３３】以上の実施例においては、湿度センサとし
てセラミック基板１２上に形成された感湿膜１３の抵抗
値の変化を利用した例を示したが、電極間の誘電率の変
化を利用した湿度センサにおいても、同様に実施できる
。In the above embodiment, an example was shown in which a change in the resistance value of the humidity sensitive film 13 formed on the ceramic substrate 12 was used as a humidity sensor. The same method can be applied to sensors as well.
【００３４】図８および図９で示す実施例の感湿センサ
は、基板１２上の電極１４１ 、１４２ とフレキシブ
ル配線基板１６の接続用電極部との半田付け作業時に、
半田フラックスが感湿膜１３部に流れ込み、感湿膜１３
の特性が変化させられることを防止する構造とされてい
る。The humidity sensor of the embodiment shown in FIG. 8 and FIG.
The solder flux flows into the moisture sensitive film 13, and the moisture sensitive film 13
The structure is designed to prevent the characteristics of the material from being changed.
【００３５】すなわち、基板１２は感湿膜１３に接続さ
れた配線１５１ 、１５２ にそれぞれ対応する位置に
、裏面に貫通するスルーホール２１１ 、２１２ を備
える。そしてリード取り出し電極１４３ 、１４４ が
、スルーホール２１１ 、２１２ を介して電気的に接
続されるようにして基板１２の裏面に形成されるように
する。That is, the substrate 12 is provided with through holes 211 and 212 penetrating through the back surface at positions corresponding to the wirings 151 and 152 connected to the moisture sensitive film 13, respectively. The lead extraction electrodes 143 and 144 are formed on the back surface of the substrate 12 so as to be electrically connected through the through holes 211 and 212.
【００３６】リード取出し電極１４３ 、１４４ が基
板１２の裏面に形成された場合には、フレキシブル配線
基板１６は基板１２の裏面に対設され、このフレキシブ
ル配線基板１６の配線層１６１ 、１６２ のそれぞれ
延長上に形成された接続用電極部が電極１４３ 、１４
４ に対設され、それぞれ半田１７によって接合される
ようになる。When the lead extraction electrodes 143 and 144 are formed on the back surface of the substrate 12, the flexible wiring board 16 is provided opposite to the back surface of the board 12, and the wiring layers 161 and 162 of the flexible wiring board 16 are extended from each other. The connection electrode portions formed on the top are the electrodes 143 and 14.
4 and are connected to each other by solder 17.
【００３７】また、この実施例においては、フレキシブ
ル配線基板１６部にダイオード、サーミスタ等の温度検
出素子２２を取り付け、この温度検出素子２２によって
感湿センサ１１の温度特性を補正するようにしている。Further, in this embodiment, a temperature detection element 22 such as a diode or a thermistor is attached to the flexible wiring board 16, and the temperature characteristics of the humidity sensor 11 are corrected by this temperature detection element 22.
【００３８】この実施例においては、フレキシブル配線
基板１６が基板１２の裏面部に対設されるものであるが
、このフレキシブル配線基板１６を折り返して基板１２
の両面を覆うように構成すれば、感湿膜１３部に対設設
定される水蒸気透過膜を確実に保護することができる。
この場合、窓２９が感湿膜１３の対面する部分に形成さ
れている。In this embodiment, the flexible wiring board 16 is placed opposite to the back surface of the board 12, but the flexible wiring board 16 is folded back and attached to the board 12.
By configuring it so as to cover both sides of the moisture sensitive membrane 13, the water vapor permeable membrane installed opposite to the moisture sensitive membrane 13 can be reliably protected. In this case, a window 29 is formed in the facing portion of the moisture sensitive membrane 13.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上のようにこの発明に係る水溶液中の
溶質濃度測定センサによれば、感湿膜の形成されたセラ
ミック等の基板面に、フレキシブル配線基板によって構
成された測定センサリードを対設することによって信号
導出部が構成され、基板に形成される感湿膜に接続され
たリード取出し電極とフレキシブル配線基板に形成され
た接続用電極との間は、フレキシブル配線基板とセラミ
ック機破線との間で半田によって結合される。したがっ
て、この接続用半田が基板面から大きく突出することが
なく、この濃度センサを容易に薄型に構成できると共に
、この種センサを構成する水蒸気透過膜に対して傷を付
けることも確実に防止され、信頼性の高い濃度センサを
構成できるようになるものである。As described above, according to the sensor for measuring solute concentration in an aqueous solution according to the present invention, a measurement sensor lead constituted by a flexible wiring board is attached to a substrate surface made of ceramic or the like on which a moisture-sensitive film is formed. A signal derivation section is configured by providing a lead-out electrode connected to a moisture-sensitive film formed on the board and a connection electrode formed on the flexible wiring board, and there is a connection between the flexible wiring board and the broken line of the ceramic machine. They are joined together by solder. Therefore, this connection solder does not protrude significantly from the substrate surface, making it possible to easily configure this concentration sensor to be thin, and also to reliably prevent damage to the water vapor permeable membrane that constitutes this type of sensor. , it becomes possible to construct a highly reliable concentration sensor.
【図１】この発明の一実施例に係る濃度センサを説明す
る断面構成図。FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram illustrating a concentration sensor according to an embodiment of the present invention.
【図２】（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ図１の実施例の
感湿センサ部およびフレキシブル配線基板部を取出して
示す平面図。2A and 2B are plan views respectively showing a humidity sensor section and a flexible wiring board section of the embodiment of FIG. 1;
【図３】（Ａ）はこの発明の第２の実施例の感湿センサ
部を示す平面図で、（Ｂ）は（Ａ）図のｂ−ｂ線断面図
。FIG. 3(A) is a plan view showing a moisture sensor section according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3(B) is a sectional view taken along line bb--b of FIG. 3(A).
【図４】上記感湿センサを用いた濃度センサを示す断面
構成図。FIG. 4 is a cross-sectional configuration diagram showing a concentration sensor using the humidity sensor.
【図５】この発明の第３の実施例に係る濃度センサの感
湿センサ部を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a humidity sensor section of a concentration sensor according to a third embodiment of the present invention.
【図６】この発明の第４の実施例を示す感湿センサの平
面図。FIG. 6 is a plan view of a humidity sensor showing a fourth embodiment of the invention.
【図７】この発明の第５の実施例を示す感湿センサの平
面図。FIG. 7 is a plan view of a humidity sensor showing a fifth embodiment of the invention.
【図８】この発明の第６の実施例に係る感湿センサを示
す断面図。FIG. 8 is a sectional view showing a humidity sensor according to a sixth embodiment of the present invention.
【図９】図８で示した感湿センサの平面図。FIG. 9 is a plan view of the humidity sensor shown in FIG. 8.
【図１０】従来の感湿センサを説明する図。FIG. 10 is a diagram illustrating a conventional humidity sensor.
１１…感湿センサ、１２…基板（セラミック）、１３…
感湿膜、１４１ 〜１４４ …リード取出し電極、１６
…フレキシブル配線基板、１６１ 、１６２ …配線層
、１６３ 、１６４ …接続用電極部、１７…半田、１
８…保護ケース、１９…水蒸気透過膜。11... Moisture sensor, 12... Substrate (ceramic), 13...
Moisture sensitive membrane, 141 to 144 ...Lead extraction electrode, 16
...Flexible wiring board, 161, 162...Wiring layer, 163, 164...Connection electrode part, 17...Solder, 1
8...Protective case, 19...Water vapor permeable membrane.
Claims (2)
とを備えてなり、測定センサ本体は、感湿センサ部であ
って、基板と前記基板上に形成した電極と前記電極上に
形成した感湿膜とを有したものと、前記電極の出力端子
であって、前記基板上に配設したものと、測定センサリ
ードの平板状被覆接続部の前記出力端子配設基板対面側
で前記出力端子と導電接続したものと、を備えてなるも
のであり、前記測定センサ本体収納手段は、非透水性の
水蒸気透過膜を少なくとも一部に備えてなるものであり
、前記測定センサ本体収納手段中に前記測定センサ本体
を液密に収納したものであることを特徴とする水溶液中
の溶質濃度測定センサ。1. A measurement sensor body comprising a measurement sensor body and a measurement sensor housing means, the measurement sensor body being a moisture-sensitive sensor section, comprising a substrate, an electrode formed on the substrate, and a humidity-sensing sensor formed on the electrode. an output terminal of the electrode disposed on the substrate; and an output terminal of the measurement sensor lead on the side facing the output terminal disposed substrate of the flat plate-like covering connection portion of the measurement sensor lead. conductively connected to each other, and the measurement sensor body storage means includes at least a part of a water-impermeable water vapor permeable membrane, and the measurement sensor body storage means includes a A sensor for measuring solute concentration in an aqueous solution, characterized in that the measurement sensor body is housed in a liquid-tight manner.
ンサ本体の少なくとも前記感湿膜の存在する面を覆うよ
うに形成され、前記測定センサリードには前記感湿膜の
形成面に対応して窓が形成されるようにした請求項１記
載の溶質濃度測定センサ。2. The measurement sensor lead is formed to cover at least a surface of the measurement sensor body where the moisture-sensitive film is present, and the measurement sensor lead has a window corresponding to the surface on which the moisture-sensitive film is formed. 2. The solute concentration measuring sensor according to claim 1, wherein: is formed.
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|---|---|---|---|
| JP3151325A JP2995106B2 (en) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | Solute concentration measurement sensor in aqueous solution |
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| JP3151325A JP2995106B2 (en) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | Solute concentration measurement sensor in aqueous solution |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372849A true JPH04372849A (en) | 1992-12-25 |
| JP2995106B2 JP2995106B2 (en) | 1999-12-27 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2995106B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1680660A1 (en) | 2003-10-15 | 2006-07-19 | The Commonwealth of Australia | State-of-charge indicator and method therefor a flooded cell battery |
| JP2008026322A (en) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Sensirion Ag | Humidity detector for detecting fogging of window glass |
| CN109856342A (en) * | 2019-04-03 | 2019-06-07 | 北京康孚科技股份有限公司 | A kind of concentration of salt solution on-line measurement device |
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|---|---|---|---|---|
| AU2003248295A1 (en) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | The Commonwealth Of Australia, C/O Minister For Defence | Apparatus for Measuring Water Concentration in Multi-Component Solutions |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP3151325A patent/JP2995106B2/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2995106B2 (en) | 1999-12-27 |
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