JPH04363633A - Spectrometry apparatus - Google Patents
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- JPH04363633A JPH04363633A JP3137578A JP13757891A JPH04363633A JP H04363633 A JPH04363633 A JP H04363633A JP 3137578 A JP3137578 A JP 3137578A JP 13757891 A JP13757891 A JP 13757891A JP H04363633 A JPH04363633 A JP H04363633A
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】この発明は、半導体プロセスのダ
スト管理において用いられる成分同定が行える微粒子測
定装置や、半導体プロセスの中のドライエッチングにお
いて用いられる終点検出モニタ等の回折格子式分光器を
利用した分光計測装置の高性能化に関するものである。[Industrial Application Field] This invention utilizes a diffraction grating spectrometer, such as a particle measuring device that can identify components used in dust management in semiconductor processes, and an end point detection monitor used in dry etching in semiconductor processes. This paper relates to improving the performance of spectroscopic measurement equipment.
【0002】0002
【従来の技術】図5は例えば特開平2ー190744号
公報に示された第1の従来例の成分同定のできる微粒子
測定装置を示す構成図で、この構成要素である分光計測
装置は分光器と光電子増倍管から構成されている。1は
測定しようとする空間、2は微粒子を含む1の空間から
採取された気体SGを運ぶためのキャピラリチューブ、
3はマイクロ波電源、4はマイクロ波のキャビティ、5
はキャピラリチューブ2により運ばれてきた微粒子を含
む気体を放電させるための反応管で、HeやArのキャ
リアガスCGの導入口5aと放電した後の採取気体およ
びキャリアガスを排気するための排気口5cが付いてい
る。5bは検出窓、6は排気手段、7は微粒子を含む気
体が放電することにより生じる発光を分光するための分
光器、8は分光器7によって分光された光を電気信号に
換える光電子増倍管、9は光電子増倍管8で得られた電
気信号を増幅しA/D変換し、データ分析する信号処理
部である。9aは前置増幅器、9bはA/D変換器、9
cは演算処理回路である。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a block diagram showing a first conventional particle measuring device that can identify components, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-190744. It consists of a photomultiplier tube and a photomultiplier tube. 1 is a space to be measured, 2 is a capillary tube for carrying the gas SG collected from the space 1 containing fine particles,
3 is a microwave power supply, 4 is a microwave cavity, 5
is a reaction tube for discharging the gas containing fine particles carried by the capillary tube 2, and includes an inlet 5a for carrier gas CG such as He or Ar, and an exhaust port for discharging the collected gas and carrier gas after discharge. 5c is attached. 5b is a detection window, 6 is an evacuation means, 7 is a spectrometer for separating light emitted by discharging a gas containing fine particles, and 8 is a photomultiplier tube for converting the light separated by the spectrometer 7 into an electric signal. , 9 is a signal processing section that amplifies the electrical signal obtained by the photomultiplier tube 8, performs A/D conversion, and analyzes the data. 9a is a preamplifier, 9b is an A/D converter, 9
c is an arithmetic processing circuit.
【0003】次に従来例の動作について説明する。被測
定空間1からキャピラリチューブ2を通って採取された
微粒子を含む気体はHeやArのキャリアガスと混合さ
れマイクロ波電源3から供給されるマイクロ波によって
反応管5の中で放電し、プラズマが形成される。この時
、採取気体とともに導入された微粒子は、プラズマ解離
されてガス化する。ゆえに、この反応管では採取気体と
キャリアガスとガス化した微粒子に起因するプラズマ発
光が生じる。このプラズマ発光を分光器7で分光した後
光電子増倍管8で電気信号に換え、信号処理部9で得ら
れた発光スペクトルの中から採取気体とキャリアガスに
起因するスペクトルピークを除外し、ガス化した微粒子
に起因するスペクトルピークのみを選び出すことにより
、微粒子の成分(元素)の同定ができる。なお、微粒子
に起因する発光スペクトルは微粒子がガス化しキャリア
ガスと採取気体に拡散しさらに排気されるという過程を
経るために、時間軸で見るとパルス状になる。Next, the operation of the conventional example will be explained. The gas containing fine particles collected from the measurement space 1 through the capillary tube 2 is mixed with a carrier gas of He or Ar, and is discharged in the reaction tube 5 by microwaves supplied from the microwave power source 3, generating plasma. It is formed. At this time, the particles introduced together with the sampling gas are plasma dissociated and gasified. Therefore, in this reaction tube, plasma emission occurs due to the sampling gas, the carrier gas, and the gasified particles. After this plasma emission is separated into spectra by a spectrometer 7, it is converted into an electric signal by a photomultiplier tube 8, and from the emission spectrum obtained by a signal processing unit 9, spectrum peaks caused by the sampled gas and carrier gas are excluded, and the gas By selecting only the spectral peaks caused by the microparticles, the components (elements) of the microparticles can be identified. Note that the emission spectrum caused by the fine particles becomes pulse-like when viewed on the time axis because the fine particles go through a process in which they are gasified, diffused into the carrier gas and sampling gas, and further exhausted.
【0004】従来の微粒子測定装置およびその構成要素
である分光計測装置は以上のように構成されていたので
、1つの成分(元素)に基づくスペクトルピークの時間
的変化を測定しパルスの個数を数えることにより、微粒
子の数を測定することができるが、もし、微粒子が測定
波長と一致するスペクトルピークを持つ成分(元素)を
含んでいない場合、その微粒子は検出できないことにな
る。このような微粒子の数え落としを極力少なくするた
めには、複数のスペクトルピークの時間的変化を並行し
て同時に測定しておく必要がある。このための方策とし
て、分光器の回折格子を機械的にスキャンすることが考
えられるが、高速の時間変化を複数のスペクトルピーク
に対して測定するのは困難である。また、フォトアレイ
センサを分光器の出射スリット部に設けて広い波長範囲
を同時に測定する方法があるが、プラズマの発光スペク
トルは微粒子のスペクトルピーク以外のすなわち採取気
体やキャリアガスのスペクトルピークを多数含んでおり
、フォトアレイセンサではスペクトルピークごとに感度
調整を行うことができないため、採取気体やキャリアガ
スのスペクトルピークの強度で微粒子に起因する元素の
測定感度が律則され、高感度測定が困難である。また、
フォトアレイセンサの時間応答速度は光電子増倍管に比
べると遅いために、微粒子の計数率を大きくすることが
できない。[0004] Conventional particulate measuring devices and their component spectroscopic measuring devices are configured as described above, so that they measure temporal changes in spectral peaks based on one component (element) and count the number of pulses. By doing this, the number of fine particles can be measured, but if the fine particles do not contain a component (element) having a spectral peak that matches the measurement wavelength, the fine particles cannot be detected. In order to minimize the number of missed particles, it is necessary to simultaneously measure temporal changes in multiple spectral peaks in parallel. One way to do this is to mechanically scan the diffraction grating of a spectrometer, but it is difficult to measure rapid time changes for multiple spectral peaks. Another method is to install a photo array sensor in the output slit of a spectrometer to measure a wide wavelength range simultaneously, but the plasma emission spectrum includes many spectral peaks other than those of the particles, that is, the spectral peaks of the sampling gas and carrier gas. With photo array sensors, it is not possible to adjust the sensitivity for each spectral peak, so the measurement sensitivity of elements caused by particulates is determined by the intensity of the spectral peak of the sampled gas or carrier gas, making high-sensitivity measurement difficult. be. Also,
Since the time response speed of a photoarray sensor is slower than that of a photomultiplier tube, it is not possible to increase the counting rate of particles.
【0005】また、図6は例えば応用分光学ハンドブッ
ク(吉永弘編集、朝倉書店、1984年3月1日第3刷
、633頁)に記載の第2の従来例の発光現象を測定す
る分光計測装置の構成図である。分光器7の出射スリッ
ト部31a,31b,31cに複数の光電子増倍管8a
,8b,8cを並べた構成となっている。33は発光手
段、34は演算処理手段である。ゆえに、スペクトルピ
ークごとに感度調整ができ、また、時間応答も速いが、
多数の光電子増倍管8a,8b,8cを回折格子32か
ら所定の角度の位置に配置する必要があり、したがって
、分光器7の大きさを小さくすることが困難である。す
なわち、コンパクトな分光計測装置を得ることが困難で
ある。Further, FIG. 6 shows, for example, a second conventional example of spectroscopic measurement for measuring the luminescence phenomenon described in the Handbook of Applied Spectroscopy (edited by Hiroshi Yoshinaga, Asakura Shoten, 3rd edition, March 1, 1984, p. 633). It is a block diagram of a device. A plurality of photomultiplier tubes 8a are provided in the output slit portions 31a, 31b, 31c of the spectrometer 7.
, 8b, and 8c are arranged side by side. 33 is a light emitting means, and 34 is an arithmetic processing means. Therefore, the sensitivity can be adjusted for each spectral peak, and the time response is fast, but
It is necessary to arrange a large number of photomultiplier tubes 8a, 8b, 8c at a predetermined angle from the diffraction grating 32, and therefore it is difficult to reduce the size of the spectrometer 7. That is, it is difficult to obtain a compact spectroscopic measurement device.
【0006】また、第3の従来例として、半導体プロセ
スのドライエッチングの終点検出モニタの構成要素とし
て分光計測装置が使われているが(例えばSOFIE社
から市販されているPLASMA SPECTRUM
ANALYSERSD20)、ここでは回折格子を
機械的にスキャンするタイプの分光器が用いられており
、単一のスペクトルピークのみでエッチングの終点を検
出する方式でこの装置を用いる場合は問題無いが、複数
のスペクトルピークの時間変化のデータを処理して終点
を検出する高精度な方式では、各スペクトルピークに対
してそれぞれの最適な感度調整を行った上で複数のスペ
クトルピークを高速で測定することは困難である。As a third conventional example, a spectroscopic measurement device is used as a component of a monitor for detecting the end point of dry etching in a semiconductor process (for example, PLASMA SPECTRUM commercially available from SOFIE).
ANALYSERSD20), a type of spectrometer that mechanically scans a diffraction grating is used here, and there is no problem when using this device with a method that detects the end point of etching using only a single spectral peak. With highly accurate methods that detect end points by processing time change data of spectral peaks, it is difficult to measure multiple spectral peaks at high speed after performing optimal sensitivity adjustment for each spectral peak. It is.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、第1の
従来例においては高速の時間変化を複数のスペクトルピ
ークに対して測定するのが困難である、第2の従来例に
おいてはスペクトルピークの高速時間変化を高感度で測
定することが出来るが、装置が大形化する、また、第3
の従来例においてはスペクトルピーク毎に感度調整を行
うことが出来ないため、採取気体やキャリアガスの最大
ピーク強度で感度が律則され、高感度測定が困難である
という問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, in the first conventional example, it is difficult to measure rapid time changes for multiple spectral peaks, and in the second conventional example, it is difficult to measure rapid temporal changes for multiple spectral peaks. It is possible to measure high-speed temporal changes with high sensitivity, but the equipment becomes large and the third
In the conventional example, since the sensitivity cannot be adjusted for each spectral peak, the sensitivity is determined by the maximum peak intensity of the sampling gas or carrier gas, making it difficult to perform high-sensitivity measurements.
【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、成分同定できる微粒子測定装置
やドライエッチングの終点検出モニタ等の発光現象のス
ペクトルのうち必要なスペクトルピークの時間変化を測
定する分光計測装置を構成要素とする計測装置において
、複数のスペクトルピークの時間変化をそれぞれのピー
クに最適な感度調整を行った上で高速に測定できるコン
パクトな分光計測装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is a device for measuring particles that can identify components, a monitor for detecting the end point of dry etching, etc., and is capable of detecting the time change of a necessary spectral peak in the spectrum of a luminescent phenomenon. The present invention aims to provide a compact spectrometer that can measure time changes of multiple spectral peaks at high speed by adjusting the optimal sensitivity for each peak. purpose.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明に係る分光計測
装置は、時間的に変化する発光現象のスペクトルのうち
必要なビークの強度の時間変化を測定するための回折格
子式分光計測装置の光強度検出部を、ファイバアレーと
2個以上の光電子増倍管で構成したものである。[Means for Solving the Problems] A spectroscopic measuring device according to the present invention is a diffraction grating type spectroscopic measuring device for measuring the temporal change in the intensity of a necessary peak in the spectrum of a temporally changing luminescent phenomenon. The intensity detection section is composed of a fiber array and two or more photomultiplier tubes.
【0010】0010
【作用】この発明においては、光強度検出部をファイバ
アレーと、スペクトルピークの数に相応する2個以上の
光電子増倍管で構成したので、複数のスペクトルピーク
の時間変化をそれぞれのピークに最適な感度調整を行っ
た上で高速に測定でき、かつ、その装置はコンパクトで
狭い場所にも設置できる。また、この光強度検出部は、
測定したいスペクトルピークと同じないしは所定の波長
分をシフトした波長の光を発生できる分光器付光源を用
い、この光源の光を上記のファイバアレーを装着した分
光計測装置に導入し、ファイバアレーの光の出射側の複
数本の光ファイバの中から光っているファイバのみを選
別して束ね合わせたファイバ束を光電子増倍管に接続す
る操作を測定したいスペクトルピークの数だけ行うこと
により製造できるので、装置を容易に製造することがで
きる。[Operation] In this invention, the light intensity detection section is constructed with a fiber array and two or more photomultiplier tubes corresponding to the number of spectral peaks, so the time changes of multiple spectral peaks are optimized for each peak. It is possible to perform high-speed measurements with appropriate sensitivity adjustment, and the device is compact and can be installed in small spaces. In addition, this light intensity detection section is
Using a light source with a spectrometer that can generate light with the same wavelength as the spectral peak to be measured or shifted by a predetermined wavelength, the light from this light source is introduced into the spectrometer equipped with the above fiber array, and the light from the fiber array is It can be manufactured by selecting only the shining fibers from among the multiple optical fibers on the output side and connecting the bundled fiber bundles to a photomultiplier tube as many times as there are spectral peaks to be measured. The device can be easily manufactured.
【0011】[0011]
実施例1
以下、この発明の一実施例を図に基づき説明する。図1
はこの発明の一実施例の分光計測装置を成分が同定でき
る微粒子計測装置に適用したときの構成図である。10
はファイバアレーで分光器7の出射スリット部に装着さ
れる。ここでは3本のスペクトルピークを同時に測定で
きるものを示している。ファイバアレー10のより詳細
な構造を図2の模式説明図に示す。ファイバアレー10
は多数の光ファイバを図のように束ねた構造をしており
、分光器7で分光された3つのスペクトルピークの光は
分光器7の出射スリット部の装着面(分光された光の入
射面)7aの波長に依存した所定の位置に入射し、各々
のスペクトルピークの光(波長 λ1,λ2,λ3)は
各々のファイバ束10a,10b,10cを通って光電
子増倍管への接続部30a,30b,30cから出射す
る。さて、図1にもどって、ファイバアレー10によっ
て3方に分離された3つの測定波長のスペクトルピーク
の光は、それぞれの光電子倍増管11a,11b,11
cにおいて最適な高電圧を印加して最適な感度で電気信
号に変換され、増幅器12a,12b,12cおよびA
/D変換器13a,13b,13cで増幅とデジタル信
号への変換が行われる。これらのデジタル信号はデータ
処理装置14で分析される。以上のような構成であるの
で、3つのスペクトルピークの光強度が大きく異なって
いてもそれぞれに光電子増倍管に印加する高電圧を最適
な値に設定して感度調整することにより、高感度でかつ
高速でスペクトルピークの時間変化を測定できる。また
、極めて細い光ファイバを束ねたファイバアレーを使う
ことにより、コンパクトな分光計測装置が実現できる。Embodiment 1 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described based on the drawings. Figure 1
1 is a configuration diagram when a spectroscopic measuring device according to an embodiment of the present invention is applied to a particle measuring device that can identify components. 10
is a fiber array and is attached to the output slit portion of the spectrometer 7. Here, a device that can measure three spectral peaks simultaneously is shown. A more detailed structure of the fiber array 10 is shown in the schematic explanatory diagram of FIG. fiber array 10
has a structure in which a large number of optical fibers are bundled as shown in the figure, and the light with three spectral peaks separated by the spectrometer 7 is attached to the mounting surface of the output slit part of the spectrometer 7 (the incident surface of the separated light). ) 7a, and the light at each spectral peak (wavelengths λ1, λ2, λ3) passes through each fiber bundle 10a, 10b, 10c and connects to a photomultiplier tube 30a. , 30b, 30c. Now, returning to FIG. 1, the light at the spectral peaks of the three measurement wavelengths separated into three directions by the fiber array 10 is transmitted from each photomultiplier tube 11a, 11b, 11.
The optimum high voltage is applied at c, and the signal is converted into an electrical signal with optimum sensitivity, and the amplifiers 12a, 12b, 12c and A
Amplification and conversion to digital signals are performed by /D converters 13a, 13b, and 13c. These digital signals are analyzed by a data processing device 14. With the above configuration, even if the light intensities of the three spectral peaks are significantly different, high sensitivity can be achieved by setting the high voltage applied to each photomultiplier tube to the optimal value and adjusting the sensitivity. In addition, it is possible to measure temporal changes in spectral peaks at high speed. Furthermore, by using a fiber array made up of extremely thin optical fibers, a compact spectroscopic measurement device can be realized.
【0012】さて、以上では3つのスペクトルピークを
測定できる分光計測装置を示したが、測定ピークの個数
を増やすためにはファイバアレーのファイバ束、および
光電子増倍管、増幅器、A/D変換器を追加個数分増や
せばよい。Now, the spectrometer that can measure three spectral peaks has been shown above, but in order to increase the number of measurement peaks, it is necessary to use a fiber bundle of a fiber array, a photomultiplier tube, an amplifier, and an A/D converter. All you have to do is increase the number of additional pieces.
【0013】また、測定したいスペクトルピークが極め
て隣接していたとしても、光ファイバの径程度の分解能
でそれぞれのピークを分離できる。これも分光計測装置
のコンパクト化に有効である。Furthermore, even if the spectral peaks to be measured are very close to each other, each peak can be separated with a resolution comparable to the diameter of an optical fiber. This is also effective in making the spectrometer more compact.
【0014】実施例2
次にこの発明の他の実施例について説明する。図3はこ
の発明の他の実施例の分光計測装置をドライエッチング
の終点検出モニタに適用したときの構成図である。エッ
チングガスを供給した状態で高周波電源15からの高周
波電力を平行平板電極16に印加すると、プラズマ17
が発生しウエハをエッチングする。このプラズマからの
発光を例えばファイバヘッド18で受光し、分光器7に
導入することにより、この例においては3つのスペクト
ルピークの時間変化が同時に測定できる。例えば、エッ
チングの終点がくるとλ1のピークは増加し、λ2とλ
3 のピークは減少すると仮定すると、λ2およびλ3
のピーク強度をλ1 のピーク強度で規格化した値を常
に監視しておき、この2つの値が両者同時に減少したと
きをエッチングの終点とすれば極めて信頼性の高い終点
検出が可能になる。なお、この発明の分光計測装置を適
用することにより、監視するスペクトルピークのそれぞ
れに対して最適な感度調整ができることから、高感度な
測定が可能となる。監視するスペクトルピークの数を増
やしたい場合は、先に説明した微粒子測定装置の場合と
同様に容易に実現できる。Embodiment 2 Next, another embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a configuration diagram when a spectroscopic measuring device according to another embodiment of the present invention is applied to a dry etching end point detection monitor. When high frequency power is applied from the high frequency power source 15 to the parallel plate electrode 16 while the etching gas is supplied, the plasma 17
occurs and etches the wafer. By receiving the light emitted from this plasma by, for example, the fiber head 18 and introducing it into the spectrometer 7, in this example, time changes in three spectral peaks can be measured simultaneously. For example, when the end point of etching is reached, the peak of λ1 increases, and the peak of λ2 and λ
Assuming that the peak of 3 decreases, λ2 and λ3
If the value obtained by normalizing the peak intensity of λ1 with the peak intensity of λ1 is constantly monitored, and the etching end point is set when these two values decrease simultaneously, extremely reliable end point detection becomes possible. Note that by applying the spectrometer of the present invention, optimal sensitivity adjustment can be made for each of the spectral peaks to be monitored, so highly sensitive measurement is possible. If it is desired to increase the number of spectral peaks to be monitored, this can be easily achieved as in the case of the particle measuring device described above.
【0015】この発明の分光計測装置は、以上に説明し
た実施例のみならず、時間的に変化する発光現象のスペ
クトルのうち必要なビークの強度の時間変化を測定する
ような計測装置において有効であることは言うまでもな
い。The spectroscopic measuring device of the present invention is effective not only in the embodiments described above, but also in measuring devices that measure temporal changes in the intensity of a necessary peak in the spectrum of a temporally changing luminescent phenomenon. It goes without saying that there is.
【0016】次にこの発明の分光計測装置の主要な構成
要素である光強度検出部の製造方法について説明する。
光強度検出部はファイバアレーと2個以上の光電子増倍
管とから構成されているが、ファイバアレーにおいて測
定したいスペクトルピークの個数だけのファイバ束を製
造する必要がある。このファイバアレーの製造法につい
て図4を用いて説明する。図4において、19は広い波
長範囲の光を発生できる例えばキセノンアークランプや
タングステンランプ等の光源である。20は光源19か
らの光を分光して測定したいスペクトルピークと同一の
波長ないしは所定の値だけシフトした波長の光を得るた
めの分光器、21は分光された光をこの発明の分光計測
装置の構成要素となる分光器7に導入するためのレンズ
である。測定したいスペクトルピークと同一の波長ない
しは所定の値だけシフトした波長の光を分光器7に導入
すると、ファイバアレーを構成している光ファイバの中
で端面から光が出射している光ファイバのみを選別して
束ね合わせて、ファイバ束とする。端面から光が出射し
ているかどうかの判別を目視で行う場合、可視のスペク
トルピーク波長の光に対しては暗室中で選別作業を行う
。また、可視以外のスペクトルピーク波長の光に対して
は所定の値だけシフトさせて可視の波長の光を用いると
ともに、分光器7の回折格子の設定を所定の値だけシフ
トさせて光ファイバの選別作業を行い、その後に分光器
7の回折格子の設定を先ほどシフトさせた分戻しておく
。また、目視でなく広範囲の波長域に感度を持った光検
出器を使って光ファイバの選別作業を行う場合はこの限
りでない。以上のような作業を測定したいスペクトルピ
ークの個数だけ行うことにより、所望のファイバアレー
が製造できる。選別されなかった光ファイバについては
別にまとめて束ねておけばよい。Next, a method for manufacturing the light intensity detection section, which is a main component of the spectrometer of the present invention, will be explained. The light intensity detection unit is composed of a fiber array and two or more photomultiplier tubes, but it is necessary to manufacture as many fiber bundles as the number of spectral peaks to be measured in the fiber array. A method for manufacturing this fiber array will be explained using FIG. 4. In FIG. 4, reference numeral 19 denotes a light source such as a xenon arc lamp or a tungsten lamp, which can generate light in a wide wavelength range. 20 is a spectroscope for spectroscopy of the light from the light source 19 to obtain light of the same wavelength as the spectral peak to be measured or a wavelength shifted by a predetermined value; 21 is a spectrometer for dispersing the spectroscopic light of the spectrometer of the present invention; This is a lens for introducing into the spectrometer 7 which is a component. When light with the same wavelength as the spectral peak to be measured or a wavelength shifted by a predetermined value is introduced into the spectrometer 7, only the optical fibers that emit light from their end faces among the optical fibers making up the fiber array are detected. The fibers are sorted and bundled together to form a fiber bundle. When visually determining whether or not light is emitted from the end face, the selection process is performed in a dark room for light with visible spectral peak wavelengths. In addition, for light with spectral peak wavelengths other than visible, light with a visible wavelength is used by shifting it by a predetermined value, and the setting of the diffraction grating of the spectrometer 7 is shifted by a predetermined value to select optical fibers. After doing this, set the diffraction grating of the spectrometer 7 back by the amount that was shifted earlier. Furthermore, this does not apply when optical fibers are sorted using a photodetector that is sensitive to a wide range of wavelengths instead of visually. A desired fiber array can be manufactured by performing the above operations as many times as there are spectral peaks to be measured. The optical fibers that have not been sorted may be bundled separately.
【0017】以上のような方法でファイバアレーを製造
するので、光学部品の微妙なアライメントが必要でなく
、比較的単純な作業で製造できる。また、測定したいス
ペクトルピーク波長に対応した光ファイバのみを扱えば
よいので、それ以外の大部分の光ファイバは材料的には
無駄であるが、作業量からみるとそれほど多くない。[0017] Since the fiber array is manufactured by the method described above, delicate alignment of optical parts is not required, and manufacturing can be performed with relatively simple operations. Furthermore, since it is only necessary to handle the optical fiber corresponding to the spectral peak wavelength to be measured, most of the other optical fibers are wasted in terms of material, but this is not so much in terms of the amount of work.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、分光
計測装置の光強度検出部をファイバアレーと複数の光電
子増倍管で構成したので、複数のスペクトルピークの時
間変化をそれぞれのピークに最適な感度調整を行った上
で高速に測定でき、かつ、その装置はコンパクトで狭い
場所にも設置できる。また、この分光計測装置は比較的
容易に製造することが可能である。As described above, according to the present invention, the light intensity detection section of the spectrometer is configured with a fiber array and a plurality of photomultiplier tubes, so that the time changes of a plurality of spectral peaks can be detected from each peak. It can perform high-speed measurements with optimal sensitivity adjustment, and the device is compact and can be installed in small spaces. Moreover, this spectrometer can be manufactured relatively easily.
【図1】この発明の一実施例の分光計測装置を成分が同
定できる微粒子計測装置に適用したときの構成図である
。FIG. 1 is a configuration diagram when a spectroscopic measuring device according to an embodiment of the present invention is applied to a particle measuring device that can identify components.
【図2】この発明に係わるファイバアレーの詳細な構造
を示す模式説明図である。FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing the detailed structure of a fiber array according to the present invention.
【図3】この発明の他の実施例の分光計測装置をドライ
エッチングの終点検出モニタに適用したときの構成図で
ある。FIG. 3 is a configuration diagram when a spectroscopic measurement device according to another embodiment of the present invention is applied to a dry etching end point detection monitor.
【図4】この発明に係わるファイバアレーの製造法につ
いて説明するための構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram for explaining a method for manufacturing a fiber array according to the present invention.
【図5】第1の従来例の成分同定のできる微粒子測定装
置を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a first conventional example of a particle measuring device capable of identifying components.
【図6】第2の従来例の発光現象を測定する分光計測装
置の構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of a second conventional spectroscopic measurement device for measuring a luminescence phenomenon.
1 測定しようとする空間
7 分光器
10 ファイバアレー
11a,11b,11c 光電子増倍管12a,12
b,12c 増幅器
14 データ処理装置
18 ファイバヘッド
19 光源
20 分光器1 Space to be measured 7 Spectrometer 10 Fiber array 11a, 11b, 11c Photomultiplier tube 12a, 12
b, 12c Amplifier 14 Data processing device 18 Fiber head 19 Light source 20 Spectrometer
Claims (1)
装置で、光強度検出部をファイバアレーと複数の光電子
増倍管で構成したことを特徴とする分光計測装置。1. A spectroscopic measurement device using a diffraction grating spectrometer, characterized in that a light intensity detection section is composed of a fiber array and a plurality of photomultiplier tubes.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3137578A JPH04363633A (en) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | Spectrometry apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3137578A JPH04363633A (en) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | Spectrometry apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04363633A true JPH04363633A (en) | 1992-12-16 |
Family
ID=15201999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3137578A Pending JPH04363633A (en) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | Spectrometry apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04363633A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006300731A (en) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Horiba Ltd | Glow discharge emission spectrophotometer and glow discharge emission spectrochemical analytical method |
JP2010040384A (en) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Hamamatsu Photonics Kk | Photo cathode, manufacturing method thereof, and photomultiplier tube |
US7869036B2 (en) * | 2007-08-31 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP3137578A patent/JPH04363633A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006300731A (en) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Horiba Ltd | Glow discharge emission spectrophotometer and glow discharge emission spectrochemical analytical method |
US7869036B2 (en) * | 2007-08-31 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information |
JP2010040384A (en) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Hamamatsu Photonics Kk | Photo cathode, manufacturing method thereof, and photomultiplier tube |
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