JPH0437258U - - Google Patents
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- JPH0437258U JPH0437258U JP7954790U JP7954790U JPH0437258U JP H0437258 U JPH0437258 U JP H0437258U JP 7954790 U JP7954790 U JP 7954790U JP 7954790 U JP7954790 U JP 7954790U JP H0437258 U JPH0437258 U JP H0437258U
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- JP
- Japan
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- showing
- pallet
- vapor deposition
- inversion
- inverted
- Prior art date
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 27
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 17
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る反転蒸着装置の全体を
概略にて示す断面図。第２図は、第１図に示す反
転パレツト部を拡大にて示す斜視図。第３図は、
本考案の反転蒸着装置の第１実施例を示し、その
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段の作用状態
を示す側面図。第４図は、第３図に示す反転パレ
ツトと蒸着分子洩れ防止手段との作用進行状態を
示す側面図。第５図は、本考案の反転蒸着装置の
全体を概略にて示し、その反転作用状態を示す断
面図。第６図、第７図は、第５図示す反転パレツ
トのそれぞれの反転作用状態を示す斜視図。第８
図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第２実施例
を示し、蒸着分子洩れ防止手段の構成を示す斜視
図。第９図は、第８図にの蒸着分子洩れ防止手段
と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１０
図、第１１図は第９図に続く蒸着分子洩れ防止手
段と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１
２図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第３実施
例を示し、その反転パレツトと蒸着分子洩れ防止
手段との反転状態を示す側面図。第１３図は、第
１２図に続く反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手
段との反転状態を示す側面図。第１４図は、本考
案に係わる反転蒸着装置の第４実施例を示し、そ
の反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転
状態を示す側面図。第１５図は、第１４図に続く
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転状
態を示す側面図。第１６図は、従来の反転パレツ
トの要部を概略にて示す側面図。 １……蒸着装置、２……パレツト受台、３……
突片、４……切り欠き、５……真空室、６……間
隙、７……回転支承軸、８……被蒸着物体装着孔
、９……蒸着分子洩れ防止部材、１０……蒸着装
置収納室、１１，１３……パレツト取付枠、１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ…
…連結支承軸、１４……支持台、１５……蒸発源
投入容器、２１……反転パレツト、２２ａ……連
結支承軸、２３，２４，２５，２６，２７，２８
……蒸着分子洩れ防止部材、１６……モーター、
１７，１８，１９，２０……ギヤ、２９……ベア
リング、３０……パレツト保持片、３１……支持
部材、３２……長孔、６１……反転用係合片、６
２……アクチユエーター、６３……反転用アーム
。
概略にて示す断面図。第２図は、第１図に示す反
転パレツト部を拡大にて示す斜視図。第３図は、
本考案の反転蒸着装置の第１実施例を示し、その
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段の作用状態
を示す側面図。第４図は、第３図に示す反転パレ
ツトと蒸着分子洩れ防止手段との作用進行状態を
示す側面図。第５図は、本考案の反転蒸着装置の
全体を概略にて示し、その反転作用状態を示す断
面図。第６図、第７図は、第５図示す反転パレツ
トのそれぞれの反転作用状態を示す斜視図。第８
図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第２実施例
を示し、蒸着分子洩れ防止手段の構成を示す斜視
図。第９図は、第８図にの蒸着分子洩れ防止手段
と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１０
図、第１１図は第９図に続く蒸着分子洩れ防止手
段と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１
２図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第３実施
例を示し、その反転パレツトと蒸着分子洩れ防止
手段との反転状態を示す側面図。第１３図は、第
１２図に続く反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手
段との反転状態を示す側面図。第１４図は、本考
案に係わる反転蒸着装置の第４実施例を示し、そ
の反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転
状態を示す側面図。第１５図は、第１４図に続く
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転状
態を示す側面図。第１６図は、従来の反転パレツ
トの要部を概略にて示す側面図。 １……蒸着装置、２……パレツト受台、３……
突片、４……切り欠き、５……真空室、６……間
隙、７……回転支承軸、８……被蒸着物体装着孔
、９……蒸着分子洩れ防止部材、１０……蒸着装
置収納室、１１，１３……パレツト取付枠、１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ…
…連結支承軸、１４……支持台、１５……蒸発源
投入容器、２１……反転パレツト、２２ａ……連
結支承軸、２３，２４，２５，２６，２７，２８
……蒸着分子洩れ防止部材、１６……モーター、
１７，１８，１９，２０……ギヤ、２９……ベア
リング、３０……パレツト保持片、３１……支持
部材、３２……長孔、６１……反転用係合片、６
２……アクチユエーター、６３……反転用アーム
。
補正 平３．７．４
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 反転蒸着装置
実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。
次のように補正する。
【実用新案登録請求の範囲】
多数の反転パレツトを用いて、光学部品などの
両面を蒸着する反転蒸着装置において、隣設する
反転パレツト間に構成される間隙にパレツトの反
転に支障なく、蒸着分子の洩れ防止手段を設けた
ことを特徴とする反転蒸着装置。
両面を蒸着する反転蒸着装置において、隣設する
反転パレツト間に構成される間隙にパレツトの反
転に支障なく、蒸着分子の洩れ防止手段を設けた
ことを特徴とする反転蒸着装置。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係る反転蒸着装置の全体を
概略にて示す断面図。第２図は、第１図に示す反
転パレツト部を拡大にて示す斜視図。第３図は、
本考案の反転蒸着装置の第１実施例を示し、その
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段の作用状態
を示す側面図。第４図は、第３図に示す反転パレ
ツトと蒸着分子洩れ防止手段との作用進行状態を
示す側面図。第５図は、本考案の反転蒸着装置の
全体を概略にて示し、その反転作用状態を示す断
面図。第６図、第７図は、第５図に示す反転パレ
ツトのそれぞれの反転作用状態を示す斜視図。第
８図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第２実施
例を示し、蒸着分子洩れ防止手段の構成を示す斜
視図。第９図は、第８図の蒸着分子洩れ防止手段
と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１０
図、第１１図は第９図に続く蒸着分子洩れ防止手
段と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１
２図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第３実施
例を示し、その反転パレツトと蒸着分子洩れ防止
手段との反転状態を示す側面図。第１３図は、第
１２図に続く反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手
段との反転状態を示す側面図。第１４図は、本考
案に係わる反転蒸着装置の第４実施例を示し、そ
の反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転
状態を示す側面図。第１５図は、第１４図に続く
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転状
態を示す側面図。第１６図は、従来の反転パレツ
トの要部を概略にて示す側面図。 １……蒸着装置、２……パレツト受台、３……
突片、４……切り欠き、５……真空室、６……間
隙、７，７′……回転支承軸、８……被蒸着物体
装着孔、９……蒸着分子洩れ防止部材、１０……
蒸着装置収納室、１１，１３……パレツト取付枠
、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１
２ｆ……連結支承軸、１４……支持台、１５……
蒸発材料投入容器、１６……モーター、１７，１
８，１９，２０ｂ……ギヤ、２１……反転パレツ
ト、２２ａ……連結支承軸、２３，２４，２５，
２６，２７，２８……蒸着分子洩れ防止部材、２
９……ベアリング、３０……パレツト保持枠、３
１……支持部材、３２……長孔、６１……反転用
係合片、６２……アクチユエーター、６３……反
転用アーム。
概略にて示す断面図。第２図は、第１図に示す反
転パレツト部を拡大にて示す斜視図。第３図は、
本考案の反転蒸着装置の第１実施例を示し、その
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段の作用状態
を示す側面図。第４図は、第３図に示す反転パレ
ツトと蒸着分子洩れ防止手段との作用進行状態を
示す側面図。第５図は、本考案の反転蒸着装置の
全体を概略にて示し、その反転作用状態を示す断
面図。第６図、第７図は、第５図に示す反転パレ
ツトのそれぞれの反転作用状態を示す斜視図。第
８図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第２実施
例を示し、蒸着分子洩れ防止手段の構成を示す斜
視図。第９図は、第８図の蒸着分子洩れ防止手段
と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１０
図、第１１図は第９図に続く蒸着分子洩れ防止手
段と反転パレツトの反転状態を示す側面図。第１
２図は、本考案に係わる反転蒸着装置の第３実施
例を示し、その反転パレツトと蒸着分子洩れ防止
手段との反転状態を示す側面図。第１３図は、第
１２図に続く反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手
段との反転状態を示す側面図。第１４図は、本考
案に係わる反転蒸着装置の第４実施例を示し、そ
の反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転
状態を示す側面図。第１５図は、第１４図に続く
反転パレツトと蒸着分子洩れ防止手段との反転状
態を示す側面図。第１６図は、従来の反転パレツ
トの要部を概略にて示す側面図。 １……蒸着装置、２……パレツト受台、３……
突片、４……切り欠き、５……真空室、６……間
隙、７，７′……回転支承軸、８……被蒸着物体
装着孔、９……蒸着分子洩れ防止部材、１０……
蒸着装置収納室、１１，１３……パレツト取付枠
、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１
２ｆ……連結支承軸、１４……支持台、１５……
蒸発材料投入容器、１６……モーター、１７，１
８，１９，２０ｂ……ギヤ、２１……反転パレツ
ト、２２ａ……連結支承軸、２３，２４，２５，
２６，２７，２８……蒸着分子洩れ防止部材、２
９……ベアリング、３０……パレツト保持枠、３
１……支持部材、３２……長孔、６１……反転用
係合片、６２……アクチユエーター、６３……反
転用アーム。
Claims (1)
- 多数の反転パレツトを用いて、光学部品などの
両面を蒸着する反転蒸着装置において、隣設する
反転パレツト間に構成される間隙にパレツトの反
転に支障なく、蒸着分子の洩れ防止手段を設けた
ことを特徴とする反転蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7954790U JPH0437258U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7954790U JPH0437258U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437258U true JPH0437258U (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=31623800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7954790U Pending JPH0437258U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437258U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000303167A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-10-31 | Hoya Corp | レンズの蒸着装置 |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP7954790U patent/JPH0437258U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000303167A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-10-31 | Hoya Corp | レンズの蒸着装置 |
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