JPH0435761A - Liquid supplying apparatus - Google Patents
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- JPH0435761A JPH0435761A JP14360290A JP14360290A JPH0435761A JP H0435761 A JPH0435761 A JP H0435761A JP 14360290 A JP14360290 A JP 14360290A JP 14360290 A JP14360290 A JP 14360290A JP H0435761 A JPH0435761 A JP H0435761A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は液状合成樹脂、液状接着削等の液体を所定の位
置に供給する液体供給装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a liquid supply device for supplying a liquid such as liquid synthetic resin or liquid adhesive cutting to a predetermined position.
（従来技術）
一般に、電気製品、通信機器等に使用される電気部品の
一部は、合成樹脂フィルム、合成樹脂基板等にＩＣ等の
チップを装着し、端子接続部、あるいは、チップの全周
に合成樹脂等を供給して樹脂封止している。この様な液
体供給装置としては、例えば、特開昭６２−４５３７６
号公報に記載されているような構成であり、液体供給用
容器を支持するブラケットを、水平方向に移動するテー
ブル上に設置された支持枠体に垂直方向に移動するよう
装着し、該ブラケットを流体シリンダーによって待機位
置と液体供給位置に移動させるようになっている。(Prior art) Generally, some electrical components used in electrical products, communication equipment, etc. are made by mounting a chip such as an IC on a synthetic resin film, synthetic resin substrate, etc. A synthetic resin or the like is supplied to seal the resin. As such a liquid supply device, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-45376
The structure is as described in the above publication, and a bracket supporting a liquid supply container is attached to a support frame installed on a horizontally movable table so as to move vertically. A fluid cylinder moves it between a standby position and a liquid supply position.
（発明が解決しようとする課題）
上述のような液体供給用容器を待機位置と液体供給位置
の間を往復動させる構成では、ストロークが長いためタ
クトタイムが長くなり、作業効率が非常に悪い、また、
液体の供給停止時に液体が雫となってノズルから落下し
不要な箇所に付着する等の問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) In the configuration in which the liquid supply container is reciprocated between the standby position and the liquid supply position as described above, the takt time is increased due to the long stroke, resulting in very poor work efficiency. Also,
There is a problem that when the supply of liquid is stopped, the liquid becomes drops and falls from the nozzle and adheres to unnecessary areas.
（課題を解決するための手段）
上述の問題点を解決するために本発明の液体供給装置は
、液体供給用部材を支持するブラケットを、水平方向に
移動するテーブル上に設置された支持枠体に垂直方向に
昇降自在に装着せしめると共に、液体受は機構を前記液
体供給用部材の下方に位置するよう支持枠体、または、
テーブルに装着せしめた構成にしである。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the liquid supply device of the present invention includes a support frame body installed on a horizontally movable table, in which a bracket supporting a liquid supply member is mounted on a support frame body installed on a horizontally movable table. A support frame or
It has a configuration that is attached to a table.
また、液体供給用部材を、待機位置、中間作動位置、液
体供給位置に移動せしめるように構成しである。Further, the liquid supply member is configured to be moved to a standby position, an intermediate operating position, and a liquid supply position.
さらに、液体を供給する物品の有無を検出する検知器を
設置し、該検知器からの信号に基づいて液体供給用部材
を昇降せしめるように構成しである。Furthermore, a detector is installed to detect the presence or absence of an article to be supplied with liquid, and the liquid supply member is moved up and down based on a signal from the detector.
（作用）
本発明の液体供給装置は、液体受は機構を液体供給用部
材の下方に位置するよう支持枠体、または、テーブルに
装着することにより液体がノズルから雫となって落下し
ても不要な箇所に付着しないようにしている。また、液
体供給用部材を、待機位置、中間作動位置、液体供給位
置に移動させ１、液体を供給する物品の有無を検出する
検知器を設置して該検知器からの信号に基づいて液体供
給用部材を昇降させることによりタクトタイムを短くし
て、作業効率を良くしている。(Function) In the liquid supply device of the present invention, the liquid receiver is mounted on a support frame or a table so that the mechanism is located below the liquid supply member, so that even if liquid drops from the nozzle in the form of drops, Make sure it doesn't stick to unnecessary areas. In addition, the liquid supply member is moved to a standby position, an intermediate operating position, and a liquid supply position 1, and a detector is installed to detect the presence or absence of an article to supply liquid, and the liquid is supplied based on the signal from the detector. By raising and lowering the parts used, takt time is shortened and work efficiency is improved.
給用容器の無駄な動作が無くなり、タクトタイムを確実
に短縮することができる。Wasteful movement of the supply container is eliminated, and takt time can be reliably shortened.
（実施例）
本発明の液体供給装置の１実施例の構成を図面に基づい
て説明する。(Example) The configuration of an example of the liquid supply device of the present invention will be described based on the drawings.
２は架台１の上に設置されたテーブルであり、パルスモ
ータ、螺子機構等の駆動装置３によって水平方向の前後
、左右方向に移動する。４は該テーブル２上に取付けら
れた支持枠体であり、垂直方向に案内用のレール４ａが
一体的に形成しである。５は該レール４ａに移動自在に
係合されたブラケットであり、液体供給用容器７を垂直
な状態で支持している。６はシリンダー本体６ａの両側
に第１ピストンロツド６ｂと第２ピストンロツド６ｃを
突設した流体シリンダーであり、第１ピストンロツド６
ｂが支持枠体４に、第２ピストンロツド６ｃがブラケッ
ト５に夫々連結しである。該流体シリンダー６には、圧
力調節弁、電磁切替弁等を有する圧空供給用管２４が連
結しである。該流体シリンダー６に対する圧空の供給位
置を変更すると、各ピストンロッド６ｂ、６ｃは夫々単
独で出没する。そして、第１ピストンロツド６ｂが突出
すると、液体供給用容器７を支持するブラケット５を中
間作動位置に、第２ピストンロツド６ｃが突出すると、
液体供給用容器７を支持するブラケット５を液体供給位
置に移動する。該流体シリンダー６に代えて２台の流体
シリンダーを連接し、各ピストンロッド夫々単独に移動
させる構成にすることもできる。Reference numeral 2 denotes a table installed on the pedestal 1, and is moved horizontally back and forth and left and right by a drive device 3 such as a pulse motor or a screw mechanism. Reference numeral 4 denotes a support frame mounted on the table 2, and a vertical guiding rail 4a is integrally formed therein. A bracket 5 is movably engaged with the rail 4a, and supports the liquid supply container 7 in a vertical state. 6 is a fluid cylinder having a first piston rod 6b and a second piston rod 6c protruding from both sides of a cylinder body 6a;
b is connected to the support frame 4, and the second piston rod 6c is connected to the bracket 5. A compressed air supply pipe 24 having a pressure regulating valve, an electromagnetic switching valve, etc. is connected to the fluid cylinder 6. When the supply position of compressed air to the fluid cylinder 6 is changed, each piston rod 6b, 6c moves in and out independently. When the first piston rod 6b protrudes, the bracket 5 supporting the liquid supply container 7 is placed in the intermediate operating position, and when the second piston rod 6c protrudes,
The bracket 5 supporting the liquid supply container 7 is moved to the liquid supply position. Instead of the fluid cylinder 6, two fluid cylinders may be connected and each piston rod may be moved independently.
上述の液体供給用容器７の下部出口には吐出用のノズル
８が取付けてあり、上部には圧空供給用管９が連結しで
ある。１０は液体供給用容器７の下方の架台１上に設置
された案内用枠体であり、ＩＣ等の電気部品であるチッ
プをボンディング加工したフィルム３０を水平な状態で
所定の位置に保持して案内する。１１は該案内用枠体１
０の下方の液体供給位置に設置された可動ステージであ
り、架台１上に設置された流体シリンダー１２と、ピス
トンロッド１２ａの端部に取付けられたステージ１３に
より構成しである。そして、該流体シリンダー１２には
、圧力調節弁、電磁切替弁等を有する圧空供給用管１４
が連結してあり、ステージ１３を垂直方向の待機位置と
供給位置に移動する。１５は架台１上のフィルム３０を
挾んでその一方に設置されたブラケットであり、チップ
検知用の投光器１６が取付けである。１７は該ブラケッ
ト１５に対向するようフィルム３０を挾んだ他方位置に
設置されたブラケットであり、投光器１６からの光を検
知する受光器１８が取付けである。そして、投光器１６
から投光された光の検知の有無によってフィルム３０上
にチップ３１がボンゲイングされているかどうかを検出
する。該検知装置に代えて投光部と受光部が一体的に形
成された反射式検知器を使用することができる。また、
上述の投光器１６と受光器１８は、ノズル８、可動ステ
ージ１１等と同じ液体供給位置に設置してもよいが、該
液体供給位置より川上側に設置すると、チップ３１が装
着されていない時に、液体の供給動作を行なわず、直ち
にフィルム３０を移動させて次のチップ３１を液体供給
位置に移動することができる。１９は液体供給用容器７
のノズル８の下方に位置するよう支持枠体４に装着され
た液体受は機構であり、支持枠体４の下部に一体的に取
付けたブラケット２０と、流体シリンダー２１と、ピス
トンロッド２１ａの端部に取付けた液受は皿２２とによ
り構成し、該液受は皿２２をノズル８の下方位置と待機
位置に移動する。そして、該流体シリンダー２１には、
圧力関節弁、電磁切替弁等を有する圧空供給用管２３が
連結しである。A discharge nozzle 8 is attached to the lower outlet of the liquid supply container 7, and a compressed air supply pipe 9 is connected to the upper part. Reference numeral 10 designates a guiding frame body installed on the pedestal 1 below the liquid supply container 7, and holds a film 30 on which a chip, which is an electrical component such as an IC, is bonded, in a predetermined position in a horizontal state. invite. 11 is the guide frame 1
This is a movable stage installed at a liquid supply position below 0, and is composed of a fluid cylinder 12 installed on a pedestal 1 and a stage 13 attached to the end of a piston rod 12a. The fluid cylinder 12 includes a compressed air supply pipe 14 having a pressure regulating valve, an electromagnetic switching valve, etc.
are connected to move the stage 13 to a vertical standby position and a supply position. A bracket 15 is installed on one side of the frame 1 to sandwich the film 30, and a light projector 16 for chip detection is attached thereto. Reference numeral 17 denotes a bracket installed at the other position sandwiching the film 30 so as to face the bracket 15, and a light receiver 18 for detecting light from the projector 16 is attached thereto. And the floodlight 16
Whether or not the chip 31 is bonded on the film 30 is detected based on whether or not the light projected from the film 30 is detected. Instead of the detection device, a reflection type detector in which a light projecting section and a light receiving section are integrally formed can be used. Also,
The above-mentioned light projector 16 and light receiver 18 may be installed at the same liquid supply position as the nozzle 8, movable stage 11, etc., but if they are installed upstream from the liquid supply position, when the chip 31 is not attached, It is possible to immediately move the film 30 and move the next chip 31 to the liquid supply position without performing a liquid supply operation. 19 is a liquid supply container 7
The liquid receiver attached to the support frame 4 so as to be located below the nozzle 8 is a mechanism, and includes a bracket 20 integrally attached to the lower part of the support frame 4, a fluid cylinder 21, and the end of the piston rod 21a. The liquid receiver attached to the nozzle is constituted by a plate 22, and the liquid receiver moves the plate 22 to a position below the nozzle 8 and to a standby position. And, in the fluid cylinder 21,
A compressed air supply pipe 23 having a pressure joint valve, an electromagnetic switching valve, etc. is connected.
また、上述の液体供給装置であるテーブル２の川上側に
はフィルム供給機構（図示せず）が、川下側にはフィル
ム巻取機構（図示せず）が夫々設置されている。Further, a film supply mechanism (not shown) is installed on the upstream side of the table 2, which is the liquid supply device described above, and a film winding mechanism (not shown) is installed on the downstream side.
上述のフィルム供給機構、フィルム巻取機構（図示せず
）、各流体シリンダー等は、動作順序、動作間隔等の入
力用キーボード、記憶部、比較演算部、動作指令部等を
有するマイクロコンピュータ等の制御装置（図示せず）
によって作動させるようになっている。The above-mentioned film supply mechanism, film winding mechanism (not shown), each fluid cylinder, etc. are operated by a microcomputer or the like having a keyboard for inputting operation order, operation interval, etc., a storage section, a comparison calculation section, an operation command section, etc. Control device (not shown)
It is activated by
上述の装置によって液体の供給動作を行なう場合は、チ
ップ３１をボンデング加工したフィルム３０を準備して
フィルム供給機構（図示せず）に装着すると共に、該フ
ィルム３０の端部を引き出して案内用枠体１０に通し、
フィルム巻取機構（図示せず）に巻き付ける。また、液
体供給用容器７に予め設定された量の接着材等の合成樹
脂液を充填する。When performing a liquid supply operation using the above-mentioned device, prepare a film 30 on which the chip 31 is bonded and attach it to a film supply mechanism (not shown), and then pull out the end of the film 30 and attach it to a guide frame. Pass through the body 10,
Wrap it around a film take-up mechanism (not shown). Further, the liquid supply container 7 is filled with a preset amount of synthetic resin liquid such as adhesive.
一方、フィルム送出量、送出間隔、液体供給量、供給間
隔、各流体シリンダーの作動時期等を設定して制御装置
（図示せず）のキーボードを操作して入力する。On the other hand, the film delivery amount, delivery interval, liquid supply amount, supply interval, operation timing of each fluid cylinder, etc. are set and input by operating the keyboard of the control device (not shown).
この時、各部材は第３−１図に示すように、テーブル２
、液体供給用容器７、可動ステージ１１は待機位置に、
液体受は機構１９の、液受は皿２２はノズル８の下方位
置にある。At this time, each member is placed on the table 2 as shown in Figure 3-1.
, the liquid supply container 7 and the movable stage 11 are in the standby position,
The liquid receiver is located in the mechanism 19, and the liquid receiver and the plate 22 are located below the nozzle 8.
これ等の準備ができ、装置を始動させると、フィルム供
給機構（図示せず）とフィルム巻取機構（図示せず）が
作動してフィルム３０を予め設定した長さだけ送出する
。そして、最初のチップ３１が液体供給量！に移動する
と、第３−２図に示すように、テーブル２の駆動装置３
が作動して支持枠体４と共に液体供給用容器７が液体供
給位置の上方に移動する０次いで、圧空供給用管２３の
管路が切り替わると、流体シリンダー２１が作動してピ
ストンロッド２１ａが引っ込み液受は皿２２が待機位置
に戻る。すると、圧空供給用管２４の管路が切り替わっ
て流体シリンダー６が作動して第１ピストンロツド６ｂ
が突出しブラケット５と共に液体供給用容器７が中間作
動位置に移動する。これ等の動作中に、投光器１６が作
動してチップ３１に向けて投光し、眩光を受光器１８に
よって受光せず、チップ有りの信号が制御装置（図示せ
ず）に送られると、第３−３図に示すように、圧空供給
用管１４の管路が切り替わって流体シリンダー１２が作
動してピストン口・ソド１２ａが突出しステージ１３の
上面が液体供給位置に有るチップ３１の下面に当接する
位置まで上昇すると共に、圧空供給用管２４の管路が切
り替わって流体シリンダー６が作動して第２ピストンロ
ツド６ｃが突出し液体供給用容器７を液体供給位置に下
降する。そして、ノズル８がチップ３１の予め設定した
供給位置に移動すると、圧空供給用管９の管路が切り替
わり液体供給用容器７に圧空が供給され液体がノズル８
から吐出される。該状態でテーブル２の駆動装置３が作
動して該ノズル８が水平方向に移動し、予め設定した箇
所に液体の供給を行なうと、圧空供給用管２４の管路が
切り替わって流体シリンダー６が作動して第２ピストン
ロツド６Ｃが引っ込み液体供給用容器７が中間作動位置
に戻ると共に、圧空供給用管１４の管路が切り替わって
流体シリンダー１２が作動してピストンロッド１２ａが
引っ込みステージ１３が待機位置に戻る。すると、フィ
ルム供給機構（図示せず）とフィルム巻取機構（図示せ
ず）が作動してフィルム３０が１ピッチ分だけ移動する
。そして、液体の供給の済んだチップ３１の隣のチップ
３１が液体供給位置に搬送されると、投光器１６が作動
してチップ３１に向けて投光してその有無を確認し、チ
ップ有りの信号が制御装置（図示せず）に送られ、圧空
供給用管２４の管路が切り替わって流体シリンダー６が
作動して第２ピストンロ・ｙドロＣが突出し液＃供給用
容器７が液体供給位置に移動すると共に、圧空供給用管
１４の管路が切り替わって流体シリンダー１２が作動し
てピストンロッド１２ａが突出しステージ１３がチップ
３１の下面位置に上昇して液体の供給を行なう。When these preparations are completed and the apparatus is started, a film supply mechanism (not shown) and a film winding mechanism (not shown) are operated to feed out the film 30 by a preset length. And the first chip 31 is the liquid supply amount! As shown in Figure 3-2, the drive device 3 of the table 2
is activated, and the liquid supply container 7 moves together with the support frame 4 above the liquid supply position.Next, when the line of the compressed air supply pipe 23 is switched, the fluid cylinder 21 is activated and the piston rod 21a is retracted. The tray 22 of the liquid receiver returns to the standby position. Then, the line of the compressed air supply pipe 24 is switched, the fluid cylinder 6 is operated, and the first piston rod 6b is moved.
The liquid supply container 7 moves together with the projecting bracket 5 to the intermediate operating position. During these operations, the light emitter 16 operates and emits light toward the chip 31, and when the dazzling light is not received by the light receiver 18 and a chip presence signal is sent to the control device (not shown), the As shown in Figure 3-3, the line of the compressed air supply pipe 14 is switched, the fluid cylinder 12 is activated, the piston port 12a protrudes, and the upper surface of the stage 13 comes into contact with the lower surface of the chip 31 which is in the liquid supply position. As it rises to the contact position, the line of the compressed air supply pipe 24 is switched to operate the fluid cylinder 6, causing the second piston rod 6c to protrude and lower the liquid supply container 7 to the liquid supply position. When the nozzle 8 moves to the preset supply position of the chip 31, the line of the compressed air supply pipe 9 is switched, compressed air is supplied to the liquid supply container 7, and the liquid is transferred to the nozzle 8.
It is discharged from. In this state, when the drive device 3 of the table 2 is operated and the nozzle 8 is moved horizontally to supply liquid to a preset location, the line of the compressed air supply pipe 24 is switched and the fluid cylinder 6 is opened. The actuation causes the second piston rod 6C to retract and the liquid supply container 7 to return to the intermediate operating position. At the same time, the line of the compressed air supply pipe 14 is switched, the fluid cylinder 12 is activated, the piston rod 12a is retracted, and the stage 13 is in the standby position. Return to Then, a film supply mechanism (not shown) and a film winding mechanism (not shown) are activated to move the film 30 by one pitch. When the chip 31 next to the chip 31 to which the liquid has been supplied is transported to the liquid supply position, the light projector 16 is activated and emits light toward the chip 31 to confirm the presence or absence of the chip 31 and to signal the presence of the chip. is sent to the control device (not shown), the line of the compressed air supply pipe 24 is switched, the fluid cylinder 6 is activated, the second piston rod/y cylinder C is ejected, and the liquid # supply container 7 is placed in the liquid supply position. As it moves, the line of the compressed air supply pipe 14 is switched, the fluid cylinder 12 is activated, the piston rod 12a protrudes, and the stage 13 rises to the position below the chip 31 to supply liquid.
上述の操作を繰り返して各チップ３１に液体の供給を行
なう。The above-described operation is repeated to supply liquid to each chip 31.
上述のチップ３１の有無確認操作において、投光器１６
からチップ３１に向けて投光し、眩光を受光器１８によ
って受光すると、チップ無しの信号が制御装置（図示せ
ず）に送られ、フィルム供給機構（図示せず）とフィル
ム巻取機構（図示せず）が作動してフィルム３０をさら
に１ピッチ分だけ移動させ、隣のチップ３１を液体供給
位置に搬送し、改めて、チップ３１の有無の確認操作、
および、液体の供給操作を行なう。In the operation for checking the presence or absence of the chip 31 described above, the projector 16
When the dazzling light is received by the light receiver 18, a no-chip signal is sent to the control device (not shown), and the film feeding mechanism (not shown) and film winding mechanism (not shown) (not shown) is activated to further move the film 30 by one pitch, transport the adjacent chip 31 to the liquid supply position, and confirm the presence or absence of the chip 31 again.
Then, perform a liquid supply operation.
全てのチップ３１に対する液体の供給操作が済んだ場合
、あるいは、液体の供給操作を中断する場合は、圧空供
給用管２４の管路を切り替えて流体シリンダー６を作動
させ、第１ピストンロツド６ｂ、および、第２ピストン
ロツド６Ｃを引っ込めて液体供給用容器７を待機位置に
戻すと共に、圧空供給用管２３の管路を切り替えて流体
シリンダー２１を作動させ、ピストンロッド２１ａを突
出し液受は皿２２をノズル８の下方位置に移動して液体
の供給操作を終了する。When the liquid supply operation to all the chips 31 is completed, or when the liquid supply operation is to be interrupted, the line of the compressed air supply pipe 24 is switched to operate the fluid cylinder 6, and the first piston rod 6b and , the second piston rod 6C is retracted to return the liquid supply container 7 to the standby position, and at the same time, the line of the compressed air supply pipe 23 is switched to operate the fluid cylinder 21, the piston rod 21a is protruded, and the liquid receiving plate 22 is moved to the nozzle. 8 and completes the liquid supply operation.
上述の実施例においては液体供給部材を、ノズル８を有
する液体供給容器７をブラケット５に支持する構成にし
たが、液体供給容器のみを架台１に設置されたブラケッ
トによって支持すると共に、ノズル８をブラケット５に
支持し可視チューブによって連結した構成にすることも
できる。In the above-described embodiment, the liquid supply member is configured such that the liquid supply container 7 having the nozzle 8 is supported by the bracket 5, but only the liquid supply container is supported by the bracket installed on the pedestal 1, and the nozzle 8 is supported by the bracket 5. It is also possible to have a structure in which it is supported by the bracket 5 and connected by a visible tube.
（発明の効果）
本発明の液体供給装置は、液体供給用部材を支持するブ
ラケットを、水平方向に移動するテーブルに設置された
支持枠体に垂直方向に昇降自在に装着せしめると共に、
液体受は機構を前記液体供給用部材の下方に位置するよ
う支持枠体、または、テーブルに装着した構成にしであ
るため、テーブルがどの位置にあっても素早くノズルの
下に液体受けを移動させることができ、タクトタイムが
短くなり作業効率を良くすることができる。また、液体
がノズルから雫となって落下し不要な箇所に付着するの
を防止することができる。(Effects of the Invention) The liquid supply device of the present invention has a bracket that supports a liquid supply member attached to a support frame installed on a horizontally moving table so as to be vertically movable up and down.
Since the liquid receiver is attached to a support frame or a table so that the mechanism is located below the liquid supply member, the liquid receiver can be quickly moved under the nozzle regardless of the position of the table. This reduces takt time and improves work efficiency. Further, it is possible to prevent the liquid from falling as drops from the nozzle and adhering to unnecessary locations.
また、液体供給用部材を、待機位置、中間作動位置、液
体供給位置に移動せしめるように構成すると、通常運転
時は中間作動位置と液体供給位置の間を移動するため、
液体供給用部材の移動距離が短くなり、さらに、液体を
供給する物品の有無を検出する検知器を設置し、該検知
器からの信号に基づいて液体供給用部材を昇降せしめる
ようにすると、液体供給用部材の無駄な動作が無くなり
、タクトタイムを確実に短縮することができる。Furthermore, if the liquid supply member is configured to move between the standby position, the intermediate operation position, and the liquid supply position, the liquid supply member moves between the intermediate operation position and the liquid supply position during normal operation.
The moving distance of the liquid supply member is shortened, and a detector is installed to detect the presence or absence of an article to supply liquid, and the liquid supply member is moved up and down based on the signal from the detector. Wasteful movement of the supply member is eliminated, and takt time can be reliably shortened.
第１図は本発明の液体供給装置の１実施例を示す概略斜
視図である。
第２図は第１図におけるｚ−２矢視図である。
第３図は液体供給動作を示す概略側面図である。
１：架台、２：テーブル、３：駆動装置、４：支持枠体
、５，１５，１７．２０ニブラケツト、６．１２，２１
：流体シリンダー、７：液体供給用容器、８：ノズル
、９，１４，２３，２４：圧空供給用管、１０：案内用
枠体、１１：可動ステージ、１３：ステージ、１６：投
光器、工８コ受光器、２２：液受は皿、
出願人 東レエンジニアリング株式会社７３図
第２図FIG. 1 is a schematic perspective view showing one embodiment of the liquid supply device of the present invention. FIG. 2 is a view taken along arrow z-2 in FIG. 1. FIG. 3 is a schematic side view showing the liquid supply operation. 1: Frame, 2: Table, 3: Drive device, 4: Support frame, 5, 15, 17. 20 Nibble bracket, 6. 12, 21
: fluid cylinder, 7: liquid supply container, 8: nozzle, 9, 14, 23, 24: compressed air supply pipe, 10: guide frame, 11: movable stage, 13: stage, 16: floodlight, work 8 Receiver, 22: Liquid receiver is plate, Applicant: Toray Engineering Co., Ltd. Figure 73 Figure 2
Claims (1)
に移動するテーブル上に設置された支持枠体に垂直方向
に昇降自在に装着せしめると共に、液体受け機構を前記
液体供給用部材の下方に位置するよう支持枠体、または
、テーブルに装着せしめたことを特徴とする液体供給装
置。 ２）液体供給用部材を、待機位置、中間作動位置、液体
供給位置に移動せしめるように構成せしめたことを特徴
とする請求項１の液体供給装置。 ３）液体を供給する物品の有無を検出する検知器を設置
し、該検知器からの信号に基づいて液体供給用部材を昇
降せしめるようにしたことを特徴とする請求項１、乃至
請求項２の液体供給装置。[Claims] 1) A bracket supporting a liquid supply member is attached to a support frame installed on a horizontally moving table so as to be vertically movable, and a liquid receiving mechanism is attached to the liquid supply member. A liquid supply device characterized in that it is attached to a support frame or a table so as to be located below a member for use. 2) The liquid supply device according to claim 1, wherein the liquid supply member is configured to be moved to a standby position, an intermediate operating position, and a liquid supply position. 3) A detector is installed to detect the presence or absence of an article to be supplied with liquid, and the liquid supply member is moved up and down based on a signal from the detector. liquid supply device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14360290A JPH0435761A (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | Liquid supplying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14360290A JPH0435761A (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | Liquid supplying apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0435761A true JPH0435761A (en) | 1992-02-06 |
Family
ID=15342542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14360290A Pending JPH0435761A (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | Liquid supplying apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0435761A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015039666A (en) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | アルファーデザイン株式会社 | Liquid discharge apparatus, liquid discharge method, and program |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61234039A (en) * | 1985-04-10 | 1986-10-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor manufacturing equipment |
| JPS61234968A (en) * | 1985-04-12 | 1986-10-20 | Hitachi Ltd | Coating device |
| JPH01253295A (en) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Hitachi Ltd | Application of adhesive onto wiring substrate |
| JPH0228397A (en) * | 1988-11-07 | 1990-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | Adhesive applicator for fixing chip-shaped electronic component |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP14360290A patent/JPH0435761A/en active Pending
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